JP2011078858A - Method for generating microbubble and microbubble generator - Google Patents

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JP2011078858A JP2009230655A JP2009230655A JP2011078858A JP 2011078858 A JP2011078858 A JP 2011078858A JP 2009230655 A JP2009230655 A JP 2009230655A JP 2009230655 A JP2009230655 A JP 2009230655A JP 2011078858 A JP2011078858 A JP 2011078858A
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microbubble
microbubbles
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Teruo Shinbara
照男 榛原
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for generating microbubbles which can inhibit the deterioration of microbubble generation efficiency, regardless of the form of a construction downstream from a microbubble generation part which can make a generation of the microbubble in a liquid of a liquid retaining container under no exposure to an atmosphere, as well as a microbubble generator. <P>SOLUTION: The microbubble generator 1 is equipped with a pressure reduction means 14, and the pressure reduction means 14 includes a bypass pipe 15 arranged between a conduit 4 and a return pipe 6, and a flow rate control valve 16, for regulating the flow rate of a liquid flowing through the bypass pipe 15, which is installed in the bypass pipe 15. In addition, the bypass pipe 15 has one end communicating with the conduit 4 at the downstream side of a flow rate control valve 8 and the other end communicating with the return pipe 6 at the upstream side of a flow rate control valve 9. The liquid flowing through the bypass pipe 15 becomes a confluent flow with the liquid which flows through the conduit 4 originating from a liquid retaining container 2, and consequently, the flow velocity of the liquid flowing through the conduit 4 is accelerated. Thus the internal pressure of the liquid retaining container 2 drops, and in turn, the pressure of a bubble generating region R lowers. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、マイクロバブル生成方法及びマイクロバブル生成装置に関する。   The present invention relates to a microbubble generation method and a microbubble generation apparatus.

近年、マイクロバブルは、産業洗浄、水質浄化、魚介類の養殖、水耕栽培、船底の流体抵抗の低減等、広い分野で利用されている。マイクロバブルは、マイクロバブル生成装置により生成される。マイクロバブル生成装置は一般に、供給される液体と気体から噴出する液体中にマイクロバブルを生成するマイクロバブル生成部と、マイクロバブル生成部が取り付けられた液体を収容する容器とを備え、マイクロバブル生成部により、容器内の液体中にマイクロバブルが形成される（例えば、非特許文献１参照）。   In recent years, microbubbles have been used in a wide range of fields such as industrial cleaning, water purification, seafood culture, hydroponics, and reduction of ship bottom fluid resistance. Microbubbles are generated by a microbubble generator. A microbubble generator generally includes a microbubble generator that generates microbubbles in a liquid that is supplied and a liquid that is ejected from a gas, and a container that contains the liquid to which the microbubble generator is attached, and generates microbubbles. The part forms microbubbles in the liquid in the container (see, for example, Non-Patent Document 1).

従来のマイクロバブル生成装置として、マイクロバブル生成部と、マイクロバブル生成部が取り付けられた大気に開放されていない液体保持容器と、液体保持容器に連通する導管とを有するマイクロバブル生成装置がある。液体保持容器にはバッファタンクや配管チューブがある。このマイクロバブル生成装置においては、マイクロバブル生成部によって液体保持容器の液体中にマイクロバブルが生成され、生成されたマイクロバブルが導管を介して外部に導かれる。   As a conventional microbubble generating device, there is a microbubble generating device having a microbubble generating unit, a liquid holding container not opened to the atmosphere to which the microbubble generating unit is attached, and a conduit communicating with the liquid holding container. The liquid holding container includes a buffer tank and a piping tube. In this microbubble generating device, microbubbles are generated in the liquid in the liquid holding container by the microbubble generating unit, and the generated microbubbles are guided to the outside through a conduit.

柘植秀樹監修「マイクロバブル・ナノバブルの最新技術」シーエムシー出版、２００７年９月５日Supervised by Hideki Tsuge, “The latest technology of microbubbles and nanobubbles”, CMC Publishing, September 5, 2007

しかしながら、上述のようなマイクロバブル生成装置においては、導管が長い場合や導管が細い場合、または、導管等のマイクロバブル生成部より下流の配管にフィルター等が設けられている場合、マイクロバブルの生成効率が低下するという問題があった。   However, in the above-described microbubble generating device, when the conduit is long or when the conduit is thin, or when a filter or the like is provided in a pipe downstream from the microbubble generating section such as the conduit, the microbubble is generated. There was a problem that efficiency decreased.

このように、マイクロバブル生成部が取り付けられた大気に開放されていない液体保持容器を備えるマイクロバブル生成装置においては、マイクロバブル生成部より下流側、特に液体保持容器より下流側の構成形態により、マイクロバブルの生成効率が低下するという問題があった。   As described above, in the microbubble generating device including the liquid holding container that is not open to the atmosphere to which the microbubble generating unit is attached, the configuration form downstream from the microbubble generating unit, particularly the downstream side from the liquid holding container, There was a problem that the generation efficiency of microbubbles was reduced.

本発明は、マイクロバブル生成部が大気に開放されていない液体保持容器内の液体中にマイクロバブルを生成するマイクロバブル生成方法及びマイクロバブル生成装置において、マイクロバブル生成部より下流側の構成形態に拘らず、マイクロバブルの生成効率の低下を防止することができるマイクロバブル生成方法及びマイクロバブル生成装置を提供することにある。   The present invention relates to a microbubble generating method and a microbubble generating device for generating microbubbles in a liquid in a liquid holding container whose microbubble generating unit is not open to the atmosphere. Regardless, it is an object of the present invention to provide a microbubble generation method and a microbubble generation apparatus that can prevent a decrease in generation efficiency of microbubbles.

上記目的を達成するために、本発明に係るマイクロバブル生成方法は、導管に連通する大気に開放されていない液体保持容器内の液体中にマイクロバブル生成部によってマイクロバブルを生成して前記導管を介して前記生成したマイクロバブルを導出するマイクロバブル生成方法であって、前記液体中において、前記マイクロバブル生成部によってマイクロバブルが生成される生成領域の圧力が不適切に高くなった場合に前記生成領域の圧力を下げて適切な圧力に調整することを特徴とする。   In order to achieve the above object, a microbubble generating method according to the present invention generates microbubbles in a liquid in a liquid holding container that is not open to the atmosphere communicating with a conduit by a microbubble generator, and A microbubble generation method for deriving the generated microbubbles through the generation when the pressure in the generation region where the microbubbles are generated by the microbubble generator is inappropriately increased in the liquid It is characterized in that the pressure in the region is lowered and adjusted to an appropriate pressure.

好ましくは、前記導管における前記液体保持容器からの液体の流れに他の液体の流れを合流させることにより、前記生成領域の圧力を下げる。   Preferably, the pressure of the production region is lowered by combining the flow of another liquid with the flow of liquid from the liquid holding container in the conduit.

より好ましくは、マイクロバブルの生成状況に応じて前記他の液体の流れの流量を制御する。   More preferably, the flow rate of the flow of the other liquid is controlled according to the generation state of the microbubbles.

また、好ましくは、吸引ポンプによって前記導管を介して前記液体保持容器内の液体を吸引することにより、前記生成領域の圧力を下げる。   Preferably, the pressure in the generation region is reduced by sucking the liquid in the liquid holding container through the conduit with a suction pump.

より好ましくは、マイクロバブルの生成状況に応じて前記吸引する液体の流量を制御する。   More preferably, the flow rate of the liquid to be sucked is controlled according to the generation state of microbubbles.

上記目的を達成するために、本発明に係るマイクロバブル生成装置は、大気に開放されていない液体を保持する液体保持容器と、前記液体保持容器内の液体中にマイクロバブルを生成するマイクロバブル生成部と、前記液体保持容器に連通し前記生成されたマイクロバブルを前記液体保持容器から導出する導管とを備えるマイクロバブル生成装置において、前記液体中において、前記マイクロバブル生成部によってマイクロバブルが生成される生成領域の圧力が不適切に高くなった場合に前記生成領域の圧力を下げて適切な圧力に調整する減圧手段を備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a microbubble generating apparatus according to the present invention includes a liquid holding container that holds a liquid that is not open to the atmosphere, and a microbubble generating that generates microbubbles in the liquid in the liquid holding container. In the microbubble generating device, the microbubbles are generated in the liquid by the microbubble generating unit. The microbubble generating device includes a section and a conduit that communicates with the liquid holding container and guides the generated microbubbles from the liquid holding container. When the pressure of the production | generation area | region which becomes high becomes improperly high, the pressure reduction means which lowers | hangs the pressure of the said production | generation area | region and adjusts to an appropriate pressure is provided.

好ましくは、前記減圧手段は、前記導管における前記液体保持容器からの液体の流れに他の液体の流れを合流させる、前記導管に連通するバイパス管である。   Preferably, the depressurizing means is a bypass pipe communicating with the conduit for joining another liquid flow to the liquid flow from the liquid holding container in the conduit.

より好ましくは、マイクロバブルの生成状況に応じて前記他の液体の流れの流量を制御するための流量制御弁を前記バイパス管に備える。   More preferably, the bypass pipe is provided with a flow rate control valve for controlling the flow rate of the other liquid flow according to the generation state of the microbubbles.

また、好ましくは、前記減圧手段は、前記導管に接続された吸引ポンプである。   Preferably, the pressure reducing means is a suction pump connected to the conduit.

より好ましくは、マイクロバブルの生成状況に応じて前記ポンプの前記吸引する液体の流量を制御するための吸込み流量制御装置を備える。   More preferably, a suction flow rate control device is provided for controlling the flow rate of the liquid to be sucked by the pump according to the generation state of microbubbles.

本発明に係るマイクロバブル生成方法によれば、液体保持容器内の液体中において、マイクロバブル生成部によってマイクロバブルが生成される生成領域の圧力が不適切に高くなった場合に、生成領域の圧力を下げて適切な圧力に調整することができるので、マイクロバブル生成部より下流側の装置の構成形態に拘らず、マイクロバブルの生成領域の圧力を適切な圧力に調整することができ、マイクロバブルの生成効率が低下することを防止することができる。   According to the microbubble generation method according to the present invention, when the pressure of the generation region where the microbubbles are generated by the microbubble generation unit is inappropriately increased in the liquid in the liquid holding container, the pressure of the generation region Can be adjusted to an appropriate pressure, so that the pressure in the microbubble generation region can be adjusted to an appropriate pressure regardless of the configuration form of the device downstream from the microbubble generation unit. It can prevent that the production | generation efficiency of is reduced.

また、本発明に係るマイクロバブル生成方法によれば、導管における液体保持容器からの液体の流れに他の液体の流れを合流させることにより、導管における液体の流速を速め、アスピレータと同様の効果により下流側のマイクロバブルの生成領域の圧力を下げるので、マイクロバブルの生成領域の圧力をより適確に適切な圧力に調整することができ、マイクロバブルの生成効率が低下することをより効果的に防止することができる。   Further, according to the microbubble generating method according to the present invention, the flow rate of the liquid in the conduit is increased by merging the flow of the other liquid with the flow of the liquid from the liquid holding container in the conduit, and the effect similar to that of the aspirator. Since the pressure in the microbubble generation region on the downstream side is lowered, the pressure in the microbubble generation region can be adjusted more appropriately to an appropriate pressure, and it is more effective that the generation efficiency of microbubbles is reduced. Can be prevented.

また、本発明に係るマイクロバブル生成方法によれば、導管に合流する他の液体の流れの流量をマイクロバブルの生成状況に応じて制御するので、マイクロバブルの生成状況に応じて、より適切にマイクロバブルの生成効率の低下を防止することができる。   In addition, according to the microbubble generation method according to the present invention, the flow rate of the flow of the other liquid that joins the conduit is controlled according to the generation state of the microbubbles, and thus more appropriately according to the generation state of the microbubbles. A reduction in the generation efficiency of microbubbles can be prevented.

また、本発明に係るマイクロバブル生成方法によれば、吸引ポンプによって導管を介して液体保持容器内の液体を吸引することにより、マイクロバブルの生成領域の圧力を下げるので、マイクロバブルの生成領域の圧力をより適切に適切な圧力に調整することができ、マイクロバブルの生成効率が低下することをより効果的に防止することができる。   Further, according to the microbubble generation method according to the present invention, the pressure in the microbubble generation region is reduced by sucking the liquid in the liquid holding container through the conduit by the suction pump. The pressure can be adjusted more appropriately to an appropriate pressure, and a reduction in the generation efficiency of microbubbles can be more effectively prevented.

また、本発明に係るマイクロバブル生成方法によれば、マイクロバブルの生成状況に応じて吸引する液体の流量を制御するので、マイクロバブルの生成状況に応じて、より適切にマイクロバブルの生成効率の低下を防止することができる。   In addition, according to the microbubble generation method according to the present invention, the flow rate of the liquid to be sucked is controlled according to the generation state of the microbubbles. Therefore, the generation efficiency of the microbubbles can be more appropriately determined according to the generation state of the microbubbles. A decrease can be prevented.

本発明に係るマイクロバブル生成装置によれば、減圧手段により、液体保持容器内の液体中において、マイクロバブル生成部によってマイクロバブルが生成される生成領域の圧力が不適切に高くなった場合に、生成領域の圧力を下げて適切な圧力に調整することができるので、マイクロバブル生成部より下流側の構成形態に拘らず、マイクロバブルの生成領域の圧力を適切な圧力に調整することができ、マイクロバブルの生成効率が低下することを防止することができる。   According to the microbubble generating device according to the present invention, when the pressure in the generation region where the microbubbles are generated by the microbubble generating unit is inappropriately increased in the liquid in the liquid holding container by the decompression unit, Since the pressure of the generation region can be reduced and adjusted to an appropriate pressure, the pressure of the generation region of the microbubble can be adjusted to an appropriate pressure regardless of the configuration form downstream from the microbubble generation unit, It can prevent that the production | generation efficiency of microbubble falls.

また、本発明に係るマイクロバブル生成装置によれば、上記減圧手段が導管に連通するバイパス管であるので、導管における液体保持容器からの液体の流れに他の液体の流れを合流させることができ、導管における液体の流速を速め、アスピレータと同様の効果により下流側のマイクロバブルの生成領域の圧力を下げるので、マイクロバブルの生成領域の圧力をより適確に適切な圧力に調整することができ、マイクロバブルの生成効率が低下することをより効果的に防止することができる。   Further, according to the microbubble generating device according to the present invention, since the pressure reducing means is a bypass pipe communicating with the conduit, the flow of other liquid can be merged with the flow of liquid from the liquid holding container in the conduit. Because the flow rate of liquid in the conduit is increased and the pressure in the microbubble generation area downstream is reduced by the same effect as the aspirator, the pressure in the microbubble generation area can be adjusted to a more appropriate pressure. Further, it is possible to more effectively prevent the generation efficiency of microbubbles from decreasing.

また、本発明に係るマイクロバブル生成装置によれば、流量制御弁により導管に合流する他の液体の流れの流量をマイクロバブルの生成状況に応じて制御することができるので、マイクロバブルの生成状況に応じて、より適切にマイクロバブルの生成効率の低下を防止することができる。   Further, according to the microbubble generating device according to the present invention, the flow rate of the other liquid that joins the conduit by the flow rate control valve can be controlled according to the microbubble generation status, so the microbubble generation status Accordingly, it is possible to more appropriately prevent the generation efficiency of microbubbles from being lowered.

また、本発明に係るマイクロバブル生成装置によれば、上記減圧手段が、導管に接続された吸引ポンプであるので、マイクロバブルの生成領域の圧力をより適確に適切な圧力に調整することができ、マイクロバブルの生成効率が低下することをより効果的に防止することができる。   Further, according to the microbubble generating device according to the present invention, since the pressure reducing means is a suction pump connected to the conduit, the pressure in the microbubble generating region can be adjusted more appropriately to an appropriate pressure. It is possible to more effectively prevent the generation efficiency of microbubbles from decreasing.

また、本発明に係るマイクロバブル生成装置によれば、吸込み流量制御装置により、マイクロバブルの生成状況に応じて吸引する液体の流量を制御することができるので、マイクロバブルの生成状況に応じて、より適切にマイクロバブルの生成効率の低下を防止することができる。   Further, according to the microbubble generating device according to the present invention, the suction flow rate control device can control the flow rate of the liquid to be sucked according to the microbubble generation status, so according to the microbubble generation status, It is possible to prevent the generation efficiency of microbubbles from being lowered more appropriately.

本発明の第１の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the microbubble production | generation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 図１のマイクロバブル生成装置の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the microbubble production | generation apparatus of FIG. 本発明の第２の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the microbubble production | generation apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 図３のマイクロバブル生成装置の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the microbubble production | generation apparatus of FIG. 比較例２のマイクロバブル生成装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the microbubble production | generation apparatus of the comparative example 2. FIG.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意研究を行った結果、特に、マイクロバブル生成部が取り付けられた大気に開放されていない液体を保持する液体保持容器を有するマイクロバブル生成装置において、マイクロバブル生成部より下流側の構成態様に拘らず、液体保持容器内の液体中において、マイクロバブル生成部によってマイクロバブルが生成される生成領域の圧力を下げることにより、具体的には、不適切に高くなった生成領域の圧力を下げて適切な圧力に調整することにより、マイクロバブルの生成効率が低下することを防止することができ、マイクロバブルの生成効率を向上させることができることを見出した。本発明は、上記研究の結果に基づいてなされたものである。   As a result of diligent research to achieve the above object, the present inventor, in particular, in a microbubble generator having a liquid holding container that holds a liquid that is not open to the atmosphere to which a microbubble generator is attached. Regardless of the configuration of the downstream side of the bubble generation unit, in the liquid in the liquid holding container, specifically, by inappropriately reducing the pressure in the generation region where the microbubble generation unit generates the microbubble, It has been found that by adjusting the pressure of the generation region that has become higher to an appropriate pressure, it is possible to prevent the generation efficiency of the microbubbles from being lowered and to improve the generation efficiency of the microbubbles. The present invention has been made based on the results of the above research.

図１は、本発明の第１の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置１の概略構成を示す図である。   FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a microbubble generating apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention.

図１に示すように、マイクロバブル生成装置１は、大気に開放されていない中空円柱状の液体保持容器２と、液体保持容器２内にマイクロバブルを生成するマイクロバブル生成部３と、生成したマイクロバブルを任意の目的に使用するための槽５と、液体保持容器２と槽５との間に設けられており、液体保持容器２及び槽５に連通する導管４と、マイクロバブル生成部３と槽５との間に設けられており、マイクロバブル生成部３及び槽５に連通する戻し管６と、戻し管６の途中に設けられた図示しない駆動装置に接続されたポンプ７とを備える。   As shown in FIG. 1, the microbubble generating device 1 generates a hollow cylindrical liquid holding container 2 that is not open to the atmosphere, and a microbubble generating unit 3 that generates microbubbles in the liquid holding container 2. A tank 5 for using microbubbles for any purpose, a liquid holding container 2 and a tank 4 provided between the tank 5, a conduit 4 communicating with the liquid holding container 2 and the tank 5, and a microbubble generating unit 3 And a return pipe 6 communicating with the microbubble generator 3 and the tank 5, and a pump 7 connected to a drive device (not shown) provided in the middle of the return pipe 6. .

槽５には液体Ｌ、例えば水が収容されており、マイクロバブル生成装置１の作動状態において、ポンプ７により、槽５内の液体Ｌは、槽５、戻し管６、マイクロバブル生成部３、液体保持容器２、導管４、及び槽５へと順次搬送されて循環される。また、液体保持容器２内は、循環される液体Ｌによって満たされ、マイクロバブル生成部３は、液体保持容器２内の液体Ｌ中にマイクロバブルを生成する。液体保持容器２内において液体Ｌに生成されたマイクロバブルが含有され、マイクロバブルを含有する液体Ｌが上述のように循環して槽５に搬送される。   The tank 5 contains liquid L, for example, water, and in the operating state of the microbubble generator 1, the liquid L in the tank 5 is supplied from the pump 7 to the tank 5, the return pipe 6, the microbubble generator 3, The liquid holding container 2, the conduit 4, and the tank 5 are sequentially conveyed and circulated. The liquid holding container 2 is filled with the circulated liquid L, and the microbubble generating unit 3 generates microbubbles in the liquid L in the liquid holding container 2. The microbubbles generated in the liquid L are contained in the liquid holding container 2, and the liquid L containing the microbubbles is circulated as described above and conveyed to the tank 5.

マイクロバブル生成装置１において、生成されたマイクロバブルは、例えばシリコンウエハの洗浄に使用される。この場合、槽５は洗浄槽を構成し、槽５内に供給されたマイクロバブルを含有する液体Ｌ内にシリコンウエハを浸漬させることにより、シリコンウエハの洗浄が行われる。   In the microbubble generating apparatus 1, the generated microbubble is used for cleaning a silicon wafer, for example. In this case, the tank 5 constitutes a cleaning tank, and the silicon wafer is cleaned by immersing the silicon wafer in the liquid L containing the microbubbles supplied into the tank 5.

また、マイクロバブル生成装置１は、導管４の途中及び戻し管６の途中に流量を制御するための流量制御弁８，９を夫々備える。   The microbubble generating device 1 includes flow control valves 8 and 9 for controlling the flow rate in the middle of the conduit 4 and in the middle of the return pipe 6.

マイクロバブル生成部３には、液体及び気体を夫々供給するための液体供給管１０及び気体供給管１１が接続されており、液体供給管１０及び気体供給管１１には任意の液体及び気体を供給するための液体供給装置１２及び気体供給装置１３が夫々接続されている。マイクロバブル生成部３は、供給される液体と共に、直径がμｍオーダーの微小な気泡を噴出する。マイクロバブル生成部３は、マイクロバブルの生成の際に液体の流動を伴うものが好ましく、例えば、旋回液流式、スタティックミキサ式、エジェクタ式、キャビテーション式、ベンチュリ式、遠心ポンプと旋回流式マイクロバブル発生器の組み合わせ、加圧溶解式のマイクロバブル発生法を利用するものが好ましい。マイクロバブル生成装置１において、マイクロバブルの生成の際に液体の流動を伴う場合、ポンプ７の圧送力に加えてマイクロバブル生成部３の噴射力により、効率良く槽５にマイクロバブルを搬送することができ、また、槽５にマイクロバブルを搬送するための追加の搬送装置等を省略することができるからである。但し、マイクロバブル生成部３は、マイクロバブルの生成の際に液体の流動を伴わない、液体が静止しているものであってもよい。この場合、マイクロバブル生成装置１において、マイクロバブルを含有する液体Ｌを槽５に搬送するための搬送装置が必要になる。このような、マイクロバブルの生成の際に液体の流動を伴わない、液体が静止しているマイクロバブル生成部３としては、細孔式、回転式、超音波式、蒸気凝縮式、電気分解式のマイクロバブル生成法を利用するものがある。   The microbubble generator 3 is connected to a liquid supply pipe 10 and a gas supply pipe 11 for supplying a liquid and a gas, respectively, and an arbitrary liquid and gas are supplied to the liquid supply pipe 10 and the gas supply pipe 11. A liquid supply device 12 and a gas supply device 13 are connected to each other. The microbubble generating unit 3 ejects fine bubbles having a diameter of the order of μm together with the supplied liquid. The microbubble generator 3 is preferably one that accompanies liquid flow when generating microbubbles. For example, a swirling liquid flow type, a static mixer type, an ejector type, a cavitation type, a venturi type, a centrifugal pump and a swirling type micro It is preferable to use a combination of bubble generators and a pressure dissolution type microbubble generation method. In the microbubble generating device 1, when a liquid flow is involved in the generation of microbubbles, the microbubbles are efficiently transferred to the tank 5 by the injection force of the microbubble generating unit 3 in addition to the pumping force of the pump 7. This is because an additional conveying device for conveying the microbubbles to the tank 5 can be omitted. However, the microbubble generation unit 3 may be one in which the liquid does not move and does not flow when the microbubble is generated. In this case, the microbubble generator 1 needs a transport device for transporting the liquid L containing microbubbles to the tank 5. As the microbubble generating unit 3 in which liquid does not flow when microbubbles are generated and the liquid is stationary, a pore type, a rotary type, an ultrasonic type, a vapor condensation type, an electrolysis type are used. Some use the microbubble generation method.

また、マイクロバブル生成装置１は、減圧手段１４を備える。減圧手段１４は、導管４と戻し管６との間に配置されたバイパス管１５と、バイパス管１５に設けられたバイパス管１５を流れる液体の流量を調整するための流量制御弁１６とを備える。バイパス管１５は、一端が流量制御弁８の下流側において導管４に、他端が流量制御弁９の上流側において戻し管６に連通しており、ポンプ７によって槽５からマイクロバブル生成部６に戻される液体Ｌを導管４にバイパスする。   In addition, the microbubble generating device 1 includes a decompression unit 14. The decompression means 14 includes a bypass pipe 15 disposed between the conduit 4 and the return pipe 6 and a flow rate control valve 16 for adjusting the flow rate of the liquid flowing through the bypass pipe 15 provided in the bypass pipe 15. . One end of the bypass pipe 15 communicates with the conduit 4 on the downstream side of the flow control valve 8, and the other end communicates with the return pipe 6 on the upstream side of the flow control valve 9. The liquid L returned to is bypassed to the conduit 4.

次いで上記構成を有するマイクロバブル生成装置１の作用を説明する。   Next, the operation of the microbubble generator 1 having the above configuration will be described.

マイクロバブル生成装置１が作動を開始すると、気体供給装置１３並びにポンプ７が駆動され、液体供給管１０及び気体供給管１１を介して所定の流量の液体及び気体が夫々マイクロバブル生成部３に供給され、液体保持容器２内の液体中にマイクロバブルが生成され、マイクロバブルを含有する液体Ｌが槽５内に搬送される。通常始動時はバイパス管１５に設けられた流量制御弁１６は閉じられており、導管４及び戻し管６に夫々設けられた流量制御弁８，９が開放され、液体Ｌは、マイクロバブル生成部３、導管４、槽５、戻し管６、及びマイクロバブル生成部３からなる循環路を循環する。   When the microbubble generator 1 starts operating, the gas supply device 13 and the pump 7 are driven, and liquid and gas at a predetermined flow rate are supplied to the microbubble generator 3 through the liquid supply pipe 10 and the gas supply pipe 11, respectively. Then, microbubbles are generated in the liquid in the liquid holding container 2, and the liquid L containing the microbubbles is conveyed into the tank 5. During normal startup, the flow control valve 16 provided in the bypass pipe 15 is closed, the flow control valves 8 and 9 provided in the conduit 4 and the return pipe 6 are opened, and the liquid L is supplied from the microbubble generator. 3 circulates in a circulation path including the conduit 4, the tank 5, the return pipe 6, and the microbubble generator 3.

本実施の形態のように、大気に開放されていない液体保持容器を有するマイクロバブル生成装置においては、マイクロバブル生成部３の下流側の構成形態、特に、液体保持容器２の下流側の構成形態に応じて、液体保持容器２内の液体中においてマイクロバブルが生成される生成領域Ｒにおける圧力が上昇し、生成されたマイクロバブルが他のマイクロバブルと合体して、マイクロバブルではない大きなバブルが形成されてしまい、マイクロバブルの生成効率が低下する場合がある。具体的には、導管４の管径が細い場合や導管４にフィルタが設けられている場合、これらの背圧がかかり、生成領域Ｒの圧力が高くなる。また、マイクロバブル生成部３から噴出されるマイクロバブルを含む液体の流量又は液圧と、導管４又は戻し管６内の液体の流量又は液圧との関係から、生成領域Ｒ内の圧力が高くなり、マイクロバブルの生成効率が低下する場合がある。   In the microbubble generating apparatus having the liquid holding container that is not open to the atmosphere as in the present embodiment, the configuration form on the downstream side of the microbubble generating unit 3, particularly the configuration form on the downstream side of the liquid holding container 2. Accordingly, the pressure in the generation region R where the microbubbles are generated in the liquid in the liquid holding container 2 rises, and the generated microbubbles merge with other microbubbles, resulting in large bubbles that are not microbubbles. In other words, the formation efficiency of microbubbles may be reduced. Specifically, when the pipe diameter of the conduit 4 is thin or a filter is provided in the conduit 4, these back pressures are applied, and the pressure in the generation region R increases. Moreover, the pressure in the production | generation area | region R is high from the relationship between the flow volume or liquid pressure of the liquid containing the microbubble spouted from the microbubble production | generation part 3, and the flow volume or liquid pressure of the liquid in the conduit | pipe 4 or the return pipe 6. Thus, the generation efficiency of microbubbles may be reduced.

上述のように、マイクロバブル生成部３のマイクロバブル生成効率が低下した場合、減圧装置１４が使用され、バイパス管１５に設けられた流量制御弁１６が開放され、上記循環路を循環する液体Ｌの一部がバイパス管１５を流れ、戻し管６から導管４に液体がバイパスされる。上記循環路を循環する液体Ｌの一部がバイパス管１５を流れることにより、バイパス管１５を流れる液体が導管を流れる液体保持容器２からの液体に合流し、導管４を流れる液体の流速が速くなり、アスピレータにおける効果と同様の効果により、導管４内の圧力が下がり、液体保持容器２内の圧力が下がり、生成領域Ｒの圧力が下がる。これにより、マイクロバブルの生成領域Ｒにおいて生成されたマイクロバブルの合体が抑制又は防止され、マイクロバブルがより大きなバブルとなることが抑制又は防止され、マイクロバブルの生成効率の低下が抑制又は防止される。   As described above, when the microbubble generation efficiency of the microbubble generator 3 is reduced, the pressure reducing device 14 is used, the flow control valve 16 provided in the bypass pipe 15 is opened, and the liquid L circulating in the circulation path is used. Partly flows through the bypass pipe 15, and the liquid is bypassed from the return pipe 6 to the conduit 4. When a part of the liquid L circulating in the circulation path flows through the bypass pipe 15, the liquid flowing through the bypass pipe 15 merges with the liquid from the liquid holding container 2 flowing through the conduit, and the flow velocity of the liquid flowing through the conduit 4 is high. Thus, the pressure in the conduit 4 decreases, the pressure in the liquid holding container 2 decreases, and the pressure in the generation region R decreases due to the same effect as that of the aspirator. Thereby, coalescence of the microbubbles generated in the microbubble generation region R is suppressed or prevented, the microbubbles are suppressed or prevented from becoming larger bubbles, and the decrease in the generation efficiency of the microbubbles is suppressed or prevented. The

マイクロバブル生成装置１において、マイクロバブルの生成効率の低下をより効果的に抑制又は防止するために、バイパス管１５、導管４、及び戻し管６における液体の流量が相関を持って制御される。つまり、流量制御弁８，９，１６が夫々相関を持って制御される。また、流量制御弁８，９，１６の制御の際、液体供給装置１２や気体供給装置１３からマイクロバブル生成部３への液体や気体の供給量も考慮される。つまり、マイクロバブルの生成効率の低下をより効果的に抑制又は防止するために、導管４、戻し管６、及びバイパス管１５における液体Ｌの流量、並びにマイクロバブル生成部３への液体や気体の供給量が互いに制御される。   In the microbubble generating device 1, the flow rate of liquid in the bypass pipe 15, the conduit 4, and the return pipe 6 is controlled in a correlated manner in order to more effectively suppress or prevent a decrease in microbubble generation efficiency. That is, the flow control valves 8, 9, and 16 are controlled with correlation. In addition, when the flow control valves 8, 9, 16 are controlled, the amount of liquid or gas supplied from the liquid supply device 12 or the gas supply device 13 to the microbubble generating unit 3 is also taken into consideration. That is, in order to more effectively suppress or prevent a decrease in the generation efficiency of the microbubbles, the flow rate of the liquid L in the conduit 4, the return pipe 6, and the bypass pipe 15, and the liquid or gas to the microbubble generation unit 3 The supply amount is controlled mutually.

導管４及び戻し管６における液体の流量、液体供給装置１２や気体供給装置１３からの液体又は気体の供給量、及びバイパス管１５における液体の流量バランスは、液体の種類、気体の種類、マイクロバブル生成部３の種類、液体保持容器２の形状・サイズ、配管４，６，１５の太さ・長さ・形状、その他の条件で最適値が異なる。   The flow rate of the liquid in the conduit 4 and the return pipe 6, the supply amount of the liquid or gas from the liquid supply device 12 or the gas supply device 13, and the balance of the flow rate of the liquid in the bypass tube 15 are liquid type, gas type, microbubble. The optimum value differs depending on the type of the generation unit 3, the shape / size of the liquid holding container 2, the thicknesses / lengths / shapes of the pipes 4, 6, 15 and other conditions.

上述のように、本発明の第１の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置１によれば、マイクロバブル生成部３の下流側の構成形態やマイクロバブル生成装置１の運転状況に応じて、マイクロバブルの生成効率が低下した場合、バイパス管１５を開放して導管４を流れる液体保持容器２からの液体にバイパス管１５からの液体の流れを合流させ、導管４における液体の流速を増加させ、導管４における液体Ｌの液圧を低減し、液体保持容器２の生成領域Ｒにおける液体の圧力を低下させることができ、生成されたマイクロバブルの合体によるマイクロバブルの生成効率の低下を抑制又は防止することができる。   As described above, according to the microbubble generating device 1 according to the first embodiment of the present invention, the microbubble generating device 3 is configured according to the configuration on the downstream side of the microbubble generating unit 3 and the operating status of the microbubble generating device 1. When the bubble generation efficiency is reduced, the flow of the liquid from the bypass pipe 15 is merged with the liquid from the liquid holding container 2 flowing through the conduit 4 by opening the bypass tube 15, and the flow velocity of the liquid in the conduit 4 is increased. The pressure of the liquid L in the conduit 4 can be reduced, the pressure of the liquid in the generation region R of the liquid holding container 2 can be reduced, and the decrease in the generation efficiency of microbubbles due to the coalescence of the generated microbubbles can be suppressed or prevented. can do.

また、この際、流量制御弁８，９，１６、液体供給装置１２、及び気体供給装置１３の制御により、導管４、戻し管６、バイパス管１５、及び液体供給装置１２の液体の流量や、気体供給装置１３の気体の流量が所定の値に互いに制御され、マイクロバブルの生成効率の低下をより効果的に抑制又は防止することができる。   At this time, the flow rate of the liquid in the conduit 4, the return pipe 6, the bypass pipe 15, and the liquid supply device 12 is controlled by the flow control valves 8, 9, 16, the liquid supply device 12, and the gas supply device 13, The gas flow rates of the gas supply device 13 are mutually controlled to a predetermined value, and the reduction in the generation efficiency of the microbubbles can be suppressed or prevented more effectively.

尚、本実施の形態に係るマイクロバブル生成装置１は、上記構成に限るものではなく、他の構成であってもよい。例えば、液体保持装置２の形状は中空円柱状に限らず、他の形状であってもよい。また、配管構造は上記構造に限るものではない。   Note that the microbubble generation device 1 according to the present embodiment is not limited to the above configuration, and may have another configuration. For example, the shape of the liquid holding device 2 is not limited to a hollow cylindrical shape, and may be other shapes. The piping structure is not limited to the above structure.

また、液体や気体の流量を所定の値に制御するために、マイクロバブル生成装置１は、流量制御弁８，９，１６の開放量や、液体供給装置１２のマイクロバブル生成部３への液体の供給流量や気体供給装置１３のマイクロバブル生成部３への気体の供給流量を調整制御する制御装置を有していてもよい。   Further, in order to control the flow rate of the liquid or gas to a predetermined value, the microbubble generator 1 opens the flow control valves 8, 9, 16, and the liquid to the microbubble generator 3 of the liquid supply device 12. And a control device that adjusts and controls the gas supply flow rate to the microbubble generating unit 3 of the gas supply device 13.

また、上述のように、本発明の第１の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置１は、戻し管６を有しており、循環型のマイクロバブル生成装置であるが、図２に示すように、循環型ではない、液体を送り続けて液体を循環させない所謂ワンパスのマイクロバブル生成装置１´であってもよい。図２のマイクロバブル生成装置１´においては、図１のマイクロバブル生成装置１とは異なり、戻し管６及びポンプ７が設けられておらず、バイパス管１５には液体供給管１０を介して液体供給装置１２が接続されている。また、マイクロバブル生成部３には液体供給装置１２からのみ液体が供給される。尚、図２において、槽５、流量制御弁８，９，１６、気体供給管１１、及び気体供給装置１３の図示は省略されている。   Further, as described above, the microbubble generating device 1 according to the first embodiment of the present invention has the return pipe 6 and is a circulation type microbubble generating device, but as shown in FIG. In addition, it may be a so-called one-pass microbubble generating device 1 ′ which is not a circulation type and does not continuously circulate the liquid and circulate the liquid. In the microbubble generating device 1 ′ in FIG. 2, unlike the microbubble generating device 1 in FIG. 1, the return pipe 6 and the pump 7 are not provided, and liquid is supplied to the bypass pipe 15 via the liquid supply pipe 10. A supply device 12 is connected. Further, the liquid is supplied to the microbubble generator 3 only from the liquid supply device 12. In FIG. 2, the tank 5, the flow control valves 8, 9, 16, the gas supply pipe 11, and the gas supply device 13 are not shown.

次いで、本発明の第２の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置について説明する。   Next, a microbubble generating apparatus according to the second embodiment of the present invention will be described.

図３は、本発明の第２の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置２０における減圧装置２１の概略構成を示す図である。   FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of the decompression device 21 in the microbubble generation device 20 according to the second embodiment of the present invention.

本実施の形態に係るマイクロバブル生成装置２０は、図３に示すように、第１の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置１に対して、減圧装置の構成のみが異なり、他の構成は同一である。以下に、同一の構成については同一の符号を付してその説明を省略し、異なる構成のみを説明する。   As shown in FIG. 3, the microbubble generator 20 according to the present embodiment is different from the microbubble generator 1 according to the first embodiment only in the configuration of the decompression device, and the other configurations are the same. It is. In the following, the same components are denoted by the same reference numerals, the description thereof is omitted, and only different components are described.

マイクロバブル生成装置２０は、図１のマイクロバブル生成装置１の減圧装置１０に代えて減圧装置２１を備える。減圧装置２１は、導管４に設けられた減圧ポンプ２２を備える。また、マイクロバブル生成装置２０は、減圧ポンプ２２の吸引する液体の流量を制御するための吸込み流量制御装置２３を有している。   The microbubble generator 20 includes a decompressor 21 instead of the decompressor 10 of the microbubble generator 1 of FIG. The decompression device 21 includes a decompression pump 22 provided in the conduit 4. The microbubble generating device 20 has a suction flow rate control device 23 for controlling the flow rate of the liquid sucked by the decompression pump 22.

本実施の形態に係るマイクロバブル生成装置２０においては、減圧ポンプ２２が導管４を介して液体保持容器２内の液圧を低下させ、生成領域Ｒの圧力を低下させる。これにより、上記本発明の第１の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置１と同様に、マイクロバブルの生成効率の低下を抑制又は防止することができる。   In the microbubble generating apparatus 20 according to the present embodiment, the decompression pump 22 decreases the liquid pressure in the liquid holding container 2 via the conduit 4 and decreases the pressure in the generation region R. Thereby, like the microbubble generating apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention, it is possible to suppress or prevent a decrease in microbubble generation efficiency.

また、本実施の形態に係るマイクロバブル生成装置２０においては、流量制御バルブ８，９及び液体供給装置１２からのマイクロバブル生成部３への液体の供給量や、気体供給装置１３からのマイクロバブル生成部３への気体の供給量と共に、吸込み流量制御装置２３によって減圧ポンプ２２の吸込み流量が所定の値に制御され、導管４、戻し管６、及びマイクロバブル生成部３の液体の流量やマイクロバブル生成部３への気体の流量が所定の値に互いに制御され、マイクロバブルの生成効率の低下をより効果的に抑制又は防止することができる。   Further, in the microbubble generating device 20 according to the present embodiment, the amount of liquid supplied from the flow control valves 8 and 9 and the liquid supplying device 12 to the microbubble generating unit 3, and the microbubble from the gas supplying device 13 are used. The suction flow rate of the decompression pump 22 is controlled to a predetermined value by the suction flow rate control device 23 together with the gas supply amount to the generation unit 3, and the liquid flow rate and micro flow of the conduit 4, the return pipe 6 and the microbubble generation unit 3 are controlled. The flow rate of the gas to the bubble generation unit 3 is mutually controlled to a predetermined value, and the reduction in the generation efficiency of the microbubbles can be more effectively suppressed or prevented.

導管４及び戻し管６における液体の流量、液体供給装置１２や気体供給装置１３からの液体又は気体の供給量、及び減圧ポンプ２２の吸引バランスは、液体の種類、気体の種類、マイクロバブル生成部３の種類、液体保持容器２の形状・サイズ、配管４，６，１５の太さ・長さ・形状、その他の条件で最適値が異なる。   The flow rate of the liquid in the conduit 4 and the return pipe 6, the supply amount of the liquid or gas from the liquid supply device 12 or the gas supply device 13, and the suction balance of the decompression pump 22 include the type of liquid, the type of gas, and the microbubble generator. The optimum values differ depending on the three types, the shape / size of the liquid holding container 2, the thickness / length / shape of the pipes 4, 6, 15, and other conditions.

上述のように、本発明の第２の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置２０は、戻し管６を有しており、循環型のマイクロバブル生成装置であるが、図４に示すように、循環型ではない、液体を送り続けて液体を循環させない所謂ワンパスのマイクロバブル生成装置２０´であってもよい。図４のマイクロバブル生成装置２０´においては、図３のマイクロバブル生成装置２０とは異なり、戻し管６及びポンプ７が設けられておらず、マイクロバブル生成部３には液体供給装置１２からのみ液体が供給される。尚、図３において、槽５、流量制御弁８，９、気体供給管１１、及び気体供給装置１３の図示は省略されている。   As described above, the microbubble generating device 20 according to the second embodiment of the present invention has the return pipe 6 and is a circulation type microbubble generating device, but as shown in FIG. It may be a so-called one-pass microbubble generator 20 'that does not circulate and does not continuously circulate the liquid. 4 is different from the microbubble generating device 20 in FIG. 3 in that the return pipe 6 and the pump 7 are not provided, and the microbubble generating unit 3 is provided only from the liquid supply device 12. Liquid is supplied. In FIG. 3, the tank 5, the flow control valves 8 and 9, the gas supply pipe 11, and the gas supply device 13 are not shown.

以下、本発明の実施例について説明する。     Examples of the present invention will be described below.

まず、図１のマイクロバブル生成装置１により、液体Ｌとして液量１６０Ｌの水道水を用いて、マイクロバブルの生成を行った（実施例１及び比較例１）。   First, microbubbles were generated by using 160 L of tap water as the liquid L by the microbubble generator 1 of FIG. 1 (Example 1 and Comparative Example 1).

実施例１においては、バイパス管１５に設けられた流量制御弁１６を半開にし、導管４及び戻し管６に夫々設けられた流量制御弁８，９を全開にして、つまり、バイパス管１１を開放してマイクロバブルの生成を行った。実施例１において、導管４においてバイパス管１５の接合部の下流側及び戻し管６に夫々設けられた液流量計による測定値Ｍ１，Ｍ２は夫々、Ｍ１：１９Ｌ／ｍｉｎであり、Ｍ２：８Ｌ／ｍｉｎであった。また、マイクロバブル生成部３へ供給される空気の流量は０．５Ｌ／ｍｉｎとした。   In the first embodiment, the flow control valve 16 provided in the bypass pipe 15 is half-opened, and the flow control valves 8 and 9 provided in the conduit 4 and the return pipe 6 are fully opened, that is, the bypass pipe 11 is opened. Then, microbubbles were generated. In Example 1, the measured values M1 and M2 by the liquid flow meters provided on the downstream side of the joint portion of the bypass pipe 15 and the return pipe 6 in the conduit 4 are M1: 19 L / min and M2: 8 L / min, respectively. min. The flow rate of air supplied to the microbubble generating unit 3 was 0.5 L / min.

また、比較例１においては、バイパス管１５に設けられた流量制御弁１６を全閉にし、導管４及び戻し管６に夫々設けられた流量制御弁８，９を全開にして、つまり、バイパス管１５を閉鎖してマイクロバブルの生成を行った。比較例１において、導管４及び戻し管６に夫々設けられた液流量計による測定値Ｍ１，Ｍ２は夫々、Ｍ１：１３Ｌ／ｍｉｎであり、Ｍ２：１３Ｌ／ｍｉｎであった。また、マイクロバブル生成部３へ供給される空気の流量は実施例１と同様に０．５Ｌ／ｍｉｎとし、ポンプ７への供給電力、つまり無負荷時におけるポンプ７の出力も実施例１と同じにした。   In Comparative Example 1, the flow control valve 16 provided in the bypass pipe 15 is fully closed, and the flow control valves 8 and 9 provided in the conduit 4 and the return pipe 6 are fully opened, that is, the bypass pipe. 15 was closed to generate microbubbles. In Comparative Example 1, the measured values M1 and M2 by the liquid flow meters provided in the conduit 4 and the return pipe 6 were M1: 13 L / min and M2: 13 L / min, respectively. The flow rate of air supplied to the microbubble generator 3 is 0.5 L / min as in the first embodiment, and the power supplied to the pump 7, that is, the output of the pump 7 when no load is applied is the same as in the first embodiment. I made it.

実施例１及び比較例１において、マイクロバブル生成装置１の始動から１０分後に、槽５におけるマイクロバブルの生成状況を目視により確認した。   In Example 1 and Comparative Example 1, after 10 minutes from the start of the microbubble generating device 1, the state of microbubble generation in the tank 5 was visually confirmed.

実施例１においては、マイクロバブルの生成効率が良く、槽５内の液体Ｌはマイクロバブルを多く含み不透明であった。一方、比較例１においては、マイクロバブルが合体して大きな気泡が生成され、マイクロバブルの生成効率は低く、槽５内の液体Ｌは透明のままであった。   In Example 1, the production | generation efficiency of microbubble was good and the liquid L in the tank 5 contained many microbubbles and was opaque. On the other hand, in Comparative Example 1, the microbubbles merged to generate large bubbles, the generation efficiency of the microbubbles was low, and the liquid L in the tank 5 remained transparent.

このように、実施例１においては、比較例１よりもマイクロバブルの生成効率が高く、本発明の第１の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置１によれば、マイクロバブルの生成効率の低下を防止でき、マイクロバブルの生成効率が低い場合に、バイパス管１１を開放することによりマイクロバブルの生成効率を向上させることができることが分かった。   Thus, in Example 1, the generation efficiency of microbubbles is higher than that of Comparative Example 1, and according to the microbubble generation device 1 according to the first embodiment of the present invention, the generation efficiency of microbubbles is reduced. It was found that the microbubble generation efficiency can be improved by opening the bypass pipe 11 when the microbubble generation efficiency is low.

また、図３のマイクロバブル生成装置２０を用いて、マイクロバブルの生成を行った（実施例２）。実施例２においては、実施例１と同様に、液体Ｌとして液量１６０Ｌの水道水を用い、導管４及び戻し管６に夫々設けられた流量制御弁８，９を全開にした。導管４及び戻し管６に夫々設けられた液流量計による測定値Ｍ１，Ｍ２は夫々、Ｍ１：８Ｌ／ｍｉｎであり、Ｍ２：８Ｌ／ｍｉｎであった。また、マイクロバブル生成部３へ供給される空気の流量は０．５Ｌ／ｍｉｎとした。   In addition, microbubbles were generated using the microbubble generator 20 of FIG. 3 (Example 2). In Example 2, as in Example 1, 160 L of tap water was used as the liquid L, and the flow rate control valves 8 and 9 respectively provided in the conduit 4 and the return pipe 6 were fully opened. The measured values M1 and M2 by the liquid flow meters provided in the conduit 4 and the return pipe 6 were M1: 8 L / min and M2: 8 L / min, respectively. The flow rate of air supplied to the microbubble generating unit 3 was 0.5 L / min.

一方、図５に示すように、マイクロバブル生成装置２０から減圧装置２１を取り外した構成のマイクロバブル生成装置３０を用いてマイクロバブルの生成を行った。比較例２においては、実施例２と同様に、液体Ｌとして液量１６０Ｌの水道水を用い、導管４及び戻し管６に夫々設けられた流量制御弁８，９を全開にした。ポンプ７への供給電力は、つまり、無負荷時におけるポンプ７の出力は、実施例２と同じにした。また、マイクロバブル生成部３へ供給される空気の流量は０．５Ｌ／ｍｉｎとした。   On the other hand, as shown in FIG. 5, microbubbles were generated using a microbubble generating device 30 having a configuration in which the decompression device 21 was removed from the microbubble generating device 20. In Comparative Example 2, as in Example 2, 160 L of tap water was used as the liquid L, and the flow rate control valves 8 and 9 provided in the conduit 4 and the return pipe 6 were fully opened. The power supplied to the pump 7, that is, the output of the pump 7 at the time of no load was the same as that in the second embodiment. The flow rate of air supplied to the microbubble generating unit 3 was 0.5 L / min.

実施例２及び比較例２において、マイクロバブル生成装置２０，３０の始動から１０分後に、槽５におけるマイクロバブルの生成状況を目視により確認した。   In Example 2 and Comparative Example 2, the generation state of microbubbles in the tank 5 was visually confirmed 10 minutes after the start of the microbubble generators 20 and 30.

実施例２において、マイクロバブルの生成効率が良く、槽５内の液体Ｌはマイクロバブルを多く含み不透明であった。一方、比較例２においては、マイクロバブルが合体して大きな気泡が生成され、マイクロバブルの生成効率は低く、槽５内の液体Ｌは透明のままであった。   In Example 2, the generation efficiency of the microbubbles was good, and the liquid L in the tank 5 contained many microbubbles and was opaque. On the other hand, in Comparative Example 2, the microbubbles merged to generate large bubbles, the generation efficiency of the microbubbles was low, and the liquid L in the tank 5 remained transparent.

このように、実施例２においては、比較例２よりもマイクロバブルの生成効率が高く、本発明の第２の実施の形態に係るマイクロバブル生成装置２０によれば、マイクロバブルの生成効率の低下を防止でき、マイクロバブルの生成効率が低い場合に、減圧ポンプ２２を駆動することによりマイクロバブルの生成効率を向上させることができることが分かった。   Thus, in Example 2, the generation efficiency of microbubbles is higher than in Comparative Example 2, and according to the microbubble generation device 20 according to the second embodiment of the present invention, the generation efficiency of microbubbles is reduced. It was found that the microbubble generation efficiency can be improved by driving the vacuum pump 22 when the microbubble generation efficiency is low.

１ １´，２０，２０´，３０ マイクロバブル生成装置
２ 液体保持容器
３ マイクロバブル生成部
４ 導管
５ 槽
６ 戻し管
７ ポンプ
８，９，１６ 流量制御弁
１０ 液体供給管
１１ 気体供給管
１２ 液体供給装置
１３ 気体供給装置
１４，２１ 減圧装置
１５ バイパス管
２２ 減圧ポンプ
２３ 吸込み流量制御装置
Ｒ マイクロバブル生成領域
Ｌ 液体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1 ', 20, 20', 30 Microbubble production | generation apparatus 2 Liquid holding container 3 Microbubble production | generation part 4 Conduit 5 Tank 6 Return pipe 7 Pump 8, 9, 16 Flow control valve 10 Liquid supply pipe 11 Gas supply pipe 12 Liquid Supply device 13 Gas supply device 14, 21 Pressure reducing device 15 Bypass pipe 22 Pressure reducing pump 23 Suction flow control device R Micro bubble generation region L Liquid

Claims (10)

導管に連通する大気に開放されていない液体保持容器内の液体中にマイクロバブル生成部によってマイクロバブルを生成して前記導管を介して前記生成したマイクロバブルを導出するマイクロバブル生成方法であって、
前記液体中において、前記マイクロバブル生成部によってマイクロバブルが生成される生成領域の圧力が不適切に高くなった場合に前記生成領域の圧力を下げて適切な圧力に調整することを特徴とするマイクロバブル生成方法。 A microbubble generating method for generating microbubbles in a liquid in a liquid holding container that is not open to the atmosphere communicating with a conduit by a microbubble generating unit and deriving the generated microbubbles through the conduit,
In the liquid, when the pressure of the generation region where the microbubbles are generated by the microbubble generation unit becomes inappropriately high, the pressure of the generation region is lowered and adjusted to an appropriate pressure. Bubble generation method. 前記導管における前記液体保持容器からの液体の流れに他の液体の流を合流させることにより、前記生成領域の圧力を下げることを特徴とする請求項１記載のマイクロバブル生成方法。   The microbubble generation method according to claim 1, wherein the pressure in the generation region is lowered by combining a flow of another liquid with a flow of liquid from the liquid holding container in the conduit. マイクロバブルの生成状況に応じて前記他の液体の流れの流量を制御することを特徴とする請求項２記載のマイクロバブル生成方法。   3. The microbubble generating method according to claim 2, wherein the flow rate of the flow of the other liquid is controlled according to the generation state of the microbubble. 吸引ポンプによって前記導管を介して前記液体保持容器内の液体を吸引することにより、前記生成領域の圧力を下げることを特徴とする請求項１記載のマイクロバブル生成方法。   The microbubble generating method according to claim 1, wherein the pressure in the generating region is lowered by sucking the liquid in the liquid holding container through the conduit by a suction pump. マイクロバブルの生成状況に応じて前記吸引する液体の流量を制御することを特徴とする請求項４記載のマイクロバブル生成方法。   The microbubble generation method according to claim 4, wherein a flow rate of the liquid to be sucked is controlled according to a generation state of the microbubbles. 大気に開放されていない液体を保持する液体保持容器と、前記液体保持容器内の液体中にマイクロバブルを生成するマイクロバブル生成部と、前記液体保持容器に連通し前記生成されたマイクロバブルを前記液体保持容器から導出する導管とを備えるマイクロバブル生成装置において、
前記液体中において、前記マイクロバブル生成部によってマイクロバブルが生成される生成領域の圧力が不適切に高くなった場合に前記生成領域の圧力を下げて適切な圧力に調整する減圧手段を備えることを特徴とするマイクロバブル生成装置。 A liquid holding container that holds a liquid that is not open to the atmosphere; a microbubble generating unit that generates microbubbles in the liquid in the liquid holding container; and the generated microbubbles that communicate with the liquid holding container A microbubble generator comprising a conduit leading out of a liquid holding container;
In the liquid, when the pressure of the generation region where the microbubbles are generated by the microbubble generation unit becomes inappropriately high, the pressure reduction means for reducing the pressure of the generation region and adjusting to an appropriate pressure is provided. A micro-bubble generating device. 前記減圧手段は、前記導管における前記液体保持容器からの液体の流れに他の液体の流れを合流させる、前記導管に連通するバイパス管であることを特徴とする請求項６記載のマイクロバブル生成装置。   7. The microbubble generating device according to claim 6, wherein the decompression means is a bypass pipe communicating with the conduit for joining the flow of another liquid to the flow of liquid from the liquid holding container in the conduit. . マイクロバブルの生成状況に応じて前記他の液体の流れの流量を制御するための流量制御弁を前記バイパス管に備えることを特徴とする請求項７記載のマイクロバブル生成装置。   The microbubble generating device according to claim 7, wherein the bypass pipe is provided with a flow rate control valve for controlling a flow rate of the flow of the other liquid according to a generation state of the microbubbles. 前記減圧手段は、前記導管に接続された吸引ポンプであることを特徴とする請求項６記載のマイクロバブル生成装置。   The microbubble generating device according to claim 6, wherein the decompression unit is a suction pump connected to the conduit. マイクロバブルの生成状況に応じて前記ポンプの前記吸引する液体の流量を制御するための吸込み流量制御装置を備えることを特徴とする請求項９記載のマイクロバブル生成装置。   The microbubble generating device according to claim 9, further comprising a suction flow rate control device for controlling a flow rate of the liquid sucked by the pump according to a generation state of the microbubbles.
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