JP2011031284A - レーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本実施形態では、レーザ光Lを空間光変調器で変調し、このレーザ光Lを加工対象物に集光させる。このとき、レーザ光Lの位置を検出すると共に、検出したレーザ光Lの位置に基づいて空間光変調器における変調パターンHの位置を変化させる。そのため、例えば空間光変調器に入射するレーザ光Lの位置がズレた場合等においても、かかるズレに応じて変調パターンHの位置を変化させることができ、空間光変調器でレーザ光Lを常に好適に変調させることが可能となる。よって、加工対象物に集光されるレーザ光Lの収差を安定して抑制することが可能となる。
【選択図】図12
Description
ΔX=PSDx×a
ΔY=PSDy×b …(1)
但し、ΔX :変調パターンの位置変化量(X座標)、
ΔY :変調パターンの位置変化量(Y座標)、
PSDx:レーザ光Lの座標値(X座標)
PSDy:レーザ光Lの座標値(Y座標)
a,b :所定の設定値
Claims (6)
- 加工対象物の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射することにより、前記加工対象物に改質領域を形成するレーザ加工方法であって、
前記レーザ光を空間光変調器で変調する変調工程と、
変調した前記レーザ光を前記加工対象物に集光させる集光工程と、
前記レーザ光の位置を検出する検出工程と、を含み、
前記変調工程においては、
前記空間光変調器の表示部に表示した変調パターンに前記レーザ光を入射させ、該レーザ光に前記変調パターンに応じた変調を与えると共に、
前記検出工程で検出した前記レーザ光の位置に基づいて、前記変調パターンの位置を変化させることを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記検出工程では、前記レーザ光が基準位置に対して変化した位置変化量を検出し、
前記変調工程では、前記検出工程で検出した前記レーザ光の位置変化量に基づいて、前記レーザ光と前記変調パターンとが所定位置関係となるよう前記変調パターンの位置を変化させることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工方法。 - 前記変調工程では、前記レーザ光の位置変化量に関連付けられた前記変調パターンの位置変化量に関するデータテーブルを用いて、前記変調パターンの位置を変化させることを特徴とする請求項2記載のレーザ加工方法。
- 前記変調工程では、前記レーザ光の位置変化量に基づいて前記変調パターンの位置変化量を算出し、算出した前記変調パターンの位置変化量に応じて前記変調パターンの位置を変化させることを特徴とする請求項2記載のレーザ加工方法。
- 前記変調パターンは、前記表示部の複数の画素毎の屈折率を表しており、
前記変調工程では、前記変調パターンを所定位置に移動させ、移動させた前記変調パターンに応じて前記複数の画素の屈折率を演算し、この演算した値に応じた屈折率となるよう前記画素の屈折率を制御することを特徴とする請求項1又は2記載のレーザ加工方法。 - 前記変調パターンを移動させる移動量は、前記表示部の1画素サイズ以下であることを特徴とする請求項5記載のレーザ加工方法。
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