JP2011014634A - Probe card and method for applying magnetic field - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、プローブカード及び磁界印加方法に関する。 The present invention relates to a probe card and a magnetic field application method.
磁性体デバイスをウエハレベルで測定するための装置として、磁界印加装置を一体型としたプローブカード(コイル一体型プローブカード)が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
このようなプローブカードを用いてデバイスの検査を行う際、コイルに印加される電流と、実際にデバイス部分に測定される磁束密度の関係が重要となる。
As an apparatus for measuring a magnetic device at a wafer level, a probe card (coil-integrated probe card) in which a magnetic field application device is integrated is known (for example, see Patent Document 1).
When inspecting a device using such a probe card, the relationship between the current applied to the coil and the magnetic flux density actually measured on the device portion is important.
この関係は、通常、予めプローブピン先端部分と同一の高さになるように設置した磁束密度測定器(例えばガウスメーター)に対して磁界を印加しながら、磁界印加装置に流れる電流と磁界の関係を、テーブル(もしくは関数)として作成する必要があり、実際の測定中にデバイスに対して印加されている磁界を測定することができなかった。
また、そのために、デバイス(被測定物)に実際に印加されている磁界を測定して所望の磁界に設定するために、磁界印加手段の電源に対してフィードバック制御を行うこともできなかった。
This relationship is usually the relationship between the current flowing in the magnetic field application device and the magnetic field while applying a magnetic field to a magnetic flux density measuring device (for example, a gauss meter) installed in advance so as to be the same height as the tip of the probe pin. Must be created as a table (or function), and the magnetic field applied to the device during actual measurement could not be measured.
For this reason, in order to measure the magnetic field actually applied to the device (device to be measured) and set it to a desired magnetic field, it has not been possible to perform feedback control on the power supply of the magnetic field applying means.
本発明は、このような従来の実情に鑑みて考案されたものであり、平面コイル(磁界印加手段)により発生する磁界を正確に測定することができ、ひいては、測定中にデバイス(被測定物)に対して実際に印加されている磁界を測定することが可能なプローブカードを提供することを第一の目的とする。
また、本発明は、磁気センサにより検知された磁界の強さをもとに、平面コイルに通電する電流値を調整して、デバイス(被測定物)に所望の磁界を印加することが可能な磁界印加方法を提供することを第二の目的とする。
The present invention has been devised in view of such a conventional situation, and can accurately measure a magnetic field generated by a planar coil (magnetic field applying means). The first object of the present invention is to provide a probe card capable of measuring a magnetic field that is actually applied.
Further, according to the present invention, it is possible to apply a desired magnetic field to the device (measurement object) by adjusting the current value to be applied to the planar coil based on the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor. A second object is to provide a magnetic field application method.
本発明の請求項1に記載のプローブカードは、磁界プローバに用いられるプローブカードであって、プローブカード基板の一面又は他面上の所定の一点を中心点とし、該中心点を通り該一面に垂直な軸を中心軸としたときに、前記プローブカード基板の一面又は他面上において前記中心点からの距離が同じであり、互いに90度をなす位置にそれぞれ配された4つの平面コイルと、前記プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピンと、前記プローブカード基板の一面側において、前記平面コイルの厚さの中央からの高さが、前記平面コイルの厚さの中央と前記プローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサと、を備えたことを特徴とする。
本発明の請求項2に記載のプローブカードは、請求項1において、前記4つの平面コイルは、巻き数、巻き方向及び大きさが同じであることを特徴とする。
本発明の請求項3に記載のプローブカードは、請求項1又は2において、前記磁気センサは、非磁性材料からなるガイドによって前記位置に支持されていることを特徴とする。
本発明の請求項4に記載の磁界印加方法は、プローブカード基板の一面上に配された平面コイルと、前記プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピンと、前記プローブカード基板の一面側又は他面側において、前記平面コイルの厚さの中央からの高さが、前記平面コイルの厚さの中央と前記プローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサと、を備えたプローブカードを用いた磁界プローバによる磁界印加方法であって、前記磁気センサにより得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイルを駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイルにより発生する磁界を調整すること、を特徴とする。
The probe card according to claim 1 of the present invention is a probe card used for a magnetic field prober, and has a predetermined point on one surface or the other surface of the probe card substrate as a central point, and passes through the central point on the one surface. When the vertical axis is the central axis, the four distances from the center point are the same on one surface or the other surface of the probe card substrate, and the four planar coils are disposed at positions that are 90 degrees from each other; The probe pin arranged to protrude on the other surface side of the probe card substrate, and the height from the center of the thickness of the planar coil on one surface side of the probe card substrate is the center of the thickness of the planar coil and the A magnetic sensor that detects the magnetic field generated by the planar coil and is disposed at a position on the central axis that is the same as the distance from the tip of the probe pin.
The probe card according to
A probe card according to a third aspect of the present invention is the probe card according to the first or second aspect, wherein the magnetic sensor is supported at the position by a guide made of a non-magnetic material.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a magnetic field applying method comprising: a planar coil disposed on one surface of a probe card substrate; a probe pin disposed projecting on the other surface side of the probe card substrate; On one side or the other side, the height from the center of the thickness of the planar coil is the same as the distance between the center of the thickness of the planar coil and the tip of the probe pin, and the position on the central axis And a magnetic sensor for detecting a magnetic field generated by the planar coil, and a magnetic field applying method using a magnetic field prober using a probe card, wherein a magnetic flux density value obtained by the magnetic sensor is used. Then, feedback control is performed on a power source that drives the planar coil, and a magnetic field generated by the planar coil is adjusted.
本発明のプローブカードでは、プローブカード基板の一面側において、平面コイルの中央からの高さが、平面コイルとプローブピン先端との間の距離と同じである位置に、平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサが配されているので、平面コイルにより発生する磁界を正確に測定することができる。その結果、本発明では、この磁気センサにより検知された磁界の強さをもとに、デバイス(被測定物)に印加されている磁界を測定することが可能なプローブカードを提供することができる。
また、本発明の磁界印加方法では、磁気センサにより得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイルを駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイルにより発生する磁界を調整している。これにより本発明では、磁気センサにより検知された磁界の強さをもとに、平面コイルに通電する電流値を調整してデバイス(被測定物)に所望の磁界を印加することが可能な磁界印加方法を提供することができる。
In the probe card of the present invention, on one side of the probe card substrate, the magnetic field generated by the planar coil is placed at a position where the height from the center of the planar coil is the same as the distance between the planar coil and the probe pin tip. Since the magnetic sensor to detect is arranged, the magnetic field generated by the planar coil can be accurately measured. As a result, the present invention can provide a probe card capable of measuring the magnetic field applied to the device (measurement object) based on the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor. .
In the magnetic field application method of the present invention, feedback control is performed on the power source that drives the planar coil using the magnetic flux density value obtained by the magnetic sensor, and the magnetic field generated by the planar coil is adjusted. Yes. Accordingly, in the present invention, a magnetic field capable of applying a desired magnetic field to the device (measurement object) by adjusting a current value to be applied to the planar coil based on the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor. An application method can be provided.
以下、本発明に係るプローブカード及び磁界印加方法の一実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, an embodiment of a probe card and a magnetic field application method according to the present invention will be described with reference to the drawings.
図1及び図2は、本発明のプローブカードの一構成例を模式的に示す図であり、図1は図2におけるA−A’部分の断面図、図2は平面図である。
本発明のプローブカード1は、磁界プローバに用いられるプローブカードであって、プローブカード基板2の一面2a又は他面2b上の所定の一点を中心点αとし、該中心点αを通り該一面2aに垂直な軸を中心軸βとしたときに、前記プローブカード基板2の一面2a又は他面2b上において前記中心点αからの距離が同じであり、互いに90度をなす位置にそれぞれ配された4つの平面コイル3a〜3dと、前記プローブカード基板2の他面2b側に突出して配されたプローブピン4と、前記プローブカード基板2の一面2a側において、前記平面コイル3a〜3dの厚さの中央からの高さが、前記平面コイル3a〜3dの厚さの中央と前記プローブピン4先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイル3a〜3dにより発生した磁界を検知する磁気センサ5と、を備えたことを特徴とする。
1 and 2 are diagrams schematically showing a configuration example of a probe card according to the present invention. FIG. 1 is a cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. 2, and FIG. 2 is a plan view.
The probe card 1 of the present invention is a probe card used in a magnetic field prober, and a predetermined point on the one
本発明のプローブカード1では、プローブカード基板2の一面2a側において、平面コイル3a〜3dの中央からの高さが、平面コイル3a〜3dの中央とプローブピン4先端との間の距離と同じであり、中心軸β上の位置に、平面コイル3a〜3dにより発生した磁界を検知する磁気センサ5が配されているので、平面コイル3a〜3dにより発生する磁界を正確に測定することができる。その結果、本発明のプローブカード1では、この磁気センサ5により検知された磁界の強さをもとに、デバイスに印加されている磁界を測定することが可能となる。
In the probe card 1 of the present invention, the height from the center of the
プローブカード1は、プローブピン4と、該プローブピン4が固定されたプローブカード基板2とを有する。プローブカード基板2は、プローブピン部分の絶縁性を確保するため、プリント基板から構成される。
プローブカード1の幅は、例えば4.5インチ(114.3mm)である。
図2に示すように、プローブカード1の一端部には、カードエッジコネクタ7が設けられている。
The probe card 1 has a probe pin 4 and a
The width of the probe card 1 is, for example, 4.5 inches (114.3 mm).
As shown in FIG. 2, a card edge connector 7 is provided at one end of the probe card 1.
平面コイル3a〜3dは、例えばスパイラルコイルであり、磁界印加手段である。図1に示す例では、XY方向に磁界を印加するため、2組(4つ)の平面コイル3a〜3dが配されている。例えば平面コイル3b、3dでX方向の磁界、コイル3a,3cでY方向の磁界を形成する。両組の磁界を適宜制御することにより、角度を持った磁界や、回転磁界を形成することも可能である。
The
そして、これら4つの平面コイル3a〜3dは、プローブカード基板2の一面2a上の所定の一点を中心点αとしたときに、前記プローブカード基板2の一面2a上において前記中心点αからの距離が同じであり、互いに90度をなす位置にそれぞれ配されている。これら4つの平面コイル3a〜3dは、巻き数、巻き方向及び大きさが同じであることが好ましい。また、4つの平面コイル3a〜3dのうち、相対向する平面コイル3a〜3dは電気的に接続されていても、接続されていなくてもよい。
The four
なお、図1及び図2では、平面コイル3a〜3dがプローブカード基板2の一面2a上に配された場合を示しているが、平面コイル3a〜3dは他面2b上に形成されていてもよい。これにより磁気センサ5を低くすることができる。また、被測定物との距離が近いので、同じ電流値でも磁界の強さを大きくすることができる。
1 and 2 show a case where the
磁気センサ5は、前記平面コイル3a〜3dにより発生した磁界を検知するものである。
そして、特に本発明のプローブカード1では、この磁気センサ5は、前記プローブカード基板2の一面2a側において、前記平面コイル3a〜3dの厚さの中央からの高さが、前記平面コイル3a〜3dの厚さの中央と前記プローブピン4先端との間の距離と同じである位置に配されている。
The
In particular, in the probe card 1 of the present invention, the
例えば図に示す例では、プローブカード1上に形成された平面コイルの中央からプローブピン4先端までの高さは、例えば2.8±0.1mmである。プローブカード1上面から2.8mm上方、また、XY方向については、平面コイル3bの中央−平面コイル3dの中央軸上であり、かつ、平面コイル3aの中央−平面コイル3cの中央軸上である位置、すなわち磁界印加手段(平面コイル3a〜3d)から形成される磁界のほぼ中央の位置となるような位置に磁気センサ5を設置する。ここで図2のhの始点は平面コイル3a〜3dの厚さの中央とする。
For example, in the example shown in the figure, the height from the center of the planar coil formed on the probe card 1 to the tip of the probe pin 4 is 2.8 ± 0.1 mm, for example. 2.8 mm above the upper surface of the probe card 1 and in the XY direction, the center of the
磁気センサ5を前記位置に配することにより、デバイス(被測定物)の測定中に磁界印加装置から印加される磁束密度の値を測定することが可能となった。また、磁束密度の測定値に対して、コイルを駆動する電源にフィードバックをおこない、所望の磁界を印加することが可能となった。
By arranging the
このような磁気センサ5としては、例えばMRセンサ、ホールセンサ、MIセンサ、フラックスゲートセンサ等が使用可能である。
また、磁気センサ5は、例えばテフロン(登録商標)、プラスチック、Al等の非磁性材料からなるガイド6によって前記位置に支持されている。
また、磁気センサ5は、互いに直交する方向に2個設置してもよいし、回転軸を設けて一つの磁気センサ5を回転させてもよい。
As such a
The
Two
以下、このようなプローブカード1を用いた磁界印加方法について説明する。
本発明の磁界印加方法は、プローブカード基板2の一面2a又は他面2b上に配された平面コイル3と、前記プローブカード基板2の他面2b側に突出して配されたプローブピン4と、前記プローブカード基板2の一面2a側において、前記平面コイル3の厚さの中央からの高さが、前記平面コイル3の厚さの中央と前記プローブピン4先端との間の距離と同じである位置に配された、前記平面コイル3により発生した磁界を検知する磁気センサ5と、を備えたプローブカード1を用いた磁界プローバによる磁界印加方法であって、前記磁気センサ5により得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイル3を駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイル3により発生する磁界を調整すること、を特徴とする。
Hereinafter, a magnetic field application method using such a probe card 1 will be described.
The magnetic field application method of the present invention includes a
本発明の磁界印加方法では、用いる磁界プローバにおいて磁気センサ5を前記位置に配することにより、デバイス(被測定物)の測定中に磁界印加装置から印加される磁束密度の値を測定することが可能となった。そして、磁気センサ5により得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイル3を駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイル3により発生する磁界を調整している。これにより本発明の磁界印加方法では、磁気センサ5により検知された磁界の強さをもとに、平面コイル3に通電する電流値を調整してデバイスに所望の磁界を印加することが可能となる。
In the magnetic field application method of the present invention, the
以上、本発明のプローブカード及び磁界印加方法について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜変更が可能である。 The probe card and the magnetic field application method of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to this, and can be appropriately changed without departing from the spirit of the invention.
本発明は、プローブカード及び磁界印加方法に広く適用可能である。 The present invention is widely applicable to probe cards and magnetic field application methods.
1 プローブカード、2 プローブカード基板、3a〜3d 平面コイル、4 プローブピン、5 磁気センサ、6 ガイド。 1 probe card, 2 probe card substrate, 3a to 3d planar coil, 4 probe pin, 5 magnetic sensor, 6 guide.
Claims (4)
プローブカード基板の一面又は他面上の所定の一点を中心点とし、該中心点を通り該一面に垂直な軸を中心軸としたときに、
前記プローブカード基板の一面又は他面上において前記中心点からの距離が同じであり、互いに90度をなす位置にそれぞれ配された4つの平面コイルと、
前記プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピンと、
前記プローブカード基板の一面側において、前記平面コイルの厚さの中央からの高さが、前記平面コイルの厚さの中央と前記プローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサと、を備えたことを特徴とするプローブカード。 A probe card used in a magnetic field prober,
When a predetermined point on one surface or the other surface of the probe card substrate is a central point, and an axis passing through the central point and perpendicular to the one surface is a central axis,
Four planar coils disposed on the one side or the other side of the probe card substrate, the distances from the center point being the same, and arranged at positions that are 90 degrees from each other;
Probe pins arranged to protrude on the other side of the probe card substrate;
On one surface side of the probe card substrate, the height from the center of the thickness of the planar coil is the same as the distance between the center of the thickness of the planar coil and the tip of the probe pin, and on the central axis A probe card comprising: a magnetic sensor that detects a magnetic field generated by the planar coil disposed at a position.
前記磁気センサにより得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイルを駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイルにより発生する磁界を調整すること、を特徴とする磁界印加方法。 A planar coil disposed on one surface or the other surface of the probe card substrate; a probe pin disposed projecting on the other surface side of the probe card substrate; and a thickness of the planar coil on the one surface side of the probe card substrate The height from the center is the same as the distance between the center of the thickness of the planar coil and the tip of the probe pin, and the magnetic field generated by the planar coil arranged at a position on the central axis is detected. A magnetic field application method by a magnetic field prober using a probe card equipped with a magnetic sensor,
A magnetic field application method comprising: performing feedback control on a power source that drives the planar coil using a magnetic flux density value obtained by the magnetic sensor, and adjusting a magnetic field generated by the planar coil.
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JP2009155792A JP2011014634A (en) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | Probe card and method for applying magnetic field |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101552922B1 (en) | 2013-08-08 | 2015-09-15 | 매그나칩 반도체 유한회사 | Magnetic sensor test apparatus and method |
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2009
- 2009-06-30 JP JP2009155792A patent/JP2011014634A/en active Pending
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