JP2011043459A - メカニカル検出器および測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】同一の共振周波数を有する2つの振動子101および振動子102と、振動子101および振動子102の間で互いに振動を伝播させる相互作用部103と、振動子101および振動子102の間の位相が半周期ずれた反対称振動状態となる周波数の振動を、振動子101および振動子102に同時に加える加振部104と、振動子101および振動子102の少なくとも一方の変位を測定する振動測定部105とを備える。加振部104は、例えばPZTなどの圧電結晶膜141と、圧電結晶膜141に交流電圧を印加する交流電源142とから構成されている。加振部104では、交流電源142の出力を制御することで、圧電結晶膜141を上述した周波数で振動させる。
【選択図】 図1
Description
はじめに、本発明の実施の形態1について説明する。図1は、本発明の実施の形態1におけるメカニカル検出器の構成を示す斜視図である。このメカニカル検出器は、同一の共振周波数を有する2つの振動子101および振動子102と、振動子101および振動子102の間で互いに振動を伝播させる相互作用部103と、振動子101および振動子102の間の位相が半周期ずれた反対称振動状態となる周波数の振動を、振動子101および振動子102に同時に加える加振部104と、振動子101および振動子102の少なくとも一方の変位を測定する振動測定部105とを備える。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。
次に、本発明の実施の形態3について説明する。実施の形態1および実施の形態2においては、振動子の振動の検出ならびに共振周波数の調整にレーザー光を用いている。しかしながら、レーザー光自体は、光の照射に対して敏感な検出対象に影響を与える。またドップラー干渉計などの光学系は大きな空間を必要とするため、メカニカル検出器の微細化には不適である。これらの問題点は、以下に示す本実施の形態3における、電気的な振動の検出ならびに共振周波数の調整が可能な機構の導入により、解決することができる。
Claims (7)
- 同一の共振周波数を有する2つの振動子と、
2つの前記振動子の間で互いに振動を伝播させる相互作用手段と、
2つの前記振動子の間の位相が半周期ずれた反対称振動状態となる周波数の振動を、2つの前記振動子に同時に加える加振手段と、
2つの前記振動子の少なくとも一方の変位を測定する振動測定手段と
を備えることを特徴とするメカニカル検出器。 - 請求項1記載のメカニカル検出器において、
2つの前記振動子の少なくとも一方の共振周波数を制御する共振周波数制御手段を備える
ことを特徴とするメカニカル検出器。 - 請求項2記載のメカニカル検出器において、
前記共振周波数制御手段は、電圧を印加可能とされた圧電部材から構成されていることを特徴とするメカニカル検出器。 - 請求項3記載のメカニカル検出器において、
前記圧電部材は、化合物半導体のヘテロ構造を有するものであることを特徴とするメカニカル検出器。 - 請求項2記載のメカニカル検出器において、
前記共振周波数制御手段は、前記振動子を加熱することで共振周波数を制御することを特徴とするメカニカル検出器。 - 請求項2記載のメカニカル検出器において、
前記共振周波数制御手段は、前記振動子に光を照射することで共振周波数を制御することを特徴とするメカニカル検出器。 - 互いに振動を伝播する状態とされた同一の共振周波数を有する2つの振動子に、2つの前記振動子の間の位相が半周期ずれた反対称振動状態となる周波数の振動を同時に加え、
前記周波数の振動を同時に加えた状態で、2つの前記振動子の少なくとも一方の変位を測定する
ことを特徴とする測定方法。
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- 2009-08-24 JP JP2009192999A patent/JP2011043459A/ja active Pending
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