JP2010269201A - Coating device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating device which can restrain the evaporation of a solvent at the apex of a nozzle on standby. <P>SOLUTION: This coating device can make capping of a coating nozzle by a cap for drying prevention which is arranged at its standby position, in order to prevent the apex slit of the coating nozzle 1 from drying up during standby time. In addition, the volume of a space V formed by the coating nozzle 1 and the drying preventive cap 45, to the discharge nozzle surface area S of the slit 44, is set to be V≤3.5×S<SP>(3/2)</SP>. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は基板の表面に塗布液を均一に塗布するために用いられる塗布装置の中でも、水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布装置に関するものである。   The present invention relates to a coating apparatus having a strip-like slit extending in the horizontal direction, among coating apparatuses used for uniformly coating a coating liquid on the surface of a substrate.

高品位テレビジョン画像を大画面で表示するとともに低消費電力化を実現できるディスプレイ装置として、プラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と称す）を用いたディスプレイ装置への期待は高まっている。   As a display device capable of displaying a high-definition television image on a large screen and realizing low power consumption, there is an increasing expectation for a display device using a plasma display panel (hereinafter referred to as “PDP”).

ＰＤＰは、前面板と背面板とを対向配置して周辺部を封着部材によって封着した構造であり、前面板と背面板との間に形成された放電空間にはネオンおよびキセノンなどの放電ガスが封入されている。前面板は、ガラス基板の一方の面に形成された走査電極と維持電極とから成る表示電極対と、これらの電極を覆う誘電体層および保護層とを備えている。背面板は、ガラス基板に上記表示電極対と直交する方向にストライプ状に形成された複数のアドレス電極と、これらのアドレス電極を覆う下地誘電体層と、放電空間をアドレス電極毎に区画する隔壁と、隔壁の側面および下地誘電体層上に形成された赤色・緑色・青色の蛍光体層とを備えている。   The PDP has a structure in which a front plate and a back plate are arranged to face each other and a peripheral portion is sealed with a sealing member, and a discharge space such as neon or xenon is formed in a discharge space formed between the front plate and the back plate. Gas is sealed. The front plate includes a display electrode pair formed of a scan electrode and a sustain electrode formed on one surface of the glass substrate, and a dielectric layer and a protective layer covering these electrodes. The back plate includes a plurality of address electrodes formed in a stripe shape in a direction orthogonal to the display electrode pair on the glass substrate, a base dielectric layer covering these address electrodes, and a partition that partitions a discharge space for each address electrode And red, green, and blue phosphor layers formed on the side walls of the barrier ribs and the underlying dielectric layer.

表示電極対とアドレス電極とは直交していて、その交差部が放電セルになっている。これらの放電セルはマトリクス状に配列されており、表示電極対の方向に並ぶ赤色・緑色・青色の蛍光体層を有する３個の放電セルがカラー表示のための画素になる。このようなＰＤＰでは、順次、走査電極とアドレス電極間、および走査電極と維持電極間に所定の電圧が印加されてガス放電を発生させている。そして、かかるガス放電によって生じる紫外線で蛍光体層を励起して可視光を発光させ、カラー画像を表示している。   The display electrode pair and the address electrode are orthogonal to each other, and the intersection is a discharge cell. These discharge cells are arranged in a matrix, and three discharge cells having red, green, and blue phosphor layers arranged in the direction of the display electrode pair become pixels for color display. In such a PDP, a predetermined voltage is sequentially applied between the scan electrode and the address electrode and between the scan electrode and the sustain electrode to generate gas discharge. The phosphor layer is excited by ultraviolet rays generated by the gas discharge to emit visible light, and a color image is displayed.

近年では、ＰＤＰの高精細化に伴って放電セルの微細化が進んでいる。放電セルのサイズが小さくなると、発光輝度が低下し、消費電力が増大するという問題が発生する。これは開口率の減少、画素数の増加に伴う１画素当りの発光時間の減少、発光効率の低下などに起因する。発光輝度を高める方法として、背面板の隔壁の幅を細くすることにより開口率の増加を図る方法があるが、それだけでは発光輝度が依然不足しており、更なる改善が必要である。   In recent years, discharge cells have been miniaturized along with higher definition of PDPs. When the size of the discharge cell is reduced, there is a problem that the light emission luminance is reduced and the power consumption is increased. This is due to a decrease in aperture ratio, a decrease in light emission time per pixel accompanying an increase in the number of pixels, a decrease in light emission efficiency, and the like. As a method of increasing the light emission luminance, there is a method of increasing the aperture ratio by narrowing the width of the partition wall of the back plate. However, the light emission luminance is still insufficient, and further improvement is necessary.

発光輝度を高める他の方法として、前面板における誘電体の誘電率を下げて放電時の無効電力を低減し、発光効率を高める方法がある。現行のＰＤＰ製造方法では、前面板側の誘電体層の形成に際して、ガラス粉末と有機バインダと溶媒とを含むガラス材料を公知の方法を用いてガラス板上に塗布し、乾燥、脱バインダ、焼成の各工程を経て、平坦で透過度の高い誘電体層を形成している。しかしながら、現行の誘電体材料はガラス粉末を低温（５００〜６００℃）で溶融させるため、ガラスの融点を低下させる材料（一般的にはＢｉなど）を添加している。このような低融点ガラス材料は純度が低く、比誘電率が１０以上と高い。また、他の物質（一般的にアルカリ金属など）を添加することで比誘電率を低下させることも可能であるものの、ＰＤＰの電極には銀などの高導電性金属が主成分として用いられているので、イオンマイグレーションによる銀の拡散およびコロイド化が促進され、誘電体に黄変現象が発生する。これはＰＤＰの光学特性に対して悪影響を大きく及ぼす。   As another method for increasing the light emission luminance, there is a method for increasing the light emission efficiency by lowering the dielectric constant of the dielectric in the front plate to reduce reactive power during discharge. In the current PDP manufacturing method, when forming a dielectric layer on the front plate side, a glass material containing glass powder, an organic binder, and a solvent is applied onto the glass plate using a known method, and then dried, debindered, and baked. Through these steps, a flat and highly transparent dielectric layer is formed. However, since current dielectric materials melt glass powder at a low temperature (500 to 600 ° C.), a material that lowers the melting point of glass (generally Bi or the like) is added. Such a low-melting glass material has low purity and a high relative dielectric constant of 10 or more. In addition, although it is possible to lower the dielectric constant by adding other substances (generally alkali metals, etc.), the PDP electrode uses a highly conductive metal such as silver as a main component. Therefore, diffusion and colloidalization of silver by ion migration are promoted, and a yellowing phenomenon occurs in the dielectric. This greatly affects the optical properties of the PDP.

一方、高純度の酸化物誘電体層を形成することで低誘電率化を実現できることが知られている。上記高純度の酸化物誘電体層を形成する方法としては、固体酸化物を真空下でスパッタリングして基板に堆積させる方法（スパッタリング蒸着法）や、原料をプラズマにより分解し、堆積させる方法（化学蒸着法）などがあるが、いずれも高価な真空設備を必要とし、成膜レートが毎分数百μｍ程度と小さい。必要とする膜厚は絶縁耐圧などの関係上、一般的には１０μｍ以上は必要であり、生産性を高めながら誘電体層を形成するには設備台数が増えてしまうといった問題がある。   On the other hand, it is known that a low dielectric constant can be realized by forming a high-purity oxide dielectric layer. As a method of forming the high-purity oxide dielectric layer, a method of depositing a solid oxide on a substrate by sputtering in a vacuum (sputtering vapor deposition method) or a method of decomposing and depositing a raw material by plasma (chemical) However, all of them require expensive vacuum equipment, and the film forming rate is as low as several hundred μm per minute. The required film thickness is generally required to be 10 μm or more in terms of withstand voltage, etc., and there is a problem that the number of facilities increases in order to form a dielectric layer while improving productivity.

これに対して、構造内にケイ素に結合された酸素原子または架橋が可能な有機単量体で架橋された網目構造を有する有機ケイ素化合物を含む物質を水とアルコール等の混合溶媒に分散もしくは溶解させ、加水分解、重縮合を経て誘電体層を形成するゾルゲル法がある。例えば、特許文献２を参照。この方法では液体状態から製造されるため、スピンコーティング法、ディップコーティング法、バーコーティング法といった比較的安易な塗布工程によって塗布液を塗布しその後の乾燥工程等を経て膜を形成することができる。ＰＤＰなどの大面積の基板に均一に、かつ、生産性を考慮して塗布するためには、塗布幅方向に延びる塗布ノズル口を有するダイコーティング法が有利である。   In contrast, a substance containing an organic silicon compound having a network structure crosslinked with an oxygen atom bonded to silicon in the structure or an organic monomer capable of crosslinking is dispersed or dissolved in a mixed solvent such as water and alcohol. There is a sol-gel method in which a dielectric layer is formed through hydrolysis and polycondensation. See, for example, US Pat. Since this method is manufactured from a liquid state, a coating solution can be applied by a relatively easy application process such as a spin coating method, a dip coating method, or a bar coating method, and a film can be formed through a subsequent drying step. In order to apply uniformly to a large area substrate such as a PDP in consideration of productivity, a die coating method having an application nozzle port extending in the application width direction is advantageous.

しかしながら、上記ゾルゲル法は、蒸発等による溶媒量の減少等によって縮重合が進行することによる粘度等の塗布液の特性変化やゲル化が起こりやすく、塗布膜厚の均一性に影響を及ぼし、表示のムラなど商品、デバイスの品質を悪化させる可能性がある。そのために、上記塗布工程において溶媒蒸発防止の手段が必要となる。   However, the sol-gel method is prone to change in the properties of the coating liquid such as viscosity and gelation due to the progress of condensation polymerization due to a decrease in the amount of solvent due to evaporation, etc., and affects the uniformity of the coating film thickness. There is a possibility of deteriorating the quality of products and devices such as non-uniformity. Therefore, a means for preventing solvent evaporation is required in the coating process.

これに対処するために特許文献３には、図１１に示すように乾燥防止用キャップ１を回動軸２の回りに自在に回動し、塗布液槽３を有したノズル４のノズル先端５を閉塞可能に配置し、ノズル先端５を乾燥防止用キャップ１で閉塞することにより乾燥を防止する技術が記載されている。   In order to cope with this, in Patent Document 3, as shown in FIG. 11, the drying prevention cap 1 is freely rotated around the rotation shaft 2, and the nozzle tip 5 of the nozzle 4 having the coating liquid tank 3 is provided. Is described so that drying can be prevented by closing the nozzle tip 5 with the anti-drying cap 1.

また、ノズル先端に塗布液を付着させない方法として特許文献４には、図１２に示すように塗布ヘッド１５をキャッピングする乾燥防止用キャップ１１の内側に溶剤溜まり部１２を備えており、溶剤タンク１３からポンプ１４でこの溶剤溜まり部１２に溶剤を送り込み、乾燥防止用キャップ１１で塗布ヘッド１５をキャッピングした状態の乾燥防止用キャップ１１内の蒸気圧を上げて乾燥を防止する技術が記載されている。   As a method for preventing the coating liquid from adhering to the tip of the nozzle, Patent Document 4 includes a solvent reservoir 12 provided inside a drying prevention cap 11 for capping the coating head 15 as shown in FIG. Describes a technique in which the solvent is fed into the solvent reservoir 12 by a pump 14 and the vapor pressure in the anti-drying cap 11 in the state where the coating head 15 is capped by the anti-drying cap 11 is increased to prevent drying. .

特許文献５のインクジェット記録装置には、図１３に示すように休止状態中のインクジェット記録ヘッド２１のノズルプレート２２をキャッピングするために、インクジェット記録ヘッド２１の側の弾性部材２３に乾燥防止用キャップ２４を押し付けて気密性を向上させる技術が記載されている。   In the ink jet recording apparatus of Patent Document 5, as shown in FIG. 13, in order to capping the nozzle plate 22 of the ink jet recording head 21 in a resting state, a drying prevention cap 24 is provided on the elastic member 23 on the ink jet recording head 21 side. A technique for improving airtightness by pressing is described.

特開２００２−０５３３４２号公報JP 2002-053342 A 特開２００５−１０８６９１号公報JP 2005-108691 A 特開２０００−１４０７３５号公報JP 2000-140735 A 特開２０００−０４２４６８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2000-042468 特開２００３−００１８３９号公報JP 2003-001839 A

しかし、特許文献３では、ノズル先端５に塗布液が付着する可能性が高く、乾燥防止用キャップ１をノズル先端５から取り外した後、塗布開始までにノズル先端５を洗浄する工程を増やすことになる。   However, in Patent Document 3, there is a high possibility that the coating liquid adheres to the nozzle tip 5, and after removing the anti-drying cap 1 from the nozzle tip 5, the number of steps for cleaning the nozzle tip 5 before starting coating is increased. Become.

特許文献４では、溶剤雰囲気または溶剤の供給機構と乾燥防止用キャップ１１内の溶剤残量の管理手順が余分に必要となる。
特許文献５では、ＰＤＰのようなサイズの大きい基板に塗布するための塗布幅方向に長いノズルに対しては、密着性を高めるためにはノズルとキャップの相対的な位置や傾きのばらつきを考慮した対応が必要である。 In Patent Document 4, an extra management procedure for the solvent atmosphere or the solvent supply mechanism and the remaining amount of solvent in the drying prevention cap 11 is required.
In Patent Document 5, for a nozzle that is long in the coating width direction for coating on a large substrate such as a PDP, in order to improve adhesion, the relative position and inclination of the nozzle and cap are considered. It is necessary to respond.

本発明は、ノズル先端部での塗布液中の溶媒蒸発を確実に抑えて塗布液の粘度変化を軽減し、溶剤雰囲気または溶剤の供給をする必要のない簡便な乾燥防止機構を備えた塗布装置を提供することを目的とする。   The present invention provides a coating apparatus equipped with a simple drying prevention mechanism that reliably suppresses solvent evaporation in the coating liquid at the nozzle tip, reduces the viscosity change of the coating liquid, and does not require supply of solvent atmosphere or solvent. The purpose is to provide.

本発明の請求項１記載の塗布装置は、塗布ノズルの先端のスリットが待機中に乾燥しないように、待機位置に配置された乾燥防止用キャップの上に前記塗布ノズルの先端を乗せてキャッピングするよう構成された塗付装置であって、前記塗布ノズルと前記乾燥防止用キャップで形成される空間の容積：Ｖを、前記スリットの吐出口表面積Ｓに対してＶ ≦ ３．５×Ｓ^{（３／２）}に設定したことを特徴とする。 In the coating apparatus according to claim 1 of the present invention, the tip of the coating nozzle is placed on and capped on the anti-drying cap arranged at the standby position so that the slit at the tip of the coating nozzle does not dry during the standby. The volume of the space formed by the coating nozzle and the anti-drying cap: V is set to V ≦ 3.5 × S ^{(3 with} respect to the discharge port surface area S of the slit. ^{/ 2)} .

本発明の請求項２記載の塗布装置は、請求項１において、前記乾燥防止用キャップの前記塗布ノズルの先端の外側面と接触する接触部を弾性体で形成したことを特徴とする。
本発明の請求項３記載の塗布装置は、請求項２において、前記乾燥防止用キャップは、前記塗布ノズルの幅方向に複数に分割され前記塗布ノズルの先端を覆う複数の剛体キャップと、隣接する前記剛体キャップの間を接続する弾性体とを有していることを特徴とする。 The coating apparatus according to claim 2 of the present invention is characterized in that, in claim 1, the contact portion that contacts the outer surface of the tip of the coating nozzle of the drying prevention cap is formed of an elastic body.
According to a third aspect of the present invention, there is provided the coating apparatus according to the second aspect, wherein the drying prevention cap is adjacent to a plurality of rigid caps that are divided into a plurality in the width direction of the coating nozzle and cover the tip of the coating nozzle. And an elastic body connecting the rigid caps.

本発明の請求項４記載の塗布装置は、請求項２において、前記塗布ノズルの先端の外側面が先端に向かって細く形成され、前記乾燥防止用キャップの開口を内側に向かって狭くなる傾斜面に形成して、ステージに設けられた前記乾燥防止用キャップに前記塗布ノズルの先端を押し付けることによって前記乾燥防止用キャップが前記塗布ノズルの先端に追従して前記ステージの面に沿って移動するように構成したことを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the coating apparatus according to the second aspect, wherein the outer surface of the tip of the coating nozzle is formed narrower toward the tip and the opening of the anti-drying cap becomes narrower toward the inner side. The anti-drying cap moves along the surface of the stage following the tip of the application nozzle by pressing the tip of the application nozzle against the anti-drying cap provided on the stage. It is characterized by comprising.

本発明の請求項５記載の塗布装置は、請求項４において、前記ステージに対して前記乾燥防止用キャップを保持するハウジングを設け、前記乾燥防止用キャップと前記ハウジングの間に、小球とこの小球を押し出すバネを介装したことを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a coating apparatus according to the fourth aspect, wherein a housing for holding the anti-drying cap is provided on the stage, and a small sphere is disposed between the anti-drying cap and the housing. It is characterized by a spring that pushes out a small ball.

本発明の請求項６記載の塗布装置は、請求項４において、前記ステージと前記乾燥防止用キャップの裏面の間に、摩擦抵抗が小さくなるようにボールベアリングを介装したことを特徴とする。   A coating apparatus according to a sixth aspect of the present invention is characterized in that, in the fourth aspect, a ball bearing is interposed between the stage and the back surface of the drying prevention cap so as to reduce a frictional resistance.

本発明の請求項７記載の塗布装置は、請求項５において、前記ステージと前記乾燥防止用キャップの裏面の間に、摩擦抵抗が小さくなるように表面の摩擦係数が比較的小さい低摩擦部材を介装したことを特徴とする。   A coating apparatus according to a seventh aspect of the present invention is the coating apparatus according to the fifth aspect, wherein a low friction member having a relatively small surface friction coefficient is provided between the stage and the back surface of the anti-drying cap so as to reduce a frictional resistance. It is characterized by being interposed.

本発明の請求項８記載の塗布装置は、請求項５において、前記ステージと前記乾燥防止用キャップの裏面の間に、摩擦抵抗が小さくなるように潤滑剤を介装したことを特徴とする。   According to an eighth aspect of the present invention, there is provided the coating apparatus according to the fifth aspect, wherein a lubricant is interposed between the stage and the back surface of the drying prevention cap so as to reduce a frictional resistance.

本発明の請求項９記載の塗布装置は、請求項５において、前記ステージから前記乾燥防止用キャップの裏面に向けて、摩擦抵抗が小さくなるように気体を送り込むよう構成したことを特徴とする。   The coating apparatus according to claim 9 of the present invention is characterized in that, in claim 5, gas is fed from the stage toward the back surface of the drying prevention cap so that the frictional resistance is reduced.

この構成によれば、溶剤雰囲気または溶剤を供給する等の複雑な機構を用いることなく乾燥防止用キャップによるキャッピングのみで、塗布待機時における塗布液の粘度変化を抑えることができる。   According to this configuration, it is possible to suppress a change in the viscosity of the coating liquid during the coating standby without using a complicated mechanism such as a solvent atmosphere or supplying a solvent, only by capping with the drying prevention cap.

本発明の実施の形態１における塗布装置の外観正面図と外観側面図とＡ−ＡＡ断面図およびＢ−ＢＢ断面図The external appearance front view of the coating device in Embodiment 1 of this invention, an external appearance side view, A-AA sectional drawing, and B-BB sectional drawing 同実施の形態における塗布装置の乾燥防止用キャップの構成断面図Cross-sectional view of the configuration of the cap for preventing drying of the coating apparatus in the embodiment ＰＤＰの誘電体膜厚の面内ばらつきに対する点灯電圧のばらつきを表した特性図Characteristic diagram showing variation in lighting voltage with respect to in-plane variation in dielectric film thickness of PDP 塗布液の粘度変化と密閉容器容積比の相関を求める実験の構成図と塗布液の粘度変化と密閉容器容積比の相関を表した特性図Configuration diagram of the experiment for determining the correlation between the change in viscosity of the coating liquid and the volume ratio of the closed container, and the characteristic diagram showing the correlation between the change in viscosity of the coating liquid and the volume ratio of the closed container 本発明の実施の形態１における塗布時の塗布ノズル位置と、掻き取り時の塗布ノズル位置、および待機時の塗布ノズル位置を示す説明図Explanatory drawing which shows the application nozzle position at the time of application | coating in Embodiment 1 of this invention, the application nozzle position at the time of scraping, and the application nozzle position at the time of standby 本発明の実施の形態１における乾燥防止用キャップの位置ずれ補正の説明図Explanatory drawing of position shift correction | amendment of the cap for drying prevention in Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態２における塗布装置の乾燥防止用キャップの断面図Sectional drawing of the cap for drying prevention of the coating device in Embodiment 2 of this invention 本発明の実施の形態３における塗布装置の乾燥防止用キャップの断面図Sectional drawing of the cap for drying prevention of the coating device in Embodiment 3 of this invention 本発明の実施の形態４における塗布装置の乾燥防止用キャップの断面図Sectional drawing of the cap for drying prevention of the coating device in Embodiment 4 of this invention 本発明の実施の形態５における塗布装置の乾燥防止用キャップの斜視図と断面図The perspective view and sectional drawing of the cap for drying prevention of the coating device in Embodiment 5 of this invention 特許文献３に記載された塗布装置の構成図Configuration diagram of coating apparatus described in Patent Document 3 特許文献４に記載された塗布装置の構成図Configuration diagram of coating apparatus described in Patent Document 4 特許文献５に記載された塗布装置の構成図Configuration diagram of coating apparatus described in Patent Document 5

以下、本発明の塗布装置を各実施の形態に基づいて説明する。
（実施の形態１）
図１〜図６は本発明の実施の形態１を示す。 Hereinafter, the coating apparatus of this invention is demonstrated based on each embodiment.
(Embodiment 1)
1 to 6 show Embodiment 1 of the present invention.

図５は塗布装置を示している。
塗布装置は、塗布ノズル４１と、塗布対象のガラス基板５２を吸着保持するステージ４８を有している。ステージ４８の上には、塗布位置Ａと待機位置Ｂおよび塗布位置Ａと待機位置Ｂの間に洗浄位置Ｃが形成されている。 FIG. 5 shows a coating apparatus.
The coating apparatus includes a coating nozzle 41 and a stage 48 that holds the glass substrate 52 to be coated by suction. On the stage 48, a cleaning position C is formed between the application position A and the standby position B and between the application position A and the standby position B.

塗布位置Ａに吸着保持されたガラス基板５２は、塗布ノズル４１によって塗布液の塗布を受ける。待機しようとする塗布ノズル４１の先端は、矢印ＡＣで示すように塗布位置Ａから先ず洗浄位置Ｃに移動して、洗浄位置Ｃにおいて掻き取りベラ５３によって洗浄される。その後に、矢印ＣＢで示すように塗布ノズル４１が洗浄位置Ｃから待機位置Ｂに移動して、待機位置Ｂにおいて塗布ノズル４１の先端を乾燥防止用キャップ４５の上に乗せてキャッピングする。   The glass substrate 52 sucked and held at the application position A is applied with the application liquid by the application nozzle 41. The tip of the application nozzle 41 that is to wait is first moved from the application position A to the cleaning position C as indicated by an arrow AC, and is cleaned by the scraping spatula 53 at the cleaning position C. Thereafter, the coating nozzle 41 moves from the cleaning position C to the standby position B as indicated by an arrow CB, and the tip of the coating nozzle 41 is placed on the drying prevention cap 45 at the standby position B and capped.

掻き取りベラ５３は駆動装置（図示せず）によって紙面直角方向に移動できる機構になっている。塗布ノズル４１と乾燥防止用キャップ４５は図１，図２，図６に示すように構成されている。   The scraping spatula 53 is a mechanism that can be moved in a direction perpendicular to the paper surface by a driving device (not shown). The coating nozzle 41 and the anti-drying cap 45 are configured as shown in FIGS.

図１は待機位置Ｂにおける塗布ノズル４１と乾燥防止用キャップ４５を示している。
塗布ノズル４１は、供給口４２から図示しない塗布液タンク、供給ポンプ等で構成される供給システムに接続されている。塗布ノズル４１の内部にはマニホールド４３、スリット４４が形成されている。乾燥防止用キャップ４５は、塗布ノズル４１の幅方向の長さよりも長く、塗布ノズル４１と接触する部分（ノズル全周）に弾性体４６が設置されている。 FIG. 1 shows the coating nozzle 41 and the anti-drying cap 45 in the standby position B.
The application nozzle 41 is connected from a supply port 42 to a supply system including an application liquid tank (not shown), a supply pump, and the like. A manifold 43 and a slit 44 are formed inside the coating nozzle 41. The cap 45 for drying prevention is longer than the length in the width direction of the application nozzle 41, and an elastic body 46 is installed in a portion (nozzle entire circumference) in contact with the application nozzle 41.

図２は図１（ｃ）の乾燥防止用キャップ４５の詳細拡大図である。
乾燥防止用キャップ４５はボールベアリング４７を介してステージ４８の上に設けられており、水平方向に移動可能に構成されている。また、乾燥防止用キャップ４５は両側からハウジング４９に囲われており、ハウジング４９内にはバネ５０に接続された小球５１が乾燥防止用キャップ４５の水平になっている上面に設置されて乾燥防止用キャップ４５を左右位置で鉛直方向に押し付けている。 FIG. 2 is a detailed enlarged view of the drying prevention cap 45 of FIG.
The anti-drying cap 45 is provided on the stage 48 via a ball bearing 47, and is configured to be movable in the horizontal direction. Further, the drying prevention cap 45 is surrounded by the housing 49 from both sides, and a small ball 51 connected to the spring 50 is installed on the horizontal upper surface of the drying prevention cap 45 in the housing 49 and dried. The prevention cap 45 is pressed in the vertical direction at the left and right positions.

図５に示す塗布ノズル４１の動きとともに、乾燥防止用キャップ４５の構造を図６に基づいて詳細に説明する。
塗布位置Ａでは、紙面右側に塗布ノズル４１が移動しながら供給口４２に塗布液が供給され、マニホールド４３内で幅方向に均圧化されてスリット４４から紙面下方向に吐出されガラス基板５２に塗布される。 Along with the movement of the coating nozzle 41 shown in FIG. 5, the structure of the drying prevention cap 45 will be described in detail with reference to FIG.
At the application position A, the application liquid is supplied to the supply port 42 while the application nozzle 41 moves to the right side of the paper surface, the pressure is equalized in the width direction in the manifold 43 and discharged downward from the paper surface through the slit 44 to the glass substrate 52. Applied.

塗布が終了後または塗布終了と同時に障害物を避け安全に移動させるため、矢印ＡＣに示すように塗布ノズル４１を上昇させ、洗浄位置Ｃまで移動させ適切な位置にまで降下させることによって、掻き取りベラ５３が塗布ノズル４１の先端を洗浄する。このときロール洗浄機など他の手段を用いた洗浄機構でも構わない。   In order to avoid obstacles and move safely after the application is completed or at the same time as the application is completed, the application nozzle 41 is raised as shown by the arrow AC, moved to the cleaning position C, and lowered to an appropriate position. The spatula 53 cleans the tip of the application nozzle 41. At this time, a cleaning mechanism using other means such as a roll cleaner may be used.

掻き取り完了後、塗布が完了したガラス基板の搬出と新たなガラス基板の設置など次の塗布までの時間、矢印ＣＢに示すように塗布ノズル４１は一旦上昇して待機位置Ｂに移動し、図２に示すように乾燥防止用キャップ４５に密着するまで降下する。次の塗布準備が完了すると塗布ノズル４１は待機位置Ｂから上昇し塗布位置Ａの塗布開始位置まで移動する。   After the completion of scraping, the coating nozzle 41 once rises and moves to the standby position B as shown by the arrow CB during the time until the next coating such as unloading of the coated glass substrate and installation of a new glass substrate. As shown in FIG. 2, it descends until it comes into close contact with the cap 45 for drying prevention. When the next application preparation is completed, the application nozzle 41 moves up from the standby position B and moves to the application start position of the application position A.

ここで、塗布ノズル４１の先端の外側の形状が先端に近づくに伴って細くなる傾斜面４１Ｃで形成されているため、乾燥防止用キャップ４５の入口は、塗布ノズル４１の傾斜面４１Ｃに対応する辺の一部が、内側に向かって開口幅が狭くなる傾斜面４５Ｃに形成されている。このように乾燥防止用キャップ４５の入口に傾斜面４５Ｃが形成されているため、塗布ノズル４１を乾燥防止用キャップ４５に向かって降下させて行ったときに、図６（ａ）に示すように塗布ノズル４１の中心ｘ１と乾燥防止用キャップ４５の中心ｘ２がずれていた場合でも、塗布ノズル４１が乾燥防止用キャップ４５に接することで乾燥防止用キャップ４５に水平方向の力が働き、乾燥防止用キャップ裏面のボールベアリング４７によって乾燥防止用キャップ４５がズレを補正する方向（図６の場合は紙面に対して右方向）に移動する。   Here, since the outer shape of the tip of the application nozzle 41 is formed by an inclined surface 41C that becomes thinner as it approaches the tip, the entrance of the drying prevention cap 45 corresponds to the inclined surface 41C of the application nozzle 41. A part of the side is formed on an inclined surface 45C whose opening width becomes narrower toward the inside. Since the inclined surface 45C is formed at the inlet of the anti-drying cap 45 as described above, when the coating nozzle 41 is lowered toward the anti-drying cap 45, as shown in FIG. Even when the center x1 of the coating nozzle 41 and the center x2 of the anti-drying cap 45 are deviated, the horizontal force acts on the anti-drying cap 45 by the application nozzle 41 coming into contact with the anti-drying cap 45, thereby preventing the drying. The anti-drying cap 45 is moved in the direction of correcting the deviation (in the case of FIG. 6, rightward with respect to the paper surface) by the ball bearing 47 on the back surface of the cap.

そして図６（ｂ）のように乾燥防止用キャップ４５の中心ｘ２が塗布ノズル４１の中心ｘ１と一致して、塗布ノズル外側傾斜面と乾燥防止用キャップの内側傾斜面が合致し、弾性体４６によって密着する。   As shown in FIG. 6B, the center x2 of the drying prevention cap 45 coincides with the center x1 of the coating nozzle 41, the coating nozzle outer inclined surface matches the inner inclined surface of the drying prevention cap, and the elastic body 46. Adhere by.

さらに図６（ｃ）に示すように、塗布ノズル４１が上昇しても、ハウジング４９に備えられた小球５１がバネ５０で乾燥防止用キャップ４５に押し付けられ、その摩擦抵抗により乾燥防止用キャップ４５は動かずその位置を保つことができる。   Further, as shown in FIG. 6C, even when the application nozzle 41 is raised, the small sphere 51 provided in the housing 49 is pressed against the drying prevention cap 45 by the spring 50, and the anti-drying cap is caused by the frictional resistance. 45 can keep its position without moving.

この具体的な構成によると、塗布ノズル４１の塗布、掻き取り、待機の位置制御はその繰り返しの中で誤差は極わずか（０．１ｍｍ以下）であり、再度塗布動作を完了し塗布ノズル４１が待機位置に戻ってきた際、乾燥防止用キャップ４５との位置ズレを起こすことなくキャッピングの密閉度を上げることが可能となる。また、塗布ノズルの幅方向においても同様の効果が得られる。   According to this specific configuration, the position control of application, scraping, and standby of the application nozzle 41 has an extremely small error (0.1 mm or less) during the repetition, and the application operation is completed again. When returning to the standby position, it becomes possible to increase the sealing degree of the capping without causing a positional shift with the drying prevention cap 45. The same effect can be obtained in the width direction of the application nozzle.

また、この具体的な構成によると、塗布ノズル４１の水平面内の回転誤差が生じた場合でもそれに応じて乾燥防止用キャップ４５が回転し同様に密着させることができる。すなわち、本実施の形態では、塗布ノズル４１と乾燥防止用キャップ４５のいかなる位置誤差も自動補正しキャッピングの機密性を上げることができる。   Further, according to this specific configuration, even when a rotation error in the horizontal plane of the application nozzle 41 occurs, the drying prevention cap 45 can be rotated and brought into close contact with the rotation error accordingly. In other words, in this embodiment, any positional error between the coating nozzle 41 and the drying prevention cap 45 can be automatically corrected to increase the capping confidentiality.

図６（ｂ）のように塗布ノズル４１の先端が乾燥防止用キャップ４５によってキャッピングされた状態では、塗布ノズル４１の先端と乾燥防止用キャップ４５の底部４５ａとのクリアランスＬと、塗布ノズル１と乾燥防止用キャップ４５で形成される空間の容積Ｖは、次のように設定されている。   In the state where the tip of the application nozzle 41 is capped by the anti-drying cap 45 as shown in FIG. 6B, the clearance L between the tip of the application nozzle 41 and the bottom 45a of the anti-drying cap 45, the application nozzle 1, The volume V of the space formed by the anti-drying cap 45 is set as follows.

塗布ノズル１と乾燥防止用キャップ４５で形成される空間の容積Ｖは、塗布ノズル１のスリット４４の先端の開口表面積Ｓに対して
Ｖ ≦ ３．５ × Ｓ^{（３／２）} ・・・・・・（１）
の関係が成り立っている。 The volume V of the space formed by the coating nozzle 1 and the anti-drying cap 45 is V ≦ 3.5 × S ^{(3/2) with} respect to the opening surface area S at the tip of the slit 44 of the coating nozzle 1. (1)
The relationship is established.

式（１）はノズル先端部での塗布液の粘度変化が、デバイス特性から求まる誘電体膜厚ばらつきの許容範囲を満足するように導出されている。ここで式（１）を導出した経緯について図３、図４を用いて説明する。   Expression (1) is derived so that the change in viscosity of the coating liquid at the nozzle tip satisfies the allowable range of dielectric film thickness variation obtained from the device characteristics. Here, the process of deriving the equation (1) will be described with reference to FIGS.

図３はＰＤＰの誘電体膜厚の面内ばらつきに対する点灯電圧のばらつきを示したグラフであり、横軸は誘電体の面内平均膜厚と観察点における誘電体膜厚の膜厚比を、縦軸は観察点における点灯電圧と全面点灯電圧の差を示している。図３において、破線Ａよりも膜厚比が小さい領域（グラフの左側）と破線Ｂよりも膜厚比の大きい領域（グラフの右側）では膜厚比に対する点灯電圧差が大きく、膜厚ばらつきによって点灯電圧が大きく異なり表示画像のムラにつながる。逆に破線Ａと破線Ｂの間では傾きが緩やかでありほとんど点灯電圧差がなく画像品質が保たれる。すなわち破線Ａと破線Ｂの間の膜厚比±４％が許容される膜厚ばらつきである。スリットの流路抵抗は粘度に比例するため幅方向に粘度差がある場合、粘度に反比例して流量が変化し膜厚のばらつきが生じる。すなわち、許容される膜厚比が±４％ならば、許容される粘度比も±４％である。   FIG. 3 is a graph showing the variation of the lighting voltage with respect to the in-plane variation of the dielectric film thickness of the PDP, and the horizontal axis represents the ratio of the dielectric film thickness at the observation point to the average film thickness in the plane. The vertical axis represents the difference between the lighting voltage at the observation point and the entire lighting voltage. In FIG. 3, the lighting voltage difference with respect to the film thickness ratio is large in the region where the film thickness ratio is smaller than the broken line A (left side of the graph) and the region where the film thickness ratio is larger than the broken line B (right side of the graph). The lighting voltage varies greatly, leading to unevenness in the displayed image. Conversely, the slope between the broken line A and the broken line B is gentle, and there is almost no difference in lighting voltage, so that the image quality is maintained. That is, the allowable film thickness variation is ± 4% between the broken line A and the broken line B. Since the flow resistance of the slit is proportional to the viscosity, if there is a viscosity difference in the width direction, the flow rate changes in inverse proportion to the viscosity, resulting in variations in film thickness. That is, if the allowable film thickness ratio is ± 4%, the allowable viscosity ratio is also ± 4%.

次に、粘度変化が得られた許容値以下になる密閉空間について示す。図４（ａ）に実験装置を示す。図４（ａ）において、ゾルゲル法を用いて誘電体膜を形成する塗布液３１を受け皿３２に入れ容器３３で蓋をし、その時の塗布液３１の表面の粘度の変化を測定する。図４（ｂ）は本測定で得られた塗布液の粘度変化と密閉容器の容積との関係のグラフである。横軸は図４（ａ）において塗布液３１の表面積Ｓと容器３３の容積ＶとしたときＶ／（Ｓ^{（３／２）}）で表される容積比であり、縦軸は図４（ａ）における塗布液３１の表面付近の設置前の粘度を１としたときの２４時間後の粘度変化比を表したものである。図４（ｂ）において上記粘度変化の許容値は太線Ｃになり、粘度変化比が太線Ｃ以下になれば所定の画像品質が保たれることになる。 Next, the sealed space where the viscosity change is less than the obtained allowable value will be described. FIG. 4A shows an experimental apparatus. In FIG. 4A, a coating liquid 31 for forming a dielectric film is received in a receiving pan 32 using a sol-gel method, and the container 33 is covered with a container 33, and the change in the viscosity of the surface of the coating liquid 31 at that time is measured. FIG. 4B is a graph showing the relationship between the change in the viscosity of the coating solution obtained in this measurement and the volume of the sealed container. The horizontal axis is a volume ratio represented by V / (S ^(3/2) ) when the surface area S of the coating liquid 31 and the volume V of the container 33 are shown in FIG. 4A, and the vertical axis is FIG. The viscosity change ratio after 24 hours when the viscosity of the coating solution 31 in the vicinity of the surface in FIG. In FIG. 4B, the allowable value of the viscosity change is a thick line C. When the viscosity change ratio is equal to or less than the thick line C, a predetermined image quality is maintained.

従って、太線Ｃと粘度変化曲線が交わる破線Ｄで示される容積比が粘度変化の許容値を満足する容積の限界となり、その値は“３．５”である。例えば、塗布装置のスリットクリアランスが０．３ｍｍ、塗布幅が５００ｍｍとした場合、塗布液の表面積は１５０ｍｍ^２となり、塗布液表面を塞ぐ空間容積の許容値は６４３０ｍｍ^３となる。これは断面積にして１２．８ｍｍ^２であり、例えば幅３ｍｍ、深さ４．３ｍｍの形状となり非常に小さいものとなる。 Therefore, the volume ratio indicated by the broken line D where the thick line C intersects the viscosity change curve becomes the limit of the volume that satisfies the allowable value of the viscosity change, and the value is “3.5”. For example, when the slit clearance of the coating apparatus is 0.3 mm and the coating width is 500 mm, the surface area of the coating liquid is 150 mm ^{2 and} the allowable value of the space volume that blocks the coating liquid surface is 6430 mm ³ . This has a cross-sectional area of 12.8 mm ² , for example, a shape having a width of 3 mm and a depth of 4.3 mm, which is very small.

さらに、塗布ノズル４１と乾燥防止用キャップ４５で形成される空間を式（１）が満足する容積にしているため前記課題に示した理由からノズル先端の塗布液の粘度変化を±４％以下にすることができ、膜厚ばらつきを許容範囲内に抑えることが可能となる。   Further, since the space formed by the coating nozzle 41 and the anti-drying cap 45 has a volume satisfying the formula (1), the change in the viscosity of the coating liquid at the nozzle tip is ± 4% or less for the reason shown in the above problem. It is possible to suppress the film thickness variation within an allowable range.

さらに、塗布ノズルリップ面４１ａと乾燥防止用キャップ底面４５ａのクリアランスＬが次のように設定されている。
塗布ノズル４１のリップ面４１ａからはみ出す塗布液の形状は、自重や内部圧力と表面張力のバランスを鑑みると半円状よりも大きくはみ出ることはない。すなわち、スリット４４の幅寸法を“ｄ”とした場合、塗布ノズルリップ面４１ａからの塗布液のはみ出しは半円状（ｄ／２）が最大となる。そのため、クリアランスＬを（ｄ／２）より大きく設定した。このようにクリアランスＬを設定することによって、掻き取り動作後、スリット４４の開口端から塗布液の自重や塗布ノズル内の残圧等により塗布ノズルリップ面４１ａからはみ出た塗布液が乾燥防止用キャップの底面４５ａに付着することがない。そのため、塗布ノズルリップ面４１ａの塗布液面が汚れることがないので塗布時に良好な膜形状を得ることができる。 Further, the clearance L between the coating nozzle lip surface 41a and the drying prevention cap bottom surface 45a is set as follows.
The shape of the coating liquid that protrudes from the lip surface 41a of the coating nozzle 41 does not protrude larger than the semicircular shape in view of its own weight or the balance between internal pressure and surface tension. That is, when the width dimension of the slit 44 is “d”, the protrusion of the coating liquid from the coating nozzle lip surface 41a is maximum in a semicircular shape (d / 2). Therefore, the clearance L is set larger than (d / 2). By setting the clearance L in this way, after the scraping operation, the coating liquid that protrudes from the coating nozzle lip surface 41a from the opening end of the slit 44 due to its own weight, the residual pressure in the coating nozzle, or the like is prevented from drying. It does not adhere to the bottom surface 45a. Therefore, since the coating liquid surface of the coating nozzle lip surface 41a is not soiled, a good film shape can be obtained during coating.

（実施の形態２）
図７は本発明の実施の形態２を示す。
図７において、図２に示す実施の形態１のボールベアリング４７の代わりに乾燥防止用キャップ４５の裏面および乾燥防止用キャップ４５が接するステージ４８の表面に低摩擦部材５４が貼り付けられている点だけが、実施の形態１とは異なっている。その他は実施の形態１と同じである。 (Embodiment 2)
FIG. 7 shows a second embodiment of the present invention.
7, the low friction member 54 is attached to the back surface of the anti-drying cap 45 and the surface of the stage 48 that is in contact with the anti-drying cap 45 instead of the ball bearing 47 of the first embodiment shown in FIG. However, this is different from the first embodiment. The rest is the same as in the first embodiment.

この構成によると、塗布待機時に塗布ノズル４１が乾燥防止用キャップ４５に押し付けられて乾燥防止用キャップ４５に水平方向の力が働いたときに、低摩擦部材５４の作用によって抵抗を実施の形態１の場合よりも小さくすることができ、乾燥防止用キャップ４５が実施の形態１の場合よりも小さい力で移動するので、塗布ノズル４１との位置合わせが迅速に、より正確に行える。   According to this configuration, when the application nozzle 41 is pressed against the anti-drying cap 45 during application standby and a horizontal force acts on the anti-drying cap 45, the resistance is caused by the action of the low friction member 54. Since the drying prevention cap 45 moves with a smaller force than in the first embodiment, the positioning with the application nozzle 41 can be performed quickly and more accurately.

なお、低摩擦部材５４は乾燥防止用キャップ側、ステージ側いずれかに貼り付けられた場合でも効果を発揮するが、両方に貼り付ける方が望ましい。
また、実施の形態１と同様に乾燥防止用キャップにより密閉空間が形成されているためリップ先端の塗布液の粘度変化が小さく、かつ、汚れが発生しないため、膜厚が均一で良好な膜形状が得られる。 The low friction member 54 is effective even when it is attached to either the drying prevention cap side or the stage side, but it is desirable to attach the low friction member 54 to both.
In addition, since the sealed space is formed by the anti-drying cap as in the first embodiment, the change in the viscosity of the coating liquid at the tip of the lip is small, and no contamination occurs, so the film thickness is uniform and the film shape is good. Is obtained.

（実施の形態３）
図８は本発明の実施の形態３を示す。
図２に示す実施の形態１では、ステージ４８の表面と乾燥防止用キャップ４５の間にボールベアリング４７を設けて乾燥防止用キャップ４５が移動しやすいように構成していたが、この図８では、ボールベアリング４７の代わりに乾燥防止用キャップ４５とステージ４８の表面の間に潤滑剤５５を設けている点だけが、実施の形態１とは異なっている。その他は実施の形態１と同じである。 (Embodiment 3)
FIG. 8 shows a third embodiment of the present invention.
In the first embodiment shown in FIG. 2, the ball bearing 47 is provided between the surface of the stage 48 and the anti-drying cap 45 so that the anti-drying cap 45 moves easily. The only difference from the first embodiment is that a lubricant 55 is provided between the surface of the drying prevention cap 45 and the stage 48 instead of the ball bearing 47. The rest is the same as in the first embodiment.

この構成によると、塗布待機時に塗布ノズル４１が乾燥防止用キャップ４５に押し付けられ乾燥防止用キャップ４５に水平方向の力が働いたとき、潤滑剤５５の作用によって実施の形態１の場合よりも抵抗を小さくすることができ、乾燥防止用キャップ４５が実施の形態１の場合よりも小さい力で移動して、塗布ノズル４１との位置合わせが迅速に、より正確に行える。   According to this configuration, when the application nozzle 41 is pressed against the anti-drying cap 45 during application standby and a horizontal force is applied to the anti-drying cap 45, the resistance of the lubricant 55 is greater than in the case of the first embodiment. The anti-drying cap 45 moves with a smaller force than in the first embodiment, and the positioning with the application nozzle 41 can be performed quickly and more accurately.

また、実施の形態１と同様に乾燥防止用キャップにより密閉空間が形成されているためリップ先端の塗布液の粘度変化が小さく、かつ、汚れが発生しないため、膜厚が均一で良好な膜形状が得られる。   In addition, since the sealed space is formed by the anti-drying cap as in the first embodiment, the change in the viscosity of the coating liquid at the tip of the lip is small, and no contamination occurs, so the film thickness is uniform and the film shape is good. Is obtained.

（実施の形態４）
図９は本発明の実施の形態４を示す。
図２に示す実施の形態１では、ステージ４８の表面と乾燥防止用キャップ４５の間にボールベアリング４７を設けて乾燥防止用キャップ４５が移動しやすいように構成していたが、この図９では、図２に示す実施の形態１のボールベアリング４７の代わりに送風孔５６、圧縮ポンプ５７、配管５８を形成して乾燥防止用キャップ４５を浮上させる機構以外は実施の形態１と同様の構造である。 (Embodiment 4)
FIG. 9 shows a fourth embodiment of the present invention.
In the first embodiment shown in FIG. 2, the ball bearing 47 is provided between the surface of the stage 48 and the anti-drying cap 45 so that the anti-drying cap 45 moves easily. The structure is the same as that of the first embodiment except that the air bearing 56, the compression pump 57, and the pipe 58 are formed instead of the ball bearing 47 of the first embodiment shown in FIG. is there.

ステージ４の表面で開口した送風孔５６は、乾燥防止用キャップ４５とステージ４８の隙間に塗布ノズルの厚み方向（紙面の左右方向）と塗布ノズルの幅方向（紙面の直角方法）それぞれに複数個が開通し、圧縮ポンプ５７に接続された配管５８に繋がっている。圧縮ポンプ５７によって送り出された気体としての空気は配管５８を通って送風孔５６に送られ、送風孔５６から乾燥防止用キャップ４５とステージ４８の隙間に送られて乾燥防止用キャップ４５を浮上させ、乾燥防止用キャップ４５を水平方向に移動可能としている。   A plurality of air holes 56 opened on the surface of the stage 4 are provided in the gap between the drying prevention cap 45 and the stage 48 in the thickness direction of the coating nozzle (left and right direction of the paper surface) and in the width direction of the coating nozzle (a method of perpendicularly crossing the paper surface) Is connected to a pipe 58 connected to the compression pump 57. The air as the gas sent out by the compression pump 57 is sent to the blower hole 56 through the pipe 58 and sent from the blower hole 56 to the gap between the anti-drying cap 45 and the stage 48 to lift the anti-drying cap 45. The drying prevention cap 45 is movable in the horizontal direction.

このように構成したため、実施の形態１と同様に塗布待機時に塗布ノズル４１が乾燥防止用キャップ４５に押し付けられ乾燥防止用キャップ４５に水平方向の力が働いたとき、送風孔５６から出される空気によって乾燥防止用キャップ４５が移動し、塗布ノズル４１との位置合わせが自動的になされる。また、乾燥防止用キャップ４５が実施の形態１の場合よりも小さい力で移動して、塗布ノズル４１との位置合わせが迅速に、より正確に行える。   Since it is configured in this manner, as in the first embodiment, when the application nozzle 41 is pressed against the anti-drying cap 45 during application standby and a horizontal force is applied to the anti-drying cap 45, the air emitted from the blower holes 56 As a result, the anti-drying cap 45 is moved and the alignment with the coating nozzle 41 is automatically performed. Further, the anti-drying cap 45 moves with a smaller force than in the first embodiment, and the positioning with the application nozzle 41 can be performed quickly and more accurately.

また、実施の形態１と同様に乾燥防止用キャップにより密閉空間が形成されているためリップ先端の塗布液の粘度変化が小さく、かつ、汚れが発生しないため、膜厚が均一で良好な膜形状が得られる。   In addition, since the sealed space is formed by the anti-drying cap as in the first embodiment, the change in the viscosity of the coating liquid at the tip of the lip is small, and no contamination occurs, so the film thickness is uniform and the film shape is good. Is obtained.

（実施の形態５）
図１０は本発明の実施の形態５を示す。
図１０（ａ）は乾燥防止用キャップの斜視図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）に示す面Ａにおける断面図である。 (Embodiment 5)
FIG. 10 shows a fifth embodiment of the present invention.
FIG. 10A is a perspective view of the anti-drying cap, and FIG. 10B is a cross-sectional view of the surface A shown in FIG.

図１０（ａ）において、乾燥防止用キャップ４５は、塗布ノズル４１の幅方向に複数に分割された複数の剛体キャップ４５ｂに沿うように内側に傾斜面４５ｃが形成されている。隣接する剛体キャップ４５ｂの間は、複数の剛体キャップ４５ｂで共通の弾性体４６によって連結されている。弾性体４６は剛体キャップ４５ｂの傾斜面４５ｃに沿って設けられるとともに、図１０（ｂ）に示すように弾性体４６は分割された剛体キャップ４５ｂの内側面を覆っている。   In FIG. 10A, the drying prevention cap 45 has an inclined surface 45 c formed inside along a plurality of rigid caps 45 b divided in the width direction of the application nozzle 41. Adjacent rigid caps 45b are connected by a common elastic body 46 with a plurality of rigid caps 45b. The elastic body 46 is provided along the inclined surface 45c of the rigid cap 45b, and the elastic body 46 covers the inner surface of the divided rigid cap 45b as shown in FIG. 10B.

本実施の形態では、塗布ノズル４１と乾燥防止用キャップ４５で形成される空間の構成、塗布工程および塗布ノズルの動作については上記の各実施の形態と同様である。
このよう構成したため、塗布ノズル４１が例えば幅方向に僅かだけ弓形に曲がりが発生していても、塗布ノズル４１が塗布待機時に乾燥防止用キャップ４５に降下してきたとき、剛体キャップ４５ｂが幅方向に分割されているので各々の剛体がノズル側面に沿って密着し、弾性体４６ａによって密閉度を上げることができる。 In the present embodiment, the configuration of the space formed by the coating nozzle 41 and the anti-drying cap 45, the coating process, and the operation of the coating nozzle are the same as those in the above embodiments.
Due to such a configuration, even when the coating nozzle 41 is bent slightly in the shape of a bow in the width direction, for example, when the coating nozzle 41 descends to the cap 45 for drying prevention during coating standby, the rigid cap 45b is moved in the width direction. Since it is divided, each rigid body adheres along the side surface of the nozzle, and the sealing degree can be increased by the elastic body 46a.

さらに、この構成においては乾燥防止用キャップ４５を、塗布ノズル４１の幅方向に複数の剛体キャップ４５ｂに分割しているので、塗布ノズル４１の幅方向に一体の乾燥防止用キャップの場合に比べて個々の剛体キャップ４５ｂが移動しやすく、実施の形態１〜４のように乾燥防止用キャップの裏面の摩擦抵抗を大きく低減する工夫がなくとも移動が可能である。もちろん、実施の形態１〜４のようなボールベアリングや低摩擦部材、潤滑剤、気体の送風の機構などを設置してもよい。   Further, in this configuration, the drying prevention cap 45 is divided into a plurality of rigid caps 45b in the width direction of the coating nozzle 41, so that compared to the case of the drying prevention cap integrated in the width direction of the coating nozzle 41. The individual rigid caps 45b are easy to move, and can be moved without the need to greatly reduce the frictional resistance of the back surface of the anti-drying cap as in the first to fourth embodiments. Of course, a ball bearing, a low friction member, a lubricant, a gas blowing mechanism, or the like as in the first to fourth embodiments may be installed.

この作用から実施の形態１と同様に乾燥防止用キャップによる密閉空間の気密性が向上し、リップ先端の塗布液の粘度変化が小さく、かつ、汚れが発生しないため、膜厚が均一で良好な膜形状が得られる。   Because of this action, the airtightness of the sealed space is improved by the anti-drying cap as in the first embodiment, the change in the viscosity of the coating solution at the tip of the lip is small, and no contamination occurs, so the film thickness is uniform and good. A film shape is obtained.

本発明は、乾燥防止用キャップの密着性を確実に向上させ塗布液の密度等の特性変化を最小限に抑えることができ、大版基板を使用するＰＤＰ等のような各種のディスプレイの量産化に寄与できる。   The present invention reliably improves the adhesion of the anti-drying cap, minimizes changes in properties such as the density of the coating solution, and mass-produces various displays such as PDPs using large plates. Can contribute.

４１ 塗布ノズル
４１ａ リップ面
４４ スリット
４５ 乾燥防止用キャップ
４５ｂ 剛体キャップ
４６ 弾性体
４７ ボールベアリング
５０ バネ
５１ 小球
５４ 低摩擦部材
５５ 潤滑剤
５６ 送風孔 41 Coating nozzle 41a Lip surface 44 Slit 45 Drying prevention cap 45b Rigid cap 46 Elastic body 47 Ball bearing 50 Spring 51 Small ball 54 Low friction member 55 Lubricant 56 Blower hole

Claims (9)

塗布ノズルの先端のスリットが待機中に乾燥しないように、待機位置に配置された乾燥防止用キャップの上に前記塗布ノズルの先端を乗せてキャッピングするよう構成された塗付装置であって、
前記塗布ノズルと前記乾燥防止用キャップで形成される空間の容積：Ｖを、前記スリットの吐出口表面積Ｓに対して
Ｖ ≦ ３．５×Ｓ^{（３／２）}
に設定した塗布装置。 A coating apparatus configured to cap the tip of the coating nozzle on the anti-drying cap disposed at the standby position so that the slit at the tip of the coating nozzle does not dry during standby,
The volume of the space formed by the coating nozzle and the anti-drying cap: V is set to V ≦ 3.5 × S ^{(3/2) with} respect to the discharge port surface area S of the slit.
Coating device set to. 前記乾燥防止用キャップの前記塗布ノズルの先端の外側面と接触する接触部を弾性体で形成した
請求項１記載の塗布装置。 The coating apparatus according to claim 1, wherein a contact portion that contacts an outer surface of the tip of the coating nozzle of the drying prevention cap is formed of an elastic body. 前記乾燥防止用キャップは、
前記塗布ノズルの幅方向に複数に分割され前記塗布ノズルの先端を覆う複数の剛体キャップと、
隣接する前記剛体キャップの間を接続する弾性体と
を有している
請求項２記載の塗布装置。 The anti-drying cap is
A plurality of rigid caps that are divided into a plurality in the width direction of the coating nozzle and cover the tip of the coating nozzle;
The coating apparatus according to claim 2, further comprising an elastic body connecting between the adjacent rigid caps. 前記塗布ノズルの先端の外側面が先端に向かって細く形成され、
前記乾燥防止用キャップの開口を内側に向かって狭くなる傾斜面に形成して、
ステージに設けられた前記乾燥防止用キャップに前記塗布ノズルの先端を押し付けることによって前記乾燥防止用キャップが前記塗布ノズルの先端に追従して前記ステージの面に沿って移動するように構成した
請求項２記載の塗布装置。 The outer surface of the tip of the application nozzle is formed narrower toward the tip,
Forming the opening of the anti-drying cap on an inclined surface narrowing toward the inside;
The drying prevention cap is configured to move along the surface of the stage following the tip of the coating nozzle by pressing the tip of the coating nozzle against the drying prevention cap provided on the stage. 2. The coating apparatus according to 2. 前記ステージに対して前記乾燥防止用キャップを保持するハウジングを設け、
前記乾燥防止用キャップと前記ハウジングの間に、小球とこの小球を押し出すバネを介装した
請求項４記載の塗布装置。 A housing for holding the anti-drying cap with respect to the stage;
The coating apparatus according to claim 4, wherein a small ball and a spring for pushing out the small ball are interposed between the drying prevention cap and the housing. 前記ステージと前記乾燥防止用キャップの裏面の間に、摩擦抵抗が小さくなるようにボールベアリングを介装した
請求項４記載の塗布装置。 The coating apparatus according to claim 4, wherein a ball bearing is interposed between the stage and the back surface of the anti-drying cap so as to reduce frictional resistance. 前記ステージと前記乾燥防止用キャップの裏面の間に、摩擦抵抗が小さくなるように表面の摩擦係数が比較的小さい低摩擦部材を介装した
請求項５記載の塗布装置。 The coating apparatus according to claim 5, wherein a low friction member having a relatively small surface friction coefficient is interposed between the stage and the back surface of the anti-drying cap so as to reduce a frictional resistance. 前記ステージと前記乾燥防止用キャップの裏面の間に、摩擦抵抗が小さくなるように潤滑剤を介装した
請求項５記載の塗布装置。 6. The coating apparatus according to claim 5, wherein a lubricant is interposed between the stage and the back surface of the drying prevention cap so as to reduce frictional resistance. 前記ステージから前記乾燥防止用キャップの裏面に向けて、摩擦抵抗が小さくなるように気体を送り込むよう構成した
請求項５記載の塗布装置。 The coating apparatus according to claim 5, wherein gas is fed from the stage toward the back surface of the drying prevention cap so that the frictional resistance is reduced.

Images