JP2011089620A - Gas filling device - Google Patents

Gas filling device Download PDF

Info

Publication number
JP2011089620A
JP2011089620A JP2009245371A JP2009245371A JP2011089620A JP 2011089620 A JP2011089620 A JP 2011089620A JP 2009245371 A JP2009245371 A JP 2009245371A JP 2009245371 A JP2009245371 A JP 2009245371A JP 2011089620 A JP2011089620 A JP 2011089620A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
pressure
unit
vaporizer
container
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009245371A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5428755B2 (en
Inventor
Takeshi Ishikawa
武史 石川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp filed Critical Toyota Motor Corp
Priority to JP2009245371A priority Critical patent/JP5428755B2/en
Publication of JP2011089620A publication Critical patent/JP2011089620A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5428755B2 publication Critical patent/JP5428755B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/32Hydrogen storage

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas filling device with comparatively simple constitution, which is capable of quickly filling a high pressure tank to be inspected with gas with installation cost suppressed. <P>SOLUTION: The gas filling device 10 includes a liquefied gas storage part 12; a liquid feed pump 14 for force-feeding liquid nitrogen to a vaporizer 16 from the liquefied gas storage part 12; the vaporizer 16 vaporizing the liquid nitrogen by heat exchange with hot water; a gas line 20 connecting the vaporizer 16 to a gas tank 18 to fill the gas tank 18 with nitrogen vaporized in the vaporizer 16; a flowmeter 22 detecting the flow of gas flowing in the gas line 20; a temperature sensor 24 and a pressure sensor 26 for detecting the temperature and pressure in the gas tank 18; and a control part 30 controlling the operation of the liquid feed pump 14 and vaporizer 16 so that the nitrogen vaporized in the vaporizer 16 is filled to the set pressure in the gas tank 18. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、ガス充填装置に係り、特に、高圧タンクの検査等に用いられるガス充填装置に関する。   The present invention relates to a gas filling device, and more particularly to a gas filling device used for inspection of a high-pressure tank.

従来、ヘリウムガスだけを検査ガスとして用いて高圧タンクのガス漏れ検査が行われることが知られている。この検査方法では、気密性の容器内に検査対象の高圧ガスタンクを収納した後、この高圧タンク内に圧縮機で昇圧されたヘリウムガスが設定圧力まで充填される。   Conventionally, it is known that a gas leak inspection of a high-pressure tank is performed using only helium gas as an inspection gas. In this inspection method, after storing a high-pressure gas tank to be inspected in an airtight container, the high-pressure tank is filled with helium gas pressurized by a compressor to a set pressure.

ヘリウムガスは高価なガスであるため、検査後に回収して繰り返し再利用される。検査に用いられるヘリウムガスに空気が混合されてヘリウム濃度が低下すると、高圧タンクの検査精度が悪くなる。そのため、高圧タンク内に存在する空気が検査ガスであるヘリウムガスに混合されないように、ガス充填前に高圧タンク内の空気をヘリウムガスに置換する作業が必要であり、その置換作業の分だけ検査時間が長くなっていた。また、この置換作業の過程では、一部のヘリウムガスが高圧タンク内の空気と廃棄されて無駄になり、ガス消耗費が発生していた。   Since helium gas is an expensive gas, it is recovered after inspection and reused repeatedly. When air is mixed with the helium gas used for inspection and the helium concentration is lowered, the inspection accuracy of the high-pressure tank is deteriorated. Therefore, it is necessary to replace the air in the high-pressure tank with helium gas before filling the gas so that the air present in the high-pressure tank is not mixed with the inspection gas helium gas. The time was getting longer. Further, in the process of this replacement work, some helium gas was wasted with the air in the high-pressure tank and wasted, resulting in gas consumption costs.

また、上記検査方法では、高圧タンクの設定圧力が例えば数十Mpaと非常に高圧である場合、ヘリウムガスの昇圧は1回の圧縮工程では足りず、2段階の圧縮工程で行わなければならなかった。そのために、ヘリウムガスを一次昇圧する圧縮機とこの圧縮機から排出されたヘリウムガスを一時貯留するFRP(繊維強化プラスチック)製の蓄圧器、および、この蓄圧器から供給されたヘリウムガスを二次昇圧する圧縮機および二次昇圧されたヘリウムガスを一時貯留するFRP製の蓄圧器を設けなければならず、大型の検査設備の設置スペースが必要になるとともに、設備導入費および修理や法令点検にかかる維持費が嵩むという問題もあった。   Further, in the above inspection method, when the set pressure of the high-pressure tank is very high, for example, several tens of MPa, the pressure of helium gas is not increased by one compression process, and must be performed in a two-stage compression process. It was. For this purpose, a compressor that primarily pressurizes the helium gas, an FRP (fiber reinforced plastic) accumulator that temporarily stores the helium gas discharged from the compressor, and the helium gas supplied from the accumulator are secondary A compressor for boosting pressure and an FRP pressure accumulator for temporarily storing secondary boosted helium gas must be installed, which requires installation space for large-scale inspection equipment, as well as equipment installation costs, repairs, and legal inspections. There is also a problem that such maintenance costs increase.

さらに、高圧タンクへのガス充填は所定温度、具体的には85℃以下で行われなければならないことが法令で決められている。一般に気体は圧縮されることによって昇温することから、上記のように二次昇圧したヘリウムガスを蓄圧器から高圧タンクへ充填する場合には圧縮により昇温したヘリウムガスをガス冷却器で冷却したうえで高圧ガスタンク内に充填しなければならなかった。そのため、ガス冷却器(または「プレクーラ」ともいう。)の設備とその冷却のためのエネルギーコストも必要であった。   Furthermore, it is required by law that gas filling the high-pressure tank must be performed at a predetermined temperature, specifically 85 ° C. or less. In general, since the temperature of the gas is increased by being compressed, when the helium gas that has been secondarily increased as described above is charged from the accumulator to the high-pressure tank, the helium gas that has been increased in temperature by cooling is cooled by the gas cooler. In addition, the high-pressure gas tank had to be filled. Therefore, the equipment of the gas cooler (or “precooler”) and the energy cost for the cooling are also required.

なお、上記ヘリウムガスに代えて水素が検査ガスとして用いられることがある。この場合、水素がタンク内の空気と混合されると燃焼気体になることから、検査の安全性を確保するため高圧タンク内のガス置換作業を慎重かつ十分に行う必要があり、この場合においても検査時間が長くなるとともにガス消耗費が発生することになる。   Note that hydrogen may be used as the inspection gas instead of the helium gas. In this case, since hydrogen becomes a combustion gas when mixed with the air in the tank, it is necessary to perform the gas replacement work in the high-pressure tank carefully and sufficiently to ensure the safety of the inspection. As the inspection time becomes longer, gas consumption costs will be incurred.

ここで、本発明の関連文献として、特許文献1には、温度式膨張弁の感温制御部の気密検査機であって、アナライザー先端の吸入部分に液体窒素にて吸引したガス中の水分を吸着させることができる高感度ヘリウムリークディテクターによって、真空引きされたチャンバー内に収納された上記感温制御部からのヘリウムガスの洩れを検出することが記載されている。   Here, as a related document of the present invention, Patent Document 1 discloses an airtightness inspection machine for a temperature-sensitive control unit of a temperature type expansion valve, in which moisture in a gas sucked with liquid nitrogen is sucked into a suction portion at the tip of an analyzer. It is described that helium gas leakage from the temperature-sensitive control unit housed in a vacuumed chamber is detected by a highly sensitive helium leak detector that can be adsorbed.

また、特許文献2には、液化ガスを気化器において大気熱でガス化した常温の高圧ガスをガス容器に設定圧力まで充填するガス充填装置が開示されている。このガス充填装置では、液化ガス供給源から供給された液化ガスを貯留して、その一部を大気熱でガス化して昇圧するアキュムレータと、アキュムレータの蓄圧室でガス化した低温ガスを冷却ラインを介してアキュムレータの蓄圧室周囲の断熱空間部に流入させることにより液化ガスを貯留するアキュムレータの蓄圧室の冷却に利用すること、および、気化器において大気熱でガス化した高圧ガスが還流ラインを経てアキュムレータの蓄圧室に還流されて蓄圧室から気化器への液化ガスの送液を促進することが記載されている。   Patent Document 2 discloses a gas filling device that fills a gas container with a high-pressure gas at room temperature obtained by gasifying a liquefied gas with atmospheric heat in a vaporizer to a set pressure. In this gas filling device, the liquefied gas supplied from the liquefied gas supply source is stored, and an accumulator that gasifies a part of the liquefied gas with atmospheric heat to increase the pressure, and the low-temperature gas gasified in the accumulator accumulator is provided with a cooling line. Through the heat storage space around the accumulator pressure accumulator through the accumulator for storing the liquefied gas and cooling the accumulator pressure storage chamber, and the high-pressure gas gasified by atmospheric heat in the vaporizer passes through the reflux line. It is described that the recirculation of the liquefied gas from the pressure accumulation chamber to the vaporizer is promoted by being returned to the pressure accumulation chamber of the accumulator.

特開平11−304628号公報JP-A-11-304628 特開2006−52809号公報JP 2006-52809 A

上記特許文献1の気密検査機は、検査対象物が温度式膨張弁の感温制御部という比較的小さいものであるため、それを収納する気密性のチャンバーも比較的小さいもので足りるが、大型の高圧タンクを収納する大きな気密性容器を真空引きするには大型のポンプが必要であり、かつ、その真空引きにも時間がかかるため、大型の高圧タンクの検査には適さない。また、特許文献1の気密検査機では、検査ガスとしてヘリウムガスだけを用いて行う上述したようなガス漏れ検査方法における高圧タンク内のガス置換作業等の問題を解消できない。   In the airtightness inspection machine of the above-mentioned patent document 1, since the object to be inspected is a relatively small thing called a temperature-sensitive control unit of a temperature type expansion valve, a relatively small airtight chamber for housing it is sufficient. In order to evacuate a large airtight container that accommodates the high-pressure tank, a large pump is required, and it takes time to evacuate the container, so that it is not suitable for inspection of a large-sized high-pressure tank. In addition, the airtightness inspection machine disclosed in Patent Document 1 cannot solve problems such as gas replacement work in the high-pressure tank in the above-described gas leakage inspection method that uses only helium gas as the inspection gas.

一方、特許文献2のガス充填装置では、液化ガスとしての液体酸素を気化器において大気熱で常温の酸素にガス化し、この常温の酸素を携帯タイプの医療用酸素ボンベに設定圧力まで充填することが例示されている。しかしながら、ガス容器が例えば燃料電池自動車用の高圧水素タンクのように設定圧力が非常に高圧の容器である場合には、何らの圧送手段を含まない特許文献2の構成では水素ガスを設定圧力まで充填することはできない。   On the other hand, in the gas filling device disclosed in Patent Document 2, liquid oxygen as a liquefied gas is gasified into room temperature oxygen by atmospheric heat in a vaporizer, and this room temperature oxygen is charged into a portable medical oxygen cylinder up to a set pressure. Is illustrated. However, when the gas container is a container having a very high set pressure, such as a high-pressure hydrogen tank for a fuel cell vehicle, for example, the configuration of Patent Document 2 that does not include any pumping means reduces the hydrogen gas to the set pressure. Cannot be filled.

本発明の目的は、比較的簡単な構成として設備コストを抑制しながら検査対象等となる高圧タンクへのガス充填を迅速に行うことができるガス充填装置を提供することにある。   The objective of this invention is providing the gas filling apparatus which can perform the gas filling to the high-pressure tank used as a test object etc. rapidly, suppressing installation cost as a comparatively simple structure.

本発明に係るガス充填装置は、液化ガスを貯留する液化ガス貯留部と、液化ガス貯留部から液化ガスを圧送する圧送部と、圧送部により圧送された液化ガスを熱交換媒体との熱交換により気化させる気化器と、気化器とガス容器との間を接続して気化器で気化したガスをガス容器に充填するためのガス経路と、ガス経路を流れるガス流量を検出するガス流量検出部と、ガス容器内の圧力を検出する容器内ガス状態検出部と、気化器により気化したガスがガス容器内に設定圧力まで充填されるようにガス流量検出部および容器内ガス状態検出部による検出結果に基づいて圧送部および気化器の作動を制御する制御部と、を備える。   The gas filling device according to the present invention includes a liquefied gas storage unit that stores liquefied gas, a pressure feeding unit that pumps liquefied gas from the liquefied gas storing unit, and heat exchange of the liquefied gas pumped by the pumping unit with a heat exchange medium. Vaporizer to be vaporized, a gas path for connecting the vaporizer and the gas container to fill the gas container with gas vaporized by the vaporizer, and a gas flow rate detection unit for detecting the gas flow rate through the gas path And a gas state detector for detecting the pressure in the gas container, and a detection by the gas flow rate detector and the gas state detector in the container so that the gas vaporized by the vaporizer is filled to the set pressure in the gas container. And a control unit that controls the operation of the pumping unit and the vaporizer based on the result.

本発明に係るガス充填装置において、前記制御部からの指令に応じて前記ガス経路に検知ガスを供給する検知ガス供給部をさらに備えてもよい。   The gas filling apparatus according to the present invention may further include a detection gas supply unit that supplies a detection gas to the gas path in response to a command from the control unit.

また、本発明に係るガス充填装置において、前記液化ガスは液体窒素であり、前記検知ガスは水素であり、前記制御部は、前記圧送部、気化器および検知ガス供給部を制御して、液化ガス貯留部から圧送部により液送される液体窒素を気化器で気化させた窒素をガス容器に設定圧力まで充填する途中で、前記検知ガス供給部から供給される所定量の水素をガス経路を介してガス容器に充填してもよい。   Further, in the gas filling device according to the present invention, the liquefied gas is liquid nitrogen, the detection gas is hydrogen, and the control unit controls the pumping unit, the vaporizer, and the detection gas supply unit to liquefy the liquid. In the middle of filling the gas container up to the set pressure with nitrogen obtained by vaporizing liquid nitrogen fed from the gas reservoir by the pressure feed unit to the gas container, a predetermined amount of hydrogen supplied from the detection gas supply unit is passed through the gas path. The gas container may be filled through.

また、本発明に係るガス充填装置において、前記液化ガスは液体窒素であり、前記検知ガスはヘリウムであり、前記制御部は、前記圧送部、気化器および検知ガス供給部を制御して、液化ガス貯留部から圧送部により液送される液体窒素を気化器で気化させた窒素をガス容器に設定圧力まで充填するのに先立って、前記検知ガス供給部から供給される所定量のヘリウムをガス経路を介してガス容器に充填してもよい。   In the gas filling device according to the present invention, the liquefied gas is liquid nitrogen, the detection gas is helium, and the control unit controls the pressure feeding unit, the vaporizer, and the detection gas supply unit to liquefy the liquefied gas. Prior to filling the gas container up to the set pressure with nitrogen obtained by vaporizing liquid nitrogen fed from the gas storage unit by the pressure feeding unit to the gas container, a predetermined amount of helium supplied from the detection gas supply unit is gasified. The gas container may be filled through a route.

また、本発明に係るガス充填装置において、前記容器内ガス状態検出部はガス容器内の温度を検出する温度センサを含み、前記制御部は、前記温度センサによって検出される温度が所定温度を超えないように前記圧送部および気化器の作動を制御してもよい。   Further, in the gas filling device according to the present invention, the in-container gas state detection unit includes a temperature sensor that detects a temperature in the gas container, and the control unit detects that the temperature detected by the temperature sensor exceeds a predetermined temperature. You may control the action | operation of the said pumping part and a vaporizer so that it may not exist.

また、本発明に係るガス充填装置において、前記圧送部は液送ポンプからなり、前記制御部による作動制御は、前記液送ポンプについては回転数制御、前記気化器については前記熱交換媒体の流量および温度の少なくともいずれか一方の調整であってもよい。   Further, in the gas filling device according to the present invention, the pressure feeding unit is composed of a liquid feeding pump, and the operation control by the control unit is a rotational speed control for the liquid feeding pump, and a flow rate of the heat exchange medium for the vaporizer. And / or adjustment of at least one of temperature.

また、本発明に係るガス充填装置において、気密性のハウジングであって内部の検知ガス濃度を検出する検知ガス濃度検出部が設けられたハウジング内に収納された前記ガス容器に、前記液化ガスを気化させたガスと検知ガスとを設定圧力まで充填して、ガス容器からのガス漏れを検査するガス容器検査設備に適用されてもよい。   Further, in the gas filling device according to the present invention, the liquefied gas is introduced into the gas container housed in an airtight housing provided with a detection gas concentration detection unit for detecting the detection gas concentration inside. You may apply to the gas container test | inspection equipment which fills the vaporized gas and detection gas to preset pressure, and test | inspects the gas leak from a gas container.

また、本発明に係るガス充填装置において、前記ガス経路にはガス流量調節部が設けられており、ガス流量調節部は、前記制御部からの指令に応じてガス経路を開閉または開度調節してもよい。   Further, in the gas filling device according to the present invention, a gas flow rate adjusting unit is provided in the gas path, and the gas flow rate adjusting unit opens / closes or adjusts the opening degree of the gas path according to a command from the control unit. May be.

また、本発明に係るガス充填装置において、前記ガス経路にはガス容器に充填されるガスの温度および圧力を検出する充填ガス状態検出部が設けられており、前記制御部は、前記容器内ガス状態検出部によって検出される容器内の温度および圧力と前記充填ガス状態検出部によって検出される充填ガスの温度および圧力とに基づいて前記圧送部および気化器の作動を制御してもよい。   Further, in the gas filling device according to the present invention, the gas path is provided with a filling gas state detection unit for detecting the temperature and pressure of the gas filled in the gas container, and the control unit is configured to detect the gas in the container. The operation of the pressure feeding unit and the vaporizer may be controlled based on the temperature and pressure in the container detected by the state detection unit and the temperature and pressure of the filling gas detected by the filling gas state detection unit.

さらに、本発明に係るガス充填装置において、前記液化ガスは液体水素であり、前記ガス容器は燃料電池車両に搭載された水素タンクであり、水素供給ステーションにおいて用いられてもよい。   Furthermore, in the gas filling apparatus according to the present invention, the liquefied gas is liquid hydrogen, and the gas container is a hydrogen tank mounted on a fuel cell vehicle, and may be used at a hydrogen supply station.

本発明に係るガス充填装置によれば、液化ガス貯留部から圧送部によって圧送される液化ガスを気化器で熱交換により気化させてガス経路を介してガス容器に設定圧力まで充填する構成としたことで、充填ガスを昇圧するための圧縮機および蓄圧器、昇圧された充填ガスを冷却するためのガス冷却器等の機器を不要とすることができ、ガス充填装置の構成を比較的簡単なものにすることができる。これにより、ガス充填装置およびこれを用いたガス容器検査設備の設置スペース、設備導入費、および、設備点検維持費を低減することができる。   According to the gas filling device of the present invention, the liquefied gas pumped from the liquefied gas storage section by the pumping section is vaporized by heat exchange in the vaporizer, and the gas container is filled to the set pressure through the gas path. This eliminates the need for equipment such as a compressor and accumulator for boosting the filling gas, and a gas cooler for cooling the boosted filling gas, and the configuration of the gas filling device is relatively simple. Can be a thing. Thereby, the installation space of a gas filling apparatus and gas container inspection equipment using the same, equipment introduction cost, and equipment inspection maintenance cost can be reduced.

また、圧送された液化ガスを気化させる際に生じる急激な体積膨張を利用して装置内で高圧の充填ガスを発生させることができるから、ガス圧縮機を用いることなくガス容器に高圧の設定圧力まで迅速にガス充填を行うことができる。   In addition, since a high-pressure filling gas can be generated in the apparatus by utilizing the rapid volume expansion that occurs when the liquefied gas sent under pressure is vaporized, a high set pressure is applied to the gas container without using a gas compressor. Gas filling can be performed quickly.

さらに、制御部は、気化器により気化したガスがガス容器内に設定圧力まで充填されるようにガス流量検出部および容器内ガス状態検出部による検出結果に基づいて圧送部および気化器の作動を制御するから、ガス容器の充填状況を監視しながらガス充填操作を最適化することができる。   Furthermore, the control unit operates the pumping unit and the vaporizer based on the detection results of the gas flow rate detection unit and the in-container gas state detection unit so that the gas vaporized by the vaporizer is filled to the set pressure in the gas container. Since the control is performed, the gas filling operation can be optimized while monitoring the filling state of the gas container.

本発明に係るガス充填装置において、液化ガス貯留部に貯留される液化ガスを液体窒素、検知ガス供給部からガス経路に供給される検知ガスを水素またはヘリウムとし、ガス容器に充填される充填ガスを窒素リッチな混合ガスとすれば、水素およびヘリウムに比べて安価な窒素が大部分を占める混合ガスをガス容器用検査ガスとして用いることで、検査後にガス容器から放出された検査ガスを回収することなく廃棄するのを許容することができる。これにより、水素またはヘリウムだけを検査ガスとして用いてガス容器のガス漏れ検査を行う場合に必要であったガス容器内のガス置換作業が不要になり、ガス容器の検査時間を短縮できるとともに、ガス置換作業で発生していたガス消耗費についても解消される。   In the gas filling apparatus according to the present invention, the liquefied gas stored in the liquefied gas storage section is liquid nitrogen, the detection gas supplied from the detection gas supply section to the gas path is hydrogen or helium, and the filling gas filled in the gas container If the gas is a nitrogen-rich mixed gas, the test gas released from the gas container after the inspection is recovered by using, as the gas container inspection gas, a gas mixture that is mostly cheaper than hydrogen and helium. Can be allowed to dispose of without This eliminates the need for gas replacement work in the gas container, which was necessary when performing gas leak inspection of the gas container using only hydrogen or helium as the inspection gas, and shortens the inspection time of the gas container. It also eliminates the gas consumption costs that were incurred in the replacement work.

本発明の一実施形態であるガス充填装置を含むガス容器検査設備の構成を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the structure of the gas container inspection equipment containing the gas filling apparatus which is one Embodiment of this invention. 図1に示すガス容器検査設備において実行されるガスタンクの検査手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the test | inspection procedure of the gas tank performed in the gas container inspection equipment shown in FIG. ガスタンクに対するガス充填、ガス漏れ検査、および充填ガス放出の過程でのガスタンク内の圧力および温度と、充填ガスの温度とを時間との関係で概略的に示すグラフである。It is a graph which shows roughly the pressure and temperature in a gas tank in the process of gas filling to a gas tank, a gas leak inspection, and filling gas discharge, and the temperature of filling gas in relation to time. 本発明の別実施形態のガス充填装置が水素供給ステーションに用いられる態様を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the aspect by which the gas filling apparatus of another embodiment of this invention is used for a hydrogen supply station.

以下に、本発明に係る実施の形態について添付図面を参照しながら詳細に説明する。この説明において、具体的な形状、材料、数値、方向等は、本発明の理解を容易にするための例示であって、用途、目的、仕様等にあわせて適宜変更することができる。   Embodiments according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In this description, specific shapes, materials, numerical values, directions, and the like are examples for facilitating the understanding of the present invention, and can be appropriately changed according to the application, purpose, specification, and the like.

図1は、本発明の一実施形態であるガス充填装置10を含むガス容器検査設備1の構成を概略的に示す。ガス充填装置10は、液化ガスを貯留する液化ガス貯留部12と、液化ガス貯留部12から液化ガスを圧送する液送ポンプ14(圧送部)と、液送ポンプ14により圧送された液化ガスを熱交換媒体との熱交換により気化させる気化器16と、気化器16と検査対象となるガスタンク18との間を接続して気化器16で気化したガスをガスタンク18に充填するための例えば金属製配管からなるガス経路20と、ガス経路20を流れるガス流量を検出する流量計(ガス流量検出部)22と、ガスタンク18内の圧力および温度を検出するタンク内ガス状態検出部28と、気化器16により気化したガスがガスタンク内に設定圧力まで充填されるように流量計22およびタンク内ガス状態検出部28による検出結果に基づいて液送ポンプ14および気化器16の作動を制御する制御部30と、を備える。   FIG. 1 schematically shows a configuration of a gas container inspection facility 1 including a gas filling device 10 according to an embodiment of the present invention. The gas filling device 10 includes a liquefied gas storage unit 12 that stores liquefied gas, a liquid feed pump 14 (pressure feed unit) that pumps the liquefied gas from the liquefied gas storage unit 12, and the liquefied gas pumped by the liquid feed pump 14. A vaporizer 16 that is vaporized by heat exchange with the heat exchange medium, and a gas tank 18 for connecting the vaporizer 16 and the gas tank 18 to be inspected to fill the gas tank 18 with gas vaporized by the vaporizer 16, for example, made of metal. A gas path 20 composed of piping, a flow meter (gas flow rate detection unit) 22 for detecting the flow rate of gas flowing through the gas path 20, a tank gas state detection unit 28 for detecting pressure and temperature in the gas tank 18, and a vaporizer 16, based on the detection results of the flow meter 22 and the gas state detection unit 28 in the tank, so that the gas vaporized by the gas tank 16 is filled to the set pressure in the gas tank. And a control unit 30 that controls the operation of the fine vaporizer 16.

また、ガス充填装置10を含むガス容器検査設備1は、さらに、ガスタンク18を気密状態で収納可能なハウジング32を備える。ハウジング32には、内部に収納されたガスタンク18から漏出する検知ガス、例えば水素の濃度を検出するリークディテクタ(検知ガス濃度検出部)が設けられている。リークディテクタ34には、市販または公知のどのようなものが用いられてもよいが、ガスタンク18からハウジング32内に漏れ出た少量の検知ガスを高精度に検出できるものであることが好ましい。   The gas container inspection facility 1 including the gas filling device 10 further includes a housing 32 that can store the gas tank 18 in an airtight state. The housing 32 is provided with a leak detector (detection gas concentration detector) for detecting the concentration of a detection gas, for example, hydrogen, leaking from the gas tank 18 accommodated therein. As the leak detector 34, any commercially available or publicly known one may be used, but it is preferable that a small amount of detection gas leaking from the gas tank 18 into the housing 32 can be detected with high accuracy.

液化ガス貯留部12は、コールドエバポレータタンク(「CEタンク」とも称される。)が好適に用いられる。本実施形態では、液化ガス貯留部12内に液化ガスとしての超低温の液体窒素(沸点−195.8℃)が貯留されている。ただし、本発明のガス充填装置は、窒素ガスの充填に限定されるものではなく、例えば水素、ヘリウム、酸素などのガスをガス容器に充填するために用いられる場合には、液体水素、液体ヘリウム、液体酸素などが液化ガス貯留部12に貯留されることになる。   As the liquefied gas storage unit 12, a cold evaporator tank (also referred to as “CE tank”) is preferably used. In the present embodiment, ultra-low temperature liquid nitrogen (boiling point−195.8 ° C.) as liquefied gas is stored in the liquefied gas storage section 12. However, the gas filling apparatus of the present invention is not limited to filling with nitrogen gas. For example, when used for filling a gas container with gas such as hydrogen, helium, oxygen, etc., liquid hydrogen, liquid helium Liquid oxygen or the like is stored in the liquefied gas storage unit 12.

液送ポンプ14は、液化ガス貯留部12に貯留された液体窒素を液体状態のまま気化器16へと圧送するためのものである。液送ポンプ14は、制御部30からの指令に応じて作動が制御され、回転数を変更することにより吐出量や吐出圧を適宜に調節することができる。液体窒素を圧送可能な液送ポンプ14として、最大吐出圧が100Mpa以上である既製品を市場で入手することが可能である。   The liquid feed pump 14 is for pumping the liquid nitrogen stored in the liquefied gas storage unit 12 to the vaporizer 16 in a liquid state. The operation of the liquid feed pump 14 is controlled in accordance with a command from the control unit 30, and the discharge amount and the discharge pressure can be appropriately adjusted by changing the rotation speed. An off-the-shelf product having a maximum discharge pressure of 100 Mpa or more can be obtained on the market as the liquid feed pump 14 capable of pumping liquid nitrogen.

気化器16は、液送ポンプ14から圧送された液体窒素が流れる窒素流路36とこれに隣接して設けられた温水流路38との間で熱交換を行う熱交換器である。気化器16において窒素流路36を流れる液体窒素は、温水が流れる温水流路38からの受熱により気化して窒素ガス(以下、適宜に「窒素」とだけいう。)となる。気化器16からガス経路20に供給される窒素の流量および圧力は、液送ポンプ14の回転数制御に加えて、温水流路38を流れる温水の流量および温度のいずれか一方または両方が制御部30からの指令に応じて温水調整部40により調整されることによって適宜に制御することができる。なお、本実施形態では気化器16を流れる熱交換媒体が温水であるものとして説明するが、これに限定されるものではなく、例えば水蒸気、大気などの流体が熱交換媒体として用いられてもよい。   The vaporizer 16 is a heat exchanger that exchanges heat between a nitrogen flow path 36 through which liquid nitrogen pressure-fed from the liquid feed pump 14 flows and a hot water flow path 38 provided adjacent thereto. The liquid nitrogen flowing through the nitrogen flow path 36 in the vaporizer 16 is vaporized by heat received from the hot water flow path 38 through which the hot water flows, and becomes nitrogen gas (hereinafter simply referred to as “nitrogen” as appropriate). The flow rate and pressure of nitrogen supplied from the vaporizer 16 to the gas path 20 are controlled by either or both of the flow rate and temperature of the hot water flowing through the hot water flow path 38 in addition to the rotation speed control of the liquid feed pump 14. It can be appropriately controlled by being adjusted by the hot water adjusting unit 40 in accordance with a command from 30. In the present embodiment, the heat exchange medium flowing through the vaporizer 16 is described as being hot water. However, the present invention is not limited to this, and for example, a fluid such as water vapor or air may be used as the heat exchange medium. .

上記ガス経路20は、検知ガス供給部42が接続されている。検知ガス供給部42は、制御部30からの指令に応じて所定量の検知ガス、例えば水素(またはヘリウム)をガス経路20に供給する。また、ガス経路20には、上記流量計22のほかに、調圧弁(ガス流量調節部)44、温度計(充填ガス状態検出部)46、圧力計(充填ガス状態検出部)48、およびリリーフ弁50が矢印Aで示すガス流れ方向に沿って順に配置されている。   A detection gas supply unit 42 is connected to the gas path 20. The detection gas supply unit 42 supplies a predetermined amount of detection gas, for example, hydrogen (or helium) to the gas path 20 in response to a command from the control unit 30. In addition to the flow meter 22, the gas path 20 includes a pressure regulating valve (gas flow rate adjusting unit) 44, a thermometer (filled gas state detecting unit) 46, a pressure gauge (filled gas state detecting unit) 48, and a relief. Valves 50 are arranged in order along the gas flow direction indicated by arrow A.

調圧弁44には、例えば、パルスモータによって弁体が開閉駆動される電動式バルブが好適に用いられる。調圧弁44は、制御部30からの指令に応じてガス経路20を開閉または開度調節することができる。これにより、ガス経路20を介してガスタンク18に充填されるガスの流量および圧力が制御される。このような調圧弁44をガス経路20に設けることで、ガスタンク18に充填されるガス流量およびガス圧力をより正確にコントロールすることができる。   As the pressure regulating valve 44, for example, an electric valve whose valve body is driven to open and close by a pulse motor is preferably used. The pressure regulating valve 44 can open / close or adjust the opening degree of the gas path 20 in accordance with a command from the control unit 30. As a result, the flow rate and pressure of the gas filled in the gas tank 18 via the gas path 20 are controlled. By providing such a pressure regulating valve 44 in the gas path 20, the gas flow rate and gas pressure charged in the gas tank 18 can be controlled more accurately.

なお、調圧弁44は、充填ガスの流れ方向に関して流量計22の下流側に設置されてもよい。また、調圧弁44に代えて、開閉動作のみが可能な電磁式の開閉弁を用いてもよい。さらに、液送ポンプ14および気化器16の作動制御だけでガスタンク18に所定の設定圧力までガス充填する場合には、調圧弁44は省略されてもよい。   In addition, the pressure regulation valve 44 may be installed in the downstream of the flowmeter 22 regarding the flow direction of a filling gas. Further, instead of the pressure regulating valve 44, an electromagnetic opening / closing valve capable of only opening / closing operation may be used. Further, when the gas tank 18 is filled with gas up to a predetermined set pressure only by controlling the operation of the liquid feed pump 14 and the vaporizer 16, the pressure regulating valve 44 may be omitted.

温度計46および圧力計48は、ガス経路20を流れる充填ガスの温度および圧力を検出するものである。これらの温度計46および圧力計48によって検出された温度および圧力は、制御部30に入力されて、液送ポンプ14および気化器16の作動制御、必要に応じて調圧弁44の開度調節に用いられる。   The thermometer 46 and the pressure gauge 48 are for detecting the temperature and pressure of the filling gas flowing through the gas path 20. The temperature and pressure detected by the thermometer 46 and the pressure gauge 48 are input to the control unit 30 to control the operation of the liquid feed pump 14 and the vaporizer 16, and to adjust the opening of the pressure regulating valve 44 as necessary. Used.

リリーフ弁50は、ガス経路20を流れる充填ガスの圧力が異常に高くなったときに大気開放される安全弁である。また、リリーフ弁50は、制御部30からの指令に応じて開弁されることができ、検査終了後にガスタンク18内の高圧ガスを大気に放出するための放出弁としても機能する。   The relief valve 50 is a safety valve that is opened to the atmosphere when the pressure of the filling gas flowing through the gas path 20 becomes abnormally high. Further, the relief valve 50 can be opened in accordance with a command from the control unit 30, and also functions as a release valve for releasing the high-pressure gas in the gas tank 18 to the atmosphere after the inspection is completed.

ガスタンク18内の圧力および温度を検出するタンク内ガス状態検出部28は、温度センサ24および圧力センサ26によって構成されることができる。温度センサ24および圧力センサ26によって検出されるガスタンク18内の温度および圧力は、制御部30に入力されて、液送ポンプ14および気化器16の作動制御、必要に応じて調圧弁44の開度調節に用いられる。なお、図1において温度センサ24および圧力センサ26は、ガスタンク18の円筒状胴部辺りに示されているが、ガス経路20の端部が接続されるガスタンク18の口金部(図示せず)近傍に設置されてもよい。   The in-tank gas state detection unit 28 that detects the pressure and temperature in the gas tank 18 can be constituted by a temperature sensor 24 and a pressure sensor 26. The temperature and pressure in the gas tank 18 detected by the temperature sensor 24 and the pressure sensor 26 are input to the control unit 30 to control the operation of the liquid feed pump 14 and the vaporizer 16, and the opening of the pressure regulating valve 44 as necessary. Used for adjustment. In FIG. 1, the temperature sensor 24 and the pressure sensor 26 are shown around the cylindrical body of the gas tank 18, but in the vicinity of the base (not shown) of the gas tank 18 to which the end of the gas path 20 is connected. May be installed.

次に、図2および3を参照して、上記構成からなるガス充填装置10を含むガス容器検査設備1によるガスタンク18の検査手順について説明する。図2はガス充填装置10を含むガス容器検査設備1において実行されるガスタンクの検査手順を示すフローチャートであり、図3はガスタンク18に対するガス充填、ガス漏れ検査、および充填ガス放出の過程でのガスタンク内の圧力および温度と充填ガスの温度とを時間との関係で概略的に示すグラフである。図3において、ガスタンク18内の圧力が太い実線52で示され、ガスタンク18内の温度が細い実線54で示され、ガス経路20で検出される充填ガスの温度が一点鎖線56で示され、法令で定められる高圧ガス充填時の上限温度85℃が横方向に延びる破線58で示されている。   Next, with reference to FIG. 2 and 3, the test | inspection procedure of the gas tank 18 by the gas container test | inspection equipment 1 containing the gas filling apparatus 10 which consists of the said structure is demonstrated. FIG. 2 is a flowchart showing a gas tank inspection procedure executed in the gas container inspection facility 1 including the gas filling device 10, and FIG. 3 is a gas tank in the process of gas filling, gas leakage inspection, and filling gas discharge to the gas tank 18. It is a graph which shows roughly the pressure and temperature inside, and the temperature of filling gas in relation to time. In FIG. 3, the pressure in the gas tank 18 is indicated by a thick solid line 52, the temperature in the gas tank 18 is indicated by a thin solid line 54, and the temperature of the filling gas detected in the gas path 20 is indicated by a one-dot chain line 56. The upper limit temperature 85 ° C. at the time of high-pressure gas filling defined by the above is indicated by a broken line 58 extending in the horizontal direction.

図2に示される検査手順S10〜S38は、制御部30に含まれるCPUによるソフトウエア処理によって実行可能である。ただし、手順の一部がハードウエア資源によって実行されてもよい。   The inspection procedures S10 to S38 shown in FIG. 2 can be executed by software processing by a CPU included in the control unit 30. However, part of the procedure may be executed by hardware resources.

検査を開始するに当たり、検査対象となるガスタンク18がハウジング32内に収納され、温度センサ24および圧力センサ26がタンク内に設置されてから、ガス経路20がガスタンク18の口金部に接続される。そして、ハウジング32は、気密性が確保された状態に閉じられる。   In starting the inspection, the gas tank 18 to be inspected is accommodated in the housing 32, the temperature sensor 24 and the pressure sensor 26 are installed in the tank, and then the gas path 20 is connected to the base portion of the gas tank 18. The housing 32 is closed in a state where airtightness is ensured.

検査が開始されると、まず、ステップS10において、設備1およびガスタンク18の初期温度および初期圧力が確認される。これらの初期温度および初期圧力は、設備1については温度計46および圧力計48による検出結果が、ガスタンク18については温度センサ24および圧力センサ26による検出結果がそれぞれ用いられる。   When the inspection is started, first, in step S10, initial temperatures and initial pressures of the facility 1 and the gas tank 18 are confirmed. The initial temperature and the initial pressure are detected by the thermometer 46 and the pressure gauge 48 for the equipment 1, and the detection results by the temperature sensor 24 and the pressure sensor 26 are used for the gas tank 18, respectively.

次に、ステップS12において、液送ポンプ14および気化器16を作動させるとともに、調圧弁44を開弁させる。これにより、液化ガス貯留部12から液体窒素が気化器16に圧送され、気化器16で気化した窒素がガス経路20に調圧弁44および流量計22を介して送られる。そして、続くステップS14において、ガス経路20を流れる窒素の温度を確認する。この確認では、温度計46によって検出される窒素の温度が、ガス充填に適した所定の氷点下温度範囲にあるか否かが判定される。窒素温度が所定の氷点下温度範囲に入っていない場合には、ステップS16において気化器16を流れる温水の流量や温度を調整する。具体的は、例えば、窒素の温度が低すぎる場合には、温水の流量を増加させるか、温水の温度を上昇させるか、又は、その両方を実行する。このような調整を行いながら窒素温度を確認するフィードバック制御が、窒素温度が所定範囲内の温度になるまで繰り返し実行される。   Next, in step S12, the liquid feed pump 14 and the vaporizer 16 are operated, and the pressure regulating valve 44 is opened. As a result, liquid nitrogen is pumped from the liquefied gas reservoir 12 to the vaporizer 16, and nitrogen vaporized by the vaporizer 16 is sent to the gas path 20 via the pressure regulating valve 44 and the flow meter 22. In subsequent step S14, the temperature of nitrogen flowing through the gas path 20 is confirmed. In this confirmation, it is determined whether or not the temperature of nitrogen detected by the thermometer 46 is within a predetermined sub-freezing temperature range suitable for gas filling. If the nitrogen temperature is not within the predetermined sub-freezing temperature range, the flow rate and temperature of the hot water flowing through the vaporizer 16 are adjusted in step S16. Specifically, for example, when the temperature of nitrogen is too low, the flow rate of warm water is increased, the temperature of warm water is increased, or both. Feedback control for confirming the nitrogen temperature while performing such adjustment is repeatedly executed until the nitrogen temperature falls within a predetermined range.

気化器16の温水の流量等の調整によってガス経路20を流れる窒素が所定温度範囲内であることが確認されると、続くステップS18において、ガスタンク18への窒素の充填を継続して実行する。このとき、制御部30は、ガス経路20を流れる窒素の温度および圧力と、ガスタンク18内の温度および圧力を監視している。   When it is confirmed that the nitrogen flowing through the gas path 20 is within the predetermined temperature range by adjusting the flow rate of the warm water in the vaporizer 16, the filling of the gas tank 18 with nitrogen is continued in the subsequent step S18. At this time, the control unit 30 monitors the temperature and pressure of nitrogen flowing through the gas path 20 and the temperature and pressure in the gas tank 18.

ガスタンク18への窒素充填が所定時間t1だけ実行された後、ステップS20において窒素の充填を一旦中断する。この中断は、液送ポンプ14および気化器16の作動を停止させることよって実行される。そして、この窒素充填の中断の間(図3中の時間期間t2に相当)に、ステップS22,24において、検知ガス供給部42から所定量の水素をガス経路20に供給してガスタンク18に充填する。この水素の量は、ガスタンク18が所定の設定圧力(例えば70Mpa)まで窒素が充填されたときにガスタンク18内の水素濃度が例えば数%になる程度の少量で足りる。逆にいえば、充填完了時にガスタンク18内に充填されている混合ガスのほとんどが多量の窒素で占められることになる。また、ガスタンク18内に当初から入っていた空気中の酸素は、水素充填に先立って充填された窒素によって十分に希釈されて低濃度になっているため、検知ガスとして水素が少量充填されても燃焼する危険性はない。   After filling the gas tank 18 with nitrogen for a predetermined time t1, filling of nitrogen is temporarily interrupted in step S20. This interruption is performed by stopping the operation of the liquid feed pump 14 and the vaporizer 16. During this interruption of nitrogen filling (corresponding to the time period t2 in FIG. 3), in steps S22 and S24, a predetermined amount of hydrogen is supplied from the detection gas supply unit 42 to the gas path 20 to fill the gas tank 18. To do. The amount of hydrogen is small enough that the hydrogen concentration in the gas tank 18 becomes, for example, several percent when the gas tank 18 is filled with nitrogen to a predetermined set pressure (for example, 70 MPa). In other words, most of the mixed gas filled in the gas tank 18 when filling is occupied by a large amount of nitrogen. In addition, the oxygen in the air that has been in the gas tank 18 from the beginning is sufficiently diluted to a low concentration by the nitrogen filled prior to the hydrogen filling, so that even if a small amount of hydrogen is filled as the detection gas. There is no risk of burning.

なお、検知ガスとしてヘリウムを用いた場合には、ヘリウムは可燃性ガスではないことから、ガスタンク18への窒素充填に先立って、まず、少量のヘリウムをガスタンク18に充填することができる。   When helium is used as the detection gas, since helium is not a combustible gas, a small amount of helium can be first filled in the gas tank 18 before filling the gas tank 18 with nitrogen.

ガスタンク18への水素充填を完了すると、ステップS26において、液送ポンプ14および気化器16を作動させてガスタンク18への窒素充填を再開する。このとき、ステップS28において、温度計46および流量計22からの検出結果に基づいてガス経路20を流れる窒素の温度と充填ガス流量とを確認するとともに、温度センサ24および圧力センサ26による検出結果に基づいてガスタンク18内の温度および圧力を確認する。   When the hydrogen filling of the gas tank 18 is completed, in step S26, the liquid feed pump 14 and the vaporizer 16 are operated to restart the filling of the gas tank 18 with nitrogen. At this time, in step S28, the temperature of the nitrogen flowing through the gas path 20 and the filling gas flow rate are confirmed based on the detection results from the thermometer 46 and the flow meter 22, and the detection results obtained by the temperature sensor 24 and the pressure sensor 26 are used. Based on this, the temperature and pressure in the gas tank 18 are confirmed.

ここで、ガスタンク18のガス漏れ検査時に高圧の設定圧力までガス充填する作業は、タンク内温度が所定上限温度、具体的には85℃以下で行わなければならないことが法令で規定されている。図3中の実線54で示されるように、ガスタンク18へのガス充填が進んでタンク内圧力が高くなるに連れてタンク内温度は上昇していく。タンク内温度が85℃以下の状態を保ったまま窒素充填を完了できれば問題はない。しかし、充填される窒素の温度や流量によってはタンク内圧力が設定温度に到達する前に、タンク内温度が85℃以上になることもあり得る。制御部30は、ガス充填過程においてタンク内温度を常時監視し、ステップS30において、タンク内圧力が設定圧力に到達前に85℃を超えないように液送ポンプ14の回転数制御、ならびに、気化器16の温水の流量および温度の再調整を実行する。具体例としては、液送ポンプ14の回転数を低下させて圧送される液体窒素量を減少させる、気化器16の温水の流量や温度を落として充填される窒素ガスの温度や流量を低下させる、調圧弁44の開度を小さくして充填される窒素の流量を絞る等が挙げられる。   Here, the law stipulates that the operation of filling the gas up to a high set pressure at the time of the gas leak inspection of the gas tank 18 must be performed at a tank internal temperature of a predetermined upper limit temperature, specifically 85 ° C. or less. As indicated by a solid line 54 in FIG. 3, the temperature in the tank rises as the gas filling into the gas tank 18 progresses and the pressure in the tank increases. There is no problem as long as the filling of nitrogen can be completed while keeping the temperature in the tank at 85 ° C. or lower. However, depending on the temperature and flow rate of nitrogen to be filled, the tank internal temperature may reach 85 ° C. or higher before the tank internal pressure reaches the set temperature. The controller 30 constantly monitors the temperature in the tank during the gas filling process, and in step S30, controls the number of revolutions of the liquid feed pump 14 and vaporizes so that the tank pressure does not exceed 85 ° C. before reaching the set pressure. Readjustment of the flow rate and temperature of the hot water in the vessel 16 is performed. As a specific example, the temperature and flow rate of the nitrogen gas to be filled are lowered by reducing the flow rate and temperature of the hot water in the vaporizer 16, which reduces the amount of liquid nitrogen pumped by reducing the rotational speed of the liquid feed pump 14. For example, the flow rate of nitrogen to be filled is reduced by reducing the opening of the pressure regulating valve 44.

なお、このようなステップS30における調整は、タンク内温度を監視しながらガス充填完了まで継続して行ってもよいし、あるいは、ステップS28の確認時点でのタンク内圧力、タンク内温度、それまでのガス充填量、そのときのガス経路20内の窒素の温度や圧力等に基づいて設定圧力到達時のタンク内温度を予測し、その予測温度が85℃を超えないような作動条件を選択して液送ポンプ14、気化器16および調圧弁44を制御してもよい。上記のようなタンク内温度の予測およびそれに応じた作動条件の選択は、制御部30に含まれるROM等の記憶装置に予め記憶された経験値、実験値、シュミレーション値等を参照することによって可能となる。   The adjustment in step S30 may be continuously performed until the gas filling is completed while monitoring the temperature in the tank. Alternatively, the pressure in the tank, the temperature in the tank at the time of confirmation in step S28, and so on. Based on the gas filling amount and the temperature and pressure of nitrogen in the gas path 20 at that time, the tank temperature when the set pressure is reached is predicted, and the operating condition is selected so that the predicted temperature does not exceed 85 ° C. Thus, the liquid feed pump 14, the vaporizer 16, and the pressure regulating valve 44 may be controlled. Prediction of the tank internal temperature as described above and selection of operating conditions according to the prediction can be made by referring to experience values, experimental values, simulation values, etc. stored in advance in a storage device such as a ROM included in the control unit 30. It becomes.

それから、ステップS32において、ガスタンク18内の圧力が上記設定圧力になるまで窒素の充填を継続し(図3中の時間期間t3に相当)、ステップS34において、上記設定圧力に到達したことが確認されると液送ポンプ14および気化器16を作動停止させるとともに調圧弁44を閉弁して、ガスタンク18へのガス充填を完了する。   Then, in step S32, nitrogen filling is continued until the pressure in the gas tank 18 reaches the set pressure (corresponding to the time period t3 in FIG. 3). In step S34, it is confirmed that the set pressure has been reached. Then, the liquid feed pump 14 and the vaporizer 16 are deactivated and the pressure regulating valve 44 is closed to complete the gas filling into the gas tank 18.

ガスタンク18へのガス充填が完了した後、ステップS36において、リークディテクタ34によってハウジング32内の水素濃度が所定時間t4にわたって測定され、測定結果が制御部30に入力される。制御部30は、リークディテクタ34による測定結果に基づきガスタンク18の良否を判定する。   After the gas filling of the gas tank 18 is completed, the hydrogen concentration in the housing 32 is measured over a predetermined time t4 by the leak detector 34 in step S36, and the measurement result is input to the control unit 30. The control unit 30 determines the quality of the gas tank 18 based on the measurement result by the leak detector 34.

そして、リークディテクタ34による測定が終了すると、ステップS38において、リリーフ弁50が開弁されることによってガスタンク18に充填されていた検査ガスが大気に放出される(図3中の時間期間t5に相当)。これにより、ガスタンク18のガス漏れ検査が終了する。   When the measurement by the leak detector 34 is completed, the inspection gas filled in the gas tank 18 is released to the atmosphere by opening the relief valve 50 in step S38 (corresponding to the time period t5 in FIG. 3). ). Thereby, the gas leak inspection of the gas tank 18 is completed.

上記のように、本実施形態にガス充填装置10によれば、液化ガス貯留部12から液送ポンプ14によって圧送される液体窒素を気化器16で熱交換により気化させて低温高圧の窒素ガスを発生させ、その窒素ガスをガス経路20を介してガスタンク18に設定圧力まで充填する構成としたことで、充填ガス昇圧用の圧縮機および蓄圧器や、昇圧された充填ガスを冷却するためのガス冷却器等の機器を不要とすることができ、ガス充填装置10の構成を比較的簡単なものにすることができる。これにより、ガス充填装置10およびこれを用いたガス容器検査設備1の設置スペース、設備導入費、および、設備点検維持費を低減することができる。   As described above, according to the gas filling apparatus 10 of the present embodiment, liquid nitrogen pressure-fed by the liquid feed pump 14 from the liquefied gas storage unit 12 is vaporized by heat exchange in the vaporizer 16, and low-temperature high-pressure nitrogen gas is produced. The gas tank 18 is filled with the nitrogen gas up to the set pressure through the gas path 20 so that the compressor and pressure accumulator for boosting the filling gas and the gas for cooling the boosted filling gas are used. Equipment such as a cooler can be dispensed with, and the configuration of the gas filling device 10 can be made relatively simple. Thereby, the installation space of the gas filling apparatus 10 and the gas container inspection equipment 1 using the same, the equipment introduction cost, and the equipment inspection maintenance cost can be reduced.

また、圧送された液体窒素を気化させる際に生じる約700倍という急激な体積膨張を利用して装置10内で高圧の窒素ガスを発生させることができるから、ガス圧縮機を用いることなくガスタンク18に高圧の設定圧力まで迅速にガス充填を行うことができる。   Further, since the high-pressure nitrogen gas can be generated in the apparatus 10 by utilizing the rapid volume expansion of about 700 times that occurs when the liquid nitrogen fed under pressure is vaporized, the gas tank 18 can be used without using a gas compressor. In addition, the gas can be quickly filled up to a high set pressure.

さらに、制御部30は、気化器16により気化した窒素ガスがガスタンク18内に設定圧力まで充填されるように、流量計22、温度計46、圧力計48およびタンク内ガス状態検出部28による検出結果に基づいて液送ポンプ14および気化器16の作動を制御するから、ガスタンク18の充填状況を監視しながらガス充填操作中の窒素ガスの温度や流量等を最適化することができる。   Further, the control unit 30 detects by the flow meter 22, the thermometer 46, the pressure gauge 48 and the in-tank gas state detection unit 28 so that the nitrogen gas vaporized by the vaporizer 16 is filled in the gas tank 18 to the set pressure. Since the operation of the liquid feed pump 14 and the vaporizer 16 is controlled based on the result, the temperature and flow rate of the nitrogen gas during the gas filling operation can be optimized while monitoring the filling state of the gas tank 18.

さらにまた、窒素は、市場価格が水素に比べて約半分、ヘリウムに比べて約20分の1と安価であり、このような安価な窒素がほとんどを占める混合ガスをガスタンク18の検査ガスとして用いることで、検査後にガスタンク18から放出された検査ガスを回収することなく廃棄するのを許容することができる。これにより、水素またはヘリウムだけを検査ガスとして用いてガスタンク18のガス漏れ検査を行う場合に必要であったガスタンク18内のガス置換作業が不要になり、ガスタンク18の検査時間を短縮できるとともに、ガス置換作業で発生していたガス消耗費についても解消される。   Furthermore, the market price of nitrogen is about half that of hydrogen and about one-twentieth that of helium, and such a mixed gas occupying most of nitrogen is used as an inspection gas for the gas tank 18. Thus, the inspection gas released from the gas tank 18 after the inspection can be allowed to be discarded without being collected. This eliminates the need for the gas replacement operation in the gas tank 18 which is necessary when the gas leak inspection of the gas tank 18 is performed using only hydrogen or helium as the inspection gas, and the inspection time of the gas tank 18 can be shortened and the gas can be reduced. It also eliminates the gas consumption costs that were incurred in the replacement work.

上記実施形態では、ガス充填装置をガス容器検査設備に適用した例について説明したが、本発明に係るガス充填装置はこの用途に限定されるものではなく、種々の液化ガスから気化させたガスをガス容器に設定圧力まで充填するのに広く適用可能である。   In the above embodiment, the example in which the gas filling device is applied to the gas container inspection facility has been described. However, the gas filling device according to the present invention is not limited to this application, and gas vaporized from various liquefied gases can be used. Widely applicable to filling gas containers up to set pressure.

例えば、図4に示すように、ガス充填装置10aは、燃料電池自動車2に搭載された水素タンク18aに水素を充填する水素供給ステーションにおいて用いられてもよい。このガス充填装置10aは、液化ガス貯留部12に液体水素(沸点−253℃)が貯留されていることと、検知ガス供給部42およびリリーフ弁50が設けられていないことを除いて上記実施形態のガス充填装置10と同じ構成を有しており、同一または類似の要素に同一または類似の符合を付して詳細な説明を省略する。   For example, as shown in FIG. 4, the gas filling device 10 a may be used in a hydrogen supply station that fills a hydrogen tank 18 a mounted on the fuel cell vehicle 2 with hydrogen. This gas filling apparatus 10a is the same as that in the above embodiment except that liquid hydrogen (boiling point −253 ° C.) is stored in the liquefied gas storage unit 12 and that the detection gas supply unit 42 and the relief valve 50 are not provided. The gas filling device 10 has the same configuration, and the same or similar elements are denoted by the same or similar reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

1 ガス容器検査設備、2 燃料電池自動車、10,10a ガス充填装置、12液化ガス貯留部、14 液送ポンプ、16 気化器、18 ガスタンク、18a 水素タンク、20 ガス経路、22 流量計、24 温度センサ、26 圧力センサ、28 タンク内ガス状態検出部、30 制御部、32 ハウジング、34 リークディテクタ、36 窒素流路、38 温水流路、40 温水調整部、42 検知ガス供給部、44 調圧弁、46 温度計、48 圧力計、50 リリーフ弁。   1 Gas container inspection equipment, 2 Fuel cell vehicle, 10, 10a Gas filling device, 12 Liquefied gas reservoir, 14 Liquid feed pump, 16 Vaporizer, 18 Gas tank, 18a Hydrogen tank, 20 Gas path, 22 Flow meter, 24 Temperature Sensor, 26 Pressure sensor, 28 Tank gas state detection unit, 30 Control unit, 32 Housing, 34 Leak detector, 36 Nitrogen flow channel, 38 Hot water flow channel, 40 Hot water adjustment unit, 42 Detected gas supply unit, 44 Pressure regulating valve, 46 thermometer, 48 pressure gauge, 50 relief valve.

Claims (10)

液化ガスを貯留する液化ガス貯留部と、
液化ガス貯留部から液化ガスを圧送する圧送部と、
圧送部により圧送された液化ガスを熱交換媒体との熱交換により気化させる気化器と、
気化器とガス容器との間を接続して気化器で気化したガスをガス容器に充填するためのガス経路と、
ガス経路を流れるガス流量を検出するガス流量検出部と、
ガス容器内の圧力を検出する容器内ガス状態検出部と、
気化器により気化したガスがガス容器内に設定圧力まで充填されるようにガス流量検出部および容器内ガス状態検出部による検出結果に基づいて圧送部および気化器の作動を制御する制御部と、
を備えるガス充填装置。
A liquefied gas storage section for storing liquefied gas; and
A pumping unit for pumping liquefied gas from the liquefied gas storage unit;
A vaporizer for vaporizing the liquefied gas pumped by the pumping section by heat exchange with the heat exchange medium;
A gas path for connecting the vaporizer and the gas container and filling the gas container with the gas vaporized by the vaporizer; and
A gas flow rate detection unit for detecting the flow rate of gas flowing through the gas path;
An in-container gas state detector for detecting the pressure in the gas container;
A control unit for controlling the operation of the pressure feeding unit and the vaporizer based on the detection result by the gas flow rate detection unit and the gas state detection unit in the container so that the gas vaporized by the vaporizer is filled to the set pressure in the gas container;
A gas filling device comprising:
請求項1に記載のガス充填装置において、
前記制御部からの指令に応じて前記ガス経路に検知ガスを供給する検知ガス供給部をさらに備えることを特徴とするガス充填装置。
The gas filling device according to claim 1,
A gas filling device, further comprising a detection gas supply unit that supplies a detection gas to the gas path in response to a command from the control unit.
請求項2に記載のガス充填装置において、
前記液化ガスは液体窒素であり、前記検知ガスは水素であり、前記制御部は、前記圧送部、気化器および検知ガス供給部を制御して、液化ガス貯留部から圧送部により液送される液体窒素を気化器で気化させた多量の窒素をガス容器に設定圧力まで充填する途中で、前記検知ガス供給部から供給される少量の水素をガス経路を介してガス容器に充填することを特徴とするガス充填装置。
The gas filling device according to claim 2, wherein
The liquefied gas is liquid nitrogen, the detection gas is hydrogen, and the control unit controls the pressure feeding unit, the vaporizer, and the detection gas supply unit, and is fed from the liquefied gas storage unit by the pressure feeding unit. The gas container is filled with a small amount of hydrogen supplied from the detection gas supply unit through the gas path while filling a gas container with a large amount of nitrogen obtained by vaporizing liquid nitrogen with a vaporizer to a set pressure. Gas filling device.
請求項2に記載のガス充填装置において、
前記液化ガスは液体窒素であり、前記検知ガスはヘリウムであり、前記制御部は、前記圧送部、気化器および検知ガス供給部を制御して、液化ガス貯留部から圧送部により液送される液体窒素を気化器で気化させた多量の窒素をガス容器に設定圧力まで充填するのに先立って、前記検知ガス供給部から供給される少量のヘリウムをガス経路を介してガス容器に充填することを特徴とするガス充填装置。
The gas filling device according to claim 2, wherein
The liquefied gas is liquid nitrogen, the detection gas is helium, and the control unit controls the pressure feeding unit, the vaporizer, and the detection gas supply unit, and is fed from the liquefied gas storage unit by the pressure feeding unit. Prior to filling a gas container with a large amount of nitrogen obtained by vaporizing liquid nitrogen with a vaporizer to a set pressure, the gas container is filled with a small amount of helium supplied from the detection gas supply unit via a gas path. A gas filling device characterized by the above.
請求項1に記載のガス充填装置において、
前記容器内ガス状態検出部はガス容器内の温度を検出する温度センサを含み、前記制御部は、前記温度センサによって検出される温度が所定温度を超えないように前記圧送部および気化器の作動を制御することを特徴とするガス充填装置。
The gas filling device according to claim 1,
The in-container gas state detection unit includes a temperature sensor that detects a temperature in the gas container, and the control unit operates the pumping unit and the vaporizer so that the temperature detected by the temperature sensor does not exceed a predetermined temperature. The gas filling device characterized by controlling.
請求項1または5に記載のガス充填装置において、
前記圧送部は液送ポンプからなり、前記制御部による作動制御は、前記液送ポンプについては回転数制御、前記気化器については前記熱交換媒体の流量および温度の少なくともいずれか一方の調整であることを特徴とするガス充填装置。
The gas filling device according to claim 1 or 5,
The pressure feeding unit is a liquid feeding pump, and the operation control by the control unit is rotation speed control for the liquid feeding pump, and adjustment of at least one of the flow rate and temperature of the heat exchange medium for the vaporizer. A gas filling device characterized by that.
請求項2に記載のガス充填装置において、
気密性のハウジングであって内部の検知ガス濃度を検出する検知ガス濃度検出部が設けられたハウジング内に収納された前記ガス容器に、前記液化ガスを気化させたガスと検知ガスとを設定圧力まで充填して、ガス容器からのガス漏れを検査するガス容器検査設備に適用されることを特徴とするガス充填装置。
The gas filling device according to claim 2, wherein
A gas pressure in which the liquefied gas is vaporized and a detection gas are set to a set pressure in the gas container housed in an airtight housing and provided with a detection gas concentration detection unit for detecting the detection gas concentration inside. The gas filling device is applied to a gas container inspection facility for inspecting gas leakage from the gas container.
請求項1に記載のガス充填装置において、
前記ガス経路にはガス流量調節部が設けられており、ガス流量調節部は、前記制御部からの指令に応じてガス経路を開閉または開度調節することを特徴とするガス充填装置。
The gas filling device according to claim 1,
The gas filling device according to claim 1, wherein a gas flow rate adjusting unit is provided in the gas path, and the gas flow rate adjusting unit opens or closes or adjusts an opening degree of the gas route according to a command from the control unit.
請求項5に記載のガス充填装置において、
前記ガス経路にはガス容器に充填されるガスの温度および圧力を検出する充填ガス状態検出部が設けられており、前記制御部は、前記容器内ガス状態検出部によって検出される容器内の温度および圧力と前記充填ガス状態検出部によって検出される充填ガスの温度および圧力とに基づいて前記圧送部および気化器の作動を制御することを特徴とするガス充填装置。
The gas filling device according to claim 5, wherein
The gas path is provided with a filling gas state detection unit for detecting the temperature and pressure of the gas filled in the gas container, and the control unit detects the temperature in the container detected by the in-container gas state detection unit. And a pressure and a temperature and pressure of the filling gas detected by the filling gas state detection unit to control the operation of the pumping unit and the vaporizer.
請求項1に記載のガス充填装置において、
前記液化ガスは液体水素であり、前記ガス容器は燃料電池車両に搭載された水素タンクであり、水素供給ステーションにおいて用いられることを特徴とするガス充填装置。
The gas filling device according to claim 1,
The gas filling apparatus, wherein the liquefied gas is liquid hydrogen, and the gas container is a hydrogen tank mounted on a fuel cell vehicle, and is used in a hydrogen supply station.
JP2009245371A 2009-10-26 2009-10-26 Gas filling device Expired - Fee Related JP5428755B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009245371A JP5428755B2 (en) 2009-10-26 2009-10-26 Gas filling device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009245371A JP5428755B2 (en) 2009-10-26 2009-10-26 Gas filling device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011089620A true JP2011089620A (en) 2011-05-06
JP5428755B2 JP5428755B2 (en) 2014-02-26

Family

ID=44108047

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009245371A Expired - Fee Related JP5428755B2 (en) 2009-10-26 2009-10-26 Gas filling device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5428755B2 (en)

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012167767A (en) * 2011-02-16 2012-09-06 Iwatani Internatl Corp Apparatus and method for supplying fuel hydrogen gas
JP2013228239A (en) * 2012-04-25 2013-11-07 Toyota Motor Corp Gas filling device, gas tank inspection device, and gas tank inspection method
JP2013228022A (en) * 2012-04-25 2013-11-07 Toyota Motor Corp Gas tank inspection device and gas tank inspection method
JP2013228021A (en) * 2012-04-25 2013-11-07 Toyota Motor Corp Gas tank inspection device and method
JP2013228019A (en) * 2012-04-25 2013-11-07 Toyota Motor Corp Gas filling device, gas tank inspection device and gas tank inspection method
JP2014055600A (en) * 2012-09-11 2014-03-27 Toyota Motor Corp Gas filling device and gas filling method
JP2014118996A (en) * 2012-12-14 2014-06-30 Toyota Motor Corp High-pressure tank inspection method
KR101486549B1 (en) 2013-01-31 2015-01-23 가스켐 테크놀로지 (주) System for automatically charging and controlling the gas for industry
JP2015108399A (en) * 2013-12-04 2015-06-11 トヨタ自動車株式会社 Method of manufacturing high-pressure tank
JP2015165247A (en) * 2015-06-10 2015-09-17 トヨタ自動車株式会社 Gas filling device, gas tank inspection device, and gas tank inspection method
US20180354087A1 (en) * 2015-06-25 2018-12-13 Accu-Svenska Ab Lubrication and cooling device and a method for lubricating and cooling a work piece
JP2019027474A (en) * 2017-07-27 2019-02-21 トヨタ自動車株式会社 Gas tank inspection device
KR101991392B1 (en) * 2017-12-26 2019-06-20 주식회사 포스코 Cryogenic liquefied gas loading and unloading performance evaluation system and method
CN110925594A (en) * 2019-11-05 2020-03-27 上海意内西机械制造有限公司 Nitrogen vaporization system and method for improving vaporization rate of nitrogen vaporizer
WO2020138425A1 (en) * 2018-12-27 2020-07-02 株式会社キッツ Search gas mixing method
JP2020182900A (en) * 2019-05-07 2020-11-12 日本エア・リキード合同会社 Supply system of gas for high pressure gas atomizer
CN113137567A (en) * 2020-01-16 2021-07-20 蔡孟学 Residual gas recovery method for high-purity inorganic compound dichlorosilane subpackaging storage container
CN113137563A (en) * 2020-01-16 2021-07-20 蔡孟学 Filling method of high-purity inorganic compound dichlorosilane subpackaging storage container
CN113984304A (en) * 2021-12-28 2022-01-28 河南氢枫能源技术有限公司 Hydrogen energy equipment test system and test method
JP2022084066A (en) * 2020-11-26 2022-06-07 大陽日酸株式会社 Storage tank inner pressure holding method during liquid helium transfer, and device
CN114608766A (en) * 2022-05-12 2022-06-10 河南豫氢动力有限公司 Fuel cell air tightness detection device and detection method thereof
US11387787B2 (en) 2017-04-28 2022-07-12 Burmester Audiosysteme Gmbh Signal amplifier circuit, voltage converter and system
CN116518298A (en) * 2023-06-29 2023-08-01 浙江大学 Hydrogenation station based on low-temperature high-pressure graded hydrogen storage and hydrogen filling method thereof

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106370351B (en) * 2016-08-24 2018-09-21 宁波三星智能电气有限公司 A kind of test experience case for electric automobile charging pile
DE202018100884U1 (en) 2018-02-16 2018-11-19 Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch die Bundesministerin für Wirtschaft und Energie, diese vertreten durch den Präsidenten der Bundesanstalt für Materialforschung und-prüfung (BAM) Apparatus for filling gas reservoirs
CN111412381A (en) * 2020-03-19 2020-07-14 上海航天精密机械研究所 Automatic control device and method for charging and discharging gas of rocket gas bottle

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5321072A (en) * 1976-08-11 1978-02-27 Hitachi Ltd Method and apparatus for production of mixed gas
JPH02298328A (en) * 1989-04-28 1990-12-10 L'air Liquide Method and device for supplying high pressure mixed gas
US5479966A (en) * 1993-07-26 1996-01-02 Consolidated Natural Gas Service Company, Inc. Quick fill fuel charge process
DE19744320A1 (en) * 1997-10-08 1999-04-22 Messer Griesheim Gmbh Diver's breathing gas
JP2000002615A (en) * 1998-06-16 2000-01-07 Ikuno Seisakusho:Kk Method for inspecting airtightness of high-pressure gas container and its device
JP2008196590A (en) * 2007-02-13 2008-08-28 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Hydrogen supply station

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5321072A (en) * 1976-08-11 1978-02-27 Hitachi Ltd Method and apparatus for production of mixed gas
JPH02298328A (en) * 1989-04-28 1990-12-10 L'air Liquide Method and device for supplying high pressure mixed gas
US5479966A (en) * 1993-07-26 1996-01-02 Consolidated Natural Gas Service Company, Inc. Quick fill fuel charge process
DE19744320A1 (en) * 1997-10-08 1999-04-22 Messer Griesheim Gmbh Diver's breathing gas
JP2000002615A (en) * 1998-06-16 2000-01-07 Ikuno Seisakusho:Kk Method for inspecting airtightness of high-pressure gas container and its device
JP2008196590A (en) * 2007-02-13 2008-08-28 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Hydrogen supply station

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012167767A (en) * 2011-02-16 2012-09-06 Iwatani Internatl Corp Apparatus and method for supplying fuel hydrogen gas
JP2013228239A (en) * 2012-04-25 2013-11-07 Toyota Motor Corp Gas filling device, gas tank inspection device, and gas tank inspection method
JP2013228022A (en) * 2012-04-25 2013-11-07 Toyota Motor Corp Gas tank inspection device and gas tank inspection method
JP2013228021A (en) * 2012-04-25 2013-11-07 Toyota Motor Corp Gas tank inspection device and method
JP2013228019A (en) * 2012-04-25 2013-11-07 Toyota Motor Corp Gas filling device, gas tank inspection device and gas tank inspection method
JP2014055600A (en) * 2012-09-11 2014-03-27 Toyota Motor Corp Gas filling device and gas filling method
JP2014118996A (en) * 2012-12-14 2014-06-30 Toyota Motor Corp High-pressure tank inspection method
KR101486549B1 (en) 2013-01-31 2015-01-23 가스켐 테크놀로지 (주) System for automatically charging and controlling the gas for industry
JP2015108399A (en) * 2013-12-04 2015-06-11 トヨタ自動車株式会社 Method of manufacturing high-pressure tank
JP2015165247A (en) * 2015-06-10 2015-09-17 トヨタ自動車株式会社 Gas filling device, gas tank inspection device, and gas tank inspection method
US20180354087A1 (en) * 2015-06-25 2018-12-13 Accu-Svenska Ab Lubrication and cooling device and a method for lubricating and cooling a work piece
US11387787B2 (en) 2017-04-28 2022-07-12 Burmester Audiosysteme Gmbh Signal amplifier circuit, voltage converter and system
JP2019027474A (en) * 2017-07-27 2019-02-21 トヨタ自動車株式会社 Gas tank inspection device
KR101991392B1 (en) * 2017-12-26 2019-06-20 주식회사 포스코 Cryogenic liquefied gas loading and unloading performance evaluation system and method
WO2020138425A1 (en) * 2018-12-27 2020-07-02 株式会社キッツ Search gas mixing method
JP2020182900A (en) * 2019-05-07 2020-11-12 日本エア・リキード合同会社 Supply system of gas for high pressure gas atomizer
CN110925594A (en) * 2019-11-05 2020-03-27 上海意内西机械制造有限公司 Nitrogen vaporization system and method for improving vaporization rate of nitrogen vaporizer
CN113137567A (en) * 2020-01-16 2021-07-20 蔡孟学 Residual gas recovery method for high-purity inorganic compound dichlorosilane subpackaging storage container
CN113137563A (en) * 2020-01-16 2021-07-20 蔡孟学 Filling method of high-purity inorganic compound dichlorosilane subpackaging storage container
JP2022084066A (en) * 2020-11-26 2022-06-07 大陽日酸株式会社 Storage tank inner pressure holding method during liquid helium transfer, and device
JP7265516B2 (en) 2020-11-26 2023-04-26 大陽日酸株式会社 METHOD AND DEVICE FOR HOLDING PRESSURE IN STORAGE TANK WHEN TRANSFERRING LIQUID HELIUM
CN113984304A (en) * 2021-12-28 2022-01-28 河南氢枫能源技术有限公司 Hydrogen energy equipment test system and test method
CN114608766A (en) * 2022-05-12 2022-06-10 河南豫氢动力有限公司 Fuel cell air tightness detection device and detection method thereof
CN114608766B (en) * 2022-05-12 2022-07-26 河南豫氢动力有限公司 Fuel cell air tightness detection device and detection method thereof
CN116518298A (en) * 2023-06-29 2023-08-01 浙江大学 Hydrogenation station based on low-temperature high-pressure graded hydrogen storage and hydrogen filling method thereof
CN116518298B (en) * 2023-06-29 2023-10-10 浙江大学 Hydrogenation station based on low-temperature high-pressure graded hydrogen storage and hydrogen filling method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JP5428755B2 (en) 2014-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5428755B2 (en) Gas filling device
KR102330773B1 (en) Ship
TWI500876B (en) Gas supplying apparatus, cylinder cabinet provided with the same, valve box, and substrate process apparatus
US5537828A (en) Cryogenic pump system
JP2005517144A (en) Method for uninterrupted supply of fluid supercooled carbon dioxide at a constant pressure above 40 bar and system for application of the method
JP2021098516A (en) Space environment testing device and liquid nitrogen recovery method of the same
KR20150063261A (en) Fuel gas supply system and vessel with the same
JP5236932B2 (en) Low temperature liquefied gas supply method and apparatus
KR20110021526A (en) Regasification unit of liquefied natural gas
JP2008281495A (en) Air-tight test system and method therfor
KR20180046144A (en) Carbon dioxide emission apparatus and emission method of submarine having fuel reformer
JP2015025467A (en) Cryogenic tank opening method
RU2756169C1 (en) Method for cryogenic strength testing of hydrogen tank in cryostat
JP2009133438A (en) High-pressure liquefied gas storage vaporization device and high-pressure liquefied gas storage vaporization method
JP5775486B2 (en) Gas tank inspection device and gas tank inspection method
JP2008196523A (en) Liquid nitrogen supply device
JP2012251606A (en) Liquefied hydrogen storage supply equipment
KR100753264B1 (en) System and method for refueling lng without power
JP5090823B2 (en) Liquid gas delivery method
JP2018141618A (en) Cooling method, cooling device, and temperature control module for the same
JPH08128596A (en) Gas evaporator and gas supplying method
KR101610475B1 (en) A Maintenance System and Method of Tank
RU2808942C1 (en) Method for cryogenic strength testing of tank in cryostat
KR20130119368A (en) Pressure adjustment system for cryostat
RU2780119C1 (en) Cryogenic gasification plant

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20111222

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130222

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130305

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130422

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131105

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131118

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5428755

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees