JP2011014634A - Probe card and method for applying magnetic field - Google Patents

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Kazuhisa Itoi
和久 糸井
Takuya Aizawa
卓也 相沢
Satoru Nakao
知 中尾
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probe card which can precisely measure the magnetic field generated by a planar coil and can measure the magnetic field actually applied to a device during measurement, as well.SOLUTION: The probe card 1 includes four planar coils arranged respectively at locations, where the coils make 90 degrees mutually with an identical distance from a center point on one face or the other face of a probe card substrate, when a predetermined point on the one face or the other face of a probe card substrate 2 is used as the center point and an axis passing the center point and vertical to the one face is used as a center axis; a probe pin 4 arranged to protrude to the other face side of the probe card substrate; and a magnetic sensor 5 arranged at a location on the center axis with a height from the center of the thickness of the planar coil which is identical to the distance between the center of the thickness of the plane coil and a probe pin leading edge on the one face side of the probe card substrate for detecting the magnetic field generated by the planar coil.

Description

本発明は、プローブカード及び磁界印加方法に関する。   The present invention relates to a probe card and a magnetic field application method.

磁性体デバイスをウエハレベルで測定するための装置として、磁界印加装置を一体型としたプローブカード（コイル一体型プローブカード）が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
このようなプローブカードを用いてデバイスの検査を行う際、コイルに印加される電流と、実際にデバイス部分に測定される磁束密度の関係が重要となる。 As an apparatus for measuring a magnetic device at a wafer level, a probe card (coil-integrated probe card) in which a magnetic field application device is integrated is known (for example, see Patent Document 1).
When inspecting a device using such a probe card, the relationship between the current applied to the coil and the magnetic flux density actually measured on the device portion is important.

この関係は、通常、予めプローブピン先端部分と同一の高さになるように設置した磁束密度測定器（例えばガウスメーター）に対して磁界を印加しながら、磁界印加装置に流れる電流と磁界の関係を、テーブル（もしくは関数）として作成する必要があり、実際の測定中にデバイスに対して印加されている磁界を測定することができなかった。
また、そのために、デバイス（被測定物）に実際に印加されている磁界を測定して所望の磁界に設定するために、磁界印加手段の電源に対してフィードバック制御を行うこともできなかった。 This relationship is usually the relationship between the current flowing in the magnetic field application device and the magnetic field while applying a magnetic field to a magnetic flux density measuring device (for example, a gauss meter) installed in advance so as to be the same height as the tip of the probe pin. Must be created as a table (or function), and the magnetic field applied to the device during actual measurement could not be measured.
For this reason, in order to measure the magnetic field actually applied to the device (device to be measured) and set it to a desired magnetic field, it has not been possible to perform feedback control on the power supply of the magnetic field applying means.

特開２００７-１４７６５１号公報JP 2007-147651 A

本発明は、このような従来の実情に鑑みて考案されたものであり、平面コイル（磁界印加手段）により発生する磁界を正確に測定することができ、ひいては、測定中にデバイス（被測定物）に対して実際に印加されている磁界を測定することが可能なプローブカードを提供することを第一の目的とする。
また、本発明は、磁気センサにより検知された磁界の強さをもとに、平面コイルに通電する電流値を調整して、デバイス（被測定物）に所望の磁界を印加することが可能な磁界印加方法を提供することを第二の目的とする。 The present invention has been devised in view of such a conventional situation, and can accurately measure a magnetic field generated by a planar coil (magnetic field applying means). The first object of the present invention is to provide a probe card capable of measuring a magnetic field that is actually applied.
Further, according to the present invention, it is possible to apply a desired magnetic field to the device (measurement object) by adjusting the current value to be applied to the planar coil based on the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor. A second object is to provide a magnetic field application method.

本発明の請求項１に記載のプローブカードは、磁界プローバに用いられるプローブカードであって、プローブカード基板の一面又は他面上の所定の一点を中心点とし、該中心点を通り該一面に垂直な軸を中心軸としたときに、前記プローブカード基板の一面又は他面上において前記中心点からの距離が同じであり、互いに９０度をなす位置にそれぞれ配された４つの平面コイルと、前記プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピンと、前記プローブカード基板の一面側において、前記平面コイルの厚さの中央からの高さが、前記平面コイルの厚さの中央と前記プローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサと、を備えたことを特徴とする。
本発明の請求項２に記載のプローブカードは、請求項１において、前記４つの平面コイルは、巻き数、巻き方向及び大きさが同じであることを特徴とする。
本発明の請求項３に記載のプローブカードは、請求項１又は２において、前記磁気センサは、非磁性材料からなるガイドによって前記位置に支持されていることを特徴とする。
本発明の請求項４に記載の磁界印加方法は、プローブカード基板の一面上に配された平面コイルと、前記プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピンと、前記プローブカード基板の一面側又は他面側において、前記平面コイルの厚さの中央からの高さが、前記平面コイルの厚さの中央と前記プローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサと、を備えたプローブカードを用いた磁界プローバによる磁界印加方法であって、前記磁気センサにより得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイルを駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイルにより発生する磁界を調整すること、を特徴とする。 The probe card according to claim 1 of the present invention is a probe card used for a magnetic field prober, and has a predetermined point on one surface or the other surface of the probe card substrate as a central point, and passes through the central point on the one surface. When the vertical axis is the central axis, the four distances from the center point are the same on one surface or the other surface of the probe card substrate, and the four planar coils are disposed at positions that are 90 degrees from each other; The probe pin arranged to protrude on the other surface side of the probe card substrate, and the height from the center of the thickness of the planar coil on one surface side of the probe card substrate is the center of the thickness of the planar coil and the A magnetic sensor that detects the magnetic field generated by the planar coil and is disposed at a position on the central axis that is the same as the distance from the tip of the probe pin.
The probe card according to claim 2 of the present invention is characterized in that, in claim 1, the four planar coils have the same number of turns, winding direction and size.
A probe card according to a third aspect of the present invention is the probe card according to the first or second aspect, wherein the magnetic sensor is supported at the position by a guide made of a non-magnetic material.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a magnetic field applying method comprising: a planar coil disposed on one surface of a probe card substrate; a probe pin disposed projecting on the other surface side of the probe card substrate; On one side or the other side, the height from the center of the thickness of the planar coil is the same as the distance between the center of the thickness of the planar coil and the tip of the probe pin, and the position on the central axis And a magnetic sensor for detecting a magnetic field generated by the planar coil, and a magnetic field applying method using a magnetic field prober using a probe card, wherein a magnetic flux density value obtained by the magnetic sensor is used. Then, feedback control is performed on a power source that drives the planar coil, and a magnetic field generated by the planar coil is adjusted.

本発明のプローブカードでは、プローブカード基板の一面側において、平面コイルの中央からの高さが、平面コイルとプローブピン先端との間の距離と同じである位置に、平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサが配されているので、平面コイルにより発生する磁界を正確に測定することができる。その結果、本発明では、この磁気センサにより検知された磁界の強さをもとに、デバイス（被測定物）に印加されている磁界を測定することが可能なプローブカードを提供することができる。
また、本発明の磁界印加方法では、磁気センサにより得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイルを駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイルにより発生する磁界を調整している。これにより本発明では、磁気センサにより検知された磁界の強さをもとに、平面コイルに通電する電流値を調整してデバイス（被測定物）に所望の磁界を印加することが可能な磁界印加方法を提供することができる。 In the probe card of the present invention, on one side of the probe card substrate, the magnetic field generated by the planar coil is placed at a position where the height from the center of the planar coil is the same as the distance between the planar coil and the probe pin tip. Since the magnetic sensor to detect is arranged, the magnetic field generated by the planar coil can be accurately measured. As a result, the present invention can provide a probe card capable of measuring the magnetic field applied to the device (measurement object) based on the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor. .
In the magnetic field application method of the present invention, feedback control is performed on the power source that drives the planar coil using the magnetic flux density value obtained by the magnetic sensor, and the magnetic field generated by the planar coil is adjusted. Yes. Accordingly, in the present invention, a magnetic field capable of applying a desired magnetic field to the device (measurement object) by adjusting a current value to be applied to the planar coil based on the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor. An application method can be provided.

本発明に係るプローブカードの一構成例を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the example of 1 structure of the probe card based on this invention. 図１に示したプローブカードの平面図。The top view of the probe card shown in FIG.

以下、本発明に係るプローブカード及び磁界印加方法の一実施形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, an embodiment of a probe card and a magnetic field application method according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図１及び図２は、本発明のプローブカードの一構成例を模式的に示す図であり、図１は図２におけるＡ−Ａ’部分の断面図、図２は平面図である。
本発明のプローブカード１は、磁界プローバに用いられるプローブカードであって、プローブカード基板２の一面２ａ又は他面２ｂ上の所定の一点を中心点αとし、該中心点αを通り該一面２ａに垂直な軸を中心軸βとしたときに、前記プローブカード基板２の一面２ａ又は他面２ｂ上において前記中心点αからの距離が同じであり、互いに９０度をなす位置にそれぞれ配された４つの平面コイル３ａ〜３ｄと、前記プローブカード基板２の他面２ｂ側に突出して配されたプローブピン４と、前記プローブカード基板２の一面２ａ側において、前記平面コイル３ａ〜３ｄの厚さの中央からの高さが、前記平面コイル３ａ〜３ｄの厚さの中央と前記プローブピン４先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイル３ａ〜３ｄにより発生した磁界を検知する磁気センサ５と、を備えたことを特徴とする。 1 and 2 are diagrams schematically showing a configuration example of a probe card according to the present invention. FIG. 1 is a cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. 2, and FIG. 2 is a plan view.
The probe card 1 of the present invention is a probe card used in a magnetic field prober, and a predetermined point on the one surface 2a or the other surface 2b of the probe card substrate 2 is defined as a center point α, and the one surface 2a passes through the center point α. When the axis perpendicular to the center axis β is the center axis β, the distance from the center point α is the same on the one surface 2a or the other surface 2b of the probe card substrate 2, and they are arranged at positions that are 90 degrees from each other. Four planar coils 3a to 3d, probe pins 4 projecting from the other surface 2b of the probe card substrate 2, and the thickness of the planar coils 3a to 3d on the one surface 2a side of the probe card substrate 2 Is equal to the distance between the center of the thickness of the planar coils 3a to 3d and the tip of the probe pin 4 and is disposed at a position on the central axis. A magnetic sensor 5 for detecting the magnetic field generated by 3d, characterized by comprising a.

本発明のプローブカード１では、プローブカード基板２の一面２ａ側において、平面コイル３ａ〜３ｄの中央からの高さが、平面コイル３ａ〜３ｄの中央とプローブピン４先端との間の距離と同じであり、中心軸β上の位置に、平面コイル３ａ〜３ｄにより発生した磁界を検知する磁気センサ５が配されているので、平面コイル３ａ〜３ｄにより発生する磁界を正確に測定することができる。その結果、本発明のプローブカード１では、この磁気センサ５により検知された磁界の強さをもとに、デバイスに印加されている磁界を測定することが可能となる。   In the probe card 1 of the present invention, the height from the center of the planar coils 3a to 3d is the same as the distance between the center of the planar coils 3a to 3d and the tip of the probe pin 4 on the one surface 2a side of the probe card substrate 2. Since the magnetic sensor 5 for detecting the magnetic field generated by the planar coils 3a to 3d is disposed at a position on the central axis β, the magnetic field generated by the planar coils 3a to 3d can be accurately measured. . As a result, the probe card 1 of the present invention can measure the magnetic field applied to the device based on the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor 5.

プローブカード１は、プローブピン４と、該プローブピン４が固定されたプローブカード基板２とを有する。プローブカード基板２は、プローブピン部分の絶縁性を確保するため、プリント基板から構成される。
プローブカード１の幅は、例えば４．５インチ（１１４．３ｍｍ）である。
図２に示すように、プローブカード１の一端部には、カードエッジコネクタ７が設けられている。 The probe card 1 has a probe pin 4 and a probe card substrate 2 to which the probe pin 4 is fixed. The probe card substrate 2 is composed of a printed circuit board in order to ensure insulation of the probe pin portion.
The width of the probe card 1 is, for example, 4.5 inches (114.3 mm).
As shown in FIG. 2, a card edge connector 7 is provided at one end of the probe card 1.

平面コイル３ａ〜３ｄは、例えばスパイラルコイルであり、磁界印加手段である。図１に示す例では、ＸＹ方向に磁界を印加するため、２組(４つ)の平面コイル３ａ〜３ｄが配されている。例えば平面コイル３ｂ、３ｄでＸ方向の磁界、コイル３ａ，３ｃでＹ方向の磁界を形成する。両組の磁界を適宜制御することにより、角度を持った磁界や、回転磁界を形成することも可能である。   The planar coils 3a to 3d are, for example, spiral coils and are magnetic field applying means. In the example shown in FIG. 1, two sets (four) of planar coils 3 a to 3 d are arranged to apply a magnetic field in the XY directions. For example, the planar coils 3b and 3d form a magnetic field in the X direction, and the coils 3a and 3c form a magnetic field in the Y direction. It is also possible to form a magnetic field with an angle or a rotating magnetic field by appropriately controlling both sets of magnetic fields.

そして、これら４つの平面コイル３ａ〜３ｄは、プローブカード基板２の一面２ａ上の所定の一点を中心点αとしたときに、前記プローブカード基板２の一面２ａ上において前記中心点αからの距離が同じであり、互いに９０度をなす位置にそれぞれ配されている。これら４つの平面コイル３ａ〜３ｄは、巻き数、巻き方向及び大きさが同じであることが好ましい。また、４つの平面コイル３ａ〜３ｄのうち、相対向する平面コイル３ａ〜３ｄは電気的に接続されていても、接続されていなくてもよい。   The four planar coils 3a to 3d are distances from the center point α on the one surface 2a of the probe card substrate 2 when a predetermined point on the one surface 2a of the probe card substrate 2 is the center point α. Are the same, and are arranged at positions that are 90 degrees from each other. These four planar coils 3a to 3d preferably have the same number of turns, winding direction and size. Further, among the four planar coils 3a to 3d, the opposed planar coils 3a to 3d may be electrically connected or may not be connected.

なお、図１及び図２では、平面コイル３ａ〜３ｄがプローブカード基板２の一面２ａ上に配された場合を示しているが、平面コイル３ａ〜３ｄは他面２ｂ上に形成されていてもよい。これにより磁気センサ５を低くすることができる。また、被測定物との距離が近いので、同じ電流値でも磁界の強さを大きくすることができる。   1 and 2 show a case where the planar coils 3a to 3d are arranged on the one surface 2a of the probe card substrate 2, the planar coils 3a to 3d may be formed on the other surface 2b. Good. Thereby, the magnetic sensor 5 can be lowered. Further, since the distance to the object to be measured is short, the strength of the magnetic field can be increased even with the same current value.

磁気センサ５は、前記平面コイル３ａ〜３ｄにより発生した磁界を検知するものである。
そして、特に本発明のプローブカード１では、この磁気センサ５は、前記プローブカード基板２の一面２ａ側において、前記平面コイル３ａ〜３ｄの厚さの中央からの高さが、前記平面コイル３ａ〜３ｄの厚さの中央と前記プローブピン４先端との間の距離と同じである位置に配されている。 The magnetic sensor 5 detects a magnetic field generated by the planar coils 3a to 3d.
In particular, in the probe card 1 of the present invention, the magnetic sensor 5 has a height from the center of the thickness of the planar coils 3a to 3d on the one surface 2a side of the probe card substrate 2. It is arranged at a position that is the same as the distance between the center of the thickness of 3d and the tip of the probe pin 4.

例えば図に示す例では、プローブカード１上に形成された平面コイルの中央からプローブピン４先端までの高さは、例えば２．８±０．１ｍｍである。プローブカード１上面から２．８ｍｍ上方、また、ＸＹ方向については、平面コイル３ｂの中央−平面コイル３ｄの中央軸上であり、かつ、平面コイル３ａの中央−平面コイル３ｃの中央軸上である位置、すなわち磁界印加手段（平面コイル３ａ〜３ｄ）から形成される磁界のほぼ中央の位置となるような位置に磁気センサ５を設置する。ここで図２のｈの始点は平面コイル３ａ〜３ｄの厚さの中央とする。   For example, in the example shown in the figure, the height from the center of the planar coil formed on the probe card 1 to the tip of the probe pin 4 is 2.8 ± 0.1 mm, for example. 2.8 mm above the upper surface of the probe card 1 and in the XY direction, the center of the planar coil 3b—the center axis of the planar coil 3d, and the center of the planar coil 3a—the center axis of the planar coil 3c. The magnetic sensor 5 is installed at a position, that is, a position substantially at the center of the magnetic field formed by the magnetic field applying means (planar coils 3a to 3d). Here, the starting point of h in FIG. 2 is the center of the thickness of the planar coils 3a to 3d.

磁気センサ５を前記位置に配することにより、デバイス（被測定物）の測定中に磁界印加装置から印加される磁束密度の値を測定することが可能となった。また、磁束密度の測定値に対して、コイルを駆動する電源にフィードバックをおこない、所望の磁界を印加することが可能となった。   By arranging the magnetic sensor 5 at the above position, it is possible to measure the value of the magnetic flux density applied from the magnetic field application device during measurement of the device (measurement object). In addition, it is possible to apply a desired magnetic field by feeding back the measured value of the magnetic flux density to the power source that drives the coil.

このような磁気センサ５としては、例えばＭＲセンサ、ホールセンサ、ＭＩセンサ、フラックスゲートセンサ等が使用可能である。
また、磁気センサ５は、例えばテフロン（登録商標）、プラスチック、Ａｌ等の非磁性材料からなるガイド６によって前記位置に支持されている。
また、磁気センサ５は、互いに直交する方向に２個設置してもよいし、回転軸を設けて一つの磁気センサ５を回転させてもよい。 As such a magnetic sensor 5, for example, an MR sensor, a Hall sensor, an MI sensor, a fluxgate sensor, or the like can be used.
The magnetic sensor 5 is supported at the position by a guide 6 made of a nonmagnetic material such as Teflon (registered trademark), plastic, or Al.
Two magnetic sensors 5 may be installed in directions orthogonal to each other, or one magnetic sensor 5 may be rotated by providing a rotation shaft.

以下、このようなプローブカード１を用いた磁界印加方法について説明する。
本発明の磁界印加方法は、プローブカード基板２の一面２ａ又は他面２ｂ上に配された平面コイル３と、前記プローブカード基板２の他面２ｂ側に突出して配されたプローブピン４と、前記プローブカード基板２の一面２ａ側において、前記平面コイル３の厚さの中央からの高さが、前記平面コイル３の厚さの中央と前記プローブピン４先端との間の距離と同じである位置に配された、前記平面コイル３により発生した磁界を検知する磁気センサ５と、を備えたプローブカード１を用いた磁界プローバによる磁界印加方法であって、前記磁気センサ５により得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイル３を駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイル３により発生する磁界を調整すること、を特徴とする。 Hereinafter, a magnetic field application method using such a probe card 1 will be described.
The magnetic field application method of the present invention includes a planar coil 3 disposed on one surface 2a or the other surface 2b of the probe card substrate 2, a probe pin 4 disposed so as to protrude toward the other surface 2b of the probe card substrate 2, On the one surface 2 a side of the probe card substrate 2, the height from the center of the thickness of the planar coil 3 is the same as the distance between the center of the thickness of the planar coil 3 and the tip of the probe pin 4. A magnetic field applying method by a magnetic field prober using a probe card 1 provided with a magnetic sensor 5 for detecting a magnetic field generated by the planar coil 3 disposed at a position, and a magnetic flux obtained by the magnetic sensor 5 Feedback control is performed on the power source that drives the planar coil 3 using the density value, and the magnetic field generated by the planar coil 3 is adjusted.

本発明の磁界印加方法では、用いる磁界プローバにおいて磁気センサ５を前記位置に配することにより、デバイス（被測定物）の測定中に磁界印加装置から印加される磁束密度の値を測定することが可能となった。そして、磁気センサ５により得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイル３を駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイル３により発生する磁界を調整している。これにより本発明の磁界印加方法では、磁気センサ５により検知された磁界の強さをもとに、平面コイル３に通電する電流値を調整してデバイスに所望の磁界を印加することが可能となる。   In the magnetic field application method of the present invention, the magnetic sensor 5 is arranged at the position in the magnetic field prober used, thereby measuring the value of the magnetic flux density applied from the magnetic field application device during measurement of the device (measurement object). It has become possible. Then, using the magnetic flux density value obtained by the magnetic sensor 5, feedback control is performed on the power source that drives the planar coil 3 to adjust the magnetic field generated by the planar coil 3. As a result, in the magnetic field application method of the present invention, it is possible to apply a desired magnetic field to the device by adjusting the current value applied to the planar coil 3 based on the strength of the magnetic field detected by the magnetic sensor 5. Become.

以上、本発明のプローブカード及び磁界印加方法について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜変更が可能である。   The probe card and the magnetic field application method of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to this, and can be appropriately changed without departing from the spirit of the invention.

本発明は、プローブカード及び磁界印加方法に広く適用可能である。   The present invention is widely applicable to probe cards and magnetic field application methods.

１ プローブカード、２ プローブカード基板、３ａ〜３ｄ 平面コイル、４ プローブピン、５ 磁気センサ、６ ガイド。   1 probe card, 2 probe card substrate, 3a to 3d planar coil, 4 probe pin, 5 magnetic sensor, 6 guide.

Claims (4)

磁界プローバに用いられるプローブカードであって、
プローブカード基板の一面又は他面上の所定の一点を中心点とし、該中心点を通り該一面に垂直な軸を中心軸としたときに、
前記プローブカード基板の一面又は他面上において前記中心点からの距離が同じであり、互いに９０度をなす位置にそれぞれ配された４つの平面コイルと、
前記プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピンと、
前記プローブカード基板の一面側において、前記平面コイルの厚さの中央からの高さが、前記平面コイルの厚さの中央と前記プローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサと、を備えたことを特徴とするプローブカード。 A probe card used in a magnetic field prober,
When a predetermined point on one surface or the other surface of the probe card substrate is a central point, and an axis passing through the central point and perpendicular to the one surface is a central axis,
Four planar coils disposed on the one side or the other side of the probe card substrate, the distances from the center point being the same, and arranged at positions that are 90 degrees from each other;
Probe pins arranged to protrude on the other side of the probe card substrate;
On one surface side of the probe card substrate, the height from the center of the thickness of the planar coil is the same as the distance between the center of the thickness of the planar coil and the tip of the probe pin, and on the central axis A probe card comprising: a magnetic sensor that detects a magnetic field generated by the planar coil disposed at a position. 前記４つの平面コイルは、巻き数、巻き方向及び大きさが同じであることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。   The probe card according to claim 1, wherein the four planar coils have the same number of windings, winding direction, and size. 前記磁気センサは、非磁性材料からなるガイドによって前記位置に支持されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブカード。   The probe card according to claim 1, wherein the magnetic sensor is supported at the position by a guide made of a nonmagnetic material. プローブカード基板の一面又は他面上に配された平面コイルと、前記プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピンと、前記プローブカード基板の一面側において、前記平面コイルの厚さの中央からの高さが、前記平面コイルの厚さの中央と前記プローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサと、を備えたプローブカードを用いた磁界プローバによる磁界印加方法であって、
前記磁気センサにより得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイルを駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイルにより発生する磁界を調整すること、を特徴とする磁界印加方法。 A planar coil disposed on one surface or the other surface of the probe card substrate; a probe pin disposed projecting on the other surface side of the probe card substrate; and a thickness of the planar coil on the one surface side of the probe card substrate The height from the center is the same as the distance between the center of the thickness of the planar coil and the tip of the probe pin, and the magnetic field generated by the planar coil arranged at a position on the central axis is detected. A magnetic field application method by a magnetic field prober using a probe card equipped with a magnetic sensor,
A magnetic field application method comprising: performing feedback control on a power source that drives the planar coil using a magnetic flux density value obtained by the magnetic sensor, and adjusting a magnetic field generated by the planar coil.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101552922B1 (en) 2013-08-08 2015-09-15 매그나칩 반도체 유한회사 Magnetic sensor test apparatus and method

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