JP2011045815A - Micro mixing apparatus - Google Patents

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JP2011045815A
JP2011045815A JP2009195321A JP2009195321A JP2011045815A JP 2011045815 A JP2011045815 A JP 2011045815A JP 2009195321 A JP2009195321 A JP 2009195321A JP 2009195321 A JP2009195321 A JP 2009195321A JP 2011045815 A JP2011045815 A JP 2011045815A
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Naohisa Yanagawa
直久 柳川
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Azbil Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micro mixing apparatus having an excellent productivity, assemblability and sealing property at a cheap price by not increasing the number of plates on which the constituting channels are dug even though the number of stages of the division blending is increased. <P>SOLUTION: The micro mixing apparatus 1 has a three layer structure where a channel forming member 2, two pieces of upper and lower cover members 3 and 4 are cumulated and integrally connected. The channel forming member 2 has a mixing distribution channel 7 formed on both faces. The mixing distribution channel 7 has the first channel for mixing distribution 8 formed in four stages on a surface 5; the second channel for mixing distribution 9 formed in four stages on a back face 6; and a plurality of communicating holes 10a to 10m connecting these channels. Thereby, mixing apparatus 13A to 13G, and mixing distribution apparatus 14A to 14C are formed. One of the cover members 3 has the first fluid supply port 20 supplying a fluid A and a discharge port 21 discharging a mixed fluid C, and the other cover member 4 has the second fluid supply port 24 supplying a fluid B. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、２種類の流体を所定の混合比率で混合するマイクロ混合器に関するものである。   The present invention relates to a micromixer that mixes two kinds of fluids at a predetermined mixing ratio.

２種類の流体、例えば水とサラダ油のように混合しにくい液体どうしを細分化して均一に拡散させ混合する装置として、マイクロ混合器（例えば、特許文献１〜３参照）が用いられている。   2. Description of the Related Art A micromixer (see, for example, Patent Documents 1 to 3) is used as a device that subdivides two kinds of fluids, such as water and salad oil, which are difficult to mix, and uniformly diffuses and mixes them.

特許文献１に記載されているマイクロ混合器は、複数枚の平板状の流路モジュールを積層して複数の層をなす流路を形成している。各流路モジュールは、複数の混合分配ユニットを備え、これらの混合分配ユニットを周期的に配列している。混合分配ユニットは、モジュールの上流面（下面）に設けたチャンネル（溝）と、チャンネル内に設けた縞状の仕切部および２つのインレットと、モジュールの下流面（上面）に設けた２個のアウトレットとを有し、２つのインレットとアウトレットをチャンネルによって接続することにより、流路モジュールの両面間に立体的な流路を形成している。   In the micromixer described in Patent Document 1, a plurality of flat channel modules are stacked to form a plurality of layers. Each flow path module includes a plurality of mixing / distributing units, and these mixing / distributing units are periodically arranged. The mixing / distributing unit includes a channel (groove) provided on the upstream surface (lower surface) of the module, a striped partition and two inlets provided in the channel, and two channels provided on the downstream surface (upper surface) of the module. By having two outlets and connecting the two inlets and outlets by channels, a three-dimensional flow path is formed between both surfaces of the flow path module.

混合分配ユニットの周期的な配列形態としては、上流側から下流側に向けてユニット数を順次１つずつ減らしてピラミッド型に配列した形態と、各流路モジュールにおいて複数の混合分配ユニットを一列に直線状に配列した形態と、複数列にわたって平行に配列した形態とが開示されている。また、混合分配ユニットは、特殊なものとして流体を混合する混合機能のみを有し、分配機能を省略した混合ユニットを含んでいる。この混合ユニットは、混合分配ユニットにおける２つのアウトレットのうちの一方と、このアウトレットに連なるチャンネルを省略した構造となっている。   The periodic arrangement form of the mixing / distributing units includes a form in which the number of units is sequentially reduced from the upstream side to the downstream side and arranged in a pyramid shape, and a plurality of mixing / distributing units are arranged in a row in each flow path module. A form arranged in a straight line and a form arranged in parallel over a plurality of rows are disclosed. Further, the mixing / distributing unit includes a mixing unit having only a mixing function of mixing fluids as a special one and omitting the distributing function. This mixing unit has a structure in which one of the two outlets in the mixing / distributing unit and a channel connected to the outlet are omitted.

特許文献２に記載されているマイクロ混合器は、複数の混合分配ユニットを所定の閉曲線上に周期的に配列した複数の流路モジュールを積層し、各混合分配ユニットを上記各層の流路モジュール間において、各混合分配ユニットのインレットとアウトレットを所定の配列で順次接続している。   The micromixer described in Patent Document 2 includes a plurality of channel modules in which a plurality of mixing / distributing units are periodically arranged on a predetermined closed curve, and each mixing / distributing unit is disposed between the channel modules of each layer. The inlet and outlet of each mixing / distributing unit are sequentially connected in a predetermined arrangement.

特許文献３に記載されているマイクロ混合器は、それぞれ１つの混合分配器を形成してなる複数の流路モジュールを積層している。混合分配器は、流路モジュールの一方の面に開口する２つの流体導入口と、他方の面に開口する２つの流体導出口と、これらの流体導入口および流体導出口に接続されて流体導入口から流入した流体をそれぞれ分岐して流体導出口に導く流路を形成した構成体からなり、前記流体導入口および流体導出口に囲まれた領域中に、それぞれの流路に流路断面積の狭い部分を形成する流路仕切部を設けている。なお、混合分配器は、上記特許文献１、２に示されている混合分配ユニットと実質的に同一構造で、名称のみが異なっている。   The micromixer described in Patent Document 3 is formed by laminating a plurality of flow path modules each forming one mixing / distributing device. The mixer / distributor includes two fluid inlets that open on one side of the flow path module, two fluid outlets that open on the other side, and a fluid inlet connected to the fluid inlet and the fluid outlet. Each of the fluid flowing in from the ports is branched to form a flow path for guiding the fluid to the fluid outlet, and each channel has a cross-sectional area in the region surrounded by the fluid inlet and the fluid outlet. The flow path partition part which forms a narrow part is provided. The mixing / distributing device has substantially the same structure as the mixing / distributing unit shown in Patent Documents 1 and 2 described above, but only the names are different.

特開２００２−３４６３５３号公報JP 2002-346353 A 特開２００２−３４６３５４号公報JP 2002-346354 A 特開２００６−２６６０３号公報JP 2006-26603 A

しかしながら、上記した従来のマイクロ混合器にあっては、液体を混合する流路自体が微細なため高い加工精度が要求され、また、流路を掘り込んだ板からなる流路モジュールを流路の段数と等しい枚数だけ用意し、正確に位置決めして積層する必要があるため、製造コストが高くなるという問題があった。また、樹脂などの柔らかい材料で流路モジュールを製作すると、複数枚の流路モジュールを積層して一体的に結合したときに歪みが拡大されて大きな耐圧を得ることが困難である。さらに、流路モジュールの積層数が多くなればなる程、流体が漏れる箇所（接合面）が増え、また漏れている箇所を特定するにも手間がかかる。加えて、流路モジュールを積層して組み立てるとき、積層順序の間違いなども起こるおそれがあるため組立てに細心の注意を要するなど、多くの問題があった。   However, in the above-described conventional micromixer, the flow path itself for mixing the liquid is fine, so that high processing accuracy is required. In addition, the flow path module formed of a plate in which the flow path is dug is used as the flow path module. Since it is necessary to prepare a number equal to the number of steps, and to accurately position and stack the layers, there is a problem that the manufacturing cost increases. In addition, when the flow channel module is manufactured from a soft material such as resin, when a plurality of flow channel modules are stacked and joined together, distortion is increased and it is difficult to obtain a large pressure resistance. Furthermore, the greater the number of channel modules stacked, the greater the number of locations (joint surfaces) where fluid leaks, and the more time is required to identify the location where leakage occurs. In addition, when the flow path modules are stacked and assembled, there is a possibility that an error in the stacking order may occur.

本発明は、上記した従来の問題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、分割混合の段数を増やしたとしても、構成する流路を掘り込んだ板の枚数が増えないようにすることである。それにより多段にした場合であっても、安価に製造でき組立ておよびシール性に優れたマイクロ混合器を提供することにある。   The present invention has been made in order to solve the above-described conventional problems. The purpose of the present invention is not to increase the number of plates in which the flow paths are formed even if the number of division mixing stages is increased. Is to do so. Accordingly, an object of the present invention is to provide a micromixer that can be manufactured at low cost and has excellent assembly and sealing properties even when it is multistage.

上記目的を達成するために、本発明は、背中合わせに対向する第１、第２の流路形成面を有する流路形成部材と、前記流路形成部材の前記第１、第２の流路形成面を覆う第１、第２のカバー部材とを具備し、前記流路形成部材には、前記第１、第２の流路形成面にそれぞれ形成された第１、第２の混合分配用流路と、前記第１、第２の混合分配用流路を接続する複数の連通孔と、前記第１、第２の混合分配用流路の上流側端と下流側端に設けられた入口および出口とを有し、２種類の流体の混合と分配を複数回繰り返し実行させる混合分配流路が設けられているものである。   To achieve the above object, the present invention provides a flow path forming member having first and second flow path forming surfaces facing each other back to back, and the first and second flow path formations of the flow path forming member. First and second cover members that cover the surface, and the flow path forming member includes first and second mixing and distribution flows formed on the first and second flow path forming surfaces, respectively. A plurality of communication holes connecting the first and second mixing / distributing channels, inlets provided at upstream and downstream ends of the first and second mixing / distributing channels, and It has an outlet, and is provided with a mixing / distributing flow path for repeatedly performing mixing and distribution of two kinds of fluids a plurality of times.

また、本発明は、上記発明において、前記第１、第２の混合分配用流路が、それぞれ２つの分岐部を有する複数の流路部分で構成され、第１の混合分配用流路の流路部分と、これと対応する第２の混合分配用流路の流路部分の一方の分岐部どうしの下流側端と他方の分岐部どうしの下流側端がそれぞれ連通孔によって連通して混合部を形成するものである。   Further, according to the present invention, in the above invention, the first and second mixing / distributing channels each include a plurality of channel portions each having two branch portions, and the first mixing / distributing channel The downstream end of one branch part and the downstream end of the other branch part of the channel part and the corresponding channel part of the second mixing / distributing channel corresponding to each other communicate with each other through a communication hole. Is formed.

また、本発明は、上記発明において、前記流路形成部材の混合分配流路が、それぞれ前記第１、第２の混合分配用流路の互いに対応する２つの流路部分と、２つの混合部および２つの分配部を有し、流体の流れ方向に少なくとも一列に配設された複数の混合分配器の集合体からなるものである。   Further, according to the present invention, in the above invention, the mixing / distributing channel of the channel forming member includes two channel portions corresponding to each other of the first and second mixing / distributing channels and two mixing units. And an assembly of a plurality of mixing / distributing units disposed in at least one row in the fluid flow direction.

また、本発明は、上記発明において、前記流路形成部材の混合分配流路が、それぞれ前記第１、第２の混合分配用流路の互いに対応する２つの流路部分と、２つの混合部および２つの分配部を有する複数の混合分配器と、それぞれ前記第１、第２の混合分配用流路の互いに対応する他の２つの流路部分と１つの混合部を有する複数の混合器を上流側から下流側に向かって複数列配設した集合体からなり、前記混合分配器と前記混合器は最上流側の列においてその数が最も多く、下流側の列に向かって１つずつ減少するように配設されているものである。   Further, according to the present invention, in the above invention, the mixing / distributing channel of the channel forming member includes two channel portions corresponding to each other of the first and second mixing / distributing channels and two mixing units. And a plurality of mixing distributors having two distribution sections, and a plurality of mixers having one mixing section and the other two flow path portions corresponding to each other of the first and second mixing and distribution flow paths, respectively. It consists of an assembly arranged in a plurality of rows from the upstream side to the downstream side, and the number of the mixer / distributor and the mixer is the highest in the uppermost stream side, and decreases one by one toward the downstream side line. It is arranged to do.

また、本発明は、上記発明において、前記流路形成部材および前記第１、第２のカバー部材が平板で形成されているものである。   In the present invention, the flow path forming member and the first and second cover members are formed of flat plates.

また、本発明は、上記発明において、前記流路形成部材および前記第１、第２のカバー部材が湾曲した板で形成されているものである。   The present invention is the above invention, wherein the flow path forming member and the first and second cover members are formed of curved plates.

さらに、本発明は、上記発明において、前記流路形成部材が外周面と内周面が第１、第２の流路形成面を形成する中空体からなり、前記第１、第２のカバー部材が前記流路形成部材の第１、第２の流路形成面に嵌合する中空体からなるものである。   Furthermore, the present invention is the above invention, wherein the flow path forming member comprises a hollow body having an outer peripheral surface and an inner peripheral surface forming a first flow path forming surface and a first flow path forming surface. Is made of a hollow body fitted to the first and second flow path forming surfaces of the flow path forming member.

本発明においては、２種類の流体を複数回繰り返し混合し分配または分配し混合する混合分配流路を、流路形成部材の第１、第２の流路形成面にわたって立体的に形成しているので、流路形成部材を最少の場合においては１枚とすることができる。その場合においては２つのカバー部材とで三層構造のマイクロ混合器として安価に製作、提供することができる。また、部品点数が少なく、製造、組立性に優れ、しかも接合面の数が２つであるため流体の漏洩を軽減することができる。さらに、積層数が少なければ、積層による歪みも少ないため、高い耐圧性能が得られ、流路形成部材とカバー部材の材質の自由度を高めることができる。また、流路形成部材を図９（ｂ）に示すように３層に分割した場合は、３層の位置合わせが必要になり、積層部のシールが必要になるという欠点はあるが、流路の加工方法において掘り込みではなく、ワイヤーカッターやエッチングによる穴明けとして片面からの加工で作ることができるなど加工方法の選択肢を増やすことができる。例えば、図９（ａ）に示す二枚構成の場合は掘り込みが必要ではあるが片面加工である点で加工が容易になる場合がある（プレス加工、成形加工など）。流路形成部材が一枚から三枚の構成のどれを選ぶかは、要求されるシール性や生産量とコストとの比較などで選択すればよい。   In the present invention, the mixing / distribution flow path for repeatedly mixing and distributing or distributing and mixing two kinds of fluids is formed three-dimensionally across the first and second flow path forming surfaces of the flow path forming member. Therefore, in the case of the minimum number of flow path forming members, one sheet can be used. In that case, it can be manufactured and provided at low cost as a micro mixer having a three-layer structure with two cover members. Moreover, since the number of parts is small, the manufacturing and assembling properties are excellent, and the number of joint surfaces is two, the fluid leakage can be reduced. Furthermore, if the number of layers is small, there is little distortion due to the layers, so that high pressure resistance is obtained, and the degree of freedom of the material of the flow path forming member and the cover member can be increased. Further, when the flow path forming member is divided into three layers as shown in FIG. 9B, there is a disadvantage that the alignment of the three layers is required and the sealing of the laminated portion is required. In this processing method, instead of digging, the number of processing method options can be increased, for example, it can be made by processing from one side as drilling by a wire cutter or etching. For example, in the case of the two-sheet configuration shown in FIG. 9A, digging is necessary, but processing may be facilitated in terms of single-side processing (press processing, molding processing, etc.). Which one of three to three flow path forming members is selected may be selected based on required sealing properties, comparison of production volume and cost, or the like.

また、本発明におけるマイクロ混合器は、設置箇所によっては、平板状、円弧状または筒状に形成することができる。   Moreover, the micromixer in this invention can be formed in flat form, circular arc shape, or a cylinder shape depending on an installation location.

本発明は、実施の形態として、２つの流路部分をそれぞれ２つの分岐部を有するＹ字状の分岐流路を用い、流体を分配した後で混合するようにしているが、ここでは、混合と分配の順序に関係なく、混合と分配を行なう２つの流路部分を備えたものを、１つの流路構成単位として「混合分配器」と称する。また、「混合分配流路」、「第１の混合分配用流路」、「第２の混合分配流路」も同様である。一方、分配を行わず混合のみを行なう２つの流路部分を備えたものについては、１つの流路構成単位として「混合器」と称する。   In the present invention, as an embodiment, a Y-shaped branch flow path having two branch portions for each of the two flow path portions is used and mixed after the fluid is distributed. Regardless of the order of distribution, one having two flow path portions for mixing and distribution is referred to as a “mixing / distributing device” as one flow path constituent unit. The same applies to the “mixing / distributing channel”, the “first mixing / distributing channel”, and the “second mixing / distributing channel”. On the other hand, a unit provided with two flow path portions that perform only mixing without performing distribution is referred to as a “mixer” as one flow path structural unit.

本発明に係るマイクロ混合器の第１の実施の形態を示す分解斜視図である。1 is an exploded perspective view showing a first embodiment of a micromixer according to the present invention. 流路形成部材の平面図である。It is a top view of a flow path formation member. 流路形成部材の底面図である。It is a bottom view of a flow path forming member. 図１のＩＶ−ＩＶ線断面図である。It is the IV-IV sectional view taken on the line of FIG. 本発明の第２の実施の形態を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態を示す図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４の実施の形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第５の実施の形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the 5th Embodiment of this invention. （ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の第６の実施の形態を示す要部の断面図である。(A), (b) is sectional drawing of the principal part which shows the 6th Embodiment of this invention, respectively. 本発明の第７の実施の形態を示す要部の平面図である。It is a top view of the principal part which shows the 7th Embodiment of this invention.

以下、本発明に係るマイクロ混合器を図面に基づいて詳細に説明する。
図１〜図４において、異なった２種類の流体（液体）Ａ、Ｂを所定の混合比で混合するマイクロ混合器１は、平板状に形成された１枚の流路形成部材２と、この流路形成部材２の表裏面を覆う上下２枚のカバー部材（以下、第１、第２のカバー部材ともいう）３、４とを備え、これらをボルト等の適宜な固定手段（図示せず）によって一体的に結合することにより３層構造のマイクロ混合器を構成している。 Hereinafter, a micro mixer according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
1 to 4, a micro mixer 1 for mixing two different types of fluids (liquids) A and B at a predetermined mixing ratio includes a single flow path forming member 2 formed in a flat plate shape, Two upper and lower cover members (hereinafter also referred to as first and second cover members) 3 and 4 that cover the front and back surfaces of the flow path forming member 2 are provided, and these are appropriately fixed means such as bolts (not shown). ) To form a three-layer micro mixer.

流路形成部材２は、アルミニウム合金、ステンレス等の金属または合成樹脂によって矩形板状に形成され、背中合わせに対向する表裏面が第１、第２の流路形成面５、６を形成し、これらの流路形成面５、６にわたって前記２種類の液体Ａ、Ｂを複数回繰り返し分配して混合することにより、所定の混合比の混合流体Ｃを生成する混合分配流路７が立体的に形成されている。   The flow path forming member 2 is formed in a rectangular plate shape from a metal such as an aluminum alloy or stainless steel or a synthetic resin, and the front and back surfaces opposed to each other form first and second flow path forming surfaces 5 and 6. The two types of liquids A and B are repeatedly distributed and mixed a plurality of times over the flow path forming surfaces 5 and 6 to form a mixed distribution flow path 7 that generates a mixed fluid C having a predetermined mixing ratio. Has been.

混合分配流路７は、流路形成部材２の第１の流路形成面５に４列に形成された第１の混合分配用流路８と、第２の流路形成面６に前記第１の混合分配用流路８に対応して同じく４列に形成された第２の混合分配用流路９と、混合部として機能する１３個の連通孔１０ａ〜１０ｍと、８個の入口１１ａ〜１１ｈおよび１個の出口１０ａを備えている。なお、連通孔１０ａと出口１０ａは、同一の孔で、出口兼連通（混合）機能を有するものである。   The mixing / distributing channel 7 includes a first mixing / distributing channel 8 formed in four rows on the first channel forming surface 5 of the channel forming member 2 and the second channel forming surface 6 on the first channel. The second mixing / distributing flow path 9 formed in four rows corresponding to one mixing / distributing flow path 8, 13 communication holes 10 a to 10 m functioning as a mixing section, and 8 inlets 11 a ˜11h and one outlet 10a. The communication hole 10a and the outlet 10a are the same hole and have an outlet and communication (mixing) function.

図２において、第１の混合分配用流路８は、右から一列目の連通孔１０ｂ、１０ｄ、１０ｈによって一連に接続された４つの流路部分８ａ1 、８ａ2 、８ａ3 および８ａ4 と、右から二列目の連通孔１０ｆ、１０ｊによって一連に接続された３つの流路部分８ｂ1 、８ｂ2 および８ｂ3 と、右から三列目の連通孔１０ｌによって接続された２つの流路部分８ｃ1 および８ｃ2 と、四列目の１つの流路部分８ｄとを有している。流路部分８ｂ2 、８ｂ3 、８ｃ2 は、下流側に２つの分岐部Ｘ1 とＸ1 ’、Ｘ2 とＸ2 ’、Ｘ3 とＸ3 ’をそれぞれ有するＹ字状の流路部分からなり、その分岐開始部分が流体を分岐部Ｘ１ とＸ１ ’、・・・に分配する分配部Ｚをそれぞれ形成している。 In FIG. 2, the first mixing / distributing channel 8 includes four channel portions 8a 1 , 8a 2 , 8a 3, and 8a 4 connected in series by communication holes 10b, 10d, and 10h in the first row from the right. The three flow passage portions 8b 1 , 8b 2 and 8b 3 connected in series by the communication holes 10f, 10j in the second row from the right, and the two flow passages connected by the communication holes 10l in the third row from the right It has the parts 8c 1 and 8c 2 and one flow path part 8d in the fourth row. The flow path portions 8b 2 , 8b 3 and 8c 2 are Y-shaped flow path portions having two branch portions X 1 and X 1 ′, X 2 and X 2 ′, and X 3 and X 3 ′ on the downstream side, respectively. The branch start portion forms a distribution portion Z that distributes the fluid to the branch portions X1 and X1 ′,.

図３において、第２の混合分配用流路９は、右から一列目の連通孔１０ｃ、１０ｇ、１０ｍによって一連に接続された４つの流路部分９ａ1 、９ａ2 、９ａ3 および９ａ4 と、右から二列目の連通孔１０ｅ、１０ｋによって一連に接続された３つの流路部分９ｂ1 、９ｂ2 および９ｂ3 と、右から三列目の連通孔１０ｉによって接続された２つの流路部分９ｃ1 および９ｃ2 と、四列目の１つの流路部分９ｄとを有している。流路部分９ｂ2 、９ｃ2 、９ｂ3 は、同じく下流側に２つの分岐部Ｙ1 とＹ1 ’、Ｙ2 とＹ2 ’、Ｙ3 とＹ3 ’を有するＹ字状の流路部分からなり、その分岐開始部分が流体を分岐部Ｙ１ とＹ１ 、・・・に分配する分配部Ｗをそれぞれ形成している。 In FIG. 3, the second mixing / distributing flow path 9 includes four flow path portions 9a 1 , 9a 2 , 9a 3 and 9a 4 connected in series by communication holes 10c, 10g, 10m in the first row from the right. Three flow passage portions 9b 1 , 9b 2 and 9b 3 connected in series by communication holes 10e, 10k in the second row from the right, and two flow passages connected by communication holes 10i in the third row from the right It has the parts 9c 1 and 9c 2 and one flow path part 9d in the fourth row. The channel portions 9b 2 , 9c 2 , and 9b 3 are also Y-shaped channel portions having two branch portions Y 1 and Y 1 ′, Y 2 and Y 2 ′, and Y 3 and Y 3 ′ on the downstream side. The branch start portion forms a distribution portion W that distributes the fluid to the branch portions Y1, Y1,.

連通孔１０ａは、最下流側の２つの流路部分８ａ1 と流路部分９ａ1 の下流側端を連通する連通孔であって、２種類の流体を混合する混合部と混合分配流路７の出口を兼用している。連通孔１０ｂは、流路部分８ａ1 の上流側端と、流路部分８ａ2 の下流側端と流路部分９ｂ1 の下流側端を連通している。連通孔１０ｃは、流路部分９ａ1 の上流側端と流路部分８ｂ1 の下流側端と流路部分９ａ2 の下流側端を連通している。連通孔１０ｄは、流路部分８ａ2 の下流側端と流路部分８ａ3 の上流側端と流路部分９ｃ1 の下流側端を連通している。連通孔１０ｅは、流路部分９ｂ1 の下流側端と流路部分８ｂ2 の一方の分岐部Ｘ1 と流路部分９ｃ2 の一方の分岐部Ｙ1 を連通している。連通孔１０ｇは、流路部分９ａ2 の上流側端と流路部分８ｃ1 の下流側端と流路部分９ａ3 の下流側端を連通している。連通孔１０ｈは、流路部分８ａ4 と流路部分９ｄの下流側端を連通している。連通孔１０ｉは、流路部分９ｃ1 の下流側端と流路部分８ｂ3 の一方の分岐部Ｘ2 と流路部分９ｃ2の一方の分岐部Ｙ2 を連通している。連通孔１０ｊは、流路部分８ｂ2の下流側端と流路部分８ｂ3 の他方の分岐部Ｘ2 ’と流路部分９ｃ2 の他方の分岐部Ｙ2 ’を連通している。連通孔１０ｋは、流路部分９ｂ2 の下流側端と流路部分８ｃ2 の一方の分岐部Ｘ3 と流路部分９ｂ3 の一方の分岐部Ｙ3 を連通している。連通孔１０ｌは、流路部分８ｃ1 の下流側端と流路部分９ｂ3 の他方の分岐部Ｙ3 ’を連通している。連通孔１０ｍは、流路部分９ａ3 の上流側端と流路部分８ｄの下流側端と流路部分９ａ4 の下流側端を連通している。 The communication hole 10a is a communication hole that connects the two downstreammost flow path portions 8a 1 and the downstream end of the flow path portion 9a 1 , and a mixing section that mixes two types of fluids and the mixing / distributing flow path 7. It also serves as an exit. The communication hole 10b communicates the upstream end of the flow channel portion 8a 1 , the downstream end of the flow channel portion 8a 2 , and the downstream end of the flow channel portion 9b 1 . Communication hole 10c communicates a downstream end of the downstream end and the flow path portion 9a 2 in the upstream end and the channel portion 8b 1 of the channel portion 9a 1. Communication hole 10d communicates the downstream end of the upstream end and the channel portion 9c 1 of the downstream end and the flow path portion 8a 3 of the flow path portion 8a 2. The communication hole 10e communicates the downstream end of the flow channel portion 9b 1 , one branch portion X 1 of the flow channel portion 8b 2 and one branch portion Y 1 of the flow channel portion 9c 2 . Communication hole 10g communicates the downstream end of the downstream end and the flow path portion 9a 3 of the upstream end and the channel portion 8c 1 of the channel portion 9a 2. Communication hole 10h communicates the downstream end of the flow path portion 8a 4 and the flow path portion 9d. Communication hole 10i communicates with one branch portion Y 2 of one branch portion X 2 and the flow path portion 9c 2 of the downstream end and the flow path portion 8b 3 of the flow path portion 9c 1. The communication hole 10j communicates the downstream end of the flow path portion 8b 2 with the other branch portion X 2 ′ of the flow path portion 8b 3 and the other branch portion Y 2 ′ of the flow path portion 9c 2 . The communication hole 10k communicates the downstream end of the flow channel portion 9b 2 with one branch portion X 3 of the flow channel portion 8c 2 and one branch portion Y 3 of the flow channel portion 9b 3 . The communication hole 101 communicates the downstream end of the flow path portion 8c 1 and the other branch portion Y 3 ′ of the flow path portion 9b 3 . Hole 10m is communicated with a downstream end of the downstream end and the flow path portion 9a 4 of the upstream end and the flow path portion 8d of the channel portion 9a 3.

最上流側に位置する８つの流路部分８ａ4、８ｂ3、８ｃ2、８ｄ、９ｄ、９ｃ2 、９ｂ3 、９ａ4 の上流側端は、それぞれ入口１１ａ〜１１ｈを形成している。 The upstream ends of the eight flow path portions 8a 4 , 8b 3 , 8c 2 , 8d, 9d, 9c 2 , 9b 3 , 9a 4 positioned on the most upstream side form inlets 11a to 11h, respectively.

最下流に位置する２つの流路部分８ａ1 、９ａ1 は、上流側から供給される流体を連通孔１０ａにおいて混合する混合器１３Ａを構成し、２つの連通孔１０ｂ、１０ｃが混合器１３Ａの入口をそれぞれ形成している。 The two flow path portions 8a 1 and 9a 1 located on the most downstream side constitute a mixer 13A for mixing the fluid supplied from the upstream side in the communication hole 10a, and the two communication holes 10b and 10c are the mixer 13A. Each entrance is formed.

最下流側から２列目の２つの流路部分８ａ2 、９ｂ1 は、上流側から供給される流体を連通孔１０ｂにおいて混合する混合器１３Ｂを構成し、２つの連通孔１０ｄ、１０ｅが混合器１３Ｂの入口を形成している。同じく２列目の他の２つの流路部分８ｂ1 、９ａ2 は、上流側から供給される流体を連通孔１０ｃにおいて混合する混合器１３Ｃを構成し、２つの連通孔１０ｆ、１０ｇが混合器１３Ｃの入口を形成している。 The two flow path portions 8a 2 and 9b 1 in the second row from the most downstream side constitute a mixer 13B that mixes the fluid supplied from the upstream side in the communication hole 10b, and the two communication holes 10d and 10e are mixed. It forms the inlet of the vessel 13B. Similarly, the other two flow path portions 8b 1 and 9a 2 in the second row constitute a mixer 13C that mixes the fluid supplied from the upstream side in the communication hole 10c, and the two communication holes 10f and 10g are the mixer. 13C inlet is formed.

最下流側から３列目の２つの流路部分８ａ3 、９ｃ1 は、上流側から供給される流体を連通孔１０ｄにおいて混合する混合器１３Ｄを構成し、２つの連通孔１０ｈ、１０ｉが混合器１３Ｄの入口を形成している。同じく２つの流路部分８ｂ2 、９ｂ2 は、上流側から供給される流体をそれぞれ分配部Ｚ、Ｗで分配して連通孔１０ｅ、１０ｆにおいて混合する混合分配器１４Ａを構成し、２つの連通孔１０ｊ、１０ｋが混合分配器１４Ａの入口を形成している。残り２つの流路部分８ｃ1 、９ａ3 は、上流側から供給される流体を連通孔１０ｇにおいて混合する混合器１３Ｅを構成し、２つの連通孔１０ｌ、１０ｍが混合器１３Ｅの入口を形成している。 The two flow path portions 8a 3 and 9c 1 in the third row from the most downstream side constitute a mixer 13D that mixes the fluid supplied from the upstream side in the communication hole 10d, and the two communication holes 10h and 10i are mixed. It forms the inlet of the vessel 13D. Similarly, the two flow path portions 8b 2 and 9b 2 constitute a mixing / distributing device 14A that distributes the fluid supplied from the upstream side by the distributing portions Z and W and mixes them in the communication holes 10e and 10f, respectively. The holes 10j and 10k form the inlet of the mixing / distributing device 14A. The remaining two flow path portions 8c 1 and 9a 3 constitute a mixer 13E that mixes fluid supplied from the upstream side in the communication hole 10g, and the two communication holes 10l and 10m form the inlet of the mixer 13E. ing.

最上流側の列の２つの流路部分８ａ4 、９ｄは、入口１１ａ、１１ｅから供給される液体Ａ、Ｂを連通孔１０ｈにおいて混合する混合器１３Ｆを形成している。２つの流路部分８ｂ3 、９ｃ2 は、入口１１ｂ、１１ｆから供給される液体Ａ、Ｂを分配部Ｚ、Ｗでそれぞれ分配して連通孔１０ｉ、１０ｊにおいて混合する混合分配器１４Ｂを形成している。同じく２つの流路部分８ｃ2 、９ｂ3 は、入口１１ｃ、１１ｇから供給される液体Ａ、Ｂを分配部Ｚ、Ｗで分配して連通孔１０ｋ、１０ｌにおいて混合する混合分配器１４Ｃを形成している。残り２つの流路部分８ｄ、９ａ4 は、入口１１ｄ、１１ｈから供給される液体Ａ、Ｂを連通孔１０ｍにおいて混合する混合器１３Ｇを形成している。 The two flow path portions 8a 4 and 9d in the uppermost stream side form a mixer 13F that mixes the liquids A and B supplied from the inlets 11a and 11e in the communication hole 10h. The two flow path portions 8b 3 and 9c 2 form a mixing / distributing device 14B that distributes the liquids A and B supplied from the inlets 11b and 11f at the distributing portions Z and W, respectively, and mixes them at the communication holes 10i and 10j. ing. Similarly, the two flow passage portions 8c 2 and 9b 3 form a mixing / distributing device 14C that distributes the liquids A and B supplied from the inlets 11c and 11g through the distributing portions Z and W and mixes them at the communication holes 10k and 10l. ing. The remaining two flow path sections 8d, 9a 4 has an inlet 11d, form a mixer 13G for mixing liquid A supplied from 11h, the B in the communication hole 10 m.

最下段の流路部分８ａ4 、８ｂ3 、８ｃ2 、８ｄの入口１１ａ〜１１ｄは、流路形成部材２の第１の流路形成面５に形成した溝からなる第２の流体供給用連通路１５にそれぞれ連通している。同じく流路部分９ｄ、９ｃ2 、９ｂ3 、９ａ4 の入口１１ｅ〜１１ｈは、流路形成部材２の第２の流路形成面６に形成した溝からなる第２の流体供給用連通路１６にそれぞれ連通している。なお、第１、第２の混合分配用流路８、９は、それぞれ細い溝からなり、同一形状ではあるが、１８０°反転した形状に形成されている。第１、第２の流体供給用連通路１５、１６も、第１、第２の混合分配用流路８、９と同一溝幅の溝で形成されている。 The inlets 11a to 11d of the lowermost flow path portions 8a 4 , 8b 3 , 8c 2 , and 8d are second fluid supply stations formed by grooves formed on the first flow path forming surface 5 of the flow path forming member 2. Each communicates with the passage 15. Similarly, the inlets 11e to 11h of the flow path portions 9d, 9c 2 , 9b 3 and 9a 4 are second fluid supply communication paths 16 formed by grooves formed in the second flow path forming surface 6 of the flow path forming member 2. To communicate with each other. The first and second mixing / distributing channels 8 and 9 are each formed of a thin groove and are formed in the same shape but in a 180 ° inverted shape. The first and second fluid supply communication passages 15 and 16 are also formed by grooves having the same groove width as the first and second mixing / distributing passages 8 and 9.

すなわち、本実施の形態におけるマイクロ混合器１は、第１、第２の混合分配用流路８、９と、１３個の連通孔１０ａ〜１０ｍと、８個の入口１１ａ〜１１ｈおよび１個の出口１０ａによって、混合機能のみを有する第１〜第７の混合器１３Ａ〜１３Ｇと、混合機能と分配機能を有する第１〜第３の混合分配器１４Ａ〜１４Ｃを形成し、これらの集合体を混合分配流路７とし、混合器１３Ａ〜１３Ｇと混合分配器１４Ａ〜１４Ｃをその上流側から下流側に向けて順次１つずつ減らして、流路形成部材２の面方向にピラミッド状に４段にかつ７列に配列し、連通孔１０ａ〜１０ｍによって一連に連結したものである。   That is, the micromixer 1 according to the present embodiment includes the first and second mixing and distribution channels 8 and 9, the 13 communication holes 10a to 10m, the 8 inlets 11a to 11h, and the 1 By the outlet 10a, first to seventh mixers 13A to 13G having only a mixing function and first to third mixing / distributing devices 14A to 14C having a mixing function and a distributing function are formed. The mixing / distributing channel 7 is used, and the mixers 13A to 13G and the mixing / distributing devices 14A to 14C are sequentially reduced from the upstream side to the downstream side one by one to form four stages in a pyramid shape in the surface direction of the channel forming member 2. And arranged in 7 rows and connected in series by communication holes 10a to 10m.

図１において、前記第１のカバー部材３は、流路形成部材２と同様に、アルミニウム等の金属、合成樹脂等によって流路形成部材２と同一形状からなる矩形板状に形成され、流路形成部材２の混合分配流路７に第１の液体Ａを供給する第１の流体供給口２０と、混合分配流路７によって混合された所定の混合比の混合流体Ｃを排出する排出口２１を有している。第１の流体供給口２０は、内端が第１の流体供給用連通路１５に連通し、外端に配管２２が接続されている。排出口２１は、内端が第１の混合器１３Ａの出口１０ａに接続され、外端に配管２３が接続されている。   In FIG. 1, the first cover member 3 is formed in a rectangular plate shape having the same shape as the flow path forming member 2 with a metal such as aluminum, a synthetic resin or the like, like the flow path forming member 2. A first fluid supply port 20 that supplies the first liquid A to the mixing / distributing channel 7 of the forming member 2, and a discharge port 21 that discharges the mixed fluid C having a predetermined mixing ratio mixed by the mixing / distributing channel 7. have. The first fluid supply port 20 has an inner end communicating with the first fluid supply communication passage 15 and a pipe 22 connected to the outer end. The outlet 21 has an inner end connected to the outlet 10a of the first mixer 13A and a pipe 23 connected to the outer end.

前記第２のカバー部材４は、同じくアルミニウム等の金属、合成樹脂等によって流路形成部材２、第１のカバー部材３と同一形状からなる矩形板状に形成され、混合分配流路７に第２の液体Ｂを供給する第２の流体供給口２４を有している。第２の流体供給口２４は、内端が第２の流体供給用連通路１６に連通し、外端が配管２５に接続されている。   The second cover member 4 is formed in a rectangular plate shape having the same shape as that of the flow path forming member 2 and the first cover member 3 by the same metal such as aluminum, synthetic resin, and the like. A second fluid supply port 24 for supplying two liquids B is provided. The second fluid supply port 24 has an inner end communicating with the second fluid supply communication passage 16 and an outer end connected to the pipe 25.

このようなマイクロ混合器１において、配管２２、２５により第１、第２の液体Ａ、Ｂを所定の圧力をもって第１、第２の流体供給口２０、２４にそれぞれ供給すると、第１の液体Ａは第１の流体供給用連通路１５を通って最下段に位置づけられている第６、第７の混合器１３Ｆ、１３Ｇと、第２、第３の混合分配器１４Ｂ、１４Ｃの一方の入口１１ａ〜１１ｄから一方の流路部分８ａ4 、８ｂ3 、８ｃ2 、８ｄにそれぞれ導入される。 In such a micromixer 1, when the first and second liquids A and B are supplied to the first and second fluid supply ports 20 and 24 through the pipes 22 and 25 at a predetermined pressure, respectively, the first liquid A is the inlet of one of the sixth and seventh mixers 13F and 13G and the second and third mixers 14B and 14C, which are positioned at the bottom through the first fluid supply communication passage 15. one channel sections 8a 4 from 11a~11d, 8b 3, 8c 2, are introduced respectively to 8d.

一方、第２の液体Ｂは、第２の流体供給用連通路１６を通って第６、第７の混合器１３Ｆ、１３Ｇと、第２、第３の混合分配器１４Ｂ、１４Ｃの他方の入口１１ｅ〜１１ｈから他方の流路部分９ｄ、９ｃ2 、９ｂ3 、９ａ4 にそれぞれ導入される。そして、これらの液体Ａ、Ｂは、第６、第７の混合器１３Ｆ、１３Ｇにおいて混合されると、新たに混合すべき一方の流体として、入口１０ｈ、１０ｍを通って第４の混合器１３Ｄの一方の流路部分８ａ3 と、第５の混合器１３Ｅの他方の流路部分９ａ3 に導入される。 On the other hand, the second liquid B passes through the second fluid supply communication passage 16 and the other inlets of the sixth and seventh mixers 13F and 13G and the second and third mixer / distributors 14B and 14C. the other channel section 9d from 11e to 11h, are respectively introduced into 9c 2, 9b 3, 9a 4 . When these liquids A and B are mixed in the sixth and seventh mixers 13F and 13G, the fourth mixer 13D passes through the inlets 10h and 10m as one fluid to be newly mixed. Are introduced into one flow path portion 8a 3 and the other flow path portion 9a 3 of the fifth mixer 13E.

また、第１、第２の液体Ａ、Ｂは、第２、第３の混合分配器１４Ｂ、１４Ｃにおいてそれぞれ分配され混合されると、一方の入口１０ｉ、１０ｋを通って第４の混合器１３Ｄの他方の流路部分９ｃ1 と、第１の混合分配器１４Ａの他方の流路部分９ｂ2 に新たに混合すべき他方の流体として導入され、他方の入口１０ｊ、１０ｌをそれぞれ通って第１の混合分配器１４Ａの一方の流路部分８ｂ2 と、第５の混合器１３Ｅの一方の流路部分８ｃ1 に新たに混合すべき一方の流体として導入される。これによって、第４の混合器１３Ｄは、第６の混合器１３Ｆと第２の混合分配器１４Ｂからの混合液体を混合した後、新たに混合すべき一方の流体として、入口１０ｄを介して第２の混合器１３Ｂの一方の流路部分８ａ2 に導く。また、第５の混合器１３Ｅは、第７の混合器１３Ｇからの混合液体と、第３の混合分配器１４Ｃからの混合液体を混合した後、新たに混合すべき他方の流体として、入口１０ｇを介して第３の混合器１３Ｃの他方の流路部分９ａ2 に導く。 When the first and second liquids A and B are distributed and mixed in the second and third mixing / distributing units 14B and 14C, respectively, the fourth mixing unit 13D passes through one of the inlets 10i and 10k. Is introduced as the other fluid to be newly mixed into the other flow path portion 9c 1 and the other flow path portion 9b 2 of the first mixing / distributing device 14A, and passes through the other inlets 10j and 10l, respectively. Is introduced as one fluid to be newly mixed into one flow path portion 8b 2 of the mixing / distributing device 14A and one flow path portion 8c 1 of the fifth mixer 13E. As a result, the fourth mixer 13D mixes the mixed liquid from the sixth mixer 13F and the second mixer / distributor 14B, and then, as the first fluid to be mixed, the fourth mixer 13D passes through the inlet 10d. It leads to one flow path portion 8a 2 of the second mixer 13B. Further, the fifth mixer 13E mixes the mixed liquid from the seventh mixer 13G and the mixed liquid from the third mixing distributor 14C, and then, as the other fluid to be newly mixed, the inlet 10g To the other channel portion 9a 2 of the third mixer 13C.

さらに、第１の混合分配器１４Ａは、第２、第３の混合分配器１４Ｂ、１４Ｃによって混合された混合液体を分配、混合した後、新たに混合すべき流体として、入口１０ｅ、１０ｆを介して第２、第３の混合器１３Ｂ、１３Ｃの他方の流路部分９ｂ1 と一方の流路部分８ｂ1 にそれぞれ導く。これによって、第２の混合器１３Ｂは、第４の混合器１３Ｄによる混合液体と、第１の混合分配器１４Ａによる混合液体を混合した後、新たに混合すべき一方の流体として、入口１０ｂを介して１段目に位置づけられている第１の混合器１３Ａの一方の流路部分８ａ1 に導く。 Further, the first mixing / distributing device 14A distributes and mixes the mixed liquids mixed by the second and third mixing / distributing devices 14B and 14C, and then, as a fluid to be newly mixed, via the inlets 10e and 10f. To the other channel portion 9b 1 and one channel portion 8b 1 of the second and third mixers 13B and 13C, respectively. Thus, the second mixer 13B mixes the mixed liquid from the fourth mixer 13D and the mixed liquid from the first mixing distributor 14A, and then sets the inlet 10b as one fluid to be newly mixed. To the first flow passage portion 8a 1 of the first mixer 13A positioned in the first stage.

また、第３の混合器１３Ｃは、第５の混合器１３Ｅによる混合液体と、第１の混合分配器１４Ａによる混合液体を混合した後、新たに混合すべき他方の流体として、入口１０ｃを介して第１の混合器１３Ａの他方の流路部分９ａ1 に導く。そして、第１の混合器１３Ａは、第２、第３の混合器１３Ｂ、１３Ｃからの混合液体を混合することにより所定の混合比の混合流体Ｃとして出口１０ａを通って排出口２１に出力する。 Further, the third mixer 13C mixes the mixed liquid by the fifth mixer 13E and the mixed liquid by the first mixing / distributing device 14A, and then, as the other fluid to be newly mixed, passes through the inlet 10c. To the other flow path portion 9a 1 of the first mixer 13A. Then, the first mixer 13A mixes the mixed liquid from the second and third mixers 13B and 13C, and outputs the mixed fluid C having a predetermined mixing ratio to the outlet 21 through the outlet 10a. .

このように、本発明によるマイクロ混合器１によれば、第１〜第７の混合器１３Ａ〜１３Ｇと、第１〜第３の混合分配器１４Ａ〜１４Ｃとからなる混合分配流路７によって２種類の液体Ａ、Ｂの分配と混合を繰り返し実行することにより、液体Ａ、Ｂを細分化して均一に拡散、混合させた混合流体Ｃを生成することができる。また、１枚の流路形成部材２の表裏面５、６に第１〜第７の混合器１３Ａ〜１３Ｇと、第１〜第３の混合分配器１４Ａ〜１４Ｃを面方向に４段に形成して混合分配流路７としているので、各段毎に異なった流路形成部材を４枚製作して積層する必要がなく、流路形成部材２の製作、組立作業が容易で、安価なマイクロ混合器を提供することができる。また、流路形成部材２の枚数削減により接合面の数も減少するため、液体Ａ、Ｂの漏洩を軽減防止でき、信頼性を向上させることができる。さらに、流路形成部材２の枚数削減によりカバー部材３、４を積層して一体化したときの歪みも少なく、高い耐圧性能が得られ、合成樹脂等の比較的柔らかい材料によって流路形成部材２およびカバー部材３、４を製作することができる。   Thus, according to the micromixer 1 according to the present invention, the mixing / distributing channel 7 including the first to seventh mixers 13A to 13G and the first to third mixing / distributing devices 14A to 14C can be By repeatedly performing the distribution and mixing of the types of liquids A and B, it is possible to generate a mixed fluid C in which the liquids A and B are subdivided and uniformly diffused and mixed. Further, the first to seventh mixers 13A to 13G and the first to third mixer / distributors 14A to 14C are formed in four steps in the surface direction on the front and back surfaces 5 and 6 of one flow path forming member 2. Therefore, it is not necessary to manufacture and stack four different flow path forming members for each stage, and it is easy to manufacture and assemble the flow path forming member 2. A mixer can be provided. In addition, since the number of joining surfaces is reduced by reducing the number of flow path forming members 2, leakage of the liquids A and B can be prevented and reliability can be improved. Further, since the number of the flow path forming members 2 is reduced, distortion when the cover members 3 and 4 are laminated and integrated is reduced, high pressure resistance is obtained, and the flow path forming member 2 is made of a relatively soft material such as a synthetic resin. And the cover members 3 and 4 can be manufactured.

図５は、本発明の第２の実施の形態を示すマイクロ混合器の分解斜視図である。
なお、上記した実施の形態と同一部品、部分については同一符号をもって示し、その説明を適宜省略する。このマイクロ混合器１Ａは、流路形成部材２の表裏面にわたって面方向に３段６列に設けた第１〜第８の混合分配器１４Ａ〜１４Ｈと、２つのバイパス流路４０ａ、４０ｂの集合体で混合分配流路７Ａを構成したものである。すなわち、最上段に第１〜第３の混合分配器１４Ａ〜１４Ｃを設け、中段に第４、第５の混合分配器１４Ｄ、１４Ｅを設け、最下段に第６〜第８の混合分配器１４Ｆ〜１４Ｈをそれぞれ設けている。また、各段において隣り合う混合分配器１４Ａと１４Ｂ、１４Ｂと１４Ｃ、１４Ｄと１４Ｅ、１４Ｆと１４Ｇ、１４Ｇと１４Ｈは、隣接する連通孔１０ａと１０ｂ、１０ｂと１０ｃ、・・・の配列間隔だけずれており、２段目の第４、第５の混合分配器１４Ｄ、１４Ｅは、１段目と３段目の隣り合う混合分配器１４Ａと１４Ｂ、１４Ｂと１４Ｃ、１４Ｆと１４Ｇ、１４Ｇと１４Ｈの間に位置するように内側にずらして設けられている。 FIG. 5 is an exploded perspective view of the micromixer showing the second embodiment of the present invention.
Note that the same parts and portions as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate. This micro mixer 1A is a set of first to eighth mixing / distributing devices 14A to 14H provided in three rows and six rows in the surface direction across the front and back surfaces of the flow path forming member 2, and two bypass flow paths 40a and 40b. The mixing and distributing flow path 7A is constituted by a body. That is, the first to third mixing / distributing devices 14A to 14C are provided in the uppermost stage, the fourth and fifth mixing / distributing devices 14D and 14E are provided in the middle, and the sixth to eighth mixing / distributing devices 14F are provided in the lowermost stage. .About.14H are provided. Further, adjacent distributors 14A and 14B, 14B and 14C, 14D and 14E, 14F and 14G, 14G and 14H in each stage are only the arrangement intervals of the adjacent communication holes 10a and 10b, 10b and 10c,. The second and fourth mixing distributors 14D and 14E in the second stage are adjacent to the first and third mixing distributors 14A and 14B, 14B and 14C, 14F and 14G, and 14G and 14H. It is shifted inward so as to be located between the two.

第１の混合分配器１４Ａは、それぞれ２つの分岐部Ｘ1 とＸ2 、Ｙ1 とＹ2 を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ａ1 、９ａ1 と、連通孔からなる２つの入口１０ｇ、１０ｈと、２つの出口ａ、１０ｂを有し、一方の流路部分８ａ1 の一方の分岐部Ｘ1 の下流側端が一方の出口１０ａを形成し、流路形成部材２の裏面側に形成した第２の出口側連通路４１ｂに連通している。また、この出口１０ａは連通孔からなり、他方の流路部分９ａ1 の一方の分岐部Ｙ1 の下流側端が連通している。一方の流路部分８ａ1 の他方の分岐部Ｘ2 の下流側端は、他方の出口１０ｂを形成し、流路形成部材２の表面側に形成した第１の出口側連通路４１ａに連通している。また、この出口１０ｂは連通孔からなり、他方の流路部分９ａ1 の他方の分岐部Ｙ2 の下流側端が連通している。 The first mixer / distributor 14A includes two flow passage portions 8a 1 and 9a 1 branched in a Y shape having two branch portions X 1 and X 2 , Y 1 and Y 2 , respectively, and two communication holes. One inlet 10g, 10h and two outlets a, 10b, the downstream end of one branch portion X1 of one flow path portion 8a 1 forms one outlet 10a, and the flow path forming member 2 It communicates with the second outlet side communication passage 41b formed on the back side. Moreover, the outlet 10a is made from the communication hole, the downstream end of one branch portion Y 1 of the other channel section 9a 1 are communicated. The downstream end of the other branch portion X 2 of one flow path portion 8 a 1 forms the other outlet 10 b and communicates with a first outlet communication path 41 a formed on the surface side of the flow path forming member 2. ing. Further, the outlet 10b is made of the communicating hole, the downstream end of the other branch portion Y 2 of the other channel section 9a 1 are communicated.

同様に、第２の混合分配器１４Ｂは、それぞれ２つの分岐部を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ａ2 、９ａ2 と、連通孔からなる２つの入口１０ｉ、１０ｊおよび連通孔からなる２つの出口１０ｃ、１０ｄとを有し、一方の流路部分８ａ2 の一方の出口１０ｃが第２の出口側連通路４１ｂに連通し、他方の出口１０ｄが第１の出口側連通路４１ａに連通している。また、他方の流路部分９ａ2 の一方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ａ2 の一方の出口１０ｃに連通し、他方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ａ2 の他方の出口１０ｄに連通している。 Similarly, the second mixer / distributor 14B includes two flow path portions 8a 2 and 9a 2 branched in a Y shape each having two branch portions, two inlets 10i and 10j each including a communication hole, and a communication hole. two outlet 10c made of, and a 10d, one outlet 10c of the one channel section 8a 2 communicates with the second outlet-side communication passage 41b, the other outlet 10d the first outlet-side communication path It communicates with 41a. In addition, the downstream end of one branch portion of the other flow path portion 9a 2 communicates with one outlet 10c of the one flow path portion 8a 2 , and the downstream end of the other flow path portion 9a 2 corresponds to one flow path. The portion 8a 2 communicates with the other outlet 10d.

同様に、第３の混合分配器１４Ｃは、それぞれ２つの分岐部を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ａ3 、９ａ3 と、連通孔からなる２つの入口１０ｋ、１０ｌおよび連通孔からなる２つの出口１０ｅ、１０ｆとを有し、一方の流路部分８ａ3 の一方の分岐部の出口１０ｅが第２の出口側連通路４１ｂに連通し、他方の分岐部の出口１０ｆが第１の出口側連通路４１ａに連通している。他方の流路部分９ａ3 の一方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ａ3 の一方の出口１０ｅに連通し、他方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ａ3 の他方の出口１０ｆに連通している。 Similarly, the third mixer / distributor 14C includes two flow path portions 8a 3 and 9a 3 branched in a Y shape each having two branch portions, two inlets 10k and 10l each including a communication hole, and a communication hole. two outlet 10e made of, and an 10f, the outlet 10e of one branching portion of the one channel section 8a 3 communicates with the second outlet-side communication passage 41b, the other branch of the outlet 10f is first 1 to the outlet side communication passage 41a. The downstream end of one branch portion of the other channel portion 9a 3 communicates with one outlet 10e of the one channel portion 8a 3 , and the downstream end of the other channel portion 9a 3 is one channel portion 8a. 3 communicates with the other outlet 10f.

第４の混合分配器１４Ｄは、同じくそれぞれ２つの分岐部を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ｂ1 、９ｂ1 と、連通孔からなる２つの入口１０ｎ、１０ｏおよび連通孔からなる２つの出口１０ｈ、１０ｉとを有し、一方の流路部分８ｂ1 の一方の分岐部の出口１０ｈが第１の混合分配器１４Ａの他方の入口を兼用し、他方の分岐部の出口１０ｉが第２の混合分配器１４Ｂの一方の流路部分８ａ2 の一方の入口を兼用している。他方の流路部分９ｂ1 の一方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ｂ1 の一方の出口１０ｈに連通し、他方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ｂ1 の他方の出口１０ｉに連通している。すなわち、第４の混合分配器１４Ｄは、第１、第２の混合分配器１４Ａ、１４Ｂに連通している。 The fourth mixer / distributor 14D is composed of two flow path portions 8b 1 and 9b 1 branched in a Y shape each having two branch portions, two inlets 10n and 10o each including a communication hole, and a communication hole. Two outlets 10h and 10i, the outlet 10h of one branch portion of one flow path portion 8b1 also serves as the other inlet of the first mixing / distributing device 14A, and the outlet 10i of the other branch portion One inlet of one flow path portion 8a 2 of the second mixer / distributor 14B is also used. The downstream end of one branch portion of the other flow passage portion 9b 1 communicates with one outlet 10h of the one flow passage portion 8b 1 , and the downstream end of the other flow passage portion 9b 1 is one flow passage portion 8b. 1 communicates with the other outlet 10i. That is, the fourth mixing / distributing device 14D communicates with the first and second mixing / distributing devices 14A and 14B.

第５の混合分配器１４Ｅは、同じくそれぞれ２つの分岐部を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ｂ2 、９ｂ2 と、連通孔からなる２つの入口１０ｐ、１０ｑおよび連通孔からなる２つの出口１０ｊ、１０ｋとを有し、一方の流路部分８ｂ2 の一方の分岐部の出口１０ｊが第２の混合分配器１４Ｂの他方の入口を兼用し、他方の出口１０ｋが第３の混合分配器１４Ｃの一方の入口を兼用している。他方の流路部分９ｂ2 の一方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ｂ2 の一方の出口１０ｊに連通し、他方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ｂ2 の他方の出口１０ｋに連通している。すなわち、第５の混合分配器１４Ｅは、第２、第３の混合分配器１４Ｂ、１４Ｃに連通している。 The fifth mixer / distributor 14E is composed of two flow path portions 8b 2 and 9b 2 branched in a Y shape each having two branch portions, two inlets 10p and 10q including communication holes, and communication holes. two outlets 10j, and a 10k, one of one branch of the outlet 10j of the flow path portion 8b 2 is shared with the other inlet of the second mixing distributor 14B, other outlet 10k is a third It also serves as one inlet of the mixing / distributing device 14C. The downstream end of one branch portion of the other flow passage portion 9b 2 communicates with one outlet 10j of the one flow passage portion 8b 2 , and the downstream end of the other flow passage portion 9b 2 is one flow passage portion 8b. 2 communicates with the other outlet 10k. That is, the fifth mixing / distributing device 14E communicates with the second and third mixing / distributing devices 14B and 14C.

第６の混合分配器１４Ｆは、同じくそれぞれ２つの分岐部を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ｃ1 、９ｃ1 と、２つの入口１１ａ、１１ｂおよび連通孔からなる２つの出口１０ｍ、１０ｎとを有し、一方の入口１１ａが一方の流路部分８ｃ1 の上流側端からなり、流路形成部材２の表面に形成した第１の流体供給用連通路１５に連通し、他方の入口１１ｂが他方の流路部分９ｃ1 の上流側端からなり、流路形成部材２の裏面に形成した第２の流体供給用連通路１６に連通している。また、一方の流路部分８ｃ1 の一方の出口１０ｍは、第１の混合分配器１４Ａの一方の入口１０ｇに第１のバイパス流路４０ａを介して連通し、他方の分岐部の出口１０ｎは第４の混合分配器１４Ｄの一方の入口を兼用している。他方の流路部分９ｃ1 の一方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ｃ1 の一方の出口１０ｍに連通し、他方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ｃ1 の他方の出口１０ｎに連通している。すなわち、第６の混合分配器１４Ｆは、第１、第４の混合分配器１４Ａ、１４Ｄと連通している。第１のバイパス流路４０ａは、流路形成部材２の裏面側に形成されている。 The sixth mixer / distributor 14F has two flow passage portions 8c 1 and 9c 1 that also have two branch portions, each having two branch portions, two inlets 11a and 11b, and two outlets 10m including communication holes. 10n, and one inlet 11a is formed from the upstream end of one flow passage portion 8c1, communicates with the first fluid supply communication passage 15 formed on the surface of the flow passage forming member 2, and the other inlet 11b communicates with the other conduit portion 9c made from the upstream side end of the first and second fluid supply communication passage 16 formed in the rear surface of the flow path forming member 2. Also, one of the outlet 10m of one of the channel portions 8c 1 is one of the inlet 10g of the first mixing distributor 14A communicates through the first bypass passage 40a, the outlet 10n of the other bifurcation One inlet of the fourth mixing / distributing device 14D is also used. The downstream end of one branch portion of the other flow passage portion 9c 1 communicates with one outlet 10m of the one flow passage portion 8c 1 , and the downstream end of the other flow passage portion 9c 1 is the one flow passage portion 8c. 1 communicates with the other outlet 10n. That is, the sixth mixing / distributing device 14F communicates with the first and fourth mixing / distributing devices 14A, 14D. The first bypass flow path 40 a is formed on the back side of the flow path forming member 2.

第７の混合分配器１４Ｇは、同じくそれぞれ２つの分岐部を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ｃ2 、９ｃ2 と、２つの入口１１ｃ、１１ｄおよび連通孔からなる２つの出口１０ｏ、１０ｐとを有し、一方の入口１１ｃが一方の流路部分８ｃ2 の上流側端からなり、第１の流体供給用連通路１５に連通し、他方の入口１１ｄが他方の流路部分９ｃ2 の上流側端からなり、第２の流体供給用連通路１６に連通している。一方の流路部分８ｃ2 の一方の分岐部の出口１０ｏは第４の混合分配器１４Ｄの一方の入口を兼用し、他方の分岐部の出口１０ｐは第５の混合分配器１４Ｅの一方の入口を兼用している。すなわち、第７の混合分配器１４Ｇは、第４、第５の混合分配器１４Ｄ、１４Ｆと連通している。 The seventh mixer / distributor 14G includes two flow passage portions 8c 2 and 9c 2 each having two branch portions, each having two branch portions, two inlets 11c and 11d, and two outlets 10o including communication holes. , and a 10p, one of the inlet 11c is from the upstream side end of the one channel portion 8c 2, communicates with the first fluid supply communication passage 15, the other inlet 11d and the other channel section 9c 2 upstream end and communicates with the second fluid supply communication passage 16. Outlet 10o of one branch of one of the channel portion 8c 2 is shared with one of the inlet of the fourth mixing distributor 14D, the outlet 10p of the other branches one inlet of the fifth and the Distributor 14E of Is also used. That is, the seventh mixing / distributing device 14G communicates with the fourth and fifth mixing / distributing devices 14D, 14F.

第８の混合分配器１４Ｈは、同じくそれぞれ２つの分岐部を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ｃ3 、９ｃ3 と、２つの入口１１ｅ、１１ｆと、連通孔からなる２つの出口１０ｑ、１０ｒとを有し、一方の入口１１ｅが一方の流路部分８ｃ3 の上流側端からなり、第１の流体供給用連通路１５に連通し、他方の入口１１ｆが一方の流路部分９ｃ3 の上流側端からなり、第２の流体供給用連通路１６に連通している。また、一方の流路部分８ｃ3 の一方の分岐部の出口１０ｑは、第５の混合分配器１４Ｆの他方の入口を兼用し、他方の分岐部の出口１０ｒが第２のバイパス流路４０ｂを介して第３の混合分配器１４Ｃの他方の入口１０ｌに連通している。他方の流路部分９ｃ3 の一方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ｃ3 の一方の出口１０ｑに連通し、他方の分岐部の下流側端は、一方の流路部分８ｃ3 の他方の出口１０ｒに連通している。すなわち、第８の混合分配器１４Ｈは、第３、第５の混合分配器１４Ｃ、１４Ｅと連通している。第２のバイパス流路４０ｂは、流路形成部材２の表面側に形成されている。 The eighth mixer / distributor 14H includes two flow passage portions 8c 3 and 9c 3 that also have two branch portions, each of which has two branch portions, two inlets 11e and 11f, and two outlets including communication holes. 10q, and a 10r, one inlet 11e is from the upstream side end of the one channel portion 8c 3, communicates with the first fluid supply communication passage 15, one of the channel section and the other inlet 11f made from the upstream side end of 9c 3, and communicates with the second fluid supply communication passage 16. Further, the outlet 10q of one branch of one of the channel portion 8c 3 is shared with the other inlet of the fifth and the Distributor 14F of the outlet 10r of the other branch portion of the second bypass passage 40b To the other inlet 10l of the third mixing / distributing device 14C. The downstream end of one branch portion of the other flow passage portion 9c 3 communicates with one outlet 10q of the one flow passage portion 8c 3 , and the downstream end of the other flow passage portion 9c 3 is one flow passage portion 8c. 3 communicates with the other outlet 10r. That is, the eighth mixing / distributing device 14H communicates with the third and fifth mixing / distributing devices 14C and 14E. The second bypass flow path 40 b is formed on the surface side of the flow path forming member 2.

第１の流体供給用連通路１５は、第１のカバー部材３の第１の流体供給口２０に連通し、第２の流体供給用連通路１６は、第２のカバー部材４の第４の流体供給口２４に連通している。   The first fluid supply communication passage 15 communicates with the first fluid supply port 20 of the first cover member 3, and the second fluid supply communication passage 16 communicates with the fourth fluid supply port 20 of the second cover member 4. It communicates with the fluid supply port 24.

第１の出口側連通路４１ａと第２の出口側連通路４１ｂは、連通孔４４によって連通し、第１のカバー部材３の排出口２１に連通している。   The first outlet side communication path 41 a and the second outlet side communication path 41 b communicate with each other through the communication hole 44 and communicate with the discharge port 21 of the first cover member 3.

このようなマイクロ混合器１Ａにおいて、第１、第２の液体Ａ、Ｂを所定の圧力をもって第１、第２の流体供給口２０、２４に供給すると、第１の液体Ａは第１の流体供給用連通路１５を通って最下段に位置づけられている第６、第７、第８の混合分配器１４Ｆ、１４Ｇ、１４Ｈの一方の流路部分８ｃ1 〜８ｃ3 にそれぞれ導入される。一方、第２の液体Ｂは、第２の流体供給用連通路１６を通って第６、第７、第８の混合分配器１４Ｆ、１４Ｇ、１４Ｈの他方の流路部分９ｃ1 〜９ｃ3 にそれぞれ導入される。 In such a micromixer 1A, when the first and second liquids A and B are supplied to the first and second fluid supply ports 20 and 24 at a predetermined pressure, the first liquid A becomes the first fluid. The fluid is introduced into one of the flow path portions 8c 1 to 8c 3 of the sixth, seventh, and eighth mixer / distributors 14F, 14G, and 14H positioned through the supply communication path 15 at the lowest stage. On the other hand, the second liquid B passes through the second fluid supply communication passage 16 to the other flow path portions 9c 1 to 9c 3 of the sixth, seventh, and eighth mixing / distributing devices 14F, 14G, and 14H. Each is introduced.

第６の混合器１４Ｆは、液体Ａ、Ｂを分配、混合すると、新たに混合すべき一方の流体として、一方の出口１０ｍ−第１のバイパス流路４０ａ−一方の入口１０ｇを経て第１の混合分配器１４Ａの一方の流路部分８ａ1 に導入する。また、新たに混合すべき他方の流体として、他方の出口１０ｎより第４の混合分配器１４Ｄの一方の流路部分８ｂ1 に導入する。 When the liquids A and B are distributed and mixed, the sixth mixer 14F serves as a first fluid to be newly mixed, through one outlet 10m-first bypass channel 40a-one inlet 10g. It introduce | transduces into one flow path part 8a1 of 14 A of mixing distributors. Further, the other fluid to be newly mixed is introduced into one flow path portion 8b 1 of the fourth mixing / distributing device 14D from the other outlet 10n.

第７の混合分配器１４Ｇは、液体Ａ、Ｂを分配、混合すると、新たに混合すべき一方の流体として、一方の出口１０ｏより第４の混合分配器１４Ｄの他方の流路部分９ｂ1 に導く。また、新たに混合すべき他方の流体として、他方の出口１０ｐより第５の混合分配器１４Ｅの一方の流路部分８ｂ2 に導く。 When the liquids A and B are distributed and mixed, the seventh mixer / distributor 14G, as one fluid to be newly mixed, flows from one outlet 10o to the other flow path portion 9b 1 of the fourth mixer / distributor 14D. Lead. Moreover, new as the other of the fluid to be mixed, leading from the other outlet 10p on one channel section 8b 2 of the fifth and the Distributor 14E of.

第８の混合分配器１４Ｈは、液体Ａ、Ｂを分配、混合すると、新たに混合すべき一方の流体として、一方の出口１０ｑより第５の混合分配器１４Ｅの他方の流路部分９ｂ2 に導く。また、新たに混合すべき他方の流体として、他方の出口１０ｒより第２のバイパス流路４０ｂを介して第３の混合分配器１４Ｃの他方の流路部分９ａ3 に導く。 When the liquids A and B are dispensed and mixed, the eighth mixing / distributing device 14H serves as one fluid to be newly mixed from one outlet 10q to the other flow path portion 9b 2 of the fifth mixing / distributing device 14E. Lead. Further, the other fluid to be newly mixed is introduced from the other outlet 10r to the other flow path portion 9a 3 of the third mixing / distributing device 14C via the second bypass flow path 40b.

第４の混合分配器１４Ｄは、第６、第７の混合分配器１４Ｆ、１４Ｇによって混合された液体を分配、混合すると、新たに混合すべき一方の流体として、一方の出口１０ｈより第１の混合分配器１４Ａの他方の流路部分９ａ1 に導く。また、新たに混合すべき他方の流体として、他方の出口１０ｉより第２の混合分配器１４Ｂの一方の流路部分８ａ2 に導く。 The fourth mixing / distributing device 14D distributes and mixes the liquids mixed by the sixth and seventh mixing / distributing devices 14F and 14G, and the first mixing / dispersing fluid 14D is newly supplied as one fluid to be mixed from the first outlet 10h. It leads to the other flow path portion 9a 1 of the mixing / distributing device 14A. Further, the other fluid to be newly mixed is guided from the other outlet 10i to one flow path portion 8a2 of the second mixing / distributing device 14B.

第５の混合分配器１４Ｅは、第７、第８の混合分配器１４Ｇ、１４Ｈによって混合された液体を分配、混合すると、新たに混合すべき一方の流体として、一方の出口１０ｊより第２の混合分配器１４Ｂの他方の流路部分９ａ2 に導く。また、新たに混合すべき他方の流体として、他方の出口１０ｋより第３の混合分配器１４Ｃの一方流路部分８ａ3 に導く。 The fifth mixing / distributing device 14E distributes and mixes the liquids mixed by the seventh and eighth mixing / distributing devices 14G and 14H. As a result, the fifth mixing / distributing device 14E receives a second fluid from one outlet 10j as one fluid to be newly mixed. It leads to the other flow path portion 9a 2 of the mixing / distributing device 14B. Further, the other fluid to be newly mixed is introduced from the other outlet 10k to the one flow path portion 8a3 of the third mixing / distributing device 14C.

第１の混合分配器１４Ａは、第４、第６の混合分配器１４Ｄ、１４Ｆによって混合された液体を分配、混合すると、出口１０ａ、１０ｂに出力する。   The first mixing / distributing device 14A distributes and mixes the liquids mixed by the fourth and sixth mixing / distributing devices 14D and 14F, and outputs them to the outlets 10a and 10b.

第２の混合分配器１４Ｂは、第４、第５の混合分配器１４Ｄ、１４Ｅによって混合された液体を分配、混合すると、出口１０ｃ、１０ｄに出力する。   When the liquid mixed by the fourth and fifth mixing / distributing devices 14D and 14E is distributed and mixed, the second mixing / distributing device 14B outputs the liquid to the outlets 10c and 10d.

第３の混合分配器１４Ｃは、第５、第８の混合分配器１４Ｅ、１４Ｈによって混合された液体を分配、混合すると、出口１０ｅ、１０ｆに出力する。そして出口１０ａ〜１０ｆに出力された混合流体は、第１、第２の出口側連通路４１ａ、４１ｂに導かれて混合された後、排出口２１に出力される。   When the third mixed distributor 14C distributes and mixes the liquid mixed by the fifth and eighth mixed distributors 14E and 14H, the third mixed distributor 14C outputs the liquid to the outlets 10e and 10f. The mixed fluid output to the outlets 10a to 10f is guided to the first and second outlet side communication passages 41a and 41b and mixed, and then output to the discharge port 21.

このような構造からなるマイクロ混合器１Ａにおいても、１枚の流路形成部材２と２枚のカバー部材３、４とで構成しているので、上記した第１の実施の形態で示したマイクロ混合器１と同様な効果が得られるものである。   The micro mixer 1A having such a structure is also composed of one flow path forming member 2 and two cover members 3 and 4, and therefore the micro mixer shown in the first embodiment described above. The same effect as the mixer 1 can be obtained.

図６は、本発明の第３の実施の形態を示すマイクロ混合器の構成を示す図である。
このマイクロ混合器１Ｂは、流路形成部材２の表裏面にわたって面方向に４段１列に形成した第１〜第４の混合分配器１４Ａ〜１４Ｄの集合体によって混合分配流路７Ｂを構成したものである。すなわち、第１の混合分配器１４Ａは、それぞれ２つの分岐部Ｘ1 とＸ2 、Ｙ1 とＹ2 を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ａ、９ａと、連通孔からなる２つの入口１０ｃ、１０ｄおよび連通孔からなる２つの出口１０ａ、１０ｂとを有し、両出口１０ａ、１０ｂが出口側連通路５０を介して第１のカバー部材３の排出口２１に連通している。 FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a micromixer according to the third embodiment of the present invention.
In the micro mixer 1B, a mixing / distributing channel 7B is configured by an assembly of first to fourth mixing / distributing devices 14A to 14D formed in four rows and one row in the surface direction across the front and back surfaces of the channel forming member 2. Is. That is, the first mixer / distributor 14A includes two flow path portions 8a and 9a branched in a Y shape having two branch portions X 1 and X 2 , Y 1 and Y 2 , respectively, and two communication holes. And two outlets 10a and 10b each having a communication hole. The two outlets 10a and 10b communicate with the discharge port 21 of the first cover member 3 through the outlet-side communication passage 50. .

第２の混合分配器１４Ｂは、同じく２つの分岐部を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ｂ、９ｂと、連通孔からなる２つの入口１０ｅ、１０ｆおよび連通孔からなる２つの出口１０ｃ、１０ｄとを有し、一方の出口１０ｃが第１の混合分配器１４Ａの一方の流路部分８ａに連通し、他方の出口１０ｄが第１の混合分配部１４Ａの他方の流路部分９ａに連通している。   The second mixer / distributor 14B includes two flow path portions 8b and 9b that are also branched in a Y-shape having two branch portions, two inlets 10e and 10f including communication holes, and two outlets including communication holes. 10c and 10d, one outlet 10c communicates with one flow path portion 8a of the first mixing / distributing device 14A, and the other outlet 10d is the other flow path portion 9a of the first mixing / distributing portion 14A. Communicating with

第３の混合分配器１４Ｃは、同じく２つの分岐部を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ｃ、９ｃと、連通孔からなる２つの入口１０ｇ、１０ｈおよび連通孔からなる２つの出口１０ｅ、１０ｆとを有し、一方の出口１０ｅが第２の混合分配器１４Ｂの一方の流路部分８ｂに連通し、他方の出口１０ｆが第２の混合分配部１４Ｂの他方の流路部分９ｂに連通している。   The third mixer / distributor 14C includes two flow path portions 8c and 9c that are also branched in a Y shape having two branch portions, two inlets 10g and 10h including communication holes, and two outlets including communication holes. 10e and 10f, one outlet 10e communicates with one flow path portion 8b of the second mixing / distributing device 14B, and the other outlet 10f is the other flow path portion 9b of the second mixing / distributing portion 14B. Communicating with

第４の混合分配器１４Ｄは、同じく２つの分岐部を有するＹ字状に分岐した２つの流路部分８ｄ、９ｄと、２つの入口１１ａ、１１ｂおよび連通孔からなる２つの出口１０ｇ、１０ｈとを有し、一方の入口１１ａが一方の流路部分８ｄの上流側端からなり、第１のカバー部材３に形成した第１の流体供給口２０に連通し、他方の入口１１ｂが他方の流路部分９ｄの上流側端からなり、第２のカバー部材４に形成した第２の流体供給口２４に連通している。一方の出口１０ｇは第３の混合分配器１４Ｃの一方の流路部分８ｃに連通し、他方の出口１０ｈは第３の混合分配部１４Ｃの他方の流路部分９ｃに連通している。なお、流路形成部材２の表面側には、流路部分９ａ、８ｂ、９ｃ、８ｄが形成され、裏面側には流路部分８ａ、９ｂ、８ｃ、９ｄが形成されている。   The fourth mixer / distributor 14D includes two flow passage portions 8d and 9d that also have two branch portions and are branched in a Y shape, and two outlets 10g and 10h including two inlets 11a and 11b and communication holes. One inlet 11a is formed from the upstream end of one flow path portion 8d, communicates with the first fluid supply port 20 formed in the first cover member 3, and the other inlet 11b is connected to the other flow path. It consists of the upstream end of the passage portion 9d and communicates with the second fluid supply port 24 formed in the second cover member 4. One outlet 10g communicates with one flow path portion 8c of the third mixing / distributing device 14C, and the other outlet 10h communicates with the other flow path portion 9c of the third mixing / distributing portion 14C. Note that the flow path portions 9a, 8b, 9c, and 8d are formed on the front surface side of the flow path forming member 2, and the flow path portions 8a, 9b, 8c, and 9d are formed on the back surface side.

このような構造からなるマイクロ混合器１Ｂにおいて、第１、第２の流体供給口２０、２４に液体Ａ、Ｂを導入すると、最上流に位置づけられる第４の混合分配器１４Ｄが液体Ａ、Ｂを分配部Ｚ、Ｗでそれぞれ分配した後、出口１０ｇ、１０ｈにおいて混合し、新たに混合すべき流体として下流側に位置する第３の混合分配器１４Ｃの流路部分８ｃ、９ｃにそれぞれ導く。   In the micromixer 1B having such a structure, when the liquids A and B are introduced into the first and second fluid supply ports 20 and 24, the fourth mixer / distributor 14D positioned at the uppermost stream becomes the liquids A and B. Are distributed at the outlets 10g and 10h, respectively, and guided to the flow path portions 8c and 9c of the third mixing / distributing device 14C located downstream as a fluid to be newly mixed.

第３の混合分配器１４Ｃは、同じく流路部分８ｃ、９ｃに導かれた液体を分配し、出口１０ｅ、１０ｆで混合すると、第２の混合分配器１４Ｂの流路部分８ｂ、９ｂにそれぞれ導く。   Similarly, the third mixing / distributing device 14C distributes the liquid guided to the channel portions 8c and 9c and mixes them at the outlets 10e and 10f, respectively, and then guides them to the channel portions 8b and 9b of the second mixing / distributing device 14B. .

第２の混合分配器１４Ｂは、流路部分８ｂ、９ｂに導かれた液体を分配し出口１０ｃ、１０ｄで混合すると、第１の混合分配器１４Ａの流路部分８ａ、９ａにそれぞれ導く。   The second mixing / distributing device 14B distributes the liquid guided to the flow path portions 8b and 9b and mixes them at the outlets 10c and 10d, and then guides them to the flow path portions 8a and 9a of the first mixing / distributing device 14A.

第１の混合分配器１４Ａは、流路部分８ａ、９ａに導かれた液体を分配し、出口１０ａ、１０ｂで混合する。これにより、液体Ａ、Ｂは、所定の混合比の混合液体Ｃとなって出口側連通路５０を通り排出口２１に出力される。   The first mixer / distributor 14A distributes the liquid guided to the flow path portions 8a and 9a and mixes them at the outlets 10a and 10b. As a result, the liquids A and B become mixed liquid C having a predetermined mixing ratio and are output to the discharge port 21 through the outlet side communication path 50.

このような構造からなるマイクロ混合器１Ｂにおいても、１枚の流路形成部材２と２枚のカバー部材３、４とで構成しているので、上記した第１、第２の実施の形態で示したマイクロ混合器１、１Ａと同様な効果が得られるものである。   Since the micro mixer 1B having such a structure is also configured by one flow path forming member 2 and two cover members 3 and 4, in the above-described first and second embodiments. The same effects as those of the shown micro mixers 1 and 1A can be obtained.

図７は、本発明の第４の実施の形態を示す外観斜視図である。
このマイクロ混合器１Ｄは、図１に示した流路形成部材２と第１、第２のカバー部材３、４を第１の流路形成面５が凸面になるように半円形に湾曲させて形成したものである。流路形成部材２の表裏面にわたって形成される混合分配流路は、図１〜図４、図５、図６に第１〜第３の実施の形態として示した混合分配流路７、７Ａ、７Ｂのうちのいずれであってもよい。 FIG. 7 is an external perspective view showing a fourth embodiment of the present invention.
This micro mixer 1D is obtained by curving the flow path forming member 2 and the first and second cover members 3 and 4 shown in FIG. 1 into a semicircular shape so that the first flow path forming surface 5 becomes a convex surface. Formed. The mixing / distributing channels formed over the front and back surfaces of the channel forming member 2 are the mixing / distributing channels 7, 7A shown in FIGS. 1 to 4, 5, and 6 as the first to third embodiments. 7B may be used.

図８は、本発明の第５の実施の形態を示す外観斜視図である。
このマイクロ混合器１Ｆは、流路形成部材２および第１、第２のカバー部材３、４をそれぞれ円筒状の中空体に形成し、流路形成部材２の外周面を第１の流路形成面５として第１のカバー部材３に嵌合（好ましくはシール性を確保するために圧入）し、内周面を第２の流路形成面６として第２のカバー部材４を嵌合（同じく好ましくは圧入）したものである。流路形成部材２の表裏面にわたって形成される混合分配流路は、図１〜図４、図５、図６に第１〜第３の実施の形態として示した混合分配流路７、７Ａ、７Ｂのうちのいずれであってもよい。 FIG. 8 is an external perspective view showing a fifth embodiment of the present invention.
In the micro mixer 1F, the flow path forming member 2 and the first and second cover members 3 and 4 are each formed in a cylindrical hollow body, and the outer peripheral surface of the flow path forming member 2 is formed as the first flow path. Fitted to the first cover member 3 as the surface 5 (preferably press-fitted to ensure sealing performance), and fitted to the second cover member 4 with the inner peripheral surface as the second flow path forming surface 6 (same as above) Preferably press-fitted). The mixing / distributing channels formed over the front and back surfaces of the channel forming member 2 are the mixing / distributing channels 7, 7A shown in FIGS. 1 to 4, 5, and 6 as the first to third embodiments. 7B may be used.

流路形成部材２の製作に当たっては、平板に所定の混合分配流路を形成した後、円筒状に折り曲げて両端を接合すればよい。第１、第２のカバー部材３、４についても、流路形成部材２と同様に平板から製作するか、またはパイプに孔を明けてもよい。なお、マイクロ混合器１Ｆとしては、円筒状の中空体に限らず、多角形や楕円形の中空体であってもよい。   In manufacturing the flow path forming member 2, a predetermined mixing / distributing flow path may be formed on a flat plate and then bent into a cylindrical shape to join both ends. The first and second cover members 3 and 4 may be manufactured from a flat plate as in the case of the flow path forming member 2 or holes may be formed in the pipe. The micro mixer 1F is not limited to a cylindrical hollow body, but may be a polygonal or elliptical hollow body.

このような湾曲したマイクロ混合器１Ｄや円筒状のマイクロ混合器１Ｆにおいては、設置箇所が凸面または柱状の場合にその面に沿って取付けることができる利点を有するものである。   Such a curved micromixer 1D or cylindrical micromixer 1F has an advantage that it can be attached along the surface when the installation location is convex or columnar.

図９（ａ）、（ｂ）は、それぞれ本発明の第６の実施の形態を示す要部の断面図で、図９（ａ）は、流路形成部材２Ａを２枚の平板２ａ、２ｂからなる積層板で構成した例を示す。すなわち、上側の平板２ａの表面側に第１の混合分配用流路８と、第１の流体供給用連通路１５を形成し、裏面側に連通孔１０を形成し、下側の平板２ｂの表面側に連通孔１０を形成し、裏面側に第２の混合分配用流路９と、第２の流体供給用連通路１６を形成し、平板２ａの裏面と平板２ｂの表面を互いに密接して積層し、２層構造の流路形成部材２Ａとしたものである。   9 (a) and 9 (b) are cross-sectional views of the main part showing the sixth embodiment of the present invention, respectively. FIG. 9 (a) shows the flow path forming member 2A as two flat plates 2a and 2b. The example comprised with the laminated board which consists of is shown. That is, the first mixing / distributing channel 8 and the first fluid supply communication passage 15 are formed on the front surface side of the upper flat plate 2a, the communication hole 10 is formed on the back surface side, and the lower flat plate 2b The communication hole 10 is formed on the front surface side, the second mixing / distributing channel 9 and the second fluid supply communication channel 16 are formed on the back surface side, and the back surface of the flat plate 2a and the surface of the flat plate 2b are in close contact with each other. Thus, the flow path forming member 2A having a two-layer structure is formed.

図９（ｂ）は、流路形成部材２Ｂを３枚の平板２ａ、２ｂ、３ｃからなる積層板で構成した例を示す。すなわち、上側の平板２ａに第１の混合分配用流路８と、第１の流体供給用連通路１５を形成し、中間の平板２ｂに連通孔１０を形成し、下側の平板２ｃに第２の混合分配用流路９と、第２の流体供給用連通路１６を形成し、これらを互いに密接して積層し、３層構造の流路形成部材２Ｂとしたものである。   FIG. 9B shows an example in which the flow path forming member 2B is constituted by a laminated plate composed of three flat plates 2a, 2b, and 3c. That is, the first mixing / distributing channel 8 and the first fluid supply communication passage 15 are formed in the upper flat plate 2a, the communication hole 10 is formed in the intermediate flat plate 2b, and the first flat plate 2c is connected to the second flat plate 2c. The two mixing / distributing channels 9 and the second fluid supply communication channel 16 are formed, and these are intimately stacked to form a three-layer channel forming member 2B.

流路形成部材２を１枚または２枚の平板で形成した場合には、溝加工と孔明け加工によって第１、第２の混合分配用流路８、９、連通孔１０および第１、第２の流体供給用連通路１５、１６を形成する必要があるが、３枚の積層板からなる流路形成部材２Ｂにおいては、第１、第２の混合分配用流路８、９、連通孔１０、第１、第２の流体供給用連通路１５、１６を全て貫通孔で形成することができるため、溝加工を必要とせず、平板２ａ、２ｂ、２ｃを孔明け加工のみによって製作することができる。   When the flow path forming member 2 is formed of one or two flat plates, the first and second mixing / distributing flow paths 8 and 9, the communication holes 10 and the first and second flow paths are formed by grooving and drilling. The two fluid supply communication passages 15 and 16 need to be formed, but in the flow path forming member 2B formed of three laminated plates, the first and second mixing and distribution flow paths 8 and 9 and the communication holes are provided. 10. Since all of the first and second fluid supply communication passages 15 and 16 can be formed by through holes, the grooves 2 are not required and the flat plates 2a, 2b, and 2c are manufactured only by drilling. Can do.

ここで、図１においては、混合部を形成する連通孔１０ａ〜１０ｍの穴径を第１、第２の混合分配用流路８、９の溝幅と略等しいものとして示し、図２〜図３（図５、図６も同様）においては、連通孔１０ａ〜１０ｍの穴径を第１、第２の混合分配用流路８、９の溝幅より大きいものとして示したが、本発明はこれに何ら特定されるものではなく、図１０に示すように、連通孔１０の穴径を第１、第２の混合分配用流路８、９の溝幅より小さくしてもよい。   Here, in FIG. 1, the hole diameters of the communication holes 10 a to 10 m forming the mixing portion are shown as being substantially equal to the groove widths of the first and second mixing and distributing flow paths 8 and 9. 3 (the same applies to FIGS. 5 and 6), the hole diameters of the communication holes 10a to 10m are shown as being larger than the groove widths of the first and second mixing / distributing channels 8 and 9. However, the diameter of the communication hole 10 may be smaller than the groove width of the first and second mixing / distributing channels 8 and 9 as shown in FIG.

このように連通孔１０の穴径を第１、第２の混合分配用流路８、９の溝幅より小さくした場合は、流路形成部材２に第１、第２の混合分配用流路８、９を加工形成する際のずれに対する許容誤差を大きくすることができる利点がある。   When the hole diameter of the communication hole 10 is made smaller than the groove width of the first and second mixing / distributing channels 8 and 9 as described above, the first and second mixing / distributing channels are provided in the channel forming member 2. There is an advantage that an allowable error with respect to a deviation in forming 8 and 9 can be increased.

本発明は、混合すべき流体として液体Ａ、Ｂに適用した例について説明したが、これに限らず気体にも適用することができる。   Although this invention demonstrated the example applied to the liquids A and B as a fluid which should be mixed, it can apply not only to this but to gas.

１、１Ａ〜１Ｆ…マイクロ混合器、２…流路形成部材、２ａ〜２ｃ…平板、３…第１のカバー部材、４…第２のカバー部材、５…第１の流路形成面、６…第２の流路形成面、７、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ…混合分配流路、８…第１の混合分配用流路、８ａ1 〜８ａ4 、８ｂ1 〜８ｂ3 、８ｃ1 …流路部分、９…第２の混合分配用流路、９ａ1 〜９ａ4 、９ｂ1 〜９ｂ3 、９ｃ1 …流路部分、１０、１０ａ〜１０ｍ…連通孔（混合部）、１３Ａ〜１３Ｇ…混合器、１４Ａ〜１４Ｈ…混合分配器、１５…第１の流体供給用連通路、１６…第２の流体供給用連通路、２０…第１の流体供給口、２１…排出口、２４…第２の流体供給口、４０ａ…第１のバイパス流路、４０ｂ…第２のバイパス流路、４１ａ…第１の出口側連通路、４１ｂ…第２の出口側連通路、Ｘ1 、Ｘ1 ’〜Ｘ3 、Ｘ3 ’、Ｙ1 、Ｙ1 ’〜Ｙ3 、Ｙ3 ’…分岐部、Ｚ、Ｗ…分配部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1A-1F ... Micro mixer, 2 ... Channel formation member, 2a-2c ... Flat plate, 3 ... 1st cover member, 4 ... 2nd cover member, 5 ... 1st channel formation surface, 6 ... 2nd flow path formation surface, 7, 7A, 7B, 7C ... Mixing and distributing flow path, 8 ... 1st mixing and distributing flow path, 8a 1 to 8a 4 , 8b 1 to 8b 3 , 8c 1 ... Flow path Part, 9 ... 2nd flow path for mixing and distribution, 9a 1 to 9a 4 , 9b 1 to 9b 3 , 9c 1 ... Channel part, 10, 10a to 10m ... Communication hole (mixing part), 13A to 13G ... Mixing 14A-14H ... Mixing / distributing device, 15 ... First fluid supply communication passage, 16 ... Second fluid supply communication passage, 20 ... First fluid supply port, 21 ... Discharge port, 24 ... Second Fluid supply port, 40a ... first bypass channel, 40b ... second bypass channel, 41a ... first outlet side communication channel, 41b ... second outlet side communication , X 1, X 1 '~X 3, X 3', Y 1, Y 1 '~Y 3, Y 3' ... bifurcation, Z, W ... distributor.

Claims (7)

背中合わせに対向する第１、第２の流路形成面を有する流路形成部材と、
前記流路形成部材の前記第１、第２の流路形成面を覆う第１、第２のカバー部材とを具備し、
前記流路形成部材には、前記第１、第２の流路形成面にそれぞれ形成された第１、第２の混合分配用流路と、前記第１、第２の混合分配用流路を接続する複数の連通孔と、前記第１、第２の混合分配用流路の上流側端と下流側端に設けられた入口および出口とを有し、２種類の流体の混合と分配を複数回繰り返し実行させる混合分配流路が設けられているマイクロ混合器。 A flow path forming member having first and second flow path forming surfaces opposed back to back;
First and second cover members covering the first and second flow path forming surfaces of the flow path forming member,
The flow path forming member includes first and second mixing / distributing flow paths formed on the first and second flow path forming surfaces, and the first and second mixing / distributing flow paths, respectively. It has a plurality of communicating holes to be connected, and inlets and outlets provided at the upstream end and the downstream end of the first and second mixing / distribution flow paths, and a plurality of mixing and distribution of two kinds of fluids. A micro-mixer provided with a mixing / distributing channel that is repeatedly executed. 請求項１記載のマイクロ混合器において、
前記第１、第２の混合分配用流路は、それぞれ２つの分岐部を有する複数の流路部分で構成され、第１の混合分配用流路の流路部分と、これと対応する第２の混合分配用流路の流路部分の一方の分岐部どうしの下流側端と他方の分岐部どうしの下流側端がそれぞれ連通孔によって連通して混合部を形成するマイクロ混合器。 The micromixer according to claim 1, wherein
Each of the first and second mixing / distributing flow paths is composed of a plurality of flow path portions each having two branch portions, and the first mixing / distributing flow path portion and a second corresponding thereto. A micro-mixer in which the downstream end of one branch portion and the downstream end of the other branch portion of the flow channel portion of the mixing / distributing flow channel communicate with each other through a communication hole. 請求項１記載のマイクロ混合器において、
前記流路形成部材の混合分配流路は、それぞれ前記第１、第２の混合分配用流路の互いに対応する２つの流路部分と、２つの混合部および２つの分配部を有し、流体の流れ方向に一列に配設された複数の混合分配器の集合体からなるマイクロ混合器。 The micromixer according to claim 1, wherein
The mixing / distributing channel of the channel forming member has two channel portions corresponding to each other of the first and second mixing / distributing channels, two mixing portions, and two distributing portions, respectively. A micro-mixer comprising an assembly of a plurality of mixing / distributing devices arranged in a line in the flow direction. 請求項１記載のマイクロ混合器において、
前記流路形成部材の混合分配流路は、それぞれ前記第１、第２の混合分配用流路の互いに対応する２つの流路部分と、２つの混合部および２つの分配部を有する複数の混合分配器と、それぞれ前記第１、第２の混合分配用流路の互いに対応する他の２つの流路部分と１つの混合部を有する複数の混合器を上流側から下流側に向かって複数列配設した集合体からなり、前記混合分配器と前記混合器は最上流側の列においてその数が最も多く、下流側の列に向かって１つずつ減少するように配設されているマイクロ混合器。 The micromixer according to claim 1, wherein
The mixing / distributing channel of the channel forming member includes a plurality of mixing units each having two channel portions corresponding to each other of the first and second mixing / distributing channels, two mixing portions, and two distributing portions. A plurality of rows of distributors and a plurality of mixers each having the first and second mixing / distributing flow paths corresponding to each other and two mixing sections and one mixing section from the upstream side toward the downstream side A micro-mixer comprising a set of arrangements, wherein the mixing distributor and the mixer are arranged in such a manner that the number of the mixing distributor and the mixing unit is highest in the uppermost stream side and decreases one by one toward the downstream side line. vessel. 請求項１〜４のうちのいずれか一項記載のマイクロ混合器において、
前記流路形成部材および前記第１、第２のカバー部材は、平板で形成されているマイクロ混合器。 In the micromixer according to any one of claims 1 to 4,
The flow channel forming member and the first and second cover members are micromixers formed of flat plates. 請求項１〜４のうちのいずれか一項記載のマイクロ混合器において、
前記流路形成部材および前記第１、第２のカバー部材は、湾曲した板で形成されているマイクロ混合器。 In the micromixer according to any one of claims 1 to 4,
The micromixer, wherein the flow path forming member and the first and second cover members are formed of curved plates. 請求項１〜４のうちのいずれか一項記載のマイクロ混合器において、
前記流路形成部材は、外周面と内周面が第１、第２の流路形成面を形成する中空体からなり、前記第１、第２のカバー部材は、前記流路形成部材の第１、第２の流路形成面に嵌合する中空体からなるマイクロ混合器。
In the micromixer according to any one of claims 1 to 4,
The flow path forming member is formed of a hollow body having an outer peripheral surface and an inner peripheral surface forming first and second flow path forming surfaces, and the first and second cover members are the first of the flow path forming members. 1. A micromixer comprising a hollow body fitted to the second flow path forming surface.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108212046A (en) * 2018-04-04 2018-06-29 山东豪迈化工技术有限公司 A kind of honeycomb type channel microreactor
CN108212046B (en) * 2018-04-04 2024-04-12 山东豪迈化工技术有限公司 Honeycomb type channel microreactor

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