JP2011018669A - 半導体ウェハダイシング用粘着シート及び該粘着シートを用いる半導体ウェハのダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも基材、中間層及び粘着剤層が積層されてなる半導体ウェハダイシング用粘着シートであって、前記中間層は、融点が50〜100℃である熱可塑性樹脂によって形成されており、前記基材は、前記中間層より融点が高い半導体ウェハダイシング用粘着シート。
【選択図】なし
Description
一方で、より高密度で信頼性の高い実装を実現する技術として、貫通電極を形成したチップを積層する方法も採用されている。貫通電極を有する半導体ウェハは、ウェハの両面に高さが1〜50μmのバンプ電極が形成されており、両面に凸凹のある半導体ウェハである。
このダイシングテープは、バンプ電極が形成された半導体ウェハの凹凸を、弾性率が30〜1000kPaの中間層で埋めることで、切削水からの汚染及びウェハの破損を防止している。
また、粘着剤層に気泡を入れ、半導体ウェハのパンプを粘着剤層に埋め込み、ダイシングする工程も提案されている(例えば、特許文献2:特開2006−13452号公報)。
前記中間層は、融点が50〜100℃である熱可塑性樹脂によって形成されており、
前記基材は、前記中間層より融点が高いことを特徴とする。
また、前記基材の融点が、中間層の融点より20℃以上高いことが好ましい。
さらに、前記粘着剤層が、アクリル系ポリマーを主成分とすることが好ましい。
前記中間層が、3〜200μmの厚みであることが好ましい。
前記粘着剤層が、1〜60μmの厚みであることが好ましい。
また、このような粘着シートを用いることにより、歩留まりを向上させることができる半導体ウェハのダイシング方法を提供することができる。
また、中間層は、熱可塑性樹脂によって形成されていることが適している。
熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレン(PE);エチレン−プロピレン共重合体(EPM);エチレン−プロピレン−ジエン共重合体(EPDM);ポリブテン;エチレン−アクリル酸エチル共重合体(EEA);エチレン−アクリル酸エステル−無水マレイン酸共重合体(EEAMAH);エチレン−メタクリル酸グリシジル共重合体(EGMA)、エチレン−メタクリル酸共重合体(EMAA)、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)などのエチレン共重合体やポリオレフィン系共重合体;ブタジエン系エラストマー、エチレン−イソプレン系エラストマー、エステル系エラストマーなどの熱可塑性エラストマー;熱可塑性ポリエステル:ポリアミド12系共重合体などのポリアミド系樹脂;ポリウレタン;ポリスチレン系樹脂;セロハン;ポリアクリルエステル;メタクリル酸メチルなどのアクリル系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体などのポリ塩化ビニル等が挙げられる。なかでも、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アルキルアクリレート共重合体、低密度ポリエチレン、アイオノマーから選ばれた少なくとも1種の共重合体であることが好ましい。
融点は、DSCにてJIS K 7121によって測定した値を意味する。
基材の厚さは、通常、5〜400μm程度が適しており、10〜300μm程度が好ましく、30〜200μm程度がより好ましい。
また、中間層は、上述した方法によって基材とは別々に形成し、基材に積層してもよいし、基材とともに、上述した方法によって同時に形成してもよい。
基材及び中間層は、その片面又は両面に、例えば、マット処理、コロナ処理、プライマー処置、架橋処理(化学架橋(シラン))等の物理的または化学的処理を行ったものであってもよい。特に、中間層の粘着剤層の積層側に、これらの処理を行うことが好ましい。
具体的には、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ゴム系粘着剤等、種々のものを利用することができる。なかでも、半導体ウェハへの接着性、剥離後の半導体ウェハの超純水及びアルコール等の有機溶媒による清浄/洗浄性等の観点から、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤であることが好ましい。
なお、本明細書では、(メタ)アクリル酸は、アクリル酸及びメタクリル酸を意味する。
他の共重合性モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、カルボキシエチル(メタ)アクリレート、カルボキシペンチル(メタ)アクリレート、イタコン酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー;(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸6−ヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリル酸8−ヒドロキシオクチル、(メタ)アクリル酸10−ヒドロキシデシル、(メタ)アクリル酸12−ヒドロキシラウリル、(4−ヒドロキシメチルシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー;スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、2−(メタ)アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、(メタ)アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル(メタ)アクリレート(メタ)アオクロイルオキシナフタレンスルホン酸等のスルホン酸基含有モノマー;2−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等のリン酸酸含有モノマー;(メタ)アクリル酸モルホリル、ターシャル−ブチルアミノエチル(メタ)アクリレート等のアミノ基含有モノマー等が挙げられる。
これらは単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
他の共重合性モノマーは、アクリル系モノマーを含む全モノマーの50重量%以下とすることが適しており、1〜40重量%であることが好ましい。
このようなモノマーとしては、例えば、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレートなどが挙げられる。
これらの多官能性モノマーは1種又は2種以上用いることができる。
多官能性モノマーの使用量は、粘着特性等の点から、全モノマーの30重量%以下が好ましい。
アクリル系ポリマーの重量平均分子量は、30万程度以上が適しており、40〜300万程度が好ましい。なお、ポリマーの重量平均分子量は、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィ法(GPC法)によって求めることができる。
さらに、2,2’−アゾビス−2−メチルプロピオアミジン酸塩、2,2’−アゾビス−2,4−ジメチルバレロニトリル、2,2’−アゾビス−N,N’−ジメチレンイソブチルアミジン酸塩、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス−2−メチル−N−(2−ヒドロキシエチル)プロピオンアミド等のアゾ化合物を使用してもよい。これらは、単独で用いてもよいし、2種以上併用して使用してもよい。
ここで、ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマーとしては、例えば、分子量が500〜10万程度、好ましくは1000〜3万のオリゴマーであり、かつエステル・ジオールを主骨格とする2官能化合物が挙げられる。
ウレタン(メタ)アクリレート系オリゴマーとモノマー成分との混合比は、オリゴマー:モノマー成分=95〜5:5〜95(重量%)であることが好ましく、さらに好ましくは50〜70:50〜30(重量%)である。
メトキシアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、4−フェノキシジクロロアセトフェノン、4−t−ブチルジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン等のアセトフェノン系光重合開始剤;
ベンジルジメチルケタールなどのケタール系化合物;
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン系光重合開始剤;
ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系光重合開始剤;
2−ナフタレンスルホニルクロリドなどの芳香族スルホニルクロリド系化合物;
1−フェノン−1,1−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシムなどの光学活性オキシム系化合物;
官能基及び重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物としては、例えば、メタクリロイソシアネート、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、m−イソプロペニル−α,α−ジメチルベンジルイソシアネート、アクリロイルイソシアネート、2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート、1,1−ビス(アクリロイルオキシメチル)エチルイソシアネート等が挙げられる。
重合性炭素−炭素二重結合を有するアクリル系共重合体は、単独で又は2種以上を配合して使用することができる。
また、粘着剤層の保護のため、使用時まで粘着剤層上に剥離フィルムを積層しておくことが好ましい。
さらに、半導体ウェハダイシング用粘着シートの形態は、特に限定されず、シート状、テープ状などいずれの形態であってもよい。
このようにして形成された粘着剤層は、必要に応じて、乾燥工程、その工程後の光照射、電子線照射工程等により架橋処理してもよい。
加温方法としては、中間層に中間層の融点に達する温度まで熱を加えられることができれば、どのような方法であってもよい。例えば、半導体ウェハを設置するテーブルを加熱する方法、ローラを加熱する方法、貼着領域の雰囲気温度を上昇させる方法等が挙げられる。加熱温度は、中間層の融点以上あればよく、好ましくは中間層の融点よりも10℃程度以上高い温度とすることが適している。
実施例及び比較例においては、特に断りのない限り部及び%は重量基準である。
表1に示すように、基材としてPETフィルム、中間層の樹脂として、融点が56℃のエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を用い、ラミネート法により、厚さ38μmの基材と厚さ60μmの中間層の積層体を作製した。
次いで、この中間層の粘着剤層を設ける面にコロナ処理を施した。
中間層のコロナ処理を施した面に、厚みが5μmの粘着剤層を転写した。
粘着剤層は、二重結合導入型アクリル系ポリマー(アクリル酸2−エチルヘキシル(以下、「2EHA」と記載することがある)と、アクリル酸2−ヒドロキシエチル(以下、「HEA」と記載することがある)とを含んだアクリル系共重合体に、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(以下、「MOI」と記載することがある)が付加されたポリマー:2HEA/EHA/MOI=89部/11部/12部、重量平均分子量85万):100部に、光重合開始剤「イルガキュア651」(チバ・スペチャリティー・ケミカル社製):3部と、ポリイソシアネート系化合物「コロネートL」(日本ポリウレタン工業社製):3部とを加えた粘着剤によって形成した。
粘着剤層を転写した後、45℃にて24時間加熱し、室温まで冷却することにより、半導体ウェハダイシング用粘着シート作製した。
表1に示すように、基材としてPETフィルム、中間層の樹脂として、融点が61℃のエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を用い、ラミネート法により、厚さ38μmの基材と厚さ60μmの中間層の積層体を作製した。
次いで、この中間層の粘着剤層を設ける面にコロナ処理を施した。
中間層のコロナ処理を施した面に、実施例1と同様の粘着剤層(厚み:5μm)を転写した。
粘着剤層を転写した後、45℃にて24時間加熱し、室温まで冷却することにより、半導体ウェハダイシング用粘着シート作製した。
表1に示すように、基材としてPETフィルム、中間層の樹脂として、融点が90℃のエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を用い、ラミネート法により、厚さ38μmの基材と厚さ60μmの中間層の積層体を作製した。
次いで、この中間層の粘着剤層を設ける面にコロナ処理を施した。
中間層のコロナ処理を施した面に、実施例1と同様の粘着剤層(厚み:5μm)を転写した。
粘着剤層を転写した後、45℃にて24時間加熱し、室温まで冷却することにより、半導体ウェハダイシング用粘着シート作製した。
表1に示すように、基材としてPETフィルム、中間層の樹脂として、融点が61℃のエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を用い、ラミネート法により、厚さ38μmの基材と厚さ60μmの中間層の積層体を作製した。
次いで、この中間層の粘着剤層を設ける面にコロナ処理を施した。
中間層のコロナ処理を施した面に、実施例1と同様の粘着剤層(厚み:20μm)を転写した。
粘着剤層を転写した後、45℃にて24時間加熱し、室温まで冷却することにより、半導体ウェハダイシング用粘着シート作製した。
表1に示すように、基材としてPETフィルム、中間層の樹脂として、融点が61℃のエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を用い、ラミネート法により、厚さ38μmの基材と厚さ40μmの中間層の積層体を作製した。
次いで、この中間層の粘着剤層を設ける面にコロナ処理を施した。
中間層のコロナ処理を施した面に、実施例1と同様の粘着剤層(厚み:20μm)を転写した。
粘着剤層を転写した後、45℃にて24時間加熱し、室温まで冷却することにより、半導体ウェハダイシング用粘着シート作製した。
表1に示すように、基材としてLDPEフィルムを用いた。
この基材フィルムの粘着剤層を設ける面にコロナ処理を施した。
このコロナ処理を施した面に、実施例1と同様の粘着剤層(厚み:5μm)を転写した。
粘着剤層を転写した後、45℃にて24時間加熱し、室温まで冷却することにより、半導体ウェハダイシング用粘着シート作製した。
表1に示すように、基材としてLDPEフィルムを用いた。
この基材フィルムの粘着剤層を設ける面にコロナ処理を施した。
このコロナ処理を施した面に、実施例1と同様の粘着剤層(厚み:50μm)を転写した。
粘着剤層を転写した後、45℃にて24時間加熱し、室温まで冷却することにより、半導体ウェハダイシング用粘着シート作製した。
表1に示すように、基材としてLDPEフィルムを用いた。
この基材フィルムの粘着剤層を設ける面にコロナ処理を施した。
このコロナ処理を施した面に、実施例1と同様の粘着剤層(厚み:50μm)を転写した。
粘着剤層を転写した後、45℃にて24時間加熱し、室温まで冷却することにより、半導体ウェハダイシング用粘着シート作製した。
表1に示すように、基材としてPETフィルムを用いた。
この基材フィルムの粘着剤層を設ける面にコロナ処理を施した。
このコロナ処理を施した面に、実施例1と同様の粘着剤層(厚み:50μm)を転写した。
粘着剤層を転写した後、45℃にて24時間加熱し、室温まで冷却することにより、半導体ウェハダイシング用粘着シート作製した。
EVA(56℃):融点が56℃のエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂(三井・デュポンポリケミカル株式会社製、製品名『(登録商標)エバフレックス』、品番:V5773W)、
EVA(61℃):融点が61℃のエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂(三井・デュポンポリケミカル株式会社製、製品名:『(登録商標)エバフレックス』、品番:V5773ET)、
EVA(90℃):融点が90℃のエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂(三井・デュポンポリケミカル株式会社製、製品名『(登録商標)エバフレックス』、品番:EV560)である。
また、基材として用いたPETの融点は250℃であった。この場合の融点は、押出型ブラストメーターを用いて、重りを5.0kgにて、溶出し始めた温度として測定した。
ダイシングしたチップを50チップ収集し、チップの側面のうち、最後に切断された面を観察した。チップ欠け(チッピング)の深さを測定し、1チップ中で最大の深さを、そのチップのチッピングの大きさとした。50チップをそれぞれについて測定し、最大値と平均値を表2に示した。ここでは、チップ厚みの半分以上の大きさのチッピングが発生した場合(最大値が100μm以上)を不可とした。
高さ30μmのバンプ電極が形成されたシリコンウェハに、実施例及び比較例の粘着シートを表2の温度(例えば、60℃)にて、5mm/secで貼着し、リングフレーム(ディスコ社製)に固定した。
ダイシング装置(ディスコ製 DFD-651)を用いてブレード:NBC−ZH205O−27HECC、回転数:40000rpm、ブレードの送り速度:80mm/sec、切り込み深さ:30μmの条件で、厚み200μmのシリコンウェハを、10mm×10mmのサイズにフルカットダイシングした。
ダイシング時のダイシングテープ貼着面への水浸入及びチップ飛びの状況を観察した。
Claims (7)
- 少なくとも基材、中間層及び粘着剤層が積層されてなる半導体ウェハダイシング用粘着シートであって、
前記中間層は、融点が50〜100℃である熱可塑性樹脂によって形成されており、
前記基材は、前記中間層より融点が高いことを特徴とする半導体ウェハダイシング用粘着シート。 - 前記基材、中間層及び粘着剤層がこの順で積層されてなる請求項1記載の粘着シート。
- 前記基材の融点が、中間層の融点より20℃以上高い請求項1又は2記載の粘着シート。
- 前記粘着剤層が、アクリル系ポリマーを主成分とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の粘着シート。
- 前記中間層が、3〜200μmの厚みである請求項1〜4のいずれか1つに記載の粘着シート。
- 前記粘着剤層が、1〜60μmの厚みである請求項1〜5のいずれか1つに記載の粘着シート。
- 請求項1〜6のいずれか1つに記載の粘着シートをウェハの凹凸表面に貼着して半導体ウェハをダイシングすることを特徴とする半導体ウェハのダイシング方法。
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