JP2011088775A - 複合ルツボ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複合ルツボ10は、ルツボの基本材料としてムライト(3Al2O3・2SiO2)を用いており、アルミナとシリカを主成分とする組成物を焼結して得られるムライト質なルツボ本体11と、ルツボ本体11の内表面側に形成された透明石英ガラス層12とを備え、透明石英ガラス層12の厚さはルツボ本体11の厚さよりも薄く、ルツボ本体11の外表面には主として針状又は柱状のムライト結晶から構成される多孔質層11aが形成されている。多孔質層11aは、ルツボ本体11の外表面をアルカリ水溶液で処理し、主としてガラス相からなるマトリックスを溶出することにより形成される。
【選択図】図1
Description
図1に示す複合ルツボのサンプルA1を用意した。ルツボのサイズは、直径16インチ(口径約400mm)、高さ254mm、肉厚は直銅部で7mm、湾曲部で8.5mmm、底部で8.5mmとした。直胴部における透明石英ガラス層の厚さは0.5mmとし、直胴部におけるルツボ本体の厚さは6.5mmとした。さらに、ルツボの外表面をアルカリ水溶液で処理することで、主としてガラス相からなるマトリックスを溶出し、ムライト結晶を主な構成要素とする多孔質層を形成した。多孔質層の平均厚さは約2mmであった。また、多孔質層形成前のルツボサンプルA1の重量は5.9kgであり、多孔質層形成後の重量は5.3kgであった。次に、ルツボサンプルA1を炉内で長時間加熱し続け、ルツボの変形状態を確認した。加熱温度は1500℃、加熱時間は120時間とした。その結果を表1に示す。
内層が透明石英ガラス層、外層が不透明石英ガラス層で構成された一般的な石英ガラスルツボのサンプルB1を用意した。ルツボのサイズは、直径16インチ(口径約400mm)、高さ254mm、肉厚は直銅部で7mm、湾曲部で8.5mmm、底部で8.5mmであった。直胴部の透明石英ガラス層の厚さは0.5mmとし、直胴部の不透明石英ガラス層の厚さは6.5mmとした。次に、それらを炉内で長時間加熱し続け、ルツボの変形状態を確認した。上記実施例と同様、加熱温度は1500℃、加熱時間は120時間とした。その結果を表2に示す。
ルツボの外表面近傍に高濃度のAl含有層が形成された点以外は上記ルツボサンプルB1と同一構成を有する石英ガラスルツボ(Al強化石英ガラスルツボ)のサンプルB2を用意した。Al含有層の厚さは直胴部において0.5mmとし、そのAl濃度は100ppmとした。なお、Al含有層は不透明石英ガラス層の外表面近傍に形成された層であり、不透明石英ガラス層の一部である。次に、それらを炉内で長時間加熱し続け、ルツボの変形状態を確認した。上記実施例と同様、加熱温度は1500℃、加熱時間は120時間とした。その結果を表2に示す。
10A 直胴部
10B 底部
10C 湾曲部
11 ムライト質ルツボ本体
11a 多孔質層
12 透明石英ガラス層
13 不透明石英ガラス層
Claims (6)
- 直胴部及び底部を有し、シリコン融液を支持するための複合ルツボであって、
アルミナとシリカを主成分とする組成物を焼結して得られるムライト質なルツボ本体と、前記ルツボ本体の内表面側に形成された透明石英ガラス層とを備え、
前記透明石英ガラス層の厚さは前記ルツボ本体の厚さよりも薄く、
前記ルツボ本体の外表面には主として針状又は柱状のムライト結晶から構成される多孔質層が形成されていることを特徴とする複合ルツボ。 - 前記ルツボ本体の厚さは5mm以上であり、透明石英ガラス層の厚さは0.5mm以上であって前記ルツボ本体の厚さよりも薄いことを特徴とする請求項1に記載の複合ルツボ。
- 前記ルツボ本体に含まれるアルミニウムの濃度は、外表面側から内表面側に向かって低下する濃度勾配を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の複合ルツボ。
- 前記ルツボ本体と前記透明石英ガラス層との間に設けられた多数の微小な気泡を含む不透明石英ガラス層をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の複合ルツボ。
- 直胴部及び底部を有し、シリコン融液を支持するための複合ルツボの製造方法であって、
アルミナとシリカを主成分とする組成物を焼結することによりムライト質なルツボ本体を形成する工程と、
前記ルツボ本体の外表面をアルカリ水溶液で処理することで、主としてガラス相からなるマトリックスを溶出し、前記ムライト結晶を主な構成要素とする多孔質層を形成する工程と、
前記ルツボ本体の内表面に透明石英ガラス層を形成する工程とを備えることを特徴とする複合ルツボの製造方法。 - 前記透明石英ガラス層を形成する前に、前記ルツボ本体の内表面側に多数の微小な気泡を含む不透明石英ガラス層を溶射法により形成することを特徴とする請求項5に記載の複合ルツボの製造方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011088776A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Japan Siper Quarts Corp | 複合ルツボ及びその製造方法 |
CN107032771A (zh) * | 2017-03-17 | 2017-08-11 | 邹亚静 | 一种石英陶瓷坩埚的制造方法 |
WO2019133525A1 (en) * | 2017-12-29 | 2019-07-04 | Corner Star Limited | Synthetic lined crucible assembly for czochralski crystal growth |
JP2020105071A (ja) * | 2016-09-13 | 2020-07-09 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボ |
WO2024090073A1 (ja) * | 2022-10-25 | 2024-05-02 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びこれを用いたシリコン単結晶の製造方法 |
TWI847971B (zh) | 2017-12-29 | 2024-07-11 | 香港商各星有限公司 | 用於柴可斯基(Czochralski)晶體成長之合成加襯坩鍋組件 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61259778A (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-18 | Onoda Cement Co Ltd | 複ト−チ型プラズマ溶射方法及びその装置 |
JPH01153579A (ja) * | 1987-11-07 | 1989-06-15 | Nagasaki Pref Gov | ムライト質多孔体の製造方法 |
JPH09235144A (ja) * | 1996-02-29 | 1997-09-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 半導体製造装置用材料及びその製造方法 |
JPH09255476A (ja) * | 1996-03-18 | 1997-09-30 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼ及びその製造方法 |
JPH11209133A (ja) * | 1998-01-23 | 1999-08-03 | Mitsubishi Materials Corp | 透明シリカガラス体とその製造方法 |
JP2000247778A (ja) * | 1999-02-25 | 2000-09-12 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラスルツボおよびその製造方法ならびにこれを用いたシリコン単結晶の引上げ方法 |
JP2004531449A (ja) * | 2001-03-23 | 2004-10-14 | ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | 石英ガラスの構成材およびその製造方法 |
JP2011088776A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Japan Siper Quarts Corp | 複合ルツボ及びその製造方法 |
-
2009
- 2009-10-22 JP JP2009243243A patent/JP5128570B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61259778A (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-18 | Onoda Cement Co Ltd | 複ト−チ型プラズマ溶射方法及びその装置 |
JPH01153579A (ja) * | 1987-11-07 | 1989-06-15 | Nagasaki Pref Gov | ムライト質多孔体の製造方法 |
JPH09235144A (ja) * | 1996-02-29 | 1997-09-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 半導体製造装置用材料及びその製造方法 |
JPH09255476A (ja) * | 1996-03-18 | 1997-09-30 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼ及びその製造方法 |
JPH11209133A (ja) * | 1998-01-23 | 1999-08-03 | Mitsubishi Materials Corp | 透明シリカガラス体とその製造方法 |
JP2000247778A (ja) * | 1999-02-25 | 2000-09-12 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラスルツボおよびその製造方法ならびにこれを用いたシリコン単結晶の引上げ方法 |
JP2004531449A (ja) * | 2001-03-23 | 2004-10-14 | ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | 石英ガラスの構成材およびその製造方法 |
JP2011088776A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Japan Siper Quarts Corp | 複合ルツボ及びその製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011088776A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Japan Siper Quarts Corp | 複合ルツボ及びその製造方法 |
JP2020105071A (ja) * | 2016-09-13 | 2020-07-09 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボ |
CN107032771A (zh) * | 2017-03-17 | 2017-08-11 | 邹亚静 | 一种石英陶瓷坩埚的制造方法 |
WO2019133525A1 (en) * | 2017-12-29 | 2019-07-04 | Corner Star Limited | Synthetic lined crucible assembly for czochralski crystal growth |
CN111527241A (zh) * | 2017-12-29 | 2020-08-11 | 各星有限公司 | 用于直拉晶体生长的合成衬里坩埚组件 |
TWI847971B (zh) | 2017-12-29 | 2024-07-11 | 香港商各星有限公司 | 用於柴可斯基(Czochralski)晶體成長之合成加襯坩鍋組件 |
WO2024090073A1 (ja) * | 2022-10-25 | 2024-05-02 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びこれを用いたシリコン単結晶の製造方法 |
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