JP2011002390A - ウエハチャック用の温度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のウエハチャック用の温度センサ10は、ウエハチャック20のチャックトップ21の挿入孔21Bに対応する第1の貫通孔13Aを有する固定用ブロック13をチャックトップ21の側面に第1のネジ部材15を介して連結し、且つ、第1の貫通孔13Aからチャックトップ21の挿入孔21Bに挿入される測温体11の基部に設けられた取付部材14を介して温度センサ10を固定用ブロック13にネジ止めして取り付られる。
【選択図】図2
Description
11 測温体
12 ケーブル
13 固定用ブロック
13A 第1の貫通孔(貫通孔)
14 取付部材
15 連結部材(第1のネジ部材)
20 ウエハチャック
21B 挿入孔
Claims (5)
- ウエハチャックの側面に形成された挿入孔内に挿入された測温体によってウエハチャックに保持されたウエハの処理温度を測定する温度センサであって、上記ウエハチャックの挿入孔に対応する貫通孔を有する固定用ブロックを上記ウエハチャックの側面に連結部材を介して連結し、且つ、上記貫通孔から上記挿入孔に挿入される測温体の基部に設けられた取付部材を介して上記温度センサを上記固定用ブロックに取り付けることを特徴とするウエハチャック用の温度センサ。
- ウエハチャックに保持されたウエハの処理温度を測定するために、上記ウエハチャックの側面に形成された挿入孔に測温体が挿入され、固定用ブロックを介して上記ウエハチャックに取り付けられる温度センサであって、上記固定用ブロックは、上記測温体が貫通し且つ上記測温体の基部で一体化した取付部材が装着される貫通孔と、上記固定用ブロックを上記ウエハチャックに連結するための連結部材と、を備え、上記取付部材を介して上記温度センサを上記固定用ブロックに取り付けることを特徴とするウエハチャック用の温度センサ。
- 上記測温体は、保護管内に収納された白金抵抗素子を主体に構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のウエハチャック用の温度センサ。
- 上記固定用ブロックは高絶縁性材料によって形成されていることを特徴とする請求項1〜は請求項3のいずれか1項に記載のウエハチャック用の温度センサ。
- 上記高絶縁性材料は高純度のアルミナセラミックスによって形成されていることを特徴とする請求項4に記載のウエハチャック用の温度センサ。
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