JP2011061995A - Linear motor and position detecting method of linear motor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、リニアモータおよびリニアモータの位置検出方法に関する。 The present invention relates to a linear motor and a linear motor position detection method.
従来、リニアモータの位置検出方法において、固定子である駆動コイルに磁気センサを設置して可動磁石の移動に伴う磁場の変化を計測することで、可動磁石の位置を検出する方法が知られている(特許文献1参照)。 Conventionally, in a method for detecting the position of a linear motor, a method for detecting the position of a movable magnet by installing a magnetic sensor in a drive coil that is a stator and measuring a change in a magnetic field accompanying the movement of the movable magnet is known. (See Patent Document 1).
しかしながら、駆動コイル付近に磁気センサを設置した場合、駆動コイルへの通電に応じて発生する磁界の影響を受けることで、位置検出の精度が落ちてしまうという課題があった。 However, when a magnetic sensor is installed in the vicinity of the drive coil, there is a problem in that the accuracy of position detection is reduced due to the influence of a magnetic field generated in response to energization of the drive coil.
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様におけるリニアモータは、直線状の駆動方向に沿って駆動用の磁気パターンが着磁されたマグネットと、マグネットに対向して配置され、マグネットに対して駆動方向に駆動力を発生させる駆動コイルと、マグネットに対して、駆動コイルの反対側で対向して配置される複数の磁気センサとを備える。 In order to solve the above-described problem, a linear motor according to a first aspect of the present invention includes a magnet in which a driving magnetic pattern is magnetized along a linear driving direction, and a magnet facing the magnet. And a plurality of magnetic sensors arranged opposite to the magnet on the opposite side of the drive coil.
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 The above summary of the invention does not enumerate all necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.
図1は、本実施形態に係るリニアモータ100の全体構造を模式的に示す斜視図である。リニアモータ100は、可動子110、固定子120、ホール素子130、ベース部材140、算出部150、ガイドレール160及び温度センサ170を有する。可動子110は円筒形状のマグネットであり、その周りがハウジング部材に覆われている。固定子120は、中心軸122及び中心軸の周囲に装着された複数のコイルを有する駆動コイル124を備える。中心軸122は強磁性体のヨークであり可動子側マグネットとの間で磁気回路を構成している。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing the overall structure of the
可動子110はガイドレール160に支持されており、ガイドレール160の長手方向に移動する。固定子120はベース部材140の支持部142に支持されている。また固定子120は可動子110の内径よりも小さな外径を有している。すなわち、可動子110の内面は固定子120から離間している。以下、可動子110の移動方向をX軸方向、リニアモータ100の載置面に直交する方向をZ軸方向、X軸及びZ軸に直交する方向をY軸方向として説明する。
The
ホール素子130は、X軸方向に沿ってベース部材上に配列された複数のホール素子を有する。これら複数のホール素子は可動子110に対向する位置に配置されており、可動子110の磁場を測定する。なお本実施形態では、18個のホール素子が等間隔に配置されている。
The
図2は、リニアモータ100の構造を概略的に示す断面図である。可動子110は、マグネットホルダ112及びマグネットホルダ112に固定されたマグネット114を備えている。マグネット114には、駆動用の磁気パターンとして、X軸方向に磁極が配列する磁気パターンが着磁されている。この磁気パターンは3つの区画を有しており、中央の区画の両端に、中央の区画幅よりも狭い幅の区画が着磁されている。本実施形態では、中央の区画幅は両端の区画幅の倍となっている。
FIG. 2 is a sectional view schematically showing the structure of the
固定子120の駆動コイル124は、U相、V相及びW相の3つのコイルを1組とするコイル群を複数組有しており、各コイル群はU相、V相、W相の順に固定子120の長手方向に配列されている。各コイルのX軸方向の幅は同じであり、マグネット114の磁極パターンにおける中央区画のおよそ1/3の幅となっている。
The
駆動コイル124には、マグネット114の磁極ピッチ(N−S間)を位相180度とした場合に120度の位相差を持つ位置に応じた三相電流を供給することで、可動子110の磁気パターンとの関係によりX軸方向に推力が発生する。駆動コイル124が有する複数のコイルのうち、同じ相のコイルは同じ電流出力端子に接続されており、この電流出力端子を介して電流が供給される。可動子110の位置に応じて駆動コイル124に供給する電流を制御することで、可動子110のX方向への移動を制御することができる。
The
ここで、全てのコイルに通電すると可動子110の移動に寄与しない部分のコイルに供給された電流が無駄になり効率が悪くなることが考えられる。そこでこれに対応するために、スイッチを設けて可動子110の移動に寄与する部分のコイルのみが通電される構成としてもよい。
Here, if all the coils are energized, it is conceivable that the current supplied to the portions of the coils that do not contribute to the movement of the
可動子110の位置は、複数配置されたホール素子130を用いて検出する。ホール素子130で可動子110のマグネット114の磁場を測定するには、可動子110に対向する位置に配置することとなる。ここで、駆動コイル124にホール素子130を設置することも考えられる。しかしながら、駆動コイル124付近にホール素子130を設置した場合、駆動コイル124への通電に応じて発生する磁界の影響を受けやすく、位置検出の精度が落ちてしまう可能性がある。
The position of the
そこで本実施形態では、マグネット114に対して、駆動コイル124の反対側にホール素子130を配置している。このような配置とすることで、駆動コイル124の周囲に生じる磁界の影響を軽減することができる。これら配置された複数のホール素子130が磁場を測定した結果が算出部150に出力され、算出部150によって可動子110の位置が算出される。なお本実施形態では磁気センサとしてホール素子を用いたが、マグネットダイオード又は磁気抵抗効果素子等の他の磁気センサを用いてもかまわない。
Therefore, in the present embodiment, the
続いて、可動子110の位置検出方法について説明する。図3は、本実施形態で用いるホール素子130の、ホール素子位置での可動子110の磁場分布を示している。縦軸は磁場強度を示しており、横軸はホール素子130の配置座標を中心としたX軸方向における可動子110のストローク位置を示している。例えば、ホール素子130に対して、可動子110がX軸方向で−5mmの位置にある場合、ホール素子130が測定する磁場強度は0.2Tとなる。逆に言えば、ホール素子130が検出した磁場強度が0.2Tの場合は、可動子110がホール素子130からみてX軸方向で−5mmの位置にあることがわかる。
Then, the position detection method of the needle |
ホール素子130の配置座標は既知なので、あらかじめテーブル情報として登録しておくことができる。したがって、ホール素子130により磁場強度を測定すれば、テーブル情報を参照して取得したそのホール素子130の配置座標に、磁場強度に対応するストローク位置を加算することで、可動子110の位置を検出することができる。
Since the arrangement coordinates of the
ここで、横軸の値が0mmの周辺であれば、磁場強度が単調減少しているので、磁場強度からストローク位置を一意に換算することができる。しかしながら、ストローク位置が例えば−5mm以下又は5mm以上のように単調減少区間よりも広がると、一つの磁場強度に対して複数のストローク位置が対応してしまう。 Here, if the value on the horizontal axis is around 0 mm, the magnetic field strength monotonously decreases, so that the stroke position can be uniquely converted from the magnetic field strength. However, if the stroke position is wider than the monotonously decreasing section, for example, −5 mm or less or 5 mm or more, a plurality of stroke positions correspond to one magnetic field strength.
そこで本実施形態では、複数のホール素子130の配置間隔を、ホール素子130のそれぞれが距離に対して出力する磁場強度が、単調増加または単調減少を示す区間よりも狭い間隔で配置する。図3の特性を示すホール素子130を用いる場合、−5mmから5mmの範囲が単調減少を示す区間であるから、隣り合うホール素子の間隔は10mm以下とする。
Therefore, in the present embodiment, the arrangement intervals of the plurality of
このように配置することで、可動子110がどの位置に移動しても、複数のホール素子130のうちのいずれかのホール素子130がこの単調増加または単調減少を示す区間の磁場強度を示すこととなる。したがって、そのホール素子130を用いれば、この単調増加又は単調減少を示す区間で可動子110の位置検出ができることとなるので、精確な位置検出を実現できる。
By arranging in this way, no matter which position the
図4は、可動子110の移動に伴うホール素子130の磁場測定結果の概要を示す図である。複数のホール素子130は等間隔に配置されており、基準側から順番に配置位置に応じた配置番号が割り当てられて。図では、左から順番に1から18までの配置番号が割り当てられている。図中に示すHとLは論理信号であり、それぞれ真上に位置するホール素子130に対応している。測定した磁場強度の絶対値が所定値を超えるホール素子130がH、所定値を超えないホール素子130がLとなっている。
FIG. 4 is a diagram showing an outline of a magnetic field measurement result of the
図は、上から順に1段階目から4段階目へと可動子110が移動した場合の各ホール素子130に対応する論理信号の変化を示している。なお本実施形態では、所定値を磁場強度0.01Tとしている。この値は可動子110の磁場強度、リニアモータの規模等の環境によって適切な値が変わると考えられるので、環境によって適宜変更して設定すればよい。
The figure shows changes in logic signals corresponding to the
可動子110が対向する領域内に配置されているホール素子130の論理信号はそのほとんどがHとなる。一部、可動子110の磁場極性が変化する位置については、磁場強度が0もしくは0に近い値を示すため論理信号がLとなる場合があるが、少なくとも可動子110の両端部は磁場が存在するのでその論理信号はHとなる。
Most of the logic signals of the
そして、可動子110が対向する領域外にあるホール素子130は、可動子110の磁場から離れているので、その論理信号はLとなる。このことから、可動子110の両端部付近に対応するホール素子130の配置番号は、それぞれ論理信号がHとなるホール素子130の配置番号のうちで最大値と最小値をとることになる。
Since the
そして、最大値と最小値の平均値に近い配置番号を持つホール素子130は、可動子110の中央部付近に位置することとなる。そこで本実施形態では、平均値を四捨五入した値と等しい配置番号を持つホール素子130を、可動子110の位置を検出する位置検出用ホール素子として決定する。
Then, the
図4の例によれば、まず一番上の1段階目では、可動子110の左端に対応するホール素子130は、Hを示すホール素子130の配置番号のうち最小値の1を示すホール素子130となる。また、可動子110の右端に対応するホール素子130は、Hを示すホール素子130の配置番号のうち、最大値の7を示すホール素子130となる。したがって、可動子110の中央に対応するホール素子130の配置番号は、これらの平均値の4となる。図中の矢印は、決定されたホール素子130を指している。なお配置番号4のホール素子130の論理信号はLとなっているが、これは上述したように磁場極性が変化する位置に来ていることに起因する。
According to the example of FIG. 4, in the first stage at the top, the
同様に、2段階目では最小値が2、最大値が8となるので、その平均値の5を配置番号として持つホール素子130が位置検出用ホール素子として決定されている。3段階目では配置番号6をもつホール素子130が、4段階目では配置番号8のホール素子130がそれぞれ位置検出用ホール素子として決定されている。このように、所定値を超える磁気を検出したホール素子の配置位置から、可動子110の位置を検出する位置検出用ホール素子が1つ決定される。
Similarly, since the minimum value is 2 and the maximum value is 8 in the second stage, the
なおこの決定方法は、用いる可動子110の着磁の仕方に依存する。本実施形態では、可動子110の中心からみて左右対称に磁場強度が同じ強さで分布するように着磁されているので、可動子110の中心位置と、単調減少または単調増加区間の中心位置とがほぼ一致することとなる。しかしながら、可動子110の中心からみて磁場強度が異なる強さで分布している場合は、可動子110の中心位置と、単調減少又は単調増加区間の中心とが一致しないこととなる。
This determination method depends on the method of magnetization of the
この場合、位置検出用ホール素子を決定するときにこの条件を加えて決定することが望まれる。例えば、可動子110の中心ではなく、左側から5/8の位置に単調減少の中心位置がくる場合を想定してみる。この場合、最小値と最大値との平均値ではなく、最小値と最大値の合計に5/8を乗じた値に近い配置番号を持つホール素子130を位置検出用ホール素子として決定する。
In this case, it is desirable to add this condition when determining the position detecting Hall element. For example, let us assume a case where the center position of monotonic decrease comes not at the center of the
図5は、可動子110の位置を検出する流れを示すフローチャートである。まず、ステップS51で、駆動コイル124に電流が印加され可動子110が移動する。次にステップS52で、可動子110の移動に伴う磁場の変化がホール素子130により計測される。磁場測定は、ベース部材140上に設置された複数のホール素子130すべてにより実行される。そして、計測された磁場強度が算出部150に送信される。
FIG. 5 is a flowchart showing a flow of detecting the position of the
ステップS53では、算出部150が、複数のホール素子130のうち、計測した磁場強度が所定値を越えるホール素子130をまず判断する。所定値は予め設定され、算出部150が有する記憶部に記憶されている。そして、磁場強度が所定値を越えるホール素子130の配置番号を取得する。続いてステップS54において、算出部150がまず、取得した配置番号の最大値と最小値を判断する。そして、最大値及び最小値の平均値を四捨五入した値を算出して、この数値と同じ配置番号に対応するホール素子130を、可動子110の位置を検出する位置検出用ホール素子として決定する。
In step S <b> 53, the
最後にステップS55において、算出部150が、ステップS54で決定された位置検出用ホール素子が測定した磁場強度を用いて可動子110の位置を算出する。以下、このステップS55で実行される位置算出の詳細について説明する。
Finally, in step S55, the
ホール素子の配置番号をi、ホール素子の配置座標をXS(i)、決定された位置検出用ホール素子を用いて算出されるストローク位置をXSTとすると、可動子110の位置Xは、数式(1)で算出することができる。
ここで、複数のホール素子130の配置座標は、表1のようなテーブル情報として、あらかじめ算出部150が有する記憶部に保持しておく。ステップS54において位置検出用ホール素子が決定した場合に、その配置番号を入力として本テーブル情報を参照することで、ホール素子の配置座標を取得することができる。こうして取得した配置座標にストローク位置XSTを加算すれば可動子110の位置を算出することができるが、ここでストローク位置XSTの算出方法として2つの例を示す。
1つ目の例として、表2に示すような参照テーブルを利用する手法を示す。この参照テーブルには、ホール素子130が測定した可動子110の磁場強度に対する、可動子110のストローク位置が登録されている。テーブル内の情報は事前に測定されて登録されている。
As a first example, a technique using a reference table as shown in Table 2 is shown. In this reference table, the stroke position of the
本参照テーブルを用いることで、ホール素子130が測定した磁場強度を可動子110のストローク位置に変換することができる。すなわち、磁場強度を距離に変換することができる。なお本実施形態では、算出部150が有する記憶部に1つの参照テーブルを保持する構成で説明するが、ホール素子毎の特性の差に対応して、各ホール素子に対応する参照テーブルをそれぞれ保持するよう構成してもかまわない。
本手法では、算出部150が、ステップS54で決定された位置検出用ホール素子が測定した磁場強度の出力を受けて、その磁場強度を入力として本参照テーブルを参照することでストローク位置を取得する。そして、数式(1)に示すように、ここで取得したストローク位置と、表1に示すテーブル情報を参照して取得された位置検出用ホール素子の配置座標とを加算演算することによって、可動子110の位置を算出する。
In this method, the
ここで更に具体的に示す。例えばステップS54で、配置番号3のホール素子130が位置検出ホール素子として決定され、配置番号3のホール素子の出力が0.03Tであった場合、可動子の位置は−19.5mmに0.60mmを加算することで、−18.1mmと算出することができる。
Here, it shows more concretely. For example, when the
なお、参照テーブルに登録された値よりも細かい値を位置検出用ホール素子が出力した場合は、参照テーブルに登録された磁場強度のうちその前後にあたる磁場強度に対して内挿補間を適用することで対応する。例えば、位置検出用ホール素子が出力した磁場強度が0.035Tであった場合は、内挿補間により、0.70mmという値が取得できる。 When the position detecting Hall element outputs a value finer than the value registered in the reference table, interpolation is applied to the magnetic field strengths before and after the magnetic field strength registered in the reference table. Correspond with. For example, when the magnetic field intensity output from the position detecting Hall element is 0.035T, a value of 0.70 mm can be acquired by interpolation.
続いて2つ目の例として、参照テーブルを利用するかわりに、磁場強度と比例関係にある出力電圧と、ストローク位置との関係を変換関数で表しておき、これを利用する手法について説明する。図6は、ホール素子130の出力電圧と可動子110のストローク位置との関係を示した図である。プロットが事前に実測して解析した値を表しているが、これは近似3次方程式である数式(2)で近似することができる。Eはホール素子130の出力電圧を示す。
数式(2)に対して、実際に解析したホール素子130の出力電圧とストローク位置を適用することで、係数K3、K2、K1およびK0の値を算出する。これら係数を数式(2)に適用すると、図に示したような近似曲線を描き、解析値とほぼ一致する。本手法では、このようにして算出した係数の値を、算出部150が有する記憶部に予め記憶しておく。
The values of the coefficients K3, K2, K1, and K0 are calculated by applying the actually analyzed output voltage and stroke position of the
そして算出部150は、ステップS54で決定された位置検出用ホール素子の出力電圧を受けた場合に、その出力電圧と記憶部に記憶された係数の値とを数式(2)に適用して演算することで、可動子110のストローク位置を算出する。そして数式(1)に示すように、ここで取得したストローク位置と、表1に示すテーブル情報を参照して取得した位置検出用ホール素子の配置座標とを加算することによって、可動子110の位置を算出する。
When the
本実施形態では、上述の構成をとることにより、可動子110の精確な位置検出を実現できる。なお、リニアモータ100が温度変化を伴う環境下で使用されるときには、ホール素子130の近傍に温度センサ170を設けて出力を調整することが有効と考えられる。
In the present embodiment, accurate position detection of the
例えば、様々な温度環境下でホール素子130の出力電圧を測定して解析することで、温度係数情報を算出して、算出部150の記憶部に記憶させておく。そしてホール素子130で磁場測定するときに、温度センサ170で計測した温度に対応する温度係数を適用する。このように温度センサ170の出力を加味するよう構成することで、周囲温度の変化によるホール素子130の出力電圧の変化に対応することでき、位置検出精度を高めることができる。
For example, by measuring and analyzing the output voltage of the
また上記実施形態では、18個のホール素子130すべてで磁場計測を実行していたが、これに限られない。例えば磁場計測をするホール素子130を、決定された位置検出用ホール素子から所定の範囲内にあるホール素子130に限定するよう構成してもかまわない。
Moreover, in the said embodiment, although the magnetic field measurement was performed with all the 18
その具体例として、所定の範囲を配置番号7以内と定めた場合を例に説明する。位置検出用ホール素子が配置番号7のホール素子の場合、配置番号1から7に対応するホール素子は所定の範囲内なので磁場測定を実行しかつ配置番号7から13に対応するホール素子も所定の範囲内なので磁場測定を実行する。これに対し配置番号14から18は所定の範囲外となるので、磁場測定を実行しないよう制御する。
As a specific example, a case where the predetermined range is determined to be within the arrangement number 7 will be described as an example. When the Hall element for position detection is a Hall element with arrangement number 7, since the Hall elements corresponding to
可動子110が移動して、位置検出用ホール素子が配置番号8のホール素子に切り替わった場合、配置番号2から14に対応するホール素子は所定の範囲内となるので磁場測定を実行する。そして、配置番号1及び配置番号15から18に対応するホール素子は磁場測定を実行しない。所定の範囲を適切に設定すれば位置検出に問題が生じることはないので、このように構成することによって、磁気計測を実行しないホール素子130の分の処理負荷を低減することができる。
When the
またこれに加えて、可動子110の進行方向を考慮するよう構成してもよい。進行方向と逆方向とで、所定の範囲を別々に設定して、逆方向の所定の範囲を進行方向の所定の範囲よりも小さく設定することで、更なる処理負荷の低減および省電力を実現できる。これは、任意のタイミングで可動子110に注目した場合、その可動子110が次に動く方向は、その時点における進行方向の方が、逆方向よりも可能性が高いことを考慮している。所定の範囲は、可動子110の急な加速等を考慮して余裕を持たせた値に設定することが望まれるが、進行方向を考慮することでその余裕分を調整して処理負荷の低減を実現する。
In addition to this, the moving direction of the
例えば進行方向の所定の範囲を配置番号7以内、逆方向の所定の範囲を5以内と定めた場合を想定する。上述の例と同様に、位置検出用ホール素子が配置番号7のホール素子の場合として、さらに、可動子110が配置番号増加方向に移動していた場合、配置番号1および2に対応するホール素子130は、逆方向の所定の範囲6を越えているので、磁場測定を実行しないホール素子130となる。
For example, it is assumed that the predetermined range in the traveling direction is set within the arrangement number 7 and the predetermined range in the reverse direction is set within 5. Similarly to the above-described example, when the position detecting Hall element is the Hall element with the arrangement number 7, and further when the
この結果、配置番号3から13に対応するホール素子は磁場測定を実行して、配置番号1、2及び配置番号14から18に対応するホール素子は磁場測定を実行しない。このように、可動子110の進行方向を考慮することで磁場測定を実行するホール素子130を適切に減らすことによって、更なる処理負荷の低減および省電力を実現できる。
As a result, the Hall elements corresponding to the
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。 The order of execution of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior to”. It should be noted that the output can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.
100 リニアモータ、110 可動子、112 マグネットホルダ、114 マグネット、120 固定子、122 中心軸、124 駆動コイル、130 ホール素子、140 ベース部材、142 支持部、150 算出部、160 ガイドレール、170 温度センサ
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記マグネットに対向して配置され、前記マグネットに対して前記駆動方向に駆動力を発生させる駆動コイルと、
前記マグネットに対して、前記駆動コイルの反対側で対向して配置される複数の磁気センサと
を備えるリニアモータ。 A magnet in which a magnetic pattern for driving is magnetized along a linear driving direction;
A driving coil that is disposed opposite to the magnet and generates a driving force in the driving direction with respect to the magnet;
A linear motor comprising: a plurality of magnetic sensors arranged to face the magnet on the opposite side of the drive coil.
前記算出部は、前記温度センサの出力を加味して前記マグネットの位置を算出する請求項3または4に記載のリニアモータ。 A temperature sensor is provided in the vicinity of the magnetic sensor,
The linear motor according to claim 3, wherein the calculation unit calculates the position of the magnet in consideration of an output of the temperature sensor.
前記複数の磁気センサのうち所定値を超える磁気を検出した磁気センサの配置位置から前記マグネットの位置を検出する一つの磁気センサを決定する決定ステップと、
決定された前記一つの磁気センサの出力を演算して前記マグネットの位置を算出する算出ステップと
を有するリニアモータの位置検出方法。 A magnet magnetized with a driving magnetic pattern along a linear driving direction, a driving coil disposed opposite to the magnet and generating a driving force in the driving direction with respect to the magnet, and the magnet And a position detection method of a linear motor comprising a plurality of magnetic sensors arranged to face each other on the opposite side of the drive coil,
A determination step of determining one magnetic sensor for detecting the position of the magnet from the arrangement position of the magnetic sensor that has detected magnetism exceeding a predetermined value among the plurality of magnetic sensors;
A linear motor position detecting method comprising: calculating a position of the magnet by calculating an output of the determined one magnetic sensor.
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2009
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015027230A (en) * | 2013-07-29 | 2015-02-05 | 株式会社安川電機 | Linear motor |
US9270156B2 (en) | 2013-07-29 | 2016-02-23 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Linear motor |
WO2020179636A1 (en) * | 2019-03-05 | 2020-09-10 | 株式会社村田製作所 | Position detector and magnetic sensor |
JP7046290B1 (en) * | 2021-07-08 | 2022-04-01 | 三菱電機株式会社 | Position detector and linear transfer device |
WO2023281687A1 (en) * | 2021-07-08 | 2023-01-12 | 三菱電機株式会社 | Position detector and linear conveyance device |
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