JP2011059055A - 光電式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源102から出射された光を、スケール106に設けられた光学格子110で変調させて、変調された光を受光素子122で検出する光電式エンコーダ100において、光学格子110で変調された光を結像する両側テレセントリック光学系114を備え、両側テレセントリック光学系114は、光学格子110で変調された光の一部を透過させると共に、方向Xの開口118Aの幅aよりも方向Yで広い幅bの開口118Aを備え、方向Yの光源102の幅dyによる光源側開口数NAlightyが、方向Xの開口118Aの幅aによる検出側開口数NAoptxよりも大きい。
【選択図】図1
Description
NAlighty=dy/(2*f) (2)
NAopty=b/(2*F) (5)
(B+S)/2≦OF≦(L−S)/2 (9)
6、106〜506、716〜1106…スケール
14、114〜514、714〜1114…両側テレセントリック光学系
16、20、116〜516、120〜520、716〜1116、720〜1120…結像レンズ
18、118〜518、718〜1118…開口板
22、122〜522、722〜1122…受光素子
100〜500、700〜1100…光電式エンコーダ
104〜504、704〜1104…コリメータレンズ
110、710、1110…光学格子
118A…開口
Claims (17)
- 光源から出射された光を、スケールに設けられた光学格子で変調させて、該変調された光を受光素子で検出する光電式エンコーダにおいて、
前記光学格子で変調された光を結像する結像光学系を備え、
該結像光学系は、該光学格子で変調された光の一部を透過させると共に、前記スケールの相対移動方向である測定軸方向の開口の幅よりも該測定軸方向に直交する方向で広い幅の開口を備え、
該測定軸方向に直交する方向の前記光源の幅による光源側開口数が、前記結像光学系における該測定軸方向の開口の幅による検出側開口数よりも大きい
ことを特徴とする光電式エンコーダ。 - 更に、前記光源から出射した光を前記スケールに照射する照明光学系を備え、
該照明光学系は、該光源から出射された光を拡散させる拡散板を備えることを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。 - 更に、前記光源から出射した光を前記スケールに照射する照明光学系を備え、
該照明光学系は、前記光源から出射された光の一部を透過させる前段開口が設けられた前段開口板を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の光電式エンコーダ。 - 更に、前記光源から出射した光を前記スケールに照射する照明光学系を備え、
該照明光学系は、前記光源から出射された光を屈折させる照明レンズを備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光電式エンコーダ。 - 前記照明光学系は、前記光源から前記光学格子までの照明光軸上において1つの前記照明レンズを前記光源が該照明レンズの焦点位置になるように配置させる片側テレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項4に記載の光電式エンコーダ。
- 前記照明光学系は、前記光源から前記光学格子までの照明光軸上において2つの前記照明レンズの間の焦点位置に1つの前段開口板の開口を配置させる両側テレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項4に記載の光電式エンコーダ。
- 前記照明レンズが、前記測定軸方向にのみ曲率をもつシリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項5又は6に記載の光電式エンコーダ。
- 前記光源は前記スケールに対して前記結像光学系と同じ側に配置され、該結像光学系は該スケールから反射された光を結像することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記光源から前記光学格子までの照明光軸と該光学格子から前記受光素子までの検出光軸とを前記測定軸方向に直交させると共に、該照明光軸と該検出光軸とが各経路全てで不一致とされた配置であることを特徴とする請求項8に記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、前記開口が設けられた開口板を備えることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、前記光学格子で変調された光を屈折させる結像レンズを備えることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像レンズが、前記測定軸方向にのみ曲率をもつシリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項11に記載の光電式エンコーダ。
- 前記光源は前記スケールに対して前記結像光学系と同じ側に配置され、該結像光学系は該スケールで反射された光を結像し、
該光源から前記光学格子までの照明光軸と該光学格子から前記受光素子までの検出光軸とを前記測定軸方向に直交させると共に、該照明光軸と該検出光軸とが各経路全てで不一致とされた配置であり、
前記結像光学系が、前記光学格子で変調された光を屈折させる結像レンズを備え、該結像レンズが前記測定軸方向にのみ曲率をもつシリンドリカルレンズであり、
該結像レンズと前記照明レンズとが兼用とされたことを特徴とする請求項7に記載の光電式エンコーダ。 - 更に、前記照明レンズに、前記測定軸方向に直交する方向にのみ曲率をもつシリンドリカルレンズを組み合わせて、前記光源から出射された光を前記光学格子に照射することを特徴とする請求項13に記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、前記光学格子から検出素子までの検出光軸上の1つの前記結像レンズの焦点位置に1つの前記開口板の開口を配置させる片側テレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項11乃至14のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、前記光学格子から検出素子までの検出光軸上の2つの前記結像レンズの間の焦点位置に1つの前記開口板の開口を配置させる両側テレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項11乃至14のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記光源で光を出射しない不発光領域を前記光源から前記光学格子までの照明光軸上から前記測定軸方向に外して配置することを特徴とする請求項1乃至16のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
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