JP2011027973A - マイクロ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定フレーム1と、固定フレーム1に対して揺動可能な可動フレーム13と、可動フレーム13の揺動軸を規定するトーションバー11a及び11bと、固定フレーム1及びトーションバー11a,11bの少なくとも一方に設けられる応力緩和機構50とを含み、トーションバー11a及び11bの軸方向における応力緩和機構50の剛性は、トーションバー11a及び11bの軸方向の剛性より小さく、トーションバー11a及び11bを中心とする回転方向における応力緩和機構50の剛性は、トーションバー11a及び11bを中心とする回転方向における剛性よりも大きい。
【選択図】図8
Description
〔1.マイクロミラー素子の基本構成〕
光通信においては、激増するインターネットトラフィックを収容すべく、波長分割多重(WDM:Wavelength Division Multiplexing)通信を中核としたネットワークの光化が急ピッチで進んでいる。光ネットワークは、光信号を伝送するための光ファイバを、メッシュ状またはリング状に接続している。このような光ネットワークにおいて、各光ファイバのノードには光スイッチ(以下、波長選択スイッチ)が接続されている。
マイクロミラー素子は、数十個程度のマイクロミラーの配列を備えている。マイクロミラーの可動機構としては、固定部と、固定部に対して角度変位を可能とする揺動部と、当該固定部および揺動部を連結し尚且つ揺動部の角度変位を可能とするために弾性変形可能な連結部と、揺動部を角度変位させるための駆動力を生じる櫛歯部とを備えている。
本実施の形態にかかるマイクロミラー素子は、引っ張り方向のストレスに対して変調を受けやすい直線的なトーションバーを適用するにあたって、引っ張り方向のストレスに対しては変位可能であって、トーションバーの回転軸方向に対しての変位が困難である特徴を持つ応力緩和機構を備えたことを構成上の特徴としている。
kr≪kr’
の関係を有するように設定する。また、引っ張り方向のバネ定数については、
kt≫kt’
の関係を有するように設定する。
kr≪kr’
の関係を有する。また、引っ張り方向のバネ定数は、
kt≫kt’
の関係を有する。
s1=t×T13×E/(2×T33)
s2=h×i×E/g
(Eはヤング率)
により求めることができる。上記数式に本実施の形態の値を代入すると、バネ定数の比s1:s2は、約1:58となる。したがって、固定フレーム1からの応力は、ほとんどが応力緩和機構50で吸収されることになり、第2のトーションバー11bに作用する応力は大幅に軽減される。
本実施の形態にかかる応力緩和機構を備えることによって、環境温度の変化によって生じる熱膨張率差に起因する応力の変動や、マイクロミラー素子を固定している接着剤部分の強度劣化による応力の変動等が、マイクロミラーの傾斜角度へ影響することを軽減することができる。
11a 第1のトーションバー
11b 第2のトーションバー
13,13a 可動フレーム
50 応力緩和機構
51,55a,55b,59a,64b,64c 応力緩和部
Claims (8)
- 固定部と、
前記固定部に対して揺動可能な揺動部と、
前記揺動部の揺動軸を規定する軸部と、
前記固定部及び前記揺動部の少なくとも一方に設けられる応力緩和部と、を含み、
前記揺動軸の軸方向における前記応力緩和部の剛性は、前記揺動軸の軸方向における前記軸部の剛性より小さく、
前記揺動軸を中心とする回転方向における前記応力緩和部の剛性は、前記揺動軸を中心とする回転方向における前記軸部の剛性よりも大きい、マイクロ素子。 - 前記揺動部の板厚方向における前記前記応力緩和部の厚みは、前記揺動部の板厚方向における前記軸部の厚みよりも大きい、請求項1に記載のマイクロ素子。
- 前記軸部は、前記応力緩和部に直接的に連結されている、請求項1又は2に記載のマイクロ素子。
- 前記応力緩和部は、前記揺動軸を基準として線対称の構造を有する、請求項1乃至3のいずれかに記載のマイクロ素子。
- 前記応力緩和部は、前記揺動軸を基準として線対称となる第1の位置及び第2の位置で前記揺動部に連結されている、請求項1乃至4のいずれかに記載のマイクロ素子。
- 前記応力緩和部は、前記揺動部に対して隙間を空けて設けられている、請求項5に記載のマイクロ素子。
- 前記固定部、前記揺動部、前記軸部、及び前記応力緩和部の少なくとも1つと熱膨張率が異なり、前記固定部、前記揺動部、前記軸部、及び前記応力緩和部を収容する収容部を含む、請求項1乃至6のいずれかに記載のマイクロ素子。
- 前記固定部、前記揺動部、前記軸部、及び前記応力緩和部の材料はシリコンであり、
前記収容部の材料はセラミックスである、請求項7記載のマイクロ素子。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9933614B2 (en) | 2016-03-29 | 2018-04-03 | Seiko Epson Corporation | Electro-optic device, electro-optic unit, and electronic apparatus |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57183515U (ja) * | 1981-05-18 | 1982-11-20 | ||
JPH0793783A (ja) * | 1993-09-21 | 1995-04-07 | Toshiba Corp | ミラー駆動装置 |
JP2003503754A (ja) * | 1999-08-28 | 2003-01-28 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロ振動装置 |
JP2003527621A (ja) * | 1999-07-13 | 2003-09-16 | インプット/アウトプット,インコーポレーテッド | マイクロマシン加工ミラー・デバイス |
US20040212864A1 (en) * | 2002-06-06 | 2004-10-28 | Greywall Dennis S. | Apparatus comprising a rotatable optical element |
WO2008078182A2 (en) * | 2006-12-26 | 2008-07-03 | Zhou, Tiansheng | Micro-electro-mechanical-system micromirrors for high fill factor arrays and method therefore |
-
2009
- 2009-07-24 JP JP2009173117A patent/JP2011027973A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57183515U (ja) * | 1981-05-18 | 1982-11-20 | ||
JPH0793783A (ja) * | 1993-09-21 | 1995-04-07 | Toshiba Corp | ミラー駆動装置 |
JP2003527621A (ja) * | 1999-07-13 | 2003-09-16 | インプット/アウトプット,インコーポレーテッド | マイクロマシン加工ミラー・デバイス |
JP2003503754A (ja) * | 1999-08-28 | 2003-01-28 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロ振動装置 |
US20040212864A1 (en) * | 2002-06-06 | 2004-10-28 | Greywall Dennis S. | Apparatus comprising a rotatable optical element |
WO2008078182A2 (en) * | 2006-12-26 | 2008-07-03 | Zhou, Tiansheng | Micro-electro-mechanical-system micromirrors for high fill factor arrays and method therefore |
JP2010515095A (ja) * | 2006-12-26 | 2010-05-06 | ティエンシェン・ジョウ | 高フィルファクターアレイ用の微小電気機械システムマイクロミラーおよびこの方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9933614B2 (en) | 2016-03-29 | 2018-04-03 | Seiko Epson Corporation | Electro-optic device, electro-optic unit, and electronic apparatus |
US10261311B2 (en) | 2016-03-29 | 2019-04-16 | Seiko Epson Corporation | Electro-optic device, electro-optic unit, and electronic apparatus |
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