JP2010510485A - 外部ビームスプリッタを有しない自己混合光コヒーレンス検出器 - Google Patents

外部ビームスプリッタを有しない自己混合光コヒーレンス検出器 Download PDF

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Abstract

【課題】レーザーソースに対して安定した位置にビームスプリッタおよび基準反射器を支持するための、固定具を必要としない光コヒーレント検出器を提供すること
【解決手段】超ルミネッセントダイオード(SLD)によって生じるゴースト−コヒーレント反射(260)を検出するようになっている検出器(210、310)である。ゴースト反射(260)は、前記SLDキャビティ(213)内での反射の整数倍の回数である、表面(350、450、555)からの反射によって生じる光コヒーレンスに基づいて検出され、よってゴースト反射は光コヒーレント検出器で特徴的な精密分解能の弁別性を有する。好ましい実施形態では、検出器(210、310)は、内部反射の特定の倍数の回数の、表面からのゴースト反射(260)を検出するようになっており、他の倍数の回数のゴースト反射(260)は、光学的に減衰される(330)か、またはかかる反射が変化しないことが分かれば、較正方法によりキャンセルされる。
【選択図】図2A

Description

本発明は、光センサの分野に関し、より詳細には、外部ビームスプリッタを使用しないで、コヒーレンス検出を行う光検出器に関する。
表面に光を投射し、表面からの光の反射を検出することによって距離を測定するのに、一般に光検出器が使用される。一般にレーザーダイオードで光を投射し、反射した光は検出可能な干渉パターンを発生する。光源と反射物体との間の距離は、干渉がいつ生じたかを決定する。多数の表面から、または半透明材料の多数の層から反射が生じ得る場合、他の反射よりも優先して焦点からの反射を効率的に収集するのに、レンズシステムが使用されている。
光コヒーレンストモグラフィ(OCT)技術は、高分解能の光検出および像形成を可能にするものである。図1Aは、基準反射を生じさせるのに外部ミラーを使用する光コヒーレント検出器の構成の一例を示す。従来の光検出器の場合のように、ターゲット物体130に向けられたレーザーデバイス110、一般に超ルミネッセントレーザーダイオード(SLD)デバイスから光ビームが投射され、物体からの反射を検出器115により検出する。コヒーレント検出器では、光ビームから2つの反射、例えば基準反射とターゲット反射が得られる。基準反射とターゲット反射とがコヒーレントである場合、検出可能な反射はコヒーレントでない反射によって生じた反射よりも実質的に大きくなる。
図1Aに示されるように、コヒーレント検出器の一例では、投射されたビームを分割するのにビームスプリッタ140が使用される。ビームのうちの1つ(以下、基準ビーム)がミラー120に向けられ、このミラーによってビームが光源に戻るように反射される。他方の分割されたビーム(以下、ターゲットビーム)は、光源から離間し、ターゲット130に向けられる。ターゲット130からのターゲットビームの反射がミラー120からの基準ビームの反射と同じ時間に到達する場合、これらはコヒーレントとなる。すなわち光源からターゲット表面130への距離が、光源から基準表面120への距離に等しければ、コヒーレント反射が生じ、この反射は振幅の大きい検出信号を発生し、コヒーレント反射が生じない場合は、これら反射は非コヒーレントとなり、振幅の小さい検出信号を発生する。別の説明をすれば、基準距離(Dt=Dr)にあるターゲット表面からの反射は、大きい検出振幅を発生させ、他方、異なる距離(Dt≠Dr)にある表面からの反射は低い検出振幅を発生する。基準距離Drを変えることにより異なる距離(Dt≠Dr)にあるターゲット表面を検出することができる。時間に対して基準距離Drを変えることにより、半透明材料、例えば体の組織の深度プロフィルを得ることができる。異なる層にある組織材料の特性は異なる反射強度を生じさせる。
図1Bは、レーザーソース114からのターゲット反射表面の距離Dtを関数とする検出された反射の振幅を示す。図示するように、ターゲット反射表面がレーザーソースから距離Dt=Drにある場合、図1Aの検出器115によって検出される信号150はかなりの大きさになる。検出の精度、すなわち分解能は、極めて高い。その理由は、Drと若干異なる距離151にある表面からの反射は最小となるからである。干渉に基づく代表的なシステムよりも精密なコヒーレント検出を使用すると、一般にマイクロメータの大きさの分解能が得られる。この精密な分解能は、基準距離Drを変える際の基準距離Drにある反射を区別することにより、上記深度プロフィルを得ることを可能にする。
図1Bに示されるように、従来のコヒーレント検出器の区別する能力は、ゴースト反射160によって損なわれていた。Drと異なる所定位置にある表面からの反射は、検出器115からの区別可能な出力160も発生する。これらゴースト反射の出力160は、所望するターゲット出力150の尺度を歪ませ、この出力は、ターゲット距離Drで合焦される光学系のフィールド深度を制限することにより、減衰され、一般にターゲット距離Drからのこの深度を越える表面からの反射を排除/減衰させている。これらゴースト反射160は後述するように、投射された光ビームの他の成分とコヒーレントである反射によって生じる。
図1Cは、チャンバキャビティ113を有する代表的な超ルミネッセントダイオード(SLD)デバイス110を示す。このチャンバ113内では、後部表面111はほぼ全反射性(>>99%)であり、前方表面113はわずかに反射性(<1%)である。チャンバ113の物理的構造およびチャンバ113内の反射率の大きさは、チャンバ113内での反射の平均回数だけでなく、この平均回数を中心とする偏差も決定する。ゴースト反射160は、基準反射器120によって反射される平均/主要光線121からの偏差にある光線に対応する光線とコヒーレントな関係にあるターゲット130からの反射131に対応している。物理的構造は、ゴースト−コヒーレント光線を発生するので、ゴースト反射160はチャンバ113のサイズに応じて決まる、固定インターバル115で生じる。従来のSLDは、約1〜2mmのインターバルでゴースト反射160を発生し、光学系は、これらゴースト反射160を防止するように1mm未満のフィールド深度(被写界深度)を有するように構成されている。
図1Aの光コヒーレント検出器の例は、極めて精密な分解能を生じさせるが、レーザーソース110に対して安定した位置にビームスプリッタ140および基準反射器120を支持するための固定具を必要とする。
レーザーソースに対して安定した位置にビームスプリッタおよび基準反射器を支持するための、固定具を必要としない光コヒーレント検出器を提供することが望ましい。また、ビームスプリッタを必要としない光コヒーレント検出器を提供することも好ましく、外部基準反射器を必要としない光コヒーレント検出器を提供することも好ましい。
上記利点およびそれ以外の利点は、超ルミネッセントダイオード(SLD)によって生じるゴースト反射を検出するようになっている検出器によって実現できる。これらゴースト反射は、SLDキャビティ内の反射の整数倍の回数である、表面からの反射によって生じる光学的コヒーレンスに基づき検出されるので、これらゴースト反射は光コヒーレント検出器で一般的な精密分解能の弁別を行う。好ましい実施形態では、検出器は内部反射の特定の倍数の回数となっている、ある表面のゴースト反射を検出するようになっている。他の倍数回となっているゴースト反射が光学的に減衰されるか、またはかかる反射が変動しないことが分かっている場合には較正方法によってキャンセルされる。
以下、添付図面を参照し、例により更に詳細に本発明について説明する。
従来の光コヒーレント検出器の一例を示す。 従来の光コヒーレント検出器の一例を示す。 従来の光コヒーレント検出器の一例を示す。 本発明に係わる超ルミネッセントダイオードを示す。 本発明に係わる超ルミネッセントダイオードを示す。 本発明に係わる光検出器の構成の用途の例を示す。 本発明に係わる光検出器の構成の用途の例を示す。 本発明に係わる光検出器の構成の用途の例を示す。
複数の図にわたって同じである基準番号は、同じ要素または実質的に同じ機能を奏する要素を示す。これら図は説明のために記載したものであり、発明の範囲を制限するものではない。
次の説明において、発明を限定するのではなく、発明を説明し、本発明を完全に理解するよう、特定の細部、例えば特定のアーキテクチャ、インターフェース、技術などを説明する。しかしながら、当業者であれば、これら特定の細部から逸脱した他の実施形態で本発明を実施できることが明らかであろう。説明を簡潔かつ明瞭にするために、不要な細部により本発明の記述が不明瞭とならないよう、周知のデバイス、回路および方法の詳細な説明は省略する。
本発明は、ダイオードデバイスのキャビティ内で生じる反射の整数倍の回数で、超ルミネッセントダイオードデバイス内でコヒーレント反射が生じるという見解に基づくものである。従来、ゴースト反射と称されるこれら反射は、超ルミネッセント光出力を生じさせるのに必要な構造によって生じる望ましくないアーティファクトであり、これら反射を防止するか、または最小にするよう、注意が払われたが、本発明では、これとは逆に、これら反射を防止せず、強化することが好ましい。
図2Aは、デバイスのキャビティ213内での反射を強化し、よってゴースト反射の発生を強化するようになっている超ルミネッセントダイオードデバイス(SLD)210を示す。本発明の原理は従来のSLDにも適用でき、ゴースト反射の強化は、それ自体不要であるが、かかる強化は、より大きい振幅のコヒーレント信号を発生することにより、その後の検出プロセスを容易にする。
図1Cを参照してこれまで説明したように、従来のSLD110は、高度に反射性の後部表面111と、反射防止前方表面112とを含む。従来のSLD110は、所望する超ルミネッセント出力を発生するのに必要な数回の反射を発生するように構成することが好ましい。前方表面112の反射率が高まれば、ゴースト反射の発生および強度も高くなる。前方表面112の反射性が所定のスレッショルドを超えて増加した場合、デバイスは従来のレーザーデバイスとして作動する。
SLD210はレーザーを発生させることなく、できるだけ多い回数の内部反射を生じさせるように構成することが好ましい。すなわち例えばレーザーの作動を誘導するためのスレッショルド反射率がRlaserである場合、SLD210の前方表面212は0.9×Rlaserの反射率となり、よってLSD210をレーザー発生状態にさせることなく、SLD210のキャビティ内での多く回数の反射を生じさせるように構成してもよい。
図2Bは、反射表面がSLD210から離間している距離を関数とする、SLD210の光検出器115のグラフの一例を示す。この例では、SLD210は、変調された光出力を発生するようになっており、反射表面はSLD210から連続的に長くなる距離D1に設置されている。曲線の全体の形状250が示すように、検出される反射は、レーザーソースからの距離の二乗に反比例して減少する。しかしながら、SLD210から所定の距離260では、反射はSLD210内の反射とコヒーレントであり、光の変調を明瞭に認識できる。すなわちSLD210の光の利得はSLD210からの距離の一定のインターバル255でピーク260を示す。
概念的には、基準ミラー120が図1Aの従来の光コヒーレント検出器での基準反射を示すように、前方表面212は複数回の基準反射を生じさせる。SLD210からの特定の各距離260において、ターゲット反射は前方表面212が生じさせる基準反射のサブセットとコヒーレントであり、このコヒーレントな組み合わせは基準反射のうちのいずれともコヒーレントでない反射よりも振幅が大きい、検出器115からの出力を生じさせる。これら高いゲインのピークは、表面コヒーレンスの結果であるので、各コヒーレントな距離260から若干オフセットしている結果、検出器115の出力はかなり低下し、よってピークを生じさせる各距離260の近くで程度の高い弁別性/分解能を生じさせる。すなわち各ピーク260において、外部ビームスプリッタおよび基準ミラーを使用することなく光のコヒーレントな検出が行われる。表面212は、従来のコヒーレントな検出器の基準ミラーに対応するのと見なすことができ、SLD210のキャビティ内での各反射は、従来のビームスプリッタが提供する基準ビームに対応するものと見なすことができる。
図3〜5は、外部基準ミラーまたはビームスプリッタを使用することなく、光コヒーレントな検出をするためのSLDデバイスの応用例を示す。
図3では、回転中の物体360の速度を検出するのにSLD検出器310が使用される。このSLD検出器310は、回転中の物体350の表面にあるポイント351から特定の距離にて支持構造体301に置かれた固定具320に取り付けられている。ポイント351までの距離は、図2Bに示されるように検出器310に対するゴースト−共振距離260の1つに位置するように選択され、よってポイント351からの反射は検出器310内で反射された光ビームと共振する。オプションとして、較正プロセス中にポイント510から適当な距離にて、検出器310を整合するように調節手段325が提供される。簡単なスライド調節が示されているが、マイクロメートルのスケールの調節を行うための従来の多数の調節技術のうちのいずれかも使用できる。
検出器310の出力をプロセッサ340が受信する。このプロセッサは、バン・ヴォリス外に対して2003年9月9日に発行され、発明の名称を「光学的速度検出システム」とし、本明細書で参考として援用する米国特許第6,618,128号に開示されている手段(これだけに限定されるものではない)に基づく従来の種々の手段のうちのいずれかを提供する。発明者であるバン・ヴォリス外は、繰り返される表面反射パターンを検出することにより、回転速度を測定するための技術を教示している。ドップラー効果に基づく他の技術も一般に使用される。本発明の自己コヒーレント光検出を使用すれば、外部反射器およびビームスプリッタを使用する、従来のコヒーレント検出システムのコストおよび複雑さを生じさせることなく、高分解能のコヒーレント検出を行うことにより、移動中の物体、表面の速度を測定するためのこれら公知の技術を、強化できる。
好ましい実施形態では、ターゲット表面への投射およびターゲット表面からの反射を区別/合焦するのに、レンズ系330も使用される。レンズ系330は、ターゲットのゴースト−コヒーレント距離260におけるポイント351に対応する焦点を提供する。しかしながら、従来の非コヒーレント検出器と対照的に、このレンズ系330は精密な分解能を有しなくてもよい。その理由は、ターゲット表面での反射と他のターゲットでないゴースト−コヒーレント距離での反射とを区別するだけでよい。すなわち図2Bを参照すると、ゴースト−コヒーレント距離260の間のスペース255が1mmの大きさである場合、非ターゲットのゴースト−コヒーレント反射を実質的に減少させるには、2mm未満の有効フィールド深度を有するレンズ系330で十分となる。この例では、光学レンズ系がミリメートルの大きさの分解能しか提供できなくても、本明細書に説明するゴースト−コヒーレント検出プロセスは、マイクロメートルの大きさの有効分解能を提供できる。
図4は、検出器310と表面450の位置との間の距離を制御するための自己コヒーレント検出器310の使用を示す。矢印421が示すように、検出器310に対する表面45の位置をアクチュエータ440が制御する。当業者であれば明らかなように、このアクチュエータ440は検出器310を移動させることにより、検出器310に対する表面45の位置の同じ調節を実行できる。
発明者ライス外に対して2004年7月6日に発行され、本明細書で参考例として援用する「材料シートの移動量を測定する方法およびこの方法を実行するための機械センサ」を発明の名称とする米国特許第6,759,671号は、適当なトランスポート速度を保証し、スキューを制御し、詰まりを検出するなどを行うよう、プリンタのペーパートランスポート機構を制御するために光検出器を使用することを教示している。相補的出願である、発明者コイシ外に対し1998年9月15日に発光され、本明細書で参考例として援用する「光検出装置」を発明の名称とする、米国特許第5,808,746号では、光検出器が受信した信号に基づき、光検出器の相対的位置を調節する。本発明の自己コヒーレント光検出を使用すれば、外部反射器およびビームスプリッタを使用する従来のコヒーレント検出システムのように、コストおよび複雑さを生じることなく高分解のコヒーレント検出を行うことによって、検出器に対する物体/表面の位置を調節するためのこれら公知の技術を強化できる。
図5は、透明な導管550内の流体の流れを測定するようになっている自己コヒーレント検出器310の使用例を示す。好ましい実施形態では、導管550または検出器310は、図2Cのゴースト−コヒーレント距離260の間に、導管550のエッジが位置するように配置されており、よってエッジも、このエッジで生じ得る乱流も、検出器310の出力には影響しないようになっている。簡単な実施形態では、導管は図2Cのゴースト−コヒーレント距離260の間の距離255未満の半径を有し、これら距離260のうちの1つに導管の中心が位置する。より大きい導管では、導管内に多数のゴースト−コヒーレント距離260が位置することができ、各距離は流体の流量に相関性のある検出器の出力信号を発生させる。多数回の検出を行い、適当な流量に対する出力信号を適当に較正すれば、導管を通過する不均一な流れを生じさせる障害物を、従来の非コヒーレント検出器を用いた場合よりもより容易に検出することができる。
図2Cのコヒーレント検出器の精密な分解能は、層状の流体、例えばオイルまたは水の薄膜層を含み得る流体の流量の区別も容易にする。特定の用途によっては、検出器のゴースト−コヒーレント距離を、かかる層の存在および/または下方の流体の速度と実質的に異なる可能性のある層の速度を検出するように設定できる。別の用途では、この薄膜より小さくなるようにゴースト−コヒーレント距離を設定でき、下方の流体の適当な速度を測定する。当業者が本明細書を検討すれば、層固有の重量の国定のために、これらおよびそれ以外の応用が明らかとなろう。
本発明の好ましい実施例では、検出器310の出力が意図するターゲット表面からの反射に対応するように、ゴースト−コヒーレント距離に、意図するターゲット表面しか位置しない。しかしながら当業者であれば、他のゴースト−基準距離に位置し得る他の表面からの反射を、従来の較正技術によってキャンセル/補償できることも認識できよう。従来の較正技術は、ベースライン(基線)を設定し、このベースラインからの変化を検出するようになっている。すなわち本発明の検出器310は、一般に互いに相対的に固定された距離にある物体との静止環境内に設置するので、この静的な環境に対応する出力を測定することができ、ターゲットがゴースト−コヒーレント距離260に位置する場合には、ターゲット物体の変化によって生じたこの環境への変化を容易に検出し、レポートすることができる。
これまでの説明は単に本発明の原理を説明するためのものにすぎない。従って、当業者であれば、本明細書に明示的に記載または図示していないが、本発明の原理を具現化し、よって特許請求の要旨および範囲内にある種々の装置を想到できると理解すべきである。
特許請求の範囲の解釈にあたり、次のように理解すべきである。
a)「含む」または「備える」なる単語は、所定の請求項に記載されたもの以外の他の要素または行為が存在することを排除するものではない。
b)要素に先行する「1つの」または「ある」なる単語は、かかる要素が複数存在することを排除するものではない。
c)請求項に記載した参照符号は、発明の範囲を限定するものではない。
d)いくつかの「手段」なる用語は、同一のアイテムまたはハードウェアもしくはソフトウェアで実現される構造または機能によって表示できる。
e)開示した要素のいずれも、(例えばディスクリート電子回路および集積電子回路を含む)ハードウェア部分、ソフトウェア部分(例えばコンピュータプログラム)およびそれらの任意の組み合わせから構成できる。
f)ハードウェア部分は、アナログ部分およびデジタル部分の一方または双方から構成できる。
g)特に記載しない限り、開示したデバイスまたはデバイスの一部のいずれかは、一体に組み合わせてもよいし、別の部分に分離してもよい。
h)特に表示しない限り、行為またはステップの特定のシーケンスは不要である。
i)要素の前に記載した「複数」なる用語は、請求する要素が2つ以上存在することを意味し、要素の数を特定の範囲に限定するものではなく、複数の要素は、2つぐらいの少数の要素でもよい。
110、114 レーザーダイオード
115 検出器
130 ターゲット物体
210 超ルミネッセントダイオードデバイス
213 キャビティ
260 ゴーストーコヒーレント反射
310 検出器
330 レンズ系

Claims (23)

  1. 光を投射するレーザーダイオードと、
    前記光の内部反射を生じさせ、前記光のビームを発生し、前記光の外部反射を受けるキャビティと、
    前記内部反射および前記外部反射に対応する出力信号を発生する検出器と、
    ターゲット距離からの外部反射が前記内部反射のうちの1つ以上とコヒーレントとなるように、前記ターゲット距離に焦点を位置させるレンズ系とを備える、光検出器。
  2. 前記レンズ系は、多数のターゲット距離を含むフィールド深度を含み、これら距離からの反射も前記内部反射のうちの1つ以上とコヒーレントである請求項1記載の光検出器。
  3. 前記検出器からの前記出力信号を受信し、この信号から、検出しようとするターゲットに関連する1つ以上のパラメータを決定するプロセッサを備える、請求項1に記載の光検出器。
  4. 前記1つ以上のパラメータは、前記ターゲット距離にある、前記検出しようとするターゲットの存在、前記ターゲット距離からの前記検出しようとするターゲットの移動、および、前記ターゲット距離にある、前記検出しようとするターゲットの速度のうちの少なくとも1つを含む、請求項3に記載の光検出器。
  5. 前記キャビティに対する前記検出しようとするターゲットの位置を制御するアクチュエータを更に備える、光検出器。
  6. 前記アクチュエータは、1つ以上のパラメータに基づき、前記設置を制御する、請求項5に記載の光検出器。
  7. 前記レーザーダイオードおよびキャビティは、超ルミネッセントレーザーダイオードを形成する、請求項1に記載の光検出器。
  8. 前記キャビティは、前記光ビームが放出される際に通過する出口端部を備え、前記出口端部は、レーザー発生モードを生じさせるスレッショルド反射係数よりも低い反射係数を有する表面を含む、請求項1に記載の光検出器。
  9. 前記反射係数は、前記スレッショルド反射係数の75〜95%のレンジ内にある請求項8記載の光検出器。
  10. 支持構造体と、
    光検出デバイスと、
    ターゲット物体とを備え、
    前記光検出デバイスは、前記ターゲット物体からのターゲット距離にて前記支持構造体に位置し、
    前記ターゲット距離は、前記光検出デバイス内でのコヒーレント内部反射に関連する複数のゴーストーコヒーレント距離のうちの1つに実質的に対応するシステム。
  11. 前記ターゲット距離に前記光検出デバイスを位置決めすることを容易にする1つ以上の調節デバイスを備える、請求項10に記載のシステム。
  12. 前記検出器デバイスからの前記出力信号を受信し、この信号から、検出しようとするターゲットに関連する1つ以上のパラメータを決定するプロセッサを備える、請求項10に記載のシステム。
  13. 前記1つ以上のパラメータは、前記ターゲット距離にある、前記検出しようとするターゲットの存在、前記ターゲット距離からの前記検出しようとするターゲットの移動、および、前記ターゲット距離にある、前記検出しようとするターゲットの速度のうちの少なくとも1つを含む、請求項12に記載のシステム。
  14. 前記ターゲット物体は、回転中の物体を備え、前記1つ以上のパラメータは回転速度を含む、請求項12に記載のシステム。
  15. 前記ターゲット物体は、トランスポート表面上の媒体を含み、前記プロセッサは、前記媒体のトランスポート速度を検出する、請求項12に記載のシステム。
  16. 前記プロセッサは、前記支持構造体に対する前記ターゲット物体の位置を制御する、請求項12に記載のシステム。
  17. 前記ターゲット物体は、導管を含み、前記1つ以上のパラメータは、前記導管を通過する流体の流量の尺度を含む、請求項12に記載のシステム。
  18. 前記ターゲット距離に前記光検出デバイスの焦点を形成するレンズ系を含む、請求項10に記載のシステム。
  19. 前記レンズ系は、所定の数のゴースト−コヒーレント距離に広がるフィールド信号を発生する、請求項18に記載のシステム。
  20. 前記光検出デバイスは、超ルミネッセントレーザーダイオード(SLD)を含む、請求項10に記載のシステム。
  21. 前記超ルミネッセントレーザーダイオードは、光が発生される際に通過する出口端部を有するキャビティを含み、前記出口端部は、レーザー発生モードを生じさせるスレッショルド反射係数の75〜95%のレンジ内にある反射係数を有する表面を含む、請求項20に記載のシステム。
  22. 超ルミネッセントレーザーダイオードからの1つ以上のゴースト−コヒーレント距離を決定するステップを備え、前記超ルミネッセントレーザーダイオードからの反射は、前記超ルミネッセントレーザーダイオードのキャビティ内の内部反射とコヒーレントであり、
    前記ゴースト−コヒーレント距離のうちの1つにターゲットポイントが一致するように、前記超ルミネッセントレーザーダイオードを支持構造体に固定するステップと、
    前記ターゲットポイントにある物体に関連する1つ以上のパラメータを決定するステップを備える、光検出方法。
  23. 前記1つ以上のパラメータは、前記ターゲット距離にある、前記検出しようとするターゲットの存在、前記ターゲット距離からの前記検出しようとするターゲットの移動、および、前記ターゲット距離にある、前記検出しようとするターゲットの速度のうちの少なくとも1つを含む、請求項22に記載の方法。
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