JP2010272816A - ポリシルセスキオキサン薄膜への有機半導体膜の製膜方法 - Google Patents
ポリシルセスキオキサン薄膜への有機半導体膜の製膜方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】フェニル基修飾コロイダルシリカを含有する有機半導体溶液をポリシルセスキオキサン薄膜上に塗布し、塗膜を乾燥させることを特徴とする、ポリシルセスキオキサン薄膜への有機半導体膜の製膜方法。
【選択図】なし
Description
1.フェニル基修飾コロイダルシリカを含有する有機半導体溶液をポリシルセスキオキサン薄膜上に塗布し、塗膜を乾燥させることを特徴とする、ポリシルセスキオキサン薄膜への有機半導体膜の製膜方法。
2.前記有機半導体は、6,13−トリイソプロピルシリルエチニルペンタセン(TIPS−ペンタセン)及びフラーレンからなる群から選択される少なくとも1種である、上記項1に記載の製膜方法。
3.前記有機半導体溶液は、トルエン溶液である、上記項1又は2に記載の製膜方法。
4.上記項1〜3のいずれかに記載の製膜方法により製膜された有機半導体膜を具備する、有機薄膜トランジスタ。
(PMSQの合成)
磁気撹拌子を備えた100ml二口フラスコに、主原料となるメチルトリメトキシシラン(10g, 0.073mol)、溶媒であるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)10 gを加えた。この溶液に、水(3.96g, 0.22mol)及びギ酸(1.01g, 0.022mol)をゆっくり加え、その後、室温で30分攪拌して加水分解を行った。その後、70 ℃で1時間攪拌することで縮合反応を行い、更に70℃、200Torrで2時間撹拌させながら副生するメタノールを留去した。反応溶液を室温に戻してからPGMEAで希釈して30重量%に調製した。反応式は次の通りである。
(PMSQ薄膜の作製)
30重量%のPMSQ溶液を用いて、ガラス基板上に500rpmで10sec、3000 rpmで20 secの条件でスピンコートした。この薄膜を100℃で1時間、150℃で1時間加熱することで硬化したPMSQ薄膜を得た。
TIPS−ペンタセンのトルエン溶液(濃度1重量%)とフェニル基修飾コロイダルシリカのトルエン分散液(品番「PL-1-TOL」、シリカ濃度40重量%、扶桑化学工業(株)製)とを、TIPS−ペンタセンとフェニル基修飾コロイダルシリカの重量比が1:1となるように混合した塗液を用い、PMSQ薄膜上に500rpmで10sec、1000rpmで10 secの条件でスピンコートした。次に塗膜を乾燥させることによりTIPS−ペンタセン膜を製膜した。
TIPS−ペンタセンのトルエン溶液(濃度1重量%)のみを塗液とした以外は、実施例1と同様にしてPMSQ薄膜上にTIPS−ペンタセン膜を製膜した。
スピンコート法をキャスト法(基板に溶液を垂らして室温で3〜6時間程度で乾燥)に変えた以外は、実施例1と同様にしてPMSQ薄膜上にTIPS−ペンタセン膜を製膜した。
フラーレンのトルエン溶液(濃度1重量%)とフェニル基修飾コロイダルシリカのトルエン分散液(品番「PL-1-TOL」、シリカ濃度40重量%、扶桑化学工業(株)製)とを、フラーレンとフェニル基修飾コロイダルシリカの重量比が1:1となるように混合した塗液を用い、PMSQ薄膜上に500rpmで10sec、1000rpmで10 secの条件でスピンコートした。次に塗膜を乾燥させることにより均一なフラーレン膜を製膜した。
ITOガラス基板を17mm角にカットし、アセトン及びIPAで5分間超音波洗浄し、導電性ペーストを塗り、ペーストをよく乾燥させてから上記PMSQ溶液を滴下し、500rpmで10sec、3000 rpmで20 secの条件でスピンコートした。この薄膜を100℃で1時間、150℃で1時間加熱することで硬化したPMSQ薄膜を得た。
Claims (4)
- フェニル基修飾コロイダルシリカを含有する有機半導体溶液をポリシルセスキオキサン薄膜上に塗布し、塗膜を乾燥させることを特徴とする、ポリシルセスキオキサン薄膜への有機半導体膜の製膜方法。
- 前記有機半導体は、6,13−トリイソプロピルシリルエチニルペンタセン(TIPS−ペンタセン)及びフラーレンからなる群から選択される少なくとも1種である、請求項1に記載の製膜方法。
- 前記有機半導体溶液は、トルエン溶液である、請求項1又は2に記載の製膜方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の製膜方法により製膜された有機半導体膜を具備する、有機薄膜トランジスタ。
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