JP2010283402A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、基板に対して各種の処理を施す基板処理部と、複数のキャリアに収容された複数枚の基板を組合わせることによって基板処理部で一括処理するバッチを編成するバッチ編成部とを有する基板処理装置において、各キャリアに収容された複数枚の基板を搬送する基板搬送機構と、基板搬送機構によって搬送された基板の配列間隔を変更してバッチを形成するバッチ形成機構と、基板搬送機構によって搬送された基板の配列順序を変更する配列順序変更機構とを有し、基板搬送機構は、複数枚の基板を表裏両面それぞれで保持するウエハ保持器を有し、処理前の基板を前記ウエハ保持器の一面側で保持する一方、処理後の基板を前記ウエハ保持器の他面側で保持することにした。
【選択図】図1
Description
3 キャリア 4 キャリア搬入出部
5 バッチ 6 バッチ編成部
7 基板処理部 8 キャリアステージ
9 開閉扉 10 キャリア搬送機構
11 キャリアストック 12 キャリア載置台
13 開閉扉 14 基板搬送機構
15 バッチ形成機構 16 配列順序変更機構
17 バッチ搬送機構 18 ウエハ収容状態検出センサー
19 ノッチアライナー 20 洗浄乾燥機構
21 洗浄機構 22 昇降装置
23 洗浄乾燥槽 24 洗浄槽
25 第1の薬液槽 26 第2の薬液槽
27 第3の薬液槽 28 第1の純水槽
29 第2の純水槽 30 第3の純水槽
31 第1の搬送装置 32 第2の搬送装置
33 第3の搬送装置 34 バッチ編成室
35 載置台 36 多軸ロボット
37 ウエハ保持器 38 基台
39 回動台 40 第1の昇降アーム
41 第2の昇降アーム 42 第3の昇降アーム
43 回動アーム 44 ケーシング
45 ウエハ保持板 46,47 係止片
48,49 係止片 50 シリンダー
51 ロッド 52 可動体
53 可動板 54 係止片
55 基台 56 昇降台
57,58 支持アーム 59,60 ウエハ保持台
61,62 保持溝 63 ウエハ保持チャック
64 基台 65,66 支持板
67,68,69 ウエハ支持体 70 保持溝
71 移動台 72 支柱
73 昇降台 74 ウエハ保持体
75 係止片 76,77 係止片
78 制御部 79 コントローラ
80 記憶媒体 81 バッチ編成プログラム
Claims (9)
- キャリアに水平姿勢で収容された複数枚の基板を一括処理する基板処理部を有する基板処理装置において、
複数枚の基板を垂直姿勢で基板処理部に搬送する搬送機構と、
前記キャリアと搬送機構との間で複数枚の基板を水平姿勢から垂直姿勢に姿勢変更して搬送する基板搬送機構と、
を有し、
前記基板搬送機構は、複数枚の基板を表裏両面それぞれで保持するウエハ保持器を有し、処理前の基板を前記ウエハ保持器の一面側で保持する一方、処理後の基板を前記ウエハ保持器の他面側で保持することを特徴とする基板処理装置。 - 前記ウエハ保持器は、複数のウエハ保持板を有し、各ウエハ保持板で基板を保持するように構成したことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記ウエハ保持器は、ウエハ保持板の表裏に取付けた係止片と、可動体の表裏に取付けられ、基板の側面に向けて進出する係止片とで基板を係止するように構成したことを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記ウエハ保持器は、1個の可動体に複数枚の可動板を取付け、各可動板に前記係止片を取付けたことを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 基板を垂直姿勢で保持するウエハ保持台をさらに備え、
前記基板搬送機構は、キャリアに水平姿勢で収容された複数枚の基板を垂直姿勢に姿勢変更して前記ウエハ保持台へ搬送し、
前記搬送機構は、ウエハ保持台で保持された基板を前記基板処理部へ搬送することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記基板搬送機構は、多軸ロボットの回動アームに前記ウエハ保持器を取付け、前記ウエハ保持器を回動することで基板を水平姿勢から垂直姿勢に姿勢変更するように構成したことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の基板処理装置。
- 基板を処理する基板処理部と、基板を収容したキャリアと前記基板処理部との間で基板を搬送する基板搬送機構とを有する基板処理装置において、
前記基板搬送機構は、基板を表裏両面それぞれで保持するウエハ保持器を有し、処理前の基板を前記ウエハ保持器の一面側で保持する一方、処理後の基板を前記ウエハ保持器の他面側で保持することを特徴とする基板処理装置。 - 前記基板搬送機構は、基板を水平姿勢から垂直姿勢に姿勢変更して搬送することを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。
- 基板に対して各種の処理を施す基板処理部と、複数のキャリアに収容された複数枚の基板を組合わせることによって前記基板処理部で一括処理するバッチを編成するバッチ編成部とを有する基板処理装置において、
前記バッチ編成部は、
各キャリアに収容された複数枚の基板を搬送する基板搬送機構と、
前記基板搬送機構によって搬送された基板の配列間隔を変更してバッチを形成するバッチ形成機構と、
前記基板搬送機構によって搬送された基板の配列順序を変更する配列順序変更機構と、
を有し、
前記基板搬送機構は、複数枚の基板を表裏両面それぞれで保持するウエハ保持器を有し、処理前の基板を前記ウエハ保持器の一面側で保持する一方、処理後の基板を前記ウエハ保持器の他面側で保持することを特徴とする基板処理装置。
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JP2010214549A JP2010283402A (ja) | 2010-09-24 | 2010-09-24 | 基板処理装置 |
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Cited By (1)
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JP2022009259A (ja) * | 2017-12-04 | 2022-01-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
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2010
- 2010-09-24 JP JP2010214549A patent/JP2010283402A/ja active Pending
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