JP2011020817A - 移載機の防塵装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ラック先端に取り付けた移載フォークが左右いずれの方向に進退しても、かつその進退方向及びその状態に関係なく常に移載フォーク移動用のラック全体を覆って移載時に発生する粉塵の飛散を防ぐようにした移載機の防塵装置を提供すること。
【解決手段】移載機本体１に搭載する移載用の駆動ピニオン３と、これに噛合し、かつ先端に移載フォーク２を備えたラック４と、該ラック４の進退動作に追従して複数段のカバー片がスライドすることにより伸縮してラックの外周面を覆うようにした防塵カバー６とより構成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、移載機の防塵装置に関し、特に、クリーンルーム内で稼動する移載機において、ラックの移動にて移載フォークを選択的に左右両方向に進退させる場合、該ラックのピニオンと噛合した部分を除いてラックのほぼ全長を伸縮性の防塵用カバーで覆い、かつラックを左右いずれの方向に進退させても常にラックを確実に覆うようにしてピニオン噛合部からの発塵の飛散を防止するようにした移載機の防塵装置に関するものである。

従来、液晶板の製造や半導体の製造に際しては、高い清浄度を有するクリーンルーム内で部品となる液晶のガラス基板（以下、「ガラス基板」という。）を、専用のカセットに収納し、これをスタッカクレーンやＲＧＶ等の搬送機を用いて搬送し、該搬送機に搭載した移載機を用いて所要位置でガラス基板収納カセットを移載するようにしたシステムが提案されている。

ところで、移載機として、特に限定されるものではないが、例えば、移載能力を向上させるため、移載機本体に対して移載用フォークを左右方向に移動させて左方向或いは右方向に選択的に突出させて移載台上に載置したガラス基板収納カセットを移載する形式のものが提案されている。

また、このクリーンルーム内を予め定めた清浄度を維持できるよう清浄空気によるダウンフローを形成し、搬送機や移載機などの駆動に際してその接触部や摺動部で発塵する微粉塵を床面から吸引して外部に排出するようにしている。

移載用フォークをピニオンに噛合したラックの進退にて移動させる形式の移載機において、進出するラック全長をカバーで覆うようにした場合、そのカバーの取付全長が長くなり、その取付スペースを確保することが困難で、従来はラックにはカバーを施されていないのが一般的で、ラック、ピニオン噛合で発生する粉塵の飛散を防ぐことができず、クレーンルーム内のクリーン度の向上にも限度があるという問題があった。

また、この進退するラックを伸縮性の蛇腹式カバーで全体を覆うことも考えられるが、移載機の高さ方向に制約があり、嵩高くなる蛇腹式カバーを採用することができないという問題があった。

本発明は、クリーンルーム内で稼動する移載機の有する問題点に鑑み、ラック先端に取り付けた移載フォークが左右いずれの方向に進退しても、かつその進退方向及びその状態に関係なく常に移載フォーク移動用のラック全体を覆って移載時に発生する粉塵の飛散を防ぐようにした移載機の防塵装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の移載機の防塵装置は、移載機本体に搭載する移載用の駆動ピニオンと、これに噛合し、かつ先端に移載フォークを備えたラックと、該ラックの進退動作に追従して複数段のカバー片がスライドすることにより伸縮してラックの外周面を覆うようにした防塵カバーとより構成したことを特徴とする。

この場合において、防塵カバーを、複数の可動カバー片を入れ子式に組み合わせて伸縮可能に構成することができる。

また、防塵カバーを、固定カバーを除いた各可動カバーに移動可能なスライド支持装置を備えて構成することができる。

また、防塵カバーを、ラックを進退させる移載用の駆動ピニオンの左右両側に対称的に配設して構成することができる。

本発明の移載機の防塵装置によれば、移載機本体に搭載する移載用の駆動ピニオンと、これに噛合し、かつ先端に移載フォークを備えたラックと、該ラックの進退動作に追従して複数段のカバー片がスライドすることにより伸縮してラックの外周面を覆うようにした防塵カバーとより構成することにより、防塵カバーの取付を小さいスペースで行い、かつラックの移動ストロークを長くすることができるのでラックの全長を覆うことができるとともに、駆動部の駆動ピニオン、ラック間での発塵の飛散を確実に防止してクリーンルーム内のクリーン度を向上させることができる。

また、防塵カバーを、複数の可動カバーを入れ子式に組み合わせて伸縮可能に構成することにより、ラックの移動ストロークが長くても防塵カバーの取付スペースを小さくしてラックの全長を確実に覆うことができる。

また、防塵カバーを、固定カバーを除いた各可動カバー片に移動可能なスライド支持装置を備えて構成することにより、突出する各可動カバー片も確実に水平方向に支持されるので、ラックとの接触を未然に防止することができる。

また、防塵カバーを、ラックを進退させる移載用の駆動ピニオンの左右両側に対称的に配設して構成することにより、ラックの進退により移載方向の左右いずれの方向であっても突出する側のラックには常に伸張した防塵カバーにて覆われるため、駆動ピニオン、ラックの噛合部で発生する発塵の飛散を完全に防止することができる。

本発明の移載機の防塵装置の一実施例を示す平面図で、（Ａ）は移載フォークが右方へ突出した状態を、（Ｂ）は移載フォークが中立位置で停止した状態を、（Ｃ）は移載フォークが左方へ突出した状態をそれぞれ示す。 移載フォーク駆動部を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。 ラックの左右移動時に伸縮する防塵カバーの状態を示す動作説明図である。 固定カバー片の断面図である。 第１可動カバー片の断面図である。 第１可動カバー片と第２可動カバー片との関係を示す断面図である。 第２可動カバー片と第３可動カバー片との関係を示す断面図である。 第２可動カバー片のスライド支持装置の断面説明図である。 第３可動カバー片のスライド支持装置の断面説明図である。 第３可動カバー片の断面図である。

以下、本発明の移載機の防塵装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。

図１〜図１０に、本発明の移載機の防塵装置の一実施例を示す。
本発明の移載機の防塵装置は、スタッカクレーンやＲＧＶ等の搬送機に搭載されるもので、図はその移載部分のみを示しており、移載機本体１を中央に配して、該移載機本体１より移載フォーク２を左右方向に選択的に移動してガラス基板等を収納したカセット、その他の物品の移載を行うようにするもので、互いに対向した２個一対の駆動ピニオン３、３と、この駆動ピニオン３、３に挟まるように噛合して左右両方向に進退するラック４と、移載機本体上方に配設し、かつラックの先端に直接或いは連結ロッド５を介して接続する移載フォーク２と、ラック４の進退する両方向にそれぞれ配設し、ラック４の進退に追従してラック４の左右伸縮箇所を覆うようにした伸縮式の防塵カバー６、６とより構成する。

所要の搬送機（図示省略）の上部に配設した移載機本体１には、複数のガイドローラ１１、１１を備え、該ガイドローラ１１、１１に支持され円滑に進退移動するよう移載フォーク２を搭載する。この移載フォーク２の移動距離は、移載物品の移載動作に必要なものとして予め設定され、これに従ってラック４の全長及びその移動距離も定められる。

また、移載機本体１には、正逆回転可能に、かつ同期して選択的に駆動される駆動ピニオン３、３を２個一対に対称的に配設して備え、この対向する駆動ピニオン３、３間にラック４を両駆動ピニオン３、３と互いに噛合するようにして配設し、駆動ピニオン３、３の回転方向に応じてラック４を移載機本体１に対して右方向へ（図１（Ａ）を参照）或いは左方向へ（図１（Ｃ）を参照）移動するようにする。
このラック４が左右いずれか一方に突出している場合、例えば、図１（Ａ）に示すように、右方向へ最大限突出している場合、移載機本体１の反対側の左端でラック４の左端部と駆動ピニオン３、３と噛合するようにラックの全長が定められる。
したがって、駆動ピニオン３、３の回転角度或いは回転数は、常にラックと噛合し、かつラックの一端側から他端側へ、すなわち、左方或いは右方へ移動できるようにして定められる。

また、移載機本体１のラックが突出する左右両側には、同じ構成とした防塵カバー６、６が配設され、かつラックの移動方向に追従して伸縮、例えば、図１（Ａ）に示すように、右方向へラックが移動する場合は右方の防塵カバー６が伸張し、反対側の左方の防塵カバー６は縮小状態となるよう対称的な動作を行うようにし、これにより、ラックの進退量及びその方向に関係なく常にラック全長はピニオンとの噛合部を除いてすべて防塵カバーにて覆われるようにする。

なお、この駆動ピニオン３、３とラック４との噛合部は、図１に示すように、移載機本体１に備えた固定カバー７に覆うようにし、これによりラックの進退移動に伴って発生する微粉塵は固定カバー７と伸縮式の防塵カバー６、６にて周囲の飛散を完全に防止することができるようにする。

この防塵カバー６は、ラック４の進退移動に伴って伸縮する構成とし、その構成は特に限定されるものではないが、例えば、図１〜図１０に示すように、異なるサイズとした複数の筒状体を互いにスライド可能に嵌挿するようにした入れ子式とすることができ、ラックの外周囲を覆うよう筒状体とした複数の各カバー片はステンレス鋼などの金属板を屈曲して形成することも、或いは合成樹脂にて製作することも可能である。

本実施例の防塵カバー６は、固定カバー片６ａと、第１可動カバー片６ｂと、第２可動カバー片６ｃと、第３可動カバー片６ｄとより構成し、各カバー片はラック４の外周囲を覆い易いよう六角形或いは四角形としているが、この形状は限定されることはなく、さらにはその数も限定されることはない。
この固定カバー片６ａは、図４に示すように、移載機本体１にそれぞれベースプレート６１、取付座６１ａを介して固定する。

この固定カバー片６ａの内側に嵌挿するようにした第１可動カバー片６ｂは、図５に示すように、固定カバー片６ａよりも長くなるようにして完全に抜けでないようにし、さらには固定カバー片６ａ内にこれと接触することなく、スムーズに挿入できるようベースプレート６１に円滑に摺動できるよう、特に限定されるものではないが、例えば、直動ベアリング等のスライド支持装置６２を介して取り付け、ラックの進退方向に移動できるようにする。この場合、第１可動カバー片６ｂの基端側は常に固定カバー片６ａ内に嵌挿された状態とする。

また、この第１可動カバー片６ｂの先端部左右両側には、図６に示すように、カバー片ガイドローラ６３、６３を回転可能にして備える。このカバー片ガイドローラ６３は、第２可動カバー片６ｃの左右両側部を摺動可能に支えるような外形状、例えば、算盤玉形に整えられるとともに、図８に示すように、第１可動カバー片６ｂの一部を穿孔し、この窓孔６ｗからカバー片ガイドローラ６３の外周面を覗かせ、第１可動カバー片６ｂ内に嵌挿する第２可動カバー片６ｃの側面を摺動可能に支持するようにする。
なお、このカバー片ガイドローラ６３の外部全体は、防塵のため第１可動カバー片６ｂに設けた取付座６３ｂに突設されたカバー６３ａにて覆われるようにする。

第２可動カバー片６ｃ内に嵌挿支持される第３可動カバー片６ｄは、図７〜図９に示すように、第２、第３の可動カバー片６ｃ、６ｄ間に円滑に摺動できるよう直動ベアリング等のスライド支持装置６４を配設する。そして、この第３可動カバー片６ｄの先端部をラック先端部と掛止することで、ラックの進退移動に伴って第３可動カバー片６ｄが移動するようにする。

なお、この第３可動カバー片６ｄの基端側とこれを嵌挿した第２可動カバー片６ｃの先端側とは、第３可動カバー片６ｄが最突出位置でも第２可動カバー片６ｃより抜けでないよう、互いに掛止されるようにする。これは、第１可動カバー片６ｂと第２可動カバー片６ｃ間、及び固定カバー片６ａ、第１可動カバー片６ｂ間においても同様とする。

次に、この移載機の防塵装置の作用について説明する。
上記移載機において、ガラス基板等を収納したカセット或いは他の部品を移載する場合、その移載方向に応じて移載フォークを進出させて行うが、これは駆動ピニオン３、３の回転駆動方向を制御することで行える。

駆動ピニオン３、３の駆動により、これと噛合されたラック４が左方又は右方へ直線移動する。この動作を図３に基づいて説明する。
移載フォークを取り付けたラックが右方に突出した状態から左方へ移動させると、ラックの先端に掛止された左方側の第３可動カバー片６ｄがラックの移動とともに左方へ移動する。これにより、縮小状態にあった左方の防塵カバー６は、図３左方の上から下方に示すように、徐々に各可動カバー片６ｂ、６ｃ、６ｄが引き出されるようになって伸張し、ラックが最左方に突出したとき、そのラック全長が伸張した左方側の防塵カバー６にて覆われるようになる。

また、一方、右側の防塵カバー６は、図３右側に示すようにラックの左方側へ移動に伴って突出伸張していた各可動カバー片は、互いに嵌挿縮小されて図３右側最下段位置に示すように、縮小される。
このように、移載機本体の左右に配設した両防塵カバーは、それぞれラックの移動方向に応じて対称的に進退し、ラック全長を常に覆って防塵し、これによりクリーンルーム内のクリーン度を向上することができる。

以上、本発明の移載機の防塵装置について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。

本発明の移載機の防塵装置は、進退するラックの進退方向に対称的に配設した２個一対の防塵カバーが、ラックの進退方向に追従して伸縮しつつラックの全長を常に覆うという特性を有していることから、クリーンルーム内で稼動する移載機の防塵装置の用途に好適に用いることができるほか、スタッカクレーンやＲＧＶの移載機の用途にも用いることができる。

１ 移載機本体
２ 移載フォーク
３ 駆動ピニオン
４ ラック
５ 連結ロッド
６ 防塵カバー
７ 固定カバー
６ａ 固定カバー片
６ｂ 第１可動カバー片
６ｃ 第２可動カバー片
６ｄ 第３可動カバー片

Claims (4)

1. 移載機本体に搭載する移載用の駆動ピニオンと、これに噛合し、かつ先端に移載フォークを備えたラックと、該ラックの進退動作に追従して複数段のカバー片がスライドすることにより伸縮してラックの外周面を覆うようにした防塵カバーとより構成したことを特徴とする移載機の防塵装置。
2. 防塵カバーを、複数の可動カバー片を入れ子式に組み合わせて伸縮可能に構成したことを特徴とする請求項１記載の移載機の防塵装置。
3. 防塵カバーを、固定カバーを除いた各可動カバーに移動可能なスライド支持装置を備えて構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の移載機の防塵装置。
4. 防塵カバーを、ラックを進退させる移載用の駆動ピニオンの左右両側に対称的に配設して構成したことを特徴とする請求項１、２又は３記載の移載機の防塵装置。

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