JP2011027446A - Inspection device for angular velocity sensor - Google Patents

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JP2011027446A JP2009170672A JP2009170672A JP2011027446A JP 2011027446 A JP2011027446 A JP 2011027446A JP 2009170672 A JP2009170672 A JP 2009170672A JP 2009170672 A JP2009170672 A JP 2009170672A JP 2011027446 A JP2011027446 A JP 2011027446A
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嘉一 笹岡
Nami Yonezawa
奈美 米澤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection device for an acceleration sensor capable of performing high-accuracy inspection of an angular velocity sensor. <P>SOLUTION: The inspection device 1 for an acceleration sensor includes a holding member 16, a motor 12a, and a rotation-transmitting/vibration-absorbing mechanism 18. The holding member 16 has an input shaft 15. The holding member 16 is provided so as to be rotatable around the axis of the input shaft 15. The angular velocity sensor 17 is held by the holding member 16. The motor 12a has an output shaft 12a1. The motor 12a is rotatable at a predetermined angular velocity. The rotation-transmitting/vibration-absorbing mechanism 18 absorbs the vibration of the output shaft 12a1. The rotation-transmitting/vibration-absorbing mechanism 18 transmits the rotation of the output shaft 12a1 to the input shaft 15. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、角速度センサ用検査装置に関し、詳細には、モーターを用いて、角速度センサが保持されている保持部材を回転させることにより角速度センサの検査を行う角速度センサ用検査装置に関する。   The present invention relates to an inspection device for an angular velocity sensor, and more particularly to an inspection device for an angular velocity sensor that inspects the angular velocity sensor by rotating a holding member holding the angular velocity sensor using a motor.

従来、例えば下記の特許文献１〜３などにおいて、種々の角速度センサの検査装置や検査方法が提案されている。例えば、特許文献１には、図４に示す角速度センサの検査装置が開示されている。図４に示すように、検査装置１００は、基台１０１上に設けられた柱１０２に、横方向に延びる回転軸１０３が取り付けられている。この回転軸１０３には、板体１０４が、回転軸１０３の中心軸を中心として回転可能に取り付けられている。また、検査装置１００には、板体１０４を円弧運動させるボイスコイル１０５が設けられている。   Conventionally, for example, in Patent Documents 1 to 3 listed below, various inspection apparatuses and inspection methods for angular velocity sensors have been proposed. For example, Patent Document 1 discloses an inspection apparatus for an angular velocity sensor shown in FIG. As shown in FIG. 4, in the inspection apparatus 100, a rotating shaft 103 extending in the lateral direction is attached to a column 102 provided on a base 101. A plate body 104 is attached to the rotation shaft 103 so as to be rotatable about the central axis of the rotation shaft 103. In addition, the inspection apparatus 100 is provided with a voice coil 105 that moves the plate 104 in an arc.

検査装置１００では、ボイスコイル１０５により板体１０４が駆動された際の変位センサ１０６による検出値から算出される回転速度と、柱１０２の上方に取り付けられた角速度センサ１０７により検出された回転速度とを比較することにより角速度センサ１０７の感度が検査される。   In the inspection apparatus 100, the rotational speed calculated from the detection value by the displacement sensor 106 when the plate body 104 is driven by the voice coil 105, and the rotational speed detected by the angular speed sensor 107 attached above the column 102. Is compared to check the sensitivity of the angular velocity sensor 107.

しかしながら、ボイスコイル１０５を用いた検査装置１００には、以下のような問題があった。すなわち、ボイスコイル１０５は、駆動力が小さく、かつ、剛性が低い。また、検査装置１００では、ボイスコイル１０５の直線運動によって板体１０４を運動させるため、板体１０４を正確に円弧状に運動できない。このため、角速度センサ１０７の感度を高精度に検査することが困難であった。また、ボイスコイル１０５のストローク長は、数ｍｍ程度であるため、板体１０４を大きく変位させることができないという問題もあった。   However, the inspection apparatus 100 using the voice coil 105 has the following problems. That is, the voice coil 105 has a small driving force and low rigidity. Further, in the inspection apparatus 100, since the plate body 104 is moved by the linear motion of the voice coil 105, the plate body 104 cannot be moved accurately in an arc shape. For this reason, it is difficult to inspect the sensitivity of the angular velocity sensor 107 with high accuracy. Further, since the stroke length of the voice coil 105 is about several millimeters, there is a problem that the plate body 104 cannot be largely displaced.

また、下記の特許文献２には、振り子を用いた角速度センサ用検査装置が開示されている。しかしながら、特許文献２に記載の検査装置では、振り子を用いるため、長期間にわたって連続的に検査を行うことができない。また、振り子を高速振動させることが困難であるため、高い角速度領域におけるセンサ特性の検査を行うことが困難であるばかりか、検査に長時間を要するという問題もある。さらに、小型化が困難であるという問題、環境の影響を受けやすいという問題などもある。   Patent Document 2 below discloses an inspection device for an angular velocity sensor using a pendulum. However, since the inspection apparatus described in Patent Document 2 uses a pendulum, it cannot continuously inspect for a long time. Further, since it is difficult to vibrate the pendulum at high speed, it is difficult to inspect the sensor characteristics in a high angular velocity region, and there is a problem that the inspection takes a long time. In addition, there are problems such as difficulty in miniaturization and a tendency to be easily affected by the environment.

また、下記の特許文献３には、一軸レートテーブルにジャイロセンサを取り付けてジャイロセンサの検査を行うことが記載されている。   Patent Document 3 below describes that the gyro sensor is inspected by attaching the gyro sensor to the uniaxial rate table.

特許第３３３４１９６号公報Japanese Patent No. 3334196 特開２００６−８４４５５号公報JP 2006-84455 A 特開２００６−２８４３３６号公報JP 2006-284336 A

特許文献３に記載のように、一軸レートテーブルを用いた場合、角速度センサに正確な回転速度を付与することができ、かつ、角速度センサに高い回転速度を付与することもできる。従って、角速度センサの特性を正確に測定できると共に、高い回転速度領域におけるセンサ特性の検査も行うことができる。   As described in Patent Document 3, when a uniaxial rate table is used, an accurate rotational speed can be applied to the angular velocity sensor, and a high rotational speed can also be applied to the angular velocity sensor. Therefore, the characteristics of the angular velocity sensor can be accurately measured, and the sensor characteristics in a high rotational speed region can be inspected.

しかしながら、一軸レートテーブルに角速度センサを取り付けて、センサ特性の検査を行った場合でも、回転速度の計測の高い再現性が得られず、十分に高精度な検査を行うことができないという問題があった。   However, even when an angular velocity sensor is attached to a uniaxial rate table and the sensor characteristics are inspected, there is a problem in that high reproducibility of rotation speed measurement cannot be obtained and sufficiently accurate inspection cannot be performed. It was.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、角速度センサの高精度な検査を行い得る加速度センサ用検査装置を提供することにある。   This invention is made | formed in view of this point, The objective is to provide the inspection apparatus for acceleration sensors which can perform the highly accurate test | inspection of an angular velocity sensor.

本発明者らは、鋭意研究の結果、レートテーブルを用いた場合に回転速度の計測の高い再現性が得られない原因が、レートテーブルを回転させるモーターの振動がレートテーブルに伝達していることにあることを見出し、その結果、本発明をなすに至った。   As a result of diligent research, the present inventors have found that when a rate table is used, the high reproducibility of rotational speed measurement cannot be obtained because the vibration of the motor that rotates the rate table is transmitted to the rate table. As a result, the present invention has been made.

すなわち、本発明に係る加速度センサ用検査装置は、角速度センサを検査するための角速度センサ用検査装置である。本発明に係る加速度センサ用検査装置は、保持部材と、モーターと、回転伝達・振動吸収機構とを備えている。保持部材は、入力軸を有する。保持部材は、入力軸の軸心を中心として回転可能に設けられている。保持部材には、角速度センサが保持される。モーターは、出力軸を有する。モーターは、所定の回転速度で回転可能である。回転伝達・振動吸収機構は、出力軸の振動を吸収する。回転伝達・振動吸収機構は、出力軸の回転を入力軸に伝達する。   That is, the acceleration sensor inspection device according to the present invention is an angular velocity sensor inspection device for inspecting an angular velocity sensor. The inspection apparatus for an acceleration sensor according to the present invention includes a holding member, a motor, and a rotation transmission / vibration absorbing mechanism. The holding member has an input shaft. The holding member is provided to be rotatable about the axis of the input shaft. An angular velocity sensor is held by the holding member. The motor has an output shaft. The motor can rotate at a predetermined rotation speed. The rotation transmission / vibration absorbing mechanism absorbs the vibration of the output shaft. The rotation transmission / vibration absorbing mechanism transmits the rotation of the output shaft to the input shaft.

本発明のある特定の局面では、回転伝達・振動吸収機構は、出力軸と入力軸との間の動力伝達経路上に配置されている弾性部材を含む。   In one specific aspect of the present invention, the rotation transmission / vibration absorbing mechanism includes an elastic member disposed on a power transmission path between the output shaft and the input shaft.

本発明の他の特定の局面では、弾性部材は、出力軸と入力軸との間に巻き掛けられているベルトである。この構成によれば、モーターの振動が保持部材に伝達することをより効果的に抑制できると共に、モーターの回転力を確実に保持部材に伝達することができる。   In another specific aspect of the present invention, the elastic member is a belt wound around the output shaft and the input shaft. According to this configuration, the vibration of the motor can be more effectively suppressed from being transmitted to the holding member, and the rotational force of the motor can be reliably transmitted to the holding member.

本発明の別の特定の局面では、回転伝達・振動吸収機構は、出力軸と共に回転する第１のプーリーと、入力軸と共に回転する第２のプーリーとをさらに有し、ベルトは、第１及び第２のプーリーに巻き掛けられている。この構成によれば、モーターの振動が保持部材に伝達することをより効果的に抑制できると共に、モーターの回転力を確実に保持部材に伝達することができる。   In another specific aspect of the present invention, the rotation transmission / vibration absorbing mechanism further includes a first pulley that rotates together with the output shaft, and a second pulley that rotates together with the input shaft. It is wound around the second pulley. According to this configuration, the vibration of the motor can be more effectively suppressed from being transmitted to the holding member, and the rotational force of the motor can be reliably transmitted to the holding member.

本発明のさらに他の特定の局面では、ベルトの張力が、下記式（１）を満たしている。   In still another specific aspect of the present invention, the belt tension satisfies the following formula (1).

（ｎ／２）×ｌ＝（１／ｆ）・（ｓ／ｐ）１／２ ……… （１）
但し、
ｎ：整数、
ｌ：ベルトの支点間距離（ｍ）、
ｆ：モーターの回転軸の振動の周波数（Ｈｚ）、
ｓ：ベルトの張力（Ｎ）、
ｐ：ベルトの線密度（ｋｇ／ｍ）、
である。 (N / 2) × l = (1 / f) · (s / p) 1/2 (1)
However,
n: integer,
l: Distance between supporting points of belt (m),
f: Frequency of vibration of the rotating shaft of the motor (Hz),
s: belt tension (N),
p: linear density of the belt (kg / m),
It is.

この構成によれば、モーターの振動が、センサが保持される保持部材に伝達することをさらに効果的に抑制することができる。従って、加速度センサのセンサ特性をさらに正確に検出することができる。   According to this structure, it can suppress more effectively that the vibration of a motor transmits to the holding member with which a sensor is hold | maintained. Therefore, the sensor characteristics of the acceleration sensor can be detected more accurately.

本発明のさらに別の特定の局面では、加速度センサ用検査装置は、出力軸と入力軸との間の動力伝達経路上に配置されており、入力軸の回転速度を低下させる減速機構をさらに備える。この構成によれば、保持部材に大きな回転トルクを付与できるため、保持部材をより正確な回転速度で安定して回転させることができる。   In still another specific aspect of the present invention, the acceleration sensor inspection device is further disposed on a power transmission path between the output shaft and the input shaft, and further includes a reduction mechanism that reduces the rotational speed of the input shaft. . According to this configuration, since a large rotational torque can be applied to the holding member, the holding member can be stably rotated at a more accurate rotational speed.

本発明では、出力軸の振動を吸収すると共に、出力軸の回転を入力軸に伝達する回転伝達・振動吸収機構が設けられているため、モーターの振動が保持部材に伝達することが抑制される。従って、本発明の角速度センサ用検査装置を用いることにより、角速度センサの角速度検出精度などのセンサ特性の検査を高精度に行うことができる。   In the present invention, the rotation transmission / vibration absorption mechanism that absorbs the vibration of the output shaft and transmits the rotation of the output shaft to the input shaft is provided, so that the vibration of the motor is suppressed from being transmitted to the holding member. . Therefore, by using the inspection apparatus for the angular velocity sensor of the present invention, it is possible to inspect sensor characteristics such as the angular velocity detection accuracy of the angular velocity sensor with high accuracy.

実施形態に係る角速度センサ用検査装置の略図的模式側面図である。It is a schematic model side view of the inspection apparatus for angular velocity sensors concerning an embodiment. 保持部材をモーターにより直接駆動したときに角速度センサにより検出される波形の一例を表すグラフである。It is a graph showing an example of the waveform detected by an angular velocity sensor when a holding member is directly driven by a motor. 保持部材とモーターとの間に、モーターの振動を吸収する回転伝達・振動吸収機構を配置したときに角速度センサにより検出される波形の一例を表すグラフである。It is a graph showing an example of the waveform detected by an angular velocity sensor, when the rotation transmission and vibration absorption mechanism which absorbs the vibration of a motor is arrange | positioned between a holding member and a motor. 特許文献１に記載されている角速度センサの検査装置の略図的模式図である。1 is a schematic diagram of an inspection apparatus for an angular velocity sensor described in Patent Document 1. FIG.

以下、本発明を実施した好ましい形態について、図１に示す角速度センサ用検査装置を例に挙げて説明する。図１に示す角速度センサ用検査装置１は、角速度センサの角速度検出精度などのセンサ特性を検査するための装置である。   Hereinafter, a preferred embodiment in which the present invention is implemented will be described taking the angular velocity sensor inspection apparatus shown in FIG. 1 as an example. An inspection apparatus 1 for an angular velocity sensor shown in FIG. 1 is an apparatus for inspecting sensor characteristics such as angular velocity detection accuracy of the angular velocity sensor.

図１に示すように、検査装置１は、基台１０を備えている。基台１０の上には、角速度センサ１７が保持される保持部材１６が基台１０に対して回転可能に配置されている。具体的には、保持部材１６は、軸受部材１１ｂによって回転可能に支持されている入力軸１５を備えており、入力軸１５の軸心を中心として回転可能である。保持部材１６は、角速度センサ１７を保持するための保持機構（図示せず）を備えている。この保持機構は、角速度センサ１７を保持できる機構であれば特に限定されない。保持機構は、例えば、吸着機構や接着機構などにより構成することができる。   As shown in FIG. 1, the inspection apparatus 1 includes a base 10. On the base 10, a holding member 16 that holds the angular velocity sensor 17 is disposed so as to be rotatable with respect to the base 10. Specifically, the holding member 16 includes an input shaft 15 that is rotatably supported by the bearing member 11 b, and is rotatable about the axis of the input shaft 15. The holding member 16 includes a holding mechanism (not shown) for holding the angular velocity sensor 17. The holding mechanism is not particularly limited as long as it can hold the angular velocity sensor 17. The holding mechanism can be constituted by, for example, an adsorption mechanism or an adhesion mechanism.

なお、保持部材１６に保持された角速度センサ１７は、制御部２０に接続され、角速度センサ１７により検出された回転速度は、制御部２０に対して出力される。   The angular velocity sensor 17 held by the holding member 16 is connected to the control unit 20, and the rotational speed detected by the angular velocity sensor 17 is output to the control unit 20.

また、基台１０の上には、回転機構１２が設けられている。回転機構１２は、軸受部材１１ａにより回転可能に支持されている出力軸１４を有し、出力軸１４を所定の回転速度で回転させる機構である。回転機構１２は、出力軸１２ａ１を有し、所定の回転速度で回転可能なモーター１２ａと、減速機構１２ｂとを有する。   A rotation mechanism 12 is provided on the base 10. The rotation mechanism 12 has an output shaft 14 rotatably supported by the bearing member 11a, and is a mechanism that rotates the output shaft 14 at a predetermined rotation speed. The rotation mechanism 12 includes an output shaft 12a1, and includes a motor 12a that can rotate at a predetermined rotation speed and a speed reduction mechanism 12b.

モーター１２ａの種類は特に限定されないが、モーター１２ａは、例えば、ステッピングモーターやサーボモーターにより構成することができる。モーター１２ａは、制御部２０に接続されており、この制御部２０によってモーター１２ａが制御される。   Although the kind of motor 12a is not specifically limited, The motor 12a can be comprised by a stepping motor or a servomotor, for example. The motor 12 a is connected to the control unit 20, and the motor 12 a is controlled by the control unit 20.

減速機構１２ｂは、モーター１２ａの出力軸１２ａ１と出力軸１４とを接続している。減速機構１２ｂは、出力軸１２ａ１の回転を減速して出力軸１４に伝達する機構である。減速機構１２ｂは、例えば、出力軸１２ａ１と共に回転する第１のギアと、出力軸１４と共に回転し、第１のギアと噛合している第２のギアとを有するギア群により構成することができる。   The speed reduction mechanism 12b connects the output shaft 12a1 and the output shaft 14 of the motor 12a. The speed reduction mechanism 12b is a mechanism that reduces the rotation of the output shaft 12a1 and transmits it to the output shaft 14. The speed reduction mechanism 12b can be configured by, for example, a gear group having a first gear that rotates with the output shaft 12a1 and a second gear that rotates with the output shaft 14 and meshes with the first gear. .

回転機構１２の出力軸１４と、保持部材１６の入力軸１５とは、回転伝達・振動吸収機構１８を介して接続されている。回転伝達・振動吸収機構１８は、出力軸１４の振動を吸収し、入力軸１５には伝達しない一方、出力軸１４の回転を入力軸１５に伝達する機構である。具体的には、本実施形態では、回転伝達・振動吸収機構１８は、入力軸１５と出力軸１４との間の動力伝達経路上に配置されており、ゴムなどの弾性体からなる、弾性部材としてのベルト１８ｃと、第１のプーリー１８ａと、第２のプーリー１８ｂとを備えている。第１のプーリー１８ａは、出力軸１４に設けられ、出力軸１４と共に回転する。第２のプーリー１８ｂは、入力軸１５に設けられ、入力軸１５と共に回転する。ベルト１８ｃは、第１のプーリー１８ａと、第２のプーリー１８ｂとに巻き掛けられている。   The output shaft 14 of the rotation mechanism 12 and the input shaft 15 of the holding member 16 are connected via a rotation transmission / vibration absorption mechanism 18. The rotation transmission / vibration absorbing mechanism 18 is a mechanism that absorbs the vibration of the output shaft 14 and does not transmit it to the input shaft 15 while transmitting the rotation of the output shaft 14 to the input shaft 15. Specifically, in this embodiment, the rotation transmission / vibration absorbing mechanism 18 is disposed on a power transmission path between the input shaft 15 and the output shaft 14 and is made of an elastic body such as rubber. As a belt 18c, a first pulley 18a, and a second pulley 18b. The first pulley 18 a is provided on the output shaft 14 and rotates together with the output shaft 14. The second pulley 18 b is provided on the input shaft 15 and rotates together with the input shaft 15. The belt 18c is wound around the first pulley 18a and the second pulley 18b.

また、本実施形態では、検出センサ１９が、基台１０に設けられている。この検出センサ１９によって、保持部材１６の回転速度が検出される。検出センサ１９は、制御部２０に接続されており、検出センサ１９は、制御部２０に対して、検出した回転速度を出力する。なお、モーター１２ａが正確な回転速度で保持部材１６を回転させることができるものである場合は、検出センサ１９は、必ずしも必須ではない。   In the present embodiment, the detection sensor 19 is provided on the base 10. The detection sensor 19 detects the rotational speed of the holding member 16. The detection sensor 19 is connected to the control unit 20, and the detection sensor 19 outputs the detected rotation speed to the control unit 20. In addition, when the motor 12a can rotate the holding member 16 at an accurate rotation speed, the detection sensor 19 is not necessarily essential.

次に、本実施形態の検査装置１を用いた角速度センサの検査方法及び検査原理について説明する。   Next, an inspection method and an inspection principle of an angular velocity sensor using the inspection apparatus 1 of the present embodiment will be described.

まず、検査装置１の保持部材１６に検査対象となる角速度センサ１７を保持する。その状態で、モーター１２ａを駆動すると、減速機構１２ｂ、出力軸１４、回転伝達・振動吸収機構１８、入力軸１５を介してモーター１２ａの回転が保持部材１６に伝達し、保持部材１６が回転する。制御部２０には、検出センサ１９によって検出された保持部材１６の回転速度と、保持部材１６により保持された角速度センサ１７によって検出された保持部材１６の回転速度とが入力される。制御部２０は、検出センサ１９によって検出された保持部材１６の回転速度と、角速度センサ１７によって検出された保持部材１６の回転速度とを比較することにより、角速度センサ１７のセンサ特性を検査する。   First, the angular velocity sensor 17 to be inspected is held on the holding member 16 of the inspection apparatus 1. When the motor 12a is driven in this state, the rotation of the motor 12a is transmitted to the holding member 16 via the speed reduction mechanism 12b, the output shaft 14, the rotation transmission / vibration absorbing mechanism 18, and the input shaft 15, and the holding member 16 rotates. . The rotation speed of the holding member 16 detected by the detection sensor 19 and the rotation speed of the holding member 16 detected by the angular velocity sensor 17 held by the holding member 16 are input to the control unit 20. The control unit 20 inspects the sensor characteristics of the angular velocity sensor 17 by comparing the rotational speed of the holding member 16 detected by the detection sensor 19 with the rotational speed of the holding member 16 detected by the angular velocity sensor 17.

ところで、本実施形態のように、保持部材１６の駆動源としてモーター１２ａを用いた場合、モーター１２ａにおいて微振動が発生する。このため、この微振動がモーター１２ａから保持部材１６に伝達すると、保持部材１６も微振動し、例えば図２に示すように、角速度センサ１７の検出値に微振動に起因するノイズ成分が負荷されることとなる。具体的には、図２に示す場合では、約１０Ｈｚの感度波形に、約３００Ｈｚの微小ノイズが重なっている。従って、角速度センサ１７の高精度な検査が困難となる傾向にある。   By the way, when the motor 12a is used as the drive source of the holding member 16 as in the present embodiment, a slight vibration is generated in the motor 12a. For this reason, when this minute vibration is transmitted from the motor 12a to the holding member 16, the holding member 16 also slightly vibrates, and for example, as shown in FIG. 2, a noise component caused by the minute vibration is loaded on the detected value of the angular velocity sensor 17. The Rukoto. Specifically, in the case shown in FIG. 2, a minute noise of about 300 Hz overlaps with a sensitivity waveform of about 10 Hz. Therefore, high-precision inspection of the angular velocity sensor 17 tends to be difficult.

それに対して本実施形態では、上述のように、モーター１２ａと保持部材１６との間に回転伝達・振動吸収機構１８が設けられている。このため、モーター１２ａの微振動が保持部材１６に伝達することが効果的に抑制されている。従って、保持部材１６及び角速度センサ１７が微振動することが効果的に抑制され、保持部材１６及び角速度センサ１７に所望する回転速度の回転のみが加えられる。その結果、例えば図３に示すように、角速度センサ１７の検出値にノイズ成分が負荷されることが効果的に抑制される。よって、角速度センサ１７を高精度に検査することができる。   On the other hand, in this embodiment, the rotation transmission / vibration absorbing mechanism 18 is provided between the motor 12a and the holding member 16 as described above. For this reason, transmission of the slight vibration of the motor 12a to the holding member 16 is effectively suppressed. Therefore, the holding member 16 and the angular velocity sensor 17 are effectively prevented from being vibrated, and only the rotation of a desired rotational speed is applied to the holding member 16 and the angular velocity sensor 17. As a result, for example, as shown in FIG. 3, the noise component is effectively suppressed from being loaded on the detection value of the angular velocity sensor 17. Therefore, the angular velocity sensor 17 can be inspected with high accuracy.

なお、モーター１２ａの微振動の保持部材１６への伝達を完全に規制する必要は、必ずしもない。例えば、モーター１２ａの微振動が保持部材１６に伝達している場合であっても、伝達する微振動が、角速度センサ１７の検査に影響を及ぼさないレベルであればよい。具体的には、保持部材１６に伝達する微振動が角速度センサ１７によって検出されないレベルの大きさであれば、特に問題ない。従って、本実施形態の回転伝達・振動吸収機構１８は、そのようなレベルにまでモーター１２ａの微振動が保持部材１６に伝達することを抑制できるものであれば十分である。   Note that it is not always necessary to completely restrict the transmission of the fine vibration of the motor 12a to the holding member 16. For example, even if the slight vibration of the motor 12 a is transmitted to the holding member 16, it is sufficient that the transmitted slight vibration does not affect the inspection of the angular velocity sensor 17. Specifically, there is no particular problem as long as the fine vibration transmitted to the holding member 16 is at a level that is not detected by the angular velocity sensor 17. Therefore, the rotation transmission / vibration absorbing mechanism 18 of the present embodiment is sufficient if it can suppress the minute vibration of the motor 12a from being transmitted to the holding member 16 to such a level.

回転伝達・振動吸収機構１８は、モーター１２ａの回転を入力軸１５に伝達する一方、モーター１２ａの振動が入力軸１５に伝達することを抑制できるものであれば特に限定されない。回転伝達・振動吸収機構１８は、例えば、弾性部材により構成されているカップリングなどにより構成することもできる。   The rotation transmission / vibration absorbing mechanism 18 is not particularly limited as long as it can transmit the rotation of the motor 12a to the input shaft 15 while suppressing the vibration of the motor 12a from being transmitted to the input shaft 15. The rotation transmission / vibration absorbing mechanism 18 can also be constituted by, for example, a coupling constituted by an elastic member.

例えば、一端が出力軸１４に固定されており、他端が入力軸１５に固定されているゴム製カップリングを回転伝達・振動吸収機構１８として設けてもよい。但し、この場合は、カップリングの弾性が低いと振動を十分に吸収できない。このため、保持部材１６に回転を適正に伝達しつつ、保持部材１６への振動の伝達を抑制することが困難となる傾向にある。   For example, a rubber coupling having one end fixed to the output shaft 14 and the other end fixed to the input shaft 15 may be provided as the rotation transmission / vibration absorbing mechanism 18. However, in this case, the vibration cannot be sufficiently absorbed if the elasticity of the coupling is low. For this reason, it tends to be difficult to suppress transmission of vibration to the holding member 16 while appropriately transmitting rotation to the holding member 16.

それに対して、本実施形態のように、ベルト１８ｃを用いて出力軸１４と入力軸１５との間の回転伝達を行う場合は、ベルト１８ｃの弾性の大きさに関わらず、振動が効率的に吸収され、かつ、出力軸１４の回転が入力軸１５に適正に伝達する。従って、角速度センサ１７のセンサ特性をより高精度に検査することができる。   On the other hand, when the rotation transmission between the output shaft 14 and the input shaft 15 is performed using the belt 18c as in the present embodiment, vibrations are efficiently generated regardless of the elasticity of the belt 18c. The rotation of the output shaft 14 is absorbed and properly transmitted to the input shaft 15. Therefore, the sensor characteristics of the angular velocity sensor 17 can be inspected with higher accuracy.

また、本実施形態では、ベルト１８ｃが第１及び第２のプーリー１８ａ、１８ｂに巻き掛けられている。このため、出力軸１４と入力軸１５との間に位相差や振幅差が生じにくい。   In this embodiment, the belt 18c is wound around the first and second pulleys 18a and 18b. For this reason, a phase difference and an amplitude difference hardly occur between the output shaft 14 and the input shaft 15.

また、モーター１２ａの振動をベルト１８ｃにより効果的に吸収させる観点からは、ベルト１８ｃの張力が下記式（１）を満たしている好ましい。この場合、ベルト１８ｃに、モーター１２ａの回転軸の振動に応じた波長の定常波が生じ、これにより微振動がベルト１８ｃによって効果的に吸収される。その結果、保持部材１６に微振動が伝達することをより効果的に抑制することができる。   Further, from the viewpoint of effectively absorbing the vibration of the motor 12a by the belt 18c, it is preferable that the tension of the belt 18c satisfies the following formula (1). In this case, a standing wave having a wavelength corresponding to the vibration of the rotating shaft of the motor 12a is generated in the belt 18c, and thereby the fine vibration is effectively absorbed by the belt 18c. As a result, it is possible to more effectively suppress the transmission of micro vibrations to the holding member 16.

（ｎ／２）×ｌ＝（１／ｆ）・（ｓ／ｐ）１／２ ……… （１）
但し、
ｎ：整数、
ｌ：ベルトの支点間距離（ｍ）、
ｆ：モーターの回転軸の振動の周波数（Ｈｚ）、
ｓ：ベルトの張力（Ｎ）、
ｐ：ベルトの線密度（ｋｇ／ｍ）、
である。 (N / 2) × l = (1 / f) · (s / p) 1/2 (1)
However,
n: integer,
l: Distance between supporting points of belt (m),
f: Frequency of vibration of the rotating shaft of the motor (Hz),
s: belt tension (N),
p: linear density of the belt (kg / m),
It is.

なお、モーター１２ａにより保持部材１６に負荷する回転の周波数と、モーター１２ａにおいて発生する微振動の周波数とが近似している場合は、ベルト１８ｃの長さ、張力、密度などを変化させて微振動を吸収させつつ、回転を適切に伝達することは困難である。しかしながら、一般的には、モーター１２ａにおいて発生する微振動の周波数は、３００Ｈｚ程度であり、角速度センサ１７に負荷する回転の周波数（２０Ｈｚ〜３０Ｈｚ程度）よりもかなり高い周波数である。このため、ベルト１８ｃの長さ、張力、密度などを変化させることにより、微振動を吸収させつつ、回転を適切に伝達するように設定することができる。   If the frequency of rotation applied to the holding member 16 by the motor 12a is close to the frequency of fine vibration generated in the motor 12a, the length, tension, density, etc. of the belt 18c are changed to slightly vibrate. It is difficult to properly transmit the rotation while absorbing the water. However, in general, the frequency of fine vibration generated in the motor 12a is about 300 Hz, which is considerably higher than the frequency of rotation (about 20 Hz to 30 Hz) loaded on the angular velocity sensor 17. For this reason, by changing the length, tension, density, and the like of the belt 18c, it is possible to set the rotation to be appropriately transmitted while absorbing fine vibrations.

また、本実施形態では、減速機構１２ｂが配置されている。このため、保持部材１６に付与する回転トルクを大きくすることができる。よって、保持部材１６をより正確な回転速度で安定して回転させることができる。   In the present embodiment, the speed reduction mechanism 12b is arranged. For this reason, the rotational torque provided to the holding member 16 can be increased. Therefore, the holding member 16 can be stably rotated at a more accurate rotation speed.

上記実施形態では、回転機構１２が、モーター１２ａと減速機構１２ｂとにより構成されている場合について説明した。但し、本発明において、減速機構１２ｂは必ずしも設ける必要はなく、モーター１２ａの出力軸１２ａ１を入力軸１５に直結してもよい。また、減速機構１２ｂを配置する位置は、出力軸１２ａ１と入力軸１５との間の動力伝達経路上であれば特に限定されない。例えば、回転伝達・振動吸収機構１８と、入力軸１５または出力軸１４との間に配置してもよい。   In the above embodiment, the case where the rotation mechanism 12 includes the motor 12a and the speed reduction mechanism 12b has been described. However, in the present invention, the speed reduction mechanism 12b is not necessarily provided, and the output shaft 12a1 of the motor 12a may be directly connected to the input shaft 15. The position where the speed reduction mechanism 12b is disposed is not particularly limited as long as it is on the power transmission path between the output shaft 12a1 and the input shaft 15. For example, the rotation transmission / vibration absorbing mechanism 18 and the input shaft 15 or the output shaft 14 may be disposed.

１…角速度センサ用検査装置
１０…基台
１１ａ、１１ｂ…軸受部材
１２…回転機構
１２ａ…モーター
１２ａ１…モーターの出力軸
１２ｂ…減速機構
１４…回転機構の出力軸
１５…保持部材の入力軸
１６…保持部材
１７…角速度センサ
１８…回転伝達・振動吸収機構
１８ａ…第１のプーリー
１８ｂ…第２のプーリー
１８ｃ…ベルト
１９…検出センサ
２０…制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inspection apparatus 10 for angular velocity sensors ... Base 11a, 11b ... Bearing member 12 ... Rotation mechanism 12a ... Motor 12a1 ... Motor output shaft 12b ... Deceleration mechanism 14 ... Output shaft 15 of rotation mechanism ... Input shaft 16 of holding member ... Holding member 17 ... angular velocity sensor 18 ... rotation transmission / vibration absorbing mechanism 18a ... first pulley 18b ... second pulley 18c ... belt 19 ... detection sensor 20 ... control unit

Claims (6)

角速度センサを検査するための角速度センサ用検査装置であって、
入力軸を有し、前記入力軸の軸心を中心として回転可能に設けられており、角速度センサが保持される保持部材と、
出力軸を有し、所定の角速度で回転可能なモーターと、
前記出力軸の振動を吸収すると共に、前記出力軸の回転を前記入力軸に伝達する回転伝達・振動吸収機構とを備える、角速度センサ用検査装置。 An inspection device for an angular velocity sensor for inspecting an angular velocity sensor,
A holding member that has an input shaft, is provided rotatably about the axis of the input shaft, and holds an angular velocity sensor;
A motor having an output shaft and rotatable at a predetermined angular velocity;
An inspection apparatus for an angular velocity sensor, comprising: a rotation transmission / vibration absorption mechanism that absorbs vibration of the output shaft and transmits rotation of the output shaft to the input shaft. 前記回転伝達・振動吸収機構は、前記出力軸と前記入力軸との間の動力伝達経路上に配置されている弾性部材を有する、請求項１に記載の角速度センサ用検査装置。   The angular velocity sensor inspection apparatus according to claim 1, wherein the rotation transmission / vibration absorption mechanism includes an elastic member disposed on a power transmission path between the output shaft and the input shaft. 前記弾性部材は、前記出力軸と前記入力軸との間に巻き掛けられているベルトである、請求項２に記載の角速度センサ用検査装置。   The angular velocity sensor inspection device according to claim 2, wherein the elastic member is a belt wound around the output shaft and the input shaft. 前記回転伝達・振動吸収機構は、前記出力軸と共に回転する第１のプーリーと、前記入力軸と共に回転する第２のプーリーとをさらに有し、
前記ベルトは、前記第１及び第２のプーリーに巻き掛けられている、請求項３に記載の角速度センサ用検査装置。 The rotation transmission / vibration absorbing mechanism further includes a first pulley that rotates together with the output shaft, and a second pulley that rotates together with the input shaft.
The angular velocity sensor inspection device according to claim 3, wherein the belt is wound around the first and second pulleys. 前記ベルトの張力が、下記式（１）を満たしている、請求項３または４に記載の角速度センサ用検査装置。
（ｎ／２）×ｌ＝（１／ｆ）・（ｓ／ｐ）１／２ ……… （１）
但し、
ｎ：整数、
ｌ：ベルトの支点間距離（ｍ）、
ｆ：モーターの回転軸の振動の周波数（Ｈｚ）、
ｓ：ベルトの張力（Ｎ）、
ｐ：ベルトの線密度（ｋｇ／ｍ）、
である。 The inspection device for an angular velocity sensor according to claim 3 or 4, wherein the tension of the belt satisfies the following formula (1).
(N / 2) × l = (1 / f) · (s / p) 1/2 (1)
However,
n: integer,
l: Distance between supporting points of belt (m),
f: Frequency of vibration of the rotating shaft of the motor (Hz),
s: belt tension (N),
p: linear density of the belt (kg / m),
It is. 前記出力軸と前記入力軸との間の動力伝達経路上に配置されており、前記入力軸の回転速度を低下させる減速機構をさらに備える、請求項１〜５のいずれか一項に記載の角速度センサ用検査装置。   The angular velocity according to any one of claims 1 to 5, further comprising a speed reduction mechanism that is disposed on a power transmission path between the output shaft and the input shaft and reduces a rotational speed of the input shaft. Sensor inspection equipment.
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