JP2010520648A - イオン注入システムにおけるウェハ保持ロボットのエンドエフェクタの垂直位置決定 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 イオン注入システムは、ロードロックが連結されたイオン注入ステーションと、ロードロック内に少なくとも部分的に位置しており、少なくとも1つのウェハを処理するエンドエフェクタとエンドエフェクタを垂直方向に動かすモータとを有するウェハ処理ロボットと、ロードロック内に位置して、エンドエフェクタの垂直位置を決定するセンサと、を備えうる。
【選択図】 図1
Description
Claims (20)
- ロードロックが連結されたイオン注入ステーションと、
前記ロードロック内に少なくとも部分的に位置しており、少なくとも1つのウェハを処理するエンドエフェクタと前記エンドエフェクタを垂直方向に動かすモータとを有するウェハ処理ロボットと、
前記ロードロック内に位置して、前記エンドエフェクタの垂直位置を決定するセンサと
を備えるイオン注入システム。 - 前記エンドエフェクタは複数のブレードを含み、
各ブレードは1つのウェハを処理する請求項1に記載のイオン注入システム。 - 前記センサは、前記複数のブレードが垂直方向に動くときに2以上のブレードの垂直位置を感知する請求項2に記載のイオン注入システム。
- 前記センサは、前記エンドエフェクタが横切るビームを有する請求項1に記載のイオン注入システム。
- 前記センサは、光ファイバセンサ、レーザセンサ、または赤外線センサのいずれか1つを有する請求項4に記載のイオン注入システム。
- 前記センサは、トランスミッタおよびレシーバを有する請求項4に記載のイオン注入システム。
- 前記ビームは、前記ロードロック内で略水平方向に延びる請求項4に記載のイオン注入システム。
- 前記センサは、ホール効果センサを有する請求項1に記載のイオン注入システム。
- イオン注入システムのロードロック内で動くよう配置され、少なくとも1つのウェハを処理するエンドエフェクタと、
前記エンドエフェクタを垂直方向に動かすモータと、
前記ロードロック内に位置して、前記エンドエフェクタの垂直位置を決定するセンサと
を備えるウェハ処理ロボット。 - 前記エンドエフェクタは複数のブレードを含み、
各ブレードは1つのウェハを処理する請求項9に記載のウェハ処理ロボット。 - 前記センサは、前記複数のブレードが垂直方向に動くときに2以上のブレードの垂直位置を感知する請求項10に記載のウェハ処理ロボット。
- 前記センサは、前記エンドエフェクタが横切るビームを有する請求項9に記載のウェハ処理ロボット。
- 前記センサは、光ファイバセンサ、レーザセンサ、または赤外線センサのいずれかを有する請求項12に記載のウェハ処理ロボット。
- 前記センサは、トランスミッタおよびレシーバを有する請求項12に記載のウェハ処理ロボット。
- 前記ビームは、前記ロードロック内で略水平方向に延びる請求項12に記載のウェハ処理ロボット。
- 前記センサは、ホール効果センサを有する請求項9に記載のウェハ処理ロボット。
- イオン注入システムのロードロック内のウェハ処理ロボットのエンドエフェクタの垂直位置を決定する方法であって、
前記ロードロック内にセンサを配置する段階と、
前記エンドエフェクタを垂直移動させて、前記センサをトリガする段階と、
前記センサのトリガに基づいて、前記エンドエフェクタの前記垂直位置を決定する段階と
を備える方法。 - 前記センサを配置する段階は、
前記エンドエフェクタが横切る前記センサから略水平方向のビームを放出する段階を有する請求項17に記載の方法。 - 前記エンドエフェクタは複数のブレードを含み、各ブレードは1つのウェハを処理し、
前記垂直位置を決定する段階は、
前記複数のブレードが垂直方向に動くときに2以上のブレードの垂直位置を決定する段階を有する請求項17に記載の方法。 - 前記センサは、光ファイバセンサ、レーザセンサ、または赤外線センサのいずれかを有する請求項17に記載の方法。
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