JP2011020272A - Transfer device and transfer method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、転写装置および転写方法に係り、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するものに関する。 The present invention relates to a transfer apparatus and a transfer method, and relates to an apparatus for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-like mold to a molded product.
近年、電子線描画法などで石英基板等に超微細な転写パターンを形成して型（モールド）を作製し、被成型品に前記型を所定の圧力で押圧して、当該型に形成された転写パターンを転写するナノインプリント技術が研究開発されている（たとえば、非特許文献１参照）。 In recent years, a mold (mold) is formed by forming an ultrafine transfer pattern on a quartz substrate or the like by an electron beam drawing method or the like, and the mold is pressed to a molded product with a predetermined pressure, and the mold is formed. A nanoimprint technique for transferring a transfer pattern has been researched and developed (for example, see Non-Patent Document 1).
ナノオーダーの微細なパターン（転写パターン）を低コストで成型する方法としてリソグラフィ技術を用いたインプリント法が考案されている。この成型法は大別して熱インプリント法とＵＶインプリント法とに分類される。 As a method for forming a nano-order fine pattern (transfer pattern) at a low cost, an imprint method using a lithography technique has been devised. This molding method is roughly classified into a thermal imprint method and a UV imprint method.
熱インプリント法では、型を基板に押圧し、熱可塑性ポリマからなる樹脂（熱可塑性樹脂）が十分に流動可能となる温度になるまで加熱して微細パターンに樹脂を流入させたのち、型と樹脂をガラス転移温度以下になるまで冷却し、基板に転写された微細パターンを固化したのち型を引き離す。 In the thermal imprint method, a mold is pressed against a substrate, heated to a temperature at which a resin made of a thermoplastic polymer (thermoplastic resin) can flow sufficiently, and the resin flows into a fine pattern. The resin is cooled to below the glass transition temperature, and after the fine pattern transferred to the substrate is solidified, the mold is pulled apart.
ＵＶインプリント法では、光を透過できる透明な型を使用し、ＵＶ硬化性液に型を押しつけてＵＶ放射光を加える。適当な時間放射光を加えて液を硬化させ微細パターンを転写したのち型を引き戻す。 In the UV imprint method, a transparent mold capable of transmitting light is used, and the UV radiation is applied by pressing the mold against the UV curable liquid. Radiant light is applied for an appropriate time to cure the solution and transfer the fine pattern, and then pull back the mold.
ハードディスクやＣＤ、ＤＶＤなど回転式の記憶装置では、最近、高密度のデータをディスクに形成するための記憶媒体（記録媒体）を成型する手段として、こうしたナノインプリント技術を活用する方法への関心が高くなってきている。 Recently, in rotary storage devices such as hard disks, CDs, and DVDs, there is a high interest in methods that utilize such nanoimprint technology as a means for forming a storage medium (recording medium) for forming high-density data on a disk. It has become to.
また、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するときに、被成型品に気泡が発生することを防止するために、型と被成型品とをカバーで覆って真空成型室内で転写を行う構成の転写装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。 In addition, when transferring the fine transfer pattern formed on the mold to the molded product, the mold and the molded product are covered with a cover and vacuum molded to prevent bubbles from being generated in the molded product. A transfer device configured to perform transfer indoors is known (for example, see Patent Document 1).
ところで、被成型品の平面度が若干悪くても転写を均質に行うようにするために、上述したモールドとして、薄いシート状のモールドを使用する場合があり、この場合においても、転写の際における被成型品での気泡の発生（被成型品の被転写部への微細な気泡の混入）を防止することが望ましい。 By the way, in order to perform transfer uniformly even if the flatness of the product to be molded is slightly worse, a thin sheet-shaped mold may be used as the above-described mold. It is desirable to prevent the generation of bubbles in the molded product (mixing of fine bubbles into the transferred portion of the molded product).
シート状のモールドを使用する転写において被成型品での気泡の発生を避けたい場合、シート状のモールドを適宜の弾性を備えた押圧体に一体的に設置し、前記被成型品とシート状のモールドと押圧体とが真空成型室内に位置するようにして、前記真空成型室を減圧する方式が考えられる。 When it is desired to avoid the generation of bubbles in the molded product in the transfer using the sheet-shaped mold, the sheet-shaped mold is integrally installed on a pressing body having appropriate elasticity, and the molded product and the sheet-shaped mold are arranged. A method is conceivable in which the vacuum molding chamber is decompressed so that the mold and the pressing body are positioned in the vacuum molding chamber.
しかし、上記方式では、シート状のモールドを押圧体に設置するための機構や工程が煩雑になり、また、真空成型室の構成が煩雑になるという問題がある。 However, the above-described method has a problem that a mechanism and a process for installing the sheet-like mold on the pressing body become complicated, and a configuration of the vacuum forming chamber becomes complicated.
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置および転写方法において、簡素な構成や工程で、前記被成型品での気泡の発生を防いだ転写をすることができる転写装置および転写方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and in a transfer device and a transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-like mold to a molded product, a simple configuration or It is an object of the present invention to provide a transfer apparatus and a transfer method capable of performing transfer while preventing generation of bubbles in the molded product in the process.
請求項１に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、前記転写をするときに、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールド挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成手段と、前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を仕切る前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成手段と、前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を減圧する減圧手段とを有する転写装置である。
The invention according to
請求項２に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、前記転写をするときに、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールド挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記シート状のモールドに予め形成されている貫通孔によって前記第１の真空成型室とつながっていると共に前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成手段と、前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を減圧する減圧手段とを有する転写装置である。 According to a second aspect of the present invention, in the transfer device for transferring a fine transfer pattern formed on the sheet-shaped mold to the molded product, when the transfer is performed, the molded product, A vacuum forming chamber in which a pressing body that sandwiches and presses the sheet-shaped mold in cooperation with a molded product is located in a first vacuum forming chamber in which the molded product is installed, and the sheet A vacuum molding chamber that is connected to the first vacuum molding chamber by a through-hole formed in a mold in advance and is partitioned by the sheet-shaped mold into a second vacuum molding chamber in which the pressing body is located A vacuum forming chamber forming means for forming the vacuum forming chamber, and a decompression means for reducing the pressure of the vacuum forming chamber formed by the vacuum forming chamber forming means.
請求項３に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、凹部を備え、この凹部の内側に前記被成型品が設置され、前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより、第１の真空成型室を形成する被成型品設置体と、前記第１の真空成型室の外側に設けられ、前記第１の真空成型室を形成している前記シート状のモールドの微細な転写パターンを、前記被成型品設置体に設置された被成型品へ転写するときに、前記シート状のモールドを押圧する押圧体と、前記第１の真空成型室の外側で前記押圧体を一体的に支持し、前記被成型品設置体に対して接近もしくは離反する方向で相対的に移動自在であり、前記転写をするときに前記押圧体が内側に入り込むと共に前記シート状のモールドを隔てて前記第１の真空成型室に隣接する第２の真空成型室を形成する可動体と、前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成手段と、前記第１の真空成型室または前記第２の真空成型室を減圧する減圧手段とを有する転写装置である。 According to a third aspect of the present invention, there is provided a transfer device for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-like mold to a molded product, the concave device having a concave portion, and the molded product is provided inside the concave portion. The molded product installation body for forming the first vacuum molding chamber by closing the opening of the concave portion with the sheet-shaped mold, and provided outside the first vacuum molding chamber, Press for pressing the sheet-shaped mold when transferring a fine transfer pattern of the sheet-shaped mold forming one vacuum forming chamber to a molded product installed in the molded product installation body The pressing body is integrally supported on the outside of the body and the first vacuum molding chamber, and is relatively movable in a direction approaching or moving away from the molded product installation body, and performs the transfer. Sometimes the pressing body goes inside In addition, a movable body that forms a second vacuum forming chamber adjacent to the first vacuum forming chamber with the sheet-shaped mold interposed therebetween, and the sheet-shaped mold include the first vacuum forming chamber and the first vacuum forming chamber. A transfer device having a through-hole forming means for forming a through-hole for connecting the two vacuum forming chambers to each other, and a decompressing means for reducing the pressure of the first vacuum forming chamber or the second vacuum forming chamber. .
請求項４に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、凹部を備え、この凹部の内側に前記被成型品が設置され、前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより、第１の真空成型室を形成する被成型品設置体と、前記第１の真空成型室の外側に設けられ、前記第１の真空成型室を形成している前記シート状のモールドの微細な転写パターンを、前記被成型品設置体に設置された被成型品へ転写するときに、前記シート状のモールドを押圧する押圧体と、前記第１の真空成型室の外側で前記押圧体を一体的に支持し、前記被成型品設置体に対して接近もしくは離反する方向で相対的に移動自在であり、前記転写をするときに前記押圧体が内側に入り込むと共に前記シート状のモールドを隔てて前記第１の真空成型室に隣接する第２の真空成型室を形成する可動体と、前記第１の真空成型室または前記第２の真空成型室を減圧する減圧手段とを有し、前記シート状のモールドには、前記各真空成型室同士をつなぐための貫通孔が予め形成されている転写装置である。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a transfer apparatus for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product, the concave device having a concave portion, and the molded product is disposed inside the concave portion. The molded product installation body for forming the first vacuum molding chamber by closing the opening of the concave portion with the sheet-shaped mold, and provided outside the first vacuum molding chamber, Press for pressing the sheet-shaped mold when transferring a fine transfer pattern of the sheet-shaped mold forming one vacuum forming chamber to a molded product installed in the molded product installation body The pressing body is integrally supported on the outside of the body and the first vacuum molding chamber, and is relatively movable in a direction approaching or moving away from the molded product installation body, and performs the transfer. Sometimes the pressing body goes inside In addition, a movable body that forms a second vacuum molding chamber adjacent to the first vacuum molding chamber across the sheet-shaped mold, and the first vacuum molding chamber or the second vacuum molding chamber are depressurized. The sheet-shaped mold has a through-hole for connecting the vacuum forming chambers in advance.
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の転写装置において、モールド原反から繰り出されシート状になって前記転写に使用された前記シート状のモールドを、モールド巻き取り装置で巻き取ることによって、前記シート状のモールドを交換するモールド交換手段と、前記モールド原反と前記モールド巻き取り装置との間に設けられている引き剥がしローラを用いて、前記転写により前記被成型品に貼り付いている前記シート状のモールドを、前記被成型品から引き剥がすモールド引き剥がし手段とを有する転写装置である。
The invention according to
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の転写装置において、前記モールド引き剥がし手段は、前記モールド原反と前記モールド巻き取り装置との間に設けられている一対のローラを備えて構成されており、この一対のローラに前記シート状のモールドを係合させて前記シート状のモールドを「Ｓ」字状に形成し、前記一対のローラを移動して、前記引き剥がしをするように構成されている転写装置である。
The invention according to claim 6 is the transfer apparatus according to
請求項７に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写方法において、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールドを挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成工程と、前記真空成型室を仕切る前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、前記貫通孔形成工程で前記シート状のモールドに貫通孔を形成した後に、前記真空成型室形成型室工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と、前記減圧工程で前記真空成型室を減圧した後に、前記押圧体と前記被成型品とで前記シート状のモールド挟み込んで押圧し前記転写をする押圧転写工程とを有する転写方法である。 According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product, in cooperation with the molded product and the molded product. A vacuum forming chamber in which a pressing body that sandwiches and presses a sheet-shaped mold is located, and a first vacuum molding chamber in which the article to be molded is installed, and a second vacuum in which the pressing body is positioned A vacuum molding chamber forming step for forming a vacuum molding chamber partitioned by the sheet-shaped mold in the molding chamber, and the first vacuum molding chamber and the second in the sheet-shaped mold partitioning the vacuum molding chamber. A through hole forming step for connecting the vacuum forming chambers to each other, and after forming the through holes in the sheet-shaped mold in the through hole forming step, in the vacuum forming chamber forming mold chamber step Formed vacuum formation A decompression step of decompressing the chamber, and a pressure transfer step of performing the transfer by sandwiching and pressing the sheet-like mold between the pressing body and the product to be molded after the vacuum forming chamber is decompressed in the decompression step. This is a transfer method.
請求項８に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写方法において、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールドを挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記シート状のモールドに予め形成されている貫通孔によって前記第１の真空成型室とつながっていると共に前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成工程と、前記真空成型室形成工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と、前記減圧工程で前記真空成型室を減圧した後に、前記押圧体と前記被成型品とで前記シート状のモールド挟み込んで押圧し前記転写をする押圧転写工程とを有する転写方法である。 The invention according to claim 8 is a transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-like mold to a molded product, in cooperation with the molded product and the molded product. A pressing body that sandwiches and presses a sheet-shaped mold is a vacuum forming chamber located inside, and is formed in advance in a first vacuum forming chamber in which the product to be molded is installed and the sheet-shaped mold. Forming a vacuum forming chamber that is connected to the first vacuum forming chamber by a through-hole and is partitioned by the sheet-like mold in a second vacuum forming chamber in which the pressing body is located And a decompression step of decompressing the vacuum molding chamber formed in the vacuum molding chamber formation step, and after depressurizing the vacuum molding chamber in the decompression step, the sheet-like mold with the pressing body and the molded product Crowded seen a pressing transferring method and a pressing transferring step of the transfer.
請求項９に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、凹部を備え、この凹部の内側に前記被成型品が設置され、前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより、真空成型室を形成する被成型品設置体と、前記真空成型室を減圧する減圧手段とを有し、前記減圧手段で真空成型室を減圧し、前記シート状のモールドと前記被成型品とをお互いに接触させて、前記転写を行うように構成されている転写装置である。 The invention described in claim 9 is a transfer device for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product, and is provided with a recess, and the molded product is placed inside the recess. A molded product installation body for forming a vacuum molding chamber by closing the opening of the concave portion with the sheet-shaped mold, and a decompression means for decompressing the vacuum molding chamber. The transfer device is configured to perform the transfer by reducing the pressure in a vacuum forming chamber and bringing the sheet-shaped mold and the molding target into contact with each other.
請求項１０に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写方法において、被成型品設置体の凹部に設置された前記被成型品が内部に位置する真空成型室を、前記シート状のモールドで前記被成型品設置体の凹部の開口部を塞ぐことにより形成する真空成型室形成工程と、前記真空成型室形成工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と、前記減圧工程で前記真空成型室を減圧して、前記転写をする押圧転写工程とを有する転写方法である。 The invention according to claim 10 is a transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-like mold to a molded product, wherein the molded product is installed in a recess of the molded product installation body. A vacuum molding chamber in which a product is located is formed by a vacuum molding chamber forming step in which the opening of the concave portion of the molded product installation body is closed with the sheet-shaped mold, and the vacuum molding chamber forming step. And a pressure transfer step of reducing the pressure in the vacuum forming chamber in the pressure reducing step to perform the transfer.
本発明によれば、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置および転写方法において、簡素な構成や工程で、前記被成型品での気泡の発生を防いだ転写をすることができるという効果を奏する。 According to the present invention, in a transfer device and a transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product, bubbles in the molded product can be obtained with a simple configuration and process. There is an effect that the transfer can be performed while preventing the occurrence of the above.
図１は、本発明の実施形態に係る転写装置１の概略構成を示す図であり、図２は、図１におけるＩＩ矢視図であり、図３は、図１におけるＩＩＩ部の拡大図である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a
なお、以下、説明の便宜のために、水平な一方向をＸ軸方向とし、水平な他の一方向であってＸ軸に直交する方向をＹ軸方向とし、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直交する鉛直な方向をＺ軸方向とする場合がある。また、転写装置１について説明する前に、図１０を用いて、ＵＶインプリント法による転写について説明する。
Hereinafter, for convenience of explanation, one horizontal direction is defined as the X-axis direction, another horizontal direction that is orthogonal to the X-axis is defined as the Y-axis direction, and the X-axis direction and the Y-axis direction are defined as In some cases, a vertical direction orthogonal to the Z-axis direction is used. Before describing the
ＵＶインプリント法では、図１０（ａ）で示す矢印の方向に型Ｍを移動し、図１０（ｂ）に示すように、型Ｍで被成型品Ｗを小さい力で押圧し、紫外線を照射し、ＵＶ硬化樹脂（紫外線硬化樹脂）Ｗ２を硬化させる。この後、図１０（ｂ）で示す矢印の方向に型Ｍを移動して、型Ｍを被成型品Ｗから離すと、図１０（ｃ）に示すように、被成型品Ｗ（紫外線硬化樹脂Ｗ２）に微細な転写パターンが転写される。ここまでが、転写装置１を使用してなされる転写である。
In the UV imprint method, the mold M is moved in the direction of the arrow shown in FIG. 10 (a), and as shown in FIG. 10 (b), the product W is pressed with a small force and irradiated with ultraviolet rays. Then, the UV curable resin (ultraviolet curable resin) W2 is cured. Thereafter, when the mold M is moved in the direction of the arrow shown in FIG. 10B and the mold M is separated from the molded product W, as shown in FIG. 10C, the molded product W (ultraviolet curable resin) is obtained. A fine transfer pattern is transferred to W2). Up to here, the transfer is performed using the
上記転写後、図１０（ｃ）に示す状態において、硬化しアッシングで残膜が除去された紫外線硬化樹脂Ｗ２をマスキング部材にして、エッチングによって基材Ｗ１に微細な転写パターンを形成し、この後、硬化した紫外線硬化樹脂Ｗ２をたとえば溶剤で取り除けば、図１０（ｄ）に示すように、基材Ｗ１への微細な転写パターンの転写が完了する。 After the transfer, in the state shown in FIG. 10C, a fine transfer pattern is formed on the substrate W1 by etching using the UV curable resin W2 that has been cured and the remaining film has been removed by ashing as a masking member. If the cured ultraviolet curable resin W2 is removed with, for example, a solvent, the transfer of the fine transfer pattern onto the substrate W1 is completed as shown in FIG.
なお、以下の説明では、ＵＶインプリント法をおこなう転写装置１を例に掲げて説明するが、転写装置１に被成型品Ｗを加熱しまた冷却する装置を付加し、転写装置１を熱インプリント法を行う装置としてもよい。
In the following description, the
転写装置（微細転写装置；ナノインプリント装置）１は、薄いシート状のモールド（型）Ｍの厚さ方向の一方の面に形成されている微細な転写パターン（たとえば、多数の微細な凹凸で形成されており、高さやピッチが可視光線の波長程度かもしくは可視光線の波長よりも僅かに大きいが僅かに小さい転写パターン）を、被成型品（たとえば、平板状の被インプリント基板の厚さ方向の一方の面）Ｗに転写するための装置であり、被成型品設置体３と押圧体５と可動体７と貫通孔形成手段９と減圧手段１１とを備えて構成されている。
The transfer device (fine transfer device; nanoimprint device) 1 is formed of a fine transfer pattern (for example, a large number of fine irregularities) formed on one surface in the thickness direction of a thin sheet-shaped mold (mold) M. The height or pitch is about the wavelength of visible light or a transfer pattern that is slightly larger than the wavelength of visible light but slightly smaller in size in the thickness direction of a flat imprint substrate. One surface) is an apparatus for transferring to W, and comprises a molded
被成型品設置体３は、凹部１３を備えており、この凹部１３の内側に被成型品Ｗが設置されるようになっている。また、凹部１３の開口部（平坦な環状に形成されている開口部）１５をシート状のモールドＭで塞ぐことにより、真空成型室（ほぼ閉じた空間である真空成型室）１７が形成されるようになっている。なお、すでに理解されるように、被成型品Ｗは、真空成型室１７の内部に設置されるようになっている。
The molded
被成型品Ｗが被成型品設置体３に設置され被成型品設置体３の開口部１５にシート状のモールドＭが設置されて真空成型室１７が形成された状態では、被成型品Ｗの微細な転写パターンＭ１（図３参照）が転写される平面（被転写面）１９と、シート状のモールドＭの微細な転写パターンＭ１が形成されている平面２１とが、お互いが平行になってごく僅かに離れて（たとえば、０．１ｍｍ〜１ｍｍ程度離れて）対向している。
In a state where the molded product W is installed in the molded
すなわち、図３における寸法Ｓ２が、たとえば、０．１ｍｍ〜１ｍｍ程度になっている。なお、図３における参照符号Ｗ１は、被成型品Ｗの基材（シリコン等で構成された基材）であり、参照符号Ｗ２は、紫外線硬化樹脂である。 That is, the dimension S2 in FIG. 3 is, for example, about 0.1 mm to 1 mm. In addition, the reference symbol W1 in FIG. 3 is a base material (base material made of silicon or the like) of the product W, and the reference symbol W2 is an ultraviolet curable resin.
押圧体５は、真空成型室１７の外側に設けられている。そして、被成型品設置体３に設置された被成型品Ｗへ、真空成型室１７を形成しているシート状のモールドＭの微細な転写パターンＭ１を転写するときに、押圧体５によって、シート状のモールドＭを被成型品Ｗ側に押圧するようになっている。
The
すなわち、押圧体５と被成型品設置体３に設置されている被成型品Ｗとが協働して、シート状のモールドＭを挟み込み、押圧して転写をするようになっている。さらに詳しく説明すると、被成型品設置体３に設置されている被成型品Ｗの厚さ方向の一方の平面であって微細な転写パターンが転写されて形成される被転写面１９に、シート状のモールドＭの厚さ方向の一方の面（微細な転写パターンが形成されている面）１９が接触し、シート状のモールドＭの厚さ方向の他方の面が、押圧体５の押圧面（被転写面１９に平行な押圧面）に接触するようにして、シート状のモールドＭを挟み込んで転写がされるようになっている。
That is, the
可動体７は、真空成型室１７の外側に設けられており、押圧体５を一体的に支持しており、被成型品設置体３に対して接近もしくは離反する方向（被成型品Ｗの被転写面１９に垂直な方向；たとえば、Ｚ軸方向）で相対的に移動自在になっている。なお、すでに理解されるように、可動体７が移動することによって、押圧体５が移動し、前述した挟み込みによる転写がなされるようになっている。
The movable body 7 is provided outside the
また、可動体７は、前述した転写をするときに、押圧体５が内側に入り込むと共にシート状のモールドＭを隔てて真空成型室１７に隣接する別の真空成型室（ほぼ閉じた空間である真空成型室）２３を、シート状のモールドＭや被成型品設置体３と協働して形成するようになっている。
In addition, the movable body 7 is another vacuum molding chamber (almost closed space) adjacent to the
貫通孔形成手段９は、シート状のモールドＭに、真空成型室１７と真空成型室２３とをお互いにつなぐための貫通孔ＭＨ１（図２参照）を形成する手段である。なお、図２に示す貫通孔ＭＨ１は、円形状に形成されているが、貫通孔ＭＨ１が円形以外の形状（矩形状等の形状）に形成されていてもよい。この場合、貫通孔の角部での応力集中を避けるために、貫通孔の角部が円弧状に形成されていることが望ましい。また、図２に示す貫通孔ＭＨ１に代えて、図２の示すスリットＭＨ２を設けてもよい。スリットＭＨ２も貫通孔の概念に含まれるものとする。なお、スリットＭＨ２はＸ軸方向に延びているものとする。
The through hole forming means 9 is a means for forming a through hole MH1 (see FIG. 2) for connecting the
減圧手段１１は、真空成型室１７、真空成型室２３の少なくとも一方の真空成型室を減圧する手段である。すでに理解されるように、シート状のモールドＭに貫通孔ＭＨ１が設けられているので、真空成型室１７と真空成型室２３とがお互いにつながっており、真空成型室１７、真空成型室２３の一方を減圧すれば、真空成型室１７と真空成型室２３との両方の真空成型室が減圧されるようになっている。
The
また、転写装置１には、制御装置２５が設けられており、この制御装置２５の制御の下、各真空成型室１７，２３が形成され、貫通孔形成手段９で貫通孔ＭＨ１が形成され、減圧手段１１で各真空成型室１７，２３を減圧した後に、押圧体５による押圧をして転写が行われるようになっている。
Further, the
さらに、転写装置１には、モールド交換手段２７と図８に示すモールド引き剥がし手段２９とが設けられている。モールド交換手段２７は、モールド原反設置装置３１に設置されているモールド原反ＭＡから繰り出されて（図１に示すように、モールド原反ＭＡが、Ｙ軸方向に延びている軸Ｃ２を中心にして矢印Ａ３のように回転することによってモールド原反ＭＡから繰り出されて）シート状になって転写に使用されたモールドＭを、モールド巻き取り装置３３で巻き取って（図１に示すように、Ｙ軸方向に延びている軸Ｃ１を中心にして矢印Ａ２のように回転することにより巻き取って）ロール状のモールドＭＢにすることによって、シート状のモールドＭを交換する手段である。
Further, the
モールド原反設置装置３１は、被成型品設置体３の一方の側（図１や図８では左側）に設けられており、モールド巻き取り装置３３は、被成型品設置体３の他方の側（図１や図８では右側）に設けられている。
The mold raw
なお、モールド原反ＭＡは、転写に使用される前のロール状のモールドである。ロール状のモールド（反物状のモールド）は、所定の幅を備えた長いシート状のモールドＭを、円柱状の芯材の外周に、この外周の周方向とシート状のモールドＭの長手方向とがお互いに一致するようにして巻き重ね、円筒状もしくは円柱状に形成されているものである。 The mold original MA is a roll-shaped mold before being used for transfer. A roll-shaped mold (an article-shaped mold) is obtained by placing a long sheet-shaped mold M having a predetermined width on the outer periphery of a cylindrical core material, the circumferential direction of the outer periphery, and the longitudinal direction of the sheet-shaped mold M. Are wound in a cylindrical shape or a columnar shape so as to coincide with each other.
モールド引き剥がし手段２９は、モールド原反ＭＡ（モールド原反設置装置３１）とモールド巻き取り装置３３（巻き取り後のロール状のモールドＭＢ）との間に設けられている引き剥がしローラ３５を用いて、転写により被成型品Ｗに貼り付いているシート状のモールドＭを、被成型品Ｗから引き剥がすものである。
The mold peeling means 29 uses a peeling
モールド交換手段２７とモールド引き剥がし手段２９とが設けられている場合、制御装置２５は、１回の転写がされる毎に、モールド引き剥がし手段２９でシート状のモールドＭを被成型品Ｗから引き剥がし、また、転写の回数に応じて、シート状のモールドＭを交換する制御を行うようになっている。
When the
モールド引き剥がし手段２９についてさらに説明すると、モールド引き剥がし手段２９は、図８に示すように、モールド原反ＭＡ（モールド原反設置装置３１）とモールド巻き取り装置３３との間に設けられている一対のローラ３５Ａ，３５Ｂを備えて構成されており、この一対のローラ３５Ａ，３５Ｂの間にシート状のモールドＭを挟み込むと共に係合させて（巻き掛けて）、シート状のモールドＭを「Ｓ」字状に形成し、一対のローラ３５Ａ，３５Ｂをシート状のモールドＭの長手方向（Ｘ軸方向；図８では、右側から左側）に移動して、引き剥がしをするように構成されている。
The mold peeling means 29 will be further described. As shown in FIG. 8, the mold peeling means 29 is provided between the mold original fabric MA (mold original fabric installation device 31) and the
転写装置１についてさらに詳しく説明すると、転写装置１には、被成型品設置体３や可動体７やモールド原反設置装置３１やモールド巻き取り装置３３を支持しているフレーム３７が設けられている。
The
被成型品設置体３は、円筒状等の筒状に形成されている外側被成型品設置体３９と所定の厚さを備えて円板状に形成されている内側被成型品設置体４１とを備えて構成されている。外側被成型品設置体３９は、この軸（中心軸）ＣＡがＺ軸方向に延びるようにして、フレーム３７に支持されている。
The molded
内側被成型品設置体４１は、厚さ方向がＺ軸方向になるようにして、外側被成型品設置体３９の軸ＣＡ方向の一端部側（下側）で外側被成型品設置体３９に着脱に設けられている。なお、外側被成型品設置体３９に設置されている状態では、内側被成型品設置体４１は外側被成型品設置体３９と一体になっている。
The inner molded
このようにして、外側被成型品設置体３９に内側被成型品設置体４１が設置されることにより、被成型品設置体３の上側に、凹部１３と開口部１５とが形成される。なお、凹部１３の底面や開口部１５は、水平方向（Ｘ軸方向やＹ軸方向）に展開している。そして、凹部１３の底面の上に被成型品Ｗの下面が接触するようにして被成型品Ｗが載置され、被成型品Ｗが被成型品設置体３の凹部１３内に設置されるようになっている。
In this way, the inner molded
なお、被成型品設置体３への被成型品Ｗの位置決め設置（位置決め固定）は、図示しないストッパに被成型品Ｗを当接し図示しないクランパや真空吸着等の保持手段でなされるようになっている。 The positioning of the molded product W on the molded product installation body 3 (positioning and fixing) is performed by a holding means such as a clamper or vacuum suction (not shown) by bringing the molded product W into contact with a stopper (not shown). ing.
また、内側被成型品設置体４１が、外側被成型品設置体３９に着脱に設けられていることにより、シート状のモールドＭを被成型品設置体３から取り外すことなくそのままにしておいて、転写が終わった被成型品Ｗを次の被成型品Ｗに交換することができるようにっている。
Further, the inner molded
可動体７は、被成型品設置体３の上側に設けられており、可動体本体４３と外側押圧体支持体４５と内側押圧体支持体４７と弾性筒状部材４９と環状部材５１とを備えて構成されている。
The movable body 7 is provided on the upper side of the molded
可動体本体４３は、図示しないリニアガイドベアリングを介してフレーム３７に支持されており、図示しないサーボモータ等のアクチュエータとボールネジとを用いて、フレーム３７に対してＺ軸方向で移動位置決め自在になっている。
The
外側押圧体支持体４５は、軸方向の一端部に鍔部５３を備えた筒状に形成されており、鍔部５３が上側に位置して可動体本体４３の下端に接触し、可動体本体４３の下側で、可動体本体４３に一体的に設けられている。
The outer
内側押圧体支持体４７は、紫外線が透過する剛性の高い材料（たとえば、ガラス）で構成されていると共に、所定の厚さを備えた板状に形成されている。そして、厚さ方向がＺ軸方向になるようにして、外側押圧体支持体４５の貫通孔の内部であって外側押圧体支持体４５の軸方向（Ｚ軸方向）の一端部側（下側）で、外側押圧体支持体４５に一体的に設けられている。
The inner
押圧体５は、紫外線が透過するゴム等の適宜の弾性を備えた弾性体で構成されていると共に、所定の厚さを備えた板状に形成されている。そして、厚さ方向がＺ軸方向になるようにして、内側押圧体支持体４７の軸方向（Ｚ軸方向）の一端部側（下側）で内側押圧体支持体４７に一体的に設けられている。
The
可動体本体４３には、紫外線発生装置（ＵＶ光発生装置）５５が設けられており、紫外線発生装置５５で発生した紫外線が、外側押圧体支持体４５の貫通孔と内側押圧体支持体４７と押圧体５とで構成されている紫外線通路（ＵＶ路）５７と、シート状のモールドＭとを通って、被成型品Ｗに照射されるようになっている。
The movable body
なお、Ｚ軸方向から見た場合、ＵＶ路５７と、シート状のモールド（転写装置１に設置されているシート状のモールド）Ｍの微細な転写パターンが形成されている部位と、被成型品設置体３に設置されている被成型品Ｗとはお互いがほぼ重なっている。
When viewed from the Z-axis direction, the
外側押圧体支持体４５の鍔部５３には、たとえばベローズで構成されて弾性筒状部材４９が設けられている。ベローズ４９はこの軸方向（伸縮方向）がＺ軸方向になるようにして、上端が鍔部５３に一体的に設けられている。
The
なお、ベローズ４９の内径は、外側押圧体支持体４５の鍔部５３以外の部位５９の外径よりも大きくなっており、ベローズ４９の内側に外側押圧体支持体４５の鍔部５３以外の部位５９が位置している。
The inner diameter of the
ベローズ４９の下端には、環状部材５１が一体的に設けられており、平坦な環状部材５１の下面には、たとえばＯリングで構成された環状のシール部材６１が設けられている。環状部材５１の内径は、ベローズ４９の内径や被成型品設置体３の凹部１３の内径Ｄ２とほぼ等しくなっており、環状部材５１の外径は、ベローズ４９の外径や被成型品設置体３の外径Ｄ１よりも大きくなっている。また、Ｏリング６１の内径は、被成型品設置体３の凹部１３の内径Ｄ２よりも大きく、Ｏリング６１の外径は、被成型品設置体３の外径Ｄ１よりも小さくなっている。
An
そして、被成型品設置体３と外側押圧体支持体４５と内側押圧体支持体４７と押圧体５とベローズ４９と環状部材５１とが同軸になっており、Ｚ軸方向から見た場合、環状部材５１の貫通孔と被成型品設置体３の凹部１３とがお互いにほぼ重なっており、Ｏリング６１の内側に、環状部材５１の貫通孔と被成型品設置体３の凹部１３とが位置している。
And the to-be-molded
外側押圧体支持体４５の鍔部５３と環状部材５１との間には、空気圧シリンダ等のアクチュエータ６３が設けられており、この空気圧シリンダ６３によって、ベローズ４９が伸縮するようになっている。
An actuator 63 such as a pneumatic cylinder is provided between the
空気圧シリンダ６３は、ソレノイドバルブ６５を介して空気圧源に接続されている。そして常態（空気圧シリンダ６３のピストンロッドが引っ込んでおり、ベローズ４９がたとえば自由長になっている状態）においては、Ｏリング６１の下面が、押圧体５の下面よりも上方に位置している。
The
一方、空気圧シリンダ６３に圧縮空気が供給されて空気圧シリンダ６３のピストンロッドが延出すると、Ｏリング６１の下面が、押圧体５の下面よりも下方に位置するようになっている。また、空気圧シリンダ６３とソレノイドバルブ６５との間には、リリーフバルブ６７が設けられている。
On the other hand, when compressed air is supplied to the
可動体７が上述したように構成されていることにより、外側押圧体支持体４５と内側押圧体支持体４７とベローズ４９と環状部材５１とＯリング６１と、Ｏリング６１と被成型品設置体３とで挟まれているシート状のモールドＭとにより、真空成型室２３が形成されるようになっている。
Since the movable body 7 is configured as described above, the outer pressing
モールド交換手段２７は、前述したように、モールド原反設置装置３１とモールド巻き取り装置３３とを備えて構成されている。モールド原反設置装置３１に設置されたモールド原反ＭＡは、前述したように、軸（Ｙ軸方向に延びている軸）Ｃ２を回転中心にして回転するようになっている。
As described above, the
モールド巻き取り装置３３は、前述したように、軸（Ｙ軸方向に延びている軸）Ｃ１を回転中心にして、図示しないサーボモータ等のアクチュエータでシート状のモールドＭを巻き取り、ロール状のモールドＭＢを生成するようになっている。
As described above, the
なお、モールド原反設置装置３１には、モールド原反ＭＡが回転するときに回転抵抗を付与する回転抵抗付与手段（図示しないブレーキ）が設けられており、モールド原反設置装置３１とモールド巻き取り装置３３との間でシート状のモールドＭには張力が発生している。そして、シート状のモールドＭは、この厚さ方向がＺ軸方向になり、幅方向がＹ軸方向になり、長手方向がＸ軸方向になるようにして、被成型品設置体３の上方で被成型品設置体３からごく僅かに離れて展開している。
The mold original
さらに説明すると、モールド原反設置装置３１とモールド巻き取り装置３３との間で展開しているシート状のモールドＭは、図３で示すように、被成型品設置体３の開口部１５から寸法Ｓ１（たとえば、０．１ｍｍ〜１ｍｍ）だけ離れて、水平方向に展開している。また、シート状のモールドＭは、被成型品設置体３に設置されている被成型品Ｗから寸法Ｓ２だけ離れている。なお、図３では、寸法Ｓ２が寸法Ｓ１より大きいが、寸法Ｓ１が寸法Ｓ２より大きくてもよいし、寸法Ｓ１と寸法Ｓ２とがお互いに等しくてもよい。
More specifically, as shown in FIG. 3, the sheet-shaped mold M developed between the mold raw
また、シート状のモールドＭを繰り出すことにより、モールド原反ＭＡの外径が変化し、シート状のモールドＭを巻き取ることにより、ロール状のモールドＭＢの外径が変化すると、モールド原反ＭＡとロール状のモールドＭＢとの間で展開しているシート状のモールドＭが、斜めに展開することになる。これを防ぐために、たとえば、モールド原反設置装置３１により、モールド原反ＭＡの高さを適宜調整し、モールド巻き取り装置３３によりロール状のモールドＭＢの高さを適宜調整し、モールド原反ＭＡとロール状のモールドＭＢとの間で展開しているシート状のモールドＭが、常に水平方向に展開するように構成されている。
Further, when the sheet-shaped mold M is unwound, the outer diameter of the mold raw material MA is changed. When the outer diameter of the roll-shaped mold MB is changed by winding the sheet-shaped mold M, the mold original material MA is changed. The sheet-like mold M that is unfolded between the roll-shaped mold MB and the roll-shaped mold MB is unfolded obliquely. In order to prevent this, for example, the height of the mold raw material MA is appropriately adjusted by the mold raw
被成型品設置体３は、フレーム３７に対して、空気圧シリンダ等のアクチュエータによりＺ軸方向で僅かな距離だけ移動自在になっており、被成型品設置体３とシート状のモールドＭとで真空成型室１７を形成するときには、被成型品設置体３が図３に示す位置から僅かに上昇し、寸法Ｓ１が「０」になるように構成されている。なお、被成型品設置体３を移動させることに代えて、シート状のモールドＭをＺ軸方向に移動させてもよい。
The molded
被成型品設置体３の開口部１５には、環状の溝６９が設けられており、この環状の溝６９には、真空ポンプ７１が接続されている。そして、図３に示す寸法Ｓ１が「０」になって真空成型室１７が形成されたときに、真空ポンプ７１が稼働し、シート状のモールドＭが被成型品設置体３で保持されるようになっている。
An
なお、溝６９の内径がＯリング６１の外径よりも大きくなっており、Ｚ軸方向から見た場合、溝６９の内側にＯリング６１が位置しているが、逆に、溝６９の外側にＯリング６１が位置している構成であってもよい。
The inner diameter of the
真空成型室１７には、真空ポンプ７３が接続されており、真空成型室１７を減圧することができるようになっている。
A
モールド引き剥がし手段２９は、図８で示すように、一対の引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂを備えて構成されている。各引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂは、それぞれが、Ｙ軸方向に延びている軸Ｃ３,Ｃ４を中心にし回転するようにして、図示しないローラ支持部材に支持されている。ローラ支持部材は、図示しないリニアガイドベアリングにより、フレーム３７に支持されており、Ｘ軸方向で移動するようになっている。
As shown in FIG. 8, the mold peeling means 29 includes a pair of peeling
引き剥がしローラ３５Ａの上方に引き剥がしローラ３５Ｂが設けられており、一対の引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂでシート状のモールドＭを挟み込む等して「Ｓ」字状にし、ガイドするようになっている。また、引き剥がしローラ３５Ａの下端（外周の下端）は、モールド原反ＭＡの上端（外周の上端）と同じ高さになっており、転写をするときには、モールド原反ＭＡと引き剥がしローラ３５Ａとの間で水平に展開しているシート状のモールドＭが使用されるようになっている。すなわち、図８に実線で示す各引き剥がしローラ（被成型品設置体３の右側に位置している各引き剥がしローラ）３５Ａ,３５Ｂと、モールド原反ＭＡとの間に位置しているシート状のモールドＭを使用して転写がなされるようになっている。
A peeling
そして、転写が終了しシート状のモールドＭが被成型品Ｗに貼り付いている状態から、各引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂ（ローラ支持部材）を図８で示す矢印Ａ７の方向に、図示しないモータ等のアクチュエータで移動することにより、シート状のモールドＭの引き剥がしがなされるようになっている。
Then, from the state where the transfer is completed and the sheet-like mold M is stuck to the product W, the peeling
なお、図８で示す状態では、引き剥がしローラ３５Ａの上端（外周の上端）と引き剥がしローラ３５Ｂの下端（外周の下端）とは、お互いに接触しているが、これらが離れていてもよい。
In the state shown in FIG. 8, the upper end (upper end of the outer periphery) of the peeling
また、シート状のモールドＭを繰り出すことにより、モールド原反ＭＡの外径が変化すると、モールド原反ＭＡと引き剥がしローラ３５Ａとの間で展開しているシート状のモールドＭが、斜めに展開することになる。これを防ぐべく、前述したように、たとえば、モールド原反設置装置３１により、モールド原反ＭＡの高さを適宜調整し、モールド原反ＭＡと引き剥がしローラ３５Ａとの間で展開しているシート状のモールドＭが、常に水平方向に展開するようになっている。同様にして、引き剥がしローラ３５Ｂとロール状のモールドＭＢとの間におけるシート状のモールドＭも、常に水平方向に展開するようになっている。
Further, when the outer diameter of the mold raw material MA changes by feeding out the sheet-shaped mold M, the sheet-shaped mold M developed between the mold raw material MA and the peeling
モールド原反ＭＡと引き剥がしローラ３５Ａとの間で展開しているシート状のモールドＭと、引き剥がしローラ３５Ｂとロール状のモールドＭＢとの間で展開しているシート状のモールドＭとが、水平方向に展開していることにより、各引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂが移動しても、モールド原反ＭＡとロール状のモールドＭＢとの間での、シート状のモールドＭの長手方向の寸法が変化せず、シート状のモールドＭの引き剥がしをするときに、各引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂを移動するだけでよく、制御等の簡素化がなされる。
A sheet-shaped mold M developed between the mold original fabric MA and the peeling
ところで、モールド引き剥がし手段２９を、たとえば、図９で示すように適宜変更してもよい。図９に示すモールド引き剥がし手段２９は、１本の引き剥がしローラ３５を備えて構成されている。引き剥がしローラ３５は、Ｙ軸方向に延びている軸Ｃ５を中心にし回転するようにして、図示しないローラ支持部材に支持されている。ローラ支持部材は、図示しないリニアガイドベアリングにより、フレーム３７に支持されて、Ｚ軸方向とＸ軸方向とで移動するようになっている。そして、転写がされた後にシート状のモールドＭを被成型品Ｗから引き剥がす場合には、図９で示す矢印Ａ８の方向にローラ３５を移動した後、図９で示す矢印Ａ９の方向にローラ３５を移動するようになっている。
By the way, the mold peeling means 29 may be appropriately changed as shown in FIG. 9, for example. The mold peeling means 29 shown in FIG. 9 includes a
貫通孔形成手段９は、たとえば、可動体７（外側押圧体支持体４５）に一体的に設けられている単数もしくは複数の針状の貫通孔形成部材７５を備えて構成されている。そして、可動体７を被成型品設置体３側への移動するときに、貫通孔形成部材７５で、シート状のモールドＭの一部を突き破ることによって、貫通孔ＭＨ１が形成されるようになっている。
The through-hole forming means 9 includes, for example, a single or a plurality of needle-like through-
より詳しくは、可動体７で真空成型室２３が形成される前もしくは可動体７で真空成型室２３が形成された後に、貫通孔ＭＨ１が形成されるようになっている。なお、突き破られるシート状のモールドＭの部位は、被成型品Ｗに接触しない部位である。さらに、貫通孔形成部材７５が図示しない空気圧シリンダ等のアクチュエータにより可動体７に対して移動自在（たとえば、可動体７の移動方向であるＺ軸方向で移動自在）に設けられている構成であってもよい。そして、可動体７を被成型品設置体３に近づけるときに、アクチュエータにより貫通孔形成部材７５を被成型品設置体３側（下側）に突出させておいて、シート状のモールドＭの一部を突き破ってシート状のモールドＭに貫通孔ＭＨ１を形成し、この貫通孔ＭＨ１の形成後に、アクチュエータにより貫通孔形成部材７５を被成型品設置体３とは反対側（上側）に移動させて引っ込めるようになっていてもよい。
More specifically, the through hole MH1 is formed before the
次に、転写装置１による転写の工程について、図１〜図７（図７は、図６のおけるＶＩＩ部の拡大図）を用いて説明する。
Next, a transfer process by the
まず、初期状態では、図１に示すように、可動体７と環状部材５１とが上昇しており、ＵＶ光発生装置５５が停止しており、被成型品設置体３に転写がされる前の被成型品Ｗが設置されており、シート状のモールドＭが、図３で示すように、被成型品設置体３の開口部１５の上方で開口部１５から僅かに離れて水平方向に展開しているものとする。シート状のモールドＭの幅（Ｙ軸方向における寸法）は、図２で示すように、被成型品設置体３の外径Ｄ１よりも大きく、被成型品設置体３の全体を覆っているものとする。また、各真空ポンプ７１，７３は停止しているものとする。
First, in an initial state, as shown in FIG. 1, the movable body 7 and the
制御装置２５の制御の下、上記初期状態から、ソレノイドバルブ６５のＳｏｌｂをオンし、空気圧シリンダ６３のピストンロッドを下方に延出させることにより、環状部材５１を図１の矢印Ａ１で示すように下降させる。これにより、図４で示すように、ベローズ４９が伸び、環状部材５１やＯリング６１が、押圧体５よりも下方（被成型品設置体３側）に位置する。
Under the control of the
続いて、被成型品設置体３を僅かに上昇させて、被成型品設置体３の開口部１５とシート状のモールドＭとを接触させ（図３に示す寸法Ｓ１を「０」にし）、真空ポンプ７１を駆動して、シート状のモールドＭを真空吸着により、被成型品設置体３の開口部１５で保持する。そして、図４に矢印Ａ４で示すように、可動体７を下降させると、図５で示すように、環状部材５１のＯリング６１が、シート状のモールドＭに接触し、シート状のモールドＭが被成型品設置体３と環状部材５１のＯリング６１とで挟まれる。
Subsequently, the molded
これにより、被成型品Ｗと、被成型品Ｗと協働してシート状のモールドＭを挟み込んで押圧する押圧体５とが内部に位置する真空成型室１７，２３が形成される。真空成型室１７内には、被成型品Ｗが設置されており、真空成型室２３内には、押圧体５が位置している。そして、真空成型室１７と真空成型室２３とは、シート状のモールドＭによって仕切られている。
Thereby, the
続いて、図５に矢印Ａ５で示すように、可動体７を下降させると、各真空成型室１７，２３を仕切っているシート状のモールドＭに、図１でのみ図示してある貫通孔形成部材７５が当接し、貫通孔（真空成型室１７と真空成型室２３とをお互いにつなぐための貫通孔）ＭＨ１が形成される。なお、このときには、押圧体５はシート状のモールドＭから離れている。
Subsequently, as shown by an arrow A5 in FIG. 5, when the movable body 7 is lowered, a through-hole formed only in FIG. 1 is formed in the sheet-like mold M partitioning the
シート状のモールドＭに貫通孔ＭＨ１が形成された後、真空ポンプ７３を駆動して真空成型室１７を減圧する。これにより、真空成型室２３も減圧される。
After the through hole MH1 is formed in the sheet-shaped mold M, the
真空成型室１７，２３が減圧された後に、可動体７をさらに下降し、図６で示すように、押圧体５をシート状のモールドＭに接触させ、押圧体５と被成型品Ｗとでシート状のモールドＭ挟み込んで押圧を行い、シート状のモールドＭの微細な転写パターンＭ１を被成型品Ｗに転写する。
After the
なお、図３に示す寸法Ｓ２が寸法Ｓ１よりも大きい場合、押圧体５と被成型品Ｗとでシート状のモールドＭ挟み込んだ状態では、図７で示すように、シート状のモールドＭがごく僅かに撓むようになっている。
If the dimension S2 shown in FIG. 3 is larger than the dimension S1, the sheet-like mold M is very small as shown in FIG. 7 in a state where the sheet-like mold M is sandwiched between the
また、上記転写をするときには、紫外線発生装置５５が紫外線を発生し、この発生した紫外線が、ＵＶ硬化樹脂Ｗ２に照射され、ＵＶ硬化樹脂Ｗ２が硬化し、ＵＶ硬化樹脂Ｗ２に微細な転写パターンＭ１が転写されて形成されるようになっている。
Further, when performing the transfer, the
また、図５で示す状態から可動体７を下降させると、空気圧シリンダ６３のピストンロッドに上方向の力が加わるが、リリーフバルブ６７が設けられているので、ピストンロッドが上方向に容易に移動するようになっている。
Further, when the movable body 7 is lowered from the state shown in FIG. 5, an upward force is applied to the piston rod of the
転写が終了した後に、紫外線発生装置５５による紫外線の照射を停止し、真空ポンプ７１，７３を停止し、図６に矢印Ａ６で示すように可動体７を上昇し、ソレノイドバルブ６５のＳｏｌｂをオフし、モールド引き剥がし手段２９で被成型品Ｗからシート状のモールドＭを引き剥がし、被成型品設置体３を僅かに下方に移動し、被成型品Ｗを転写がされていない次の被成型品Ｗに交換し、上記初期状態に戻る。
After the transfer is completed, the irradiation of ultraviolet rays by the
転写装置１によれば、シート状のモールドＭを用いて真空成型室１７，２３を形成し、被成型品Ｗと押圧体５とでシート状のモールドＭを挟み込んで転写をするので、シート状のモールドＭを押圧体５に設置する機構や作業が不要であり、真空成型室１７，２３を簡単に形成することができる。したがって、被成型品Ｗでの気泡の発生を簡素な構成や工程で防止し転写を行うことができる。
According to the
また、転写装置１によれば、シート状のモールドＭによって仕切られている各真空成型室１７，２３が、貫通孔ＭＨ１でお互いにつながっているので、一方の真空成型室１７を減圧すれば、両方の真空成型室１７，２３を減圧することができ、転写のときに、被成型品Ｗの被転写部への気泡の混入を防ぐことができると共に、大気圧によってシート状のモールドＭが変形することを抑制して正確な転写をすることができる。
Further, according to the
また、図２で示すように、被成型品設置体３の凹部１３の内径Ｄ２よりも幅ＢＡが小さいシート状のモールドＭＣを用いて転写を行うと、シート状のモールドＭＣに貫通孔を空ける必要が無くなる。しかしながら、シート状のモールドＭＣの幅方向の両端部のところで開口部１５に僅かな段差（シート状のモールドＭＣの厚さ分の段差）が生じてしまう。すなわち、図２において示す部位Ｐ１（シート状のモールドＭＣの上面）と部位Ｐ２（平面状の開口部１５の上面）とのところで、僅かな段差が生じてしまう。
Further, as shown in FIG. 2, when transfer is performed using a sheet-shaped mold MC having a width BA smaller than the inner diameter D2 of the
このように段差が生じた状態で、Ｏリング６１をシート状のモールドＭＣの上面と開口部１５の上面とに接触させて真空成型室を形成しても、段差のところでＯリング６１が変形しきれず、ごく僅かな隙間が発生してしまう。
Even if the O-
これに対して、図２で示すように、シート状のモールドＭの幅Ｂ１を凹部１３の内径Ｄ２よりも大きくし、さらには、被成型品設置体３の外径Ｄ１よりも大きくして、シート状のモールドＭによって真空成型室１７を形成すれば、上述した段差は発生せず、隙間の無い真空成型室１７を形成することができる。
On the other hand, as shown in FIG. 2, the width B1 of the sheet-like mold M is made larger than the inner diameter D2 of the
また、転写装置１によれば、モールド交換手段２７とモールド引き剥がし手段２９とを備えてシート状のモールドＭを交換するので、転写により劣化したシート状のモールドＭの人手による交換作業を無くすことができる。
Further, according to the
さらに、転写装置１によれば、モールド引き剥がし手段２９が、モールド原反ＭＡ（モールド原反設置装置３１）とモールド巻き取り装置３３との間に設けられている引き剥がしローラ３５を用いて、シート状のモールドＭを引き剥がすので、装置の簡素化がなされている。
Furthermore, according to the
すなわち、シート状のモールドＭを被成型品Ｗから引き剥がす際に、モールド交換手段２７を構成しているモールド原反設置装置３１とモールド巻き取り装置３３とでシート状のモールドＭにテンションを加えておいて、引き剥がしローラ３５を移動することで、シート状のモールドＭの引き剥がしをするので、モールド交換手段２７がシート状のモールドＭの交換だけでなく、シート状のモールドＭを引き剥がす際にも使用されている。そして、シート状のモールドＭを交換する装置がシート状のモールドＭを引き剥がす装置として兼用されており、これにより、装置の簡素化がなされている。
That is, when the sheet-shaped mold M is peeled off from the workpiece W, a tension is applied to the sheet-shaped mold M by the mold raw
また、転写装置１によれば、一対のローラ３５Ａ，３５Ｂでシート状のモールドＭを挟み込むと共に一対のローラ３５Ａ，３５Ｂにシート状のモールドＭを係合させて「Ｓ」字状に形成し、一対のローラ３５Ａ，３５Ｂをシート状のモールドＭの長手方向（Ｘ軸方向）に移動して、引き剥がしをするように構成されているので、図８に示す引き剥がしの角度αを大きくすることができ、被成型品Ｗからのシート状のモールドＭの引き剥がしを一層確実に行うことができる。
Further, according to the
ところで、図示しないＸＹステージを介して被成型品設置体３をフレーム３７に設置し、Ｘ軸方向およびＹ軸方向で、シート状のモールドＭに対する被成型品（被成型品設置体３に設置されている被成型品）Ｗの相対的な位置決めを可能とした構成であってもよい。さらには、図１に示す軸（被成型品設置体３の中心を通ってＺ軸方向に延びている軸）ＣＡまわりにおける被成型品設置体３の回動角度を調整することができる構成であってもよい。
By the way, the molded
また、被成型品設置体３をＺ軸方向で僅かに移動自在に構成してあるが、被成型品設置体３がＺ軸方向で移動せずフレーム３７に固定されている構成であってもよい。そして、可動体７（環状部材５１のＯリング６１）で、シート状のモールドＭを下方に押して、図３に示す寸法Ｓ１を「０」にし、真空成型室１７を形成してもよい。
Further, although the molded
また、ベローズ４９を伸縮する空気圧シリンダ６３等のアクチュエータを削除してもよい。この場合、可動体７が上昇端に位置している状態で、Ｏリング６１の下端が押圧体５の下面よりも下方に位置しているものとする。すなわち、空気圧シリンダ６３を設けてある構成では、図１で示すように、可動体７が上昇端に位置している場合、Ｏリング６１の下端が押圧体５の下面よりも上方に位置しているが、空気圧シリンダ６３等のアクチュエータを削除した構成では、Ｏリング６１の下端が押圧体５の下面よりも下方に位置することになる。
Further, an actuator such as a
また、転写装置１において、貫通孔形成手段９を削除した構成であってもよい。この場合、シート状のモールドＭには、貫通孔が予め形成されており、減圧手段１１で真空成型室１７（真空成型室２３でもよい）を減圧すると、真空成型室１７，２３が減圧されるようになっているものとする。
Further, the
なお、転写装置１は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、前記転写をするときに、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールド挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成手段と、前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を仕切る前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成手段と、前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を減圧する減圧手段と、前記貫通孔形成手段で前記貫通孔を形成し、前記減圧手段で前記真空成型室を減圧した後に、前記押圧体による押圧をして前記転写を行う制御をする制御手段とを有する転写装置の例である。
The
また、上述した転写において、シート状のモールドに貫通孔を形成することなく転写を行うようにしてもよい。 Moreover, in the transfer mentioned above, you may make it transfer without forming a through-hole in a sheet-like mold.
すなわち、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、凹部を備えこの凹部の内側に前記被成型品が設置され前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより真空成型室を形成する被成型品設置体と、前記真空成型室を減圧する減圧手段とを有し、前記減圧手段で真空成型室を減圧し、前記シート状のモールドと前記被成型品とをお互いに接触させて、前記転写を行うように構成されている転写装置としてもよい。 That is, in a transfer device for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-like mold to a molded product, the molding product is provided inside the concave portion and the opening of the concave portion is provided. A molded product installation body that forms a vacuum molding chamber by closing with the sheet-shaped mold, and a decompression unit that depressurizes the vacuum molding chamber, the vacuum molding chamber is decompressed by the decompression unit, and the sheet shape It is good also as a transfer apparatus comprised so that the said mold and the said to-be-molded product may mutually contact, and the said transfer may be performed.
この場合において、押圧体５を削除し、大気圧のみを利用してシート状のモールドＭによる被成型品への押圧を行ってもよいし、押圧体５を削除することなく大気圧と押圧体５とを用いて、シート状のモールドＭによる被成型品への押圧を行ってもよい。
In this case, the
さらに、上述した内容のものを、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写方法において、被成型品設置体の凹部内に設置された前記被成型品が内部に位置する真空成型室を、前記シート状のモールドで前記被成型品設置体の凹部の開口部を塞ぐことにより形成する真空成型室形成工程と、前記真空成型室形成工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と、前記減圧工程で前記真空成型室を減圧して、前記転写をする押圧転写工程とを有する転写方法として把握してもよい。 Furthermore, in the transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to the product to be molded, the above-mentioned content is the above-mentioned product installed in the recess of the product-installed object. Forming the vacuum molding chamber in which the molded product is located by forming the vacuum molding chamber forming step by closing the opening of the concave portion of the molded product installation body with the sheet-shaped mold, and the vacuum molding chamber forming step. You may grasp | ascertain as a transfer method which has the pressure_reduction | reduced_pressure process which decompresses the vacuum forming chamber which was made, and the pressure transfer process which decompresses the said vacuum forming chamber at the said pressure reduction process, and performs the said transfer.
１ 転写装置
３ 被成型品設置体
５ 押圧体
７ 可動体
９ 貫通孔形成手段
１１ 減圧手段
１３ 凹部
１５ 開口部
１７、２３ 真空成型室
２７ モールド交換手段
２９ モールド引き剥がし手段
３１ モールド原反設置装置
３３ モールド巻き取り装置
３５、３５Ａ、３５Ｂ 引き剥がしローラ
Ｍ シート状のモールド
Ｗ 被成型品
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記転写をするときに、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールド挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成手段と；
前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を仕切る前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成手段と；
前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を減圧する減圧手段と；
を有することを特徴とする転写装置。 In a transfer device for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product,
A vacuum molding chamber in which the product to be molded and a pressing body that sandwiches and presses the sheet-like mold in cooperation with the product to be molded are located inside the transfer product; A vacuum forming chamber forming means for forming a vacuum forming chamber partitioned by the sheet-like mold into a first vacuum forming chamber in which the pressure body is located and a second vacuum forming chamber in which the pressing body is located;
A through hole for forming a through hole for connecting the first vacuum molding chamber and the second vacuum molding chamber to the sheet-shaped mold that partitions the vacuum molding chamber formed by the vacuum molding chamber forming means. A hole forming means;
Decompression means for decompressing the vacuum molding chamber formed by the vacuum molding chamber forming means;
A transfer device comprising:
前記転写をするときに、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールド挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記シート状のモールドに予め形成されている貫通孔によって前記第１の真空成型室とつながっていると共に前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成手段と；
前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を減圧する減圧手段と；
を有することを特徴とする転写装置。 In a transfer device for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product,
A vacuum forming chamber in which the product to be molded and a pressing body that sandwiches and presses the sheet-like mold in cooperation with the product to be molded are located inside the molding, And a second vacuum molding chamber connected to the first vacuum molding chamber by a through-hole previously formed in the sheet-like mold and in which the pressing body is located. And a vacuum molding chamber forming means for forming a vacuum molding chamber partitioned by the sheet-shaped mold;
Decompression means for decompressing the vacuum molding chamber formed by the vacuum molding chamber forming means;
A transfer device comprising:
凹部を備え、この凹部の内側に前記被成型品が設置され、前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより、第１の真空成型室を形成する被成型品設置体と；
前記第１の真空成型室の外側に設けられ、前記第１の真空成型室を形成している前記シート状のモールドの微細な転写パターンを、前記被成型品設置体に設置された被成型品へ転写するときに、前記シート状のモールドを押圧する押圧体と；
前記第１の真空成型室の外側で前記押圧体を一体的に支持し、前記被成型品設置体に対して接近もしくは離反する方向で相対的に移動自在であり、前記転写をするときに前記押圧体が内側に入り込むと共に前記シート状のモールドを隔てて前記第１の真空成型室に隣接する第２の真空成型室を形成する可動体と；
前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成手段と；
前記第１の真空成型室または前記第２の真空成型室を減圧する減圧手段と；
を有することを特徴とする転写装置。 In a transfer device for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product,
A molded product installation body that includes a recess, the molded product is installed inside the recess, and the opening of the recess is closed with the sheet-shaped mold; thereby forming a first vacuum molding chamber;
A molded product provided on the molded product installation body with a fine transfer pattern of the sheet-like mold provided outside the first vacuum molding chamber and forming the first vacuum molding chamber. A pressing body for pressing the sheet-shaped mold when transferring to the sheet;
The pressing body is integrally supported outside the first vacuum molding chamber, and is relatively movable in a direction approaching or moving away from the molded product installation body. A movable body that forms a second vacuum forming chamber adjacent to the first vacuum forming chamber with the pressing body entering inside and separating the sheet-shaped mold;
A through-hole forming means for forming a through-hole for connecting the first vacuum forming chamber and the second vacuum forming chamber to each other in the sheet-like mold;
Decompression means for decompressing the first vacuum molding chamber or the second vacuum molding chamber;
A transfer device comprising:
凹部を備え、この凹部の内側に前記被成型品が設置され、前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより、第１の真空成型室を形成する被成型品設置体と；
前記第１の真空成型室の外側に設けられ、前記第１の真空成型室を形成している前記シート状のモールドの微細な転写パターンを、前記被成型品設置体に設置された被成型品へ転写するときに、前記シート状のモールドを押圧する押圧体と；
前記第１の真空成型室の外側で前記押圧体を一体的に支持し、前記被成型品設置体に対して接近もしくは離反する方向で相対的に移動自在であり、前記転写をするときに前記押圧体が内側に入り込むと共に前記シート状のモールドを隔てて前記第１の真空成型室に隣接する第２の真空成型室を形成する可動体と；
前記第１の真空成型室または前記第２の真空成型室を減圧する減圧手段と；
を有し、前記シート状のモールドには、前記各真空成型室同士をつなぐための貫通孔が予め形成されていることを特徴とする転写装置。 In a transfer device for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product,
A molded product installation body that includes a recess, the molded product is installed inside the recess, and the opening of the recess is closed with the sheet-shaped mold; thereby forming a first vacuum molding chamber;
A molded product provided on the molded product installation body with a fine transfer pattern of the sheet-like mold provided outside the first vacuum molding chamber and forming the first vacuum molding chamber. A pressing body for pressing the sheet-shaped mold when transferring to the sheet;
The pressing body is integrally supported outside the first vacuum molding chamber, and is relatively movable in a direction approaching or moving away from the molded product installation body. A movable body that forms a second vacuum forming chamber adjacent to the first vacuum forming chamber with the pressing body entering inside and separating the sheet-shaped mold;
Decompression means for decompressing the first vacuum molding chamber or the second vacuum molding chamber;
And a through-hole for connecting the vacuum forming chambers is formed in the sheet-shaped mold in advance.
モールド原反から繰り出されシート状になって前記転写に使用された前記シート状のモールドを、モールド巻き取り装置で巻き取ることによって、前記シート状のモールドを交換するモールド交換手段と；
前記モールド原反と前記モールド巻き取り装置との間に設けられている引き剥がしローラを用いて、前記転写により前記被成型品に貼り付いている前記シート状のモールドを、前記被成型品から引き剥がすモールド引き剥がし手段と；
を有することを特徴とする転写装置。 In the transfer device according to any one of claims 1 to 4,
A mold exchanging means for exchanging the sheet-shaped mold by winding the sheet-shaped mold fed out from the mold original sheet into a sheet and used for the transfer by a mold winding device;
Using a peeling roller provided between the mold original fabric and the mold winding device, the sheet-shaped mold attached to the molded product by the transfer is pulled from the molded product. A mold peeling means for peeling;
A transfer device comprising:
前記モールド引き剥がし手段は、前記モールド原反と前記モールド巻き取り装置との間に設けられている一対のローラを備えて構成されており、この一対のローラに前記シート状のモールドを係合させて前記シート状のモールドを「Ｓ」字状に形成し、前記一対のローラを移動して、前記引き剥がしをするように構成されていることを特徴とする転写装置。 The transfer device according to claim 5, wherein
The mold peeling means includes a pair of rollers provided between the mold raw material and the mold winding device, and the sheet-like mold is engaged with the pair of rollers. The sheet-shaped mold is formed in an “S” shape, and the pair of rollers are moved to peel off the transfer device.
前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールドを挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成工程と；
前記真空成型室を仕切る前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成工程と；
前記貫通孔形成工程で前記シート状のモールドに貫通孔を形成した後に、前記真空成型室形成型室工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と；
前記減圧工程で前記真空成型室を減圧した後に、前記押圧体と前記被成型品とで前記シート状のモールド挟み込んで押圧し前記転写をする押圧転写工程と；
を有することを特徴とする転写方法。 In a transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product,
A vacuum molding chamber in which the product to be molded and a pressing body that sandwiches and presses the sheet-shaped mold in cooperation with the product to be molded are located inside, and the first product is installed in the vacuum molding chamber. A vacuum forming chamber forming step of forming a vacuum forming chamber partitioned by the sheet-like mold in the vacuum forming chamber of the second and the second vacuum forming chamber in which the pressing body is located;
A through-hole forming step of forming a through-hole for connecting the first vacuum forming chamber and the second vacuum forming chamber to the sheet-shaped mold partitioning the vacuum forming chamber;
A depressurization step of depressurizing the vacuum forming chamber formed in the vacuum forming chamber forming mold chamber step after forming a through hole in the sheet-shaped mold in the through hole forming step;
A pressure transfer step of performing the transfer by depressurizing the vacuum forming chamber in the pressure reduction step and then sandwiching and pressing the sheet-like mold between the pressing body and the molded product;
A transfer method characterized by comprising:
前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールドを挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記シート状のモールドに予め形成されている貫通孔によって前記第１の真空成型室とつながっていると共に前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成工程と；
前記真空成型室形成工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と；
前記減圧工程で前記真空成型室を減圧した後に、前記押圧体と前記被成型品とで前記シート状のモールド挟み込んで押圧し前記転写をする押圧転写工程と；
を有することを特徴とする転写方法。 In a transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product,
A vacuum molding chamber in which the product to be molded and a pressing body that sandwiches and presses the sheet-shaped mold in cooperation with the product to be molded are located inside, and the first product is installed in the vacuum molding chamber. And the second vacuum molding chamber connected to the first vacuum molding chamber by a through-hole previously formed in the sheet-shaped mold and in which the pressing body is located. A vacuum forming chamber forming step of forming a vacuum forming chamber partitioned by a mold;
A depressurizing step of depressurizing the vacuum forming chamber formed in the vacuum forming chamber forming step;
A pressure transfer step of performing the transfer by depressurizing the vacuum forming chamber in the pressure reduction step and then sandwiching and pressing the sheet-like mold between the pressing body and the molded product;
A transfer method characterized by comprising:
凹部を備え、この凹部の内側に前記被成型品が設置され、前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより、真空成型室を形成する被成型品設置体と；
前記真空成型室を減圧する減圧手段と；
を有し、
前記減圧手段で真空成型室を減圧し、前記シート状のモールドと前記被成型品とをお互いに接触させて、前記転写を行うように構成されていることを特徴とする転写装置。 In a transfer device for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product,
A molded product installation body that includes a recess, the molded product is installed inside the recess, and the opening of the recess is closed with the sheet-shaped mold; thereby forming a vacuum molding chamber;
Decompression means for decompressing the vacuum forming chamber;
Have
A transfer apparatus configured to perform the transfer by reducing the pressure in a vacuum forming chamber by the pressure reducing means, and bringing the sheet-shaped mold and the molded product into contact with each other.
被成型品設置体の凹部に設置された前記被成型品が内部に位置する真空成型室を、前記シート状のモールドで前記被成型品設置体の凹部の開口部を塞ぐことにより形成する真空成型室形成工程と；
前記真空成型室形成工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と；
前記減圧工程で前記真空成型室を減圧して、前記転写をする押圧転写工程と；
を有することを特徴とする転写方法。 In a transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a sheet-shaped mold to a molded product,
Vacuum forming for forming a vacuum forming chamber in which the molding product installed in the concave portion of the molding product installation body is located by closing the opening of the concave portion of the molding product installation body with the sheet-like mold A chamber forming step;
A depressurizing step of depressurizing the vacuum forming chamber formed in the vacuum forming chamber forming step;
A pressure transfer step in which the vacuum forming chamber is depressurized in the pressure reduction step to perform the transfer;
A transfer method characterized by comprising:
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