JP2010267742A - Manufacturing apparatus and device manufacturing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing apparatus advantageous to setting about a notice of an event to a host computer. <P>SOLUTION: The manufacturing apparatus operates in communication with a host computer 119. The manufacturing apparatus includes an 1-Chip CPU 106 and a work station 117. The 1-Chip CPU 106 controls operation of the manufacturing apparatus. The work station 117 communicates with the 1-Chip CPU 106. The work station 117 controls a monitor 102 to display an option about an event generated at the manufacturing apparatus. According to an input selecting the option displayed on the monitor 102, the work station 117 performs setting about an notice of the event to the host computer 119. The work station 117 receives information on the event generated at the manufacturing apparatus from the 1-Chip CPU 106. According to the setting, the work station 117 transmits the information on the event generated at the manufacturing apparatus to the host computer 119. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、ホストコンピュータと通信して動作する製造装置に関する。   The present invention relates to a manufacturing apparatus that operates in communication with a host computer.

近年、半導体等の製造工場では、ＳＥＭＩ準拠の製造装置とホストコンピュータとを接続し、ホストコンピュータを用いて製造装置への指示や稼動状況の管理を行うオンライン運用が進んでいる。   2. Description of the Related Art In recent years, in semiconductor manufacturing plants, online operation is progressing in which a SEMI-compliant manufacturing apparatus is connected to a host computer, and instructions to the manufacturing apparatus and operation status management are performed using the host computer.

ホストコンピュータを用いたオンライン運用においては、製造装置で発生したイベントの情報をホストコンピュータで収集することが行われている。このようなイベント情報は、通常、製造装置メーカーにより定義済みの収集イベントのリストが提供される。また、イベント情報の発行タイミングは、製造装置メーカーの制御ソフトに予め組み込まれており、ユーザは、その発行タイミングを任意に変更することはできない。   In online operation using a host computer, information on events occurring in the manufacturing apparatus is collected by the host computer. Such event information is typically provided with a list of collection events that have been defined by the manufacturing equipment manufacturer. The event information issuance timing is preliminarily incorporated in the control software of the manufacturing apparatus manufacturer, and the user cannot arbitrarily change the issuance timing.

特許文献１には、基板処理装置の稼動状態に応じて、所望のデータを収集し、単位時間あたりにデータを収集する頻度を変更することにより、所望のデータを効率的に収集する基板処理装置が開示されている。   Patent Document 1 discloses a substrate processing apparatus that efficiently collects desired data by collecting desired data according to the operating state of the substrate processing apparatus and changing the frequency of collecting data per unit time. Is disclosed.

特開２００５−２７６９３５号公報JP 2005-276935 A

製造装置メーカーにより提供される定義済みの収集イベントは、必ずしもユーザが期待するタイミングで発行されるとは限らない。また、ユーザが収集したいイベント情報が発行されないこともある。   The predefined collection event provided by the manufacturing apparatus manufacturer is not necessarily issued at the timing expected by the user. In addition, event information that the user wants to collect may not be issued.

このような場合、ユーザは、自社の運用に合ったタイミングでイベント情報を発行するように、製造装置メーカーに対してソフトウエアの修正を依頼する。製造装置メーカーは、この依頼に応じて、ユーザ毎に収集イベントのリストを作成し、修正したソフトウエアを提供する。   In such a case, the user requests the manufacturing apparatus manufacturer to modify the software so that the event information is issued at a timing suitable for the operation of the company. In response to this request, the manufacturing apparatus manufacturer creates a list of collected events for each user and provides the corrected software.

図１１は、従来のオンラインプログラムを提供する仕組みの概略図である。このように、ユーザ個別のイベントリストを発行する場合、ユーザ毎の要望に合わせたイベント発行条件になるように、オンラインプログラムを個別に開発する必要があった。   FIG. 11 is a schematic diagram of a mechanism for providing a conventional online program. As described above, when an event list for each user is issued, it is necessary to develop an online program individually so that the event issuance conditions are adapted to each user's request.

このため、従来の方法では、ソフトウエアの開発コストが大きくなるという問題があった。また、ソフトウエアを修正している期間、ユーザを満足させるオンライン運用を提供することができないという問題もあった。
本発明は、例えば、ホストコンピュータへのイベント通知に関する設定に有利な製造装置を提供する。 For this reason, the conventional method has a problem that the software development cost increases. There is also a problem that online operation that satisfies the user cannot be provided while the software is being modified.
The present invention provides, for example, a manufacturing apparatus that is advantageous for setting related to event notification to a host computer.

本発明の一側面としての製造装置は、ホストコンピュータと通信して動作する製造装置であって、前記製造装置の動作を制御する制御部と、前記制御部と通信するコンソール部とを有し、前記コンソール部は、前記製造装置で発生するイベントに関する選択肢を表示部に表示させ、前記表示部に表示された前記選択肢を選択する入力に従って、前記ホストコンピュータへのイベント通知に関する設定を行い、前記製造装置で発生したイベントの情報を前記制御部から受信し、前記設定にしたがって、前記製造装置で発生したイベントの情報を前記ホストコンピュータに送信する。   A manufacturing apparatus as one aspect of the present invention is a manufacturing apparatus that operates in communication with a host computer, and includes a control unit that controls the operation of the manufacturing apparatus, and a console unit that communicates with the control unit, The console unit displays options related to an event occurring in the manufacturing apparatus on a display unit, and performs settings related to event notification to the host computer according to an input for selecting the option displayed on the display unit, Information on an event that has occurred in the apparatus is received from the control unit, and information on an event that has occurred in the manufacturing apparatus is transmitted to the host computer in accordance with the setting.

また、本発明の他の側面としてのデバイス製造方法は、前記製造装置を用いて基板を露光する工程と、前記工程で露光された基板を現像する工程とを有する。   A device manufacturing method according to another aspect of the present invention includes a step of exposing a substrate using the manufacturing apparatus, and a step of developing the substrate exposed in the step.

本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。   Other objects and features of the present invention are illustrated in the following examples.

本発明によれば、例えば、ホストコンピュータへのイベント通知に関する設定に有利な製造装置を提供することができる。   According to the present invention, for example, it is possible to provide a manufacturing apparatus that is advantageous for setting related to event notification to a host computer.

本実施例における製造装置とホストコンピュータとの関係を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the relationship between the manufacturing apparatus and host computer in a present Example. 本実施例における製造装置及びホストコンピュータの内部プログラムの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the internal program of the manufacturing apparatus and host computer in a present Example. 本実施例における製造装置及びホストコンピュータの他の内部プログラムの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the other internal program of the manufacturing apparatus and host computer in a present Example. 本実施例におけるイベント情報の発行手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the issuing procedure of the event information in a present Example. 本実施例において、イベントリストファイルを編集する際にモニターに表示されるイベントリストエディタ画面の一例である。In this embodiment, it is an example of an event list editor screen displayed on a monitor when editing an event list file. 本実施例におけるイベントリストファイルの編集手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the edit procedure of the event list file in a present Example. 本実施例における独立イベントの発行トリガーをカスタマイズするときのフローチャートである。It is a flowchart when customizing the issue trigger of an independent event in a present Example. 本実施例において、独立イベントの発行トリガーを編集する画面の一例である。In the present embodiment, it is an example of a screen for editing a trigger for issuing an independent event. 本実施例における遷移イベントの発行トリガーをカスタマイズするときのフローチャートである。It is a flowchart when customizing the issuance trigger of the transition event in a present Example. 本実施例において、遷移イベントの発行トリガーを編集する画面の一例である。In this embodiment, it is an example of a screen for editing a transition event issuance trigger. 従来のオンラインプログラムを提供する仕組みの概略図である。It is the schematic of the structure which provides the conventional online program. 本実施例におけるオンラインプログラムを提供する仕組みの概略図である。It is the schematic of the structure which provides the online program in a present Example.

以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In each figure, the same members are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

まず、本実施例における製造装置及びホストコンピュータの構成について説明する。なお、本実施例では、露光装置等の半導体製造装置を製造装置の一例として説明するが、本実施例はこれに限定されるものではない。   First, the configuration of the manufacturing apparatus and the host computer in this embodiment will be described. In the present embodiment, a semiconductor manufacturing apparatus such as an exposure apparatus will be described as an example of a manufacturing apparatus, but the present embodiment is not limited to this.

図１は、本実施例における製造装置とホストコンピュータとの関係を示す概略構成図である。図１に示されるように、本実施例の製造装置は、本体部１１８及びワークステーション１１７（コンソール部）を備え、ホストコンピュータと通信して動作する。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a relationship between a manufacturing apparatus and a host computer in the present embodiment. As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus according to the present embodiment includes a main body 118 and a workstation 117 (console unit), and operates in communication with a host computer.

本体部１１８は、ウエハ又はレチクルの搬送を行うロボット、レーザー照射を行う照明系、及び、レンズユニット等のメカニカルユニット等から構成される。ワークステーション１１７は、本体部１１８の各ユニットの動作を制御する。具体的には、本体部１１８は、光源を含む照明ユニット１０７、及び、パターンが形成されたレチクル１０８を保持するレチクルステージ１０９を備える。また、本体部１１８は、投影レンズユニット１１０、及び、感光剤が塗布されたウエハ１１１を位置決めするウエハステージ１１２を備える。本体部１１８の各ユニットは、１ＣｈｉｐＣＰＵ１０６から出力される指令に従って駆動する。このように、１ＣｈｉｐＣＰＵ１０６は、製造装置の動作を制御する制御部として設けられている。また、制御部としての１ＣｈｉｐＣＰＵ１０６は、コンソール部としてのワークステーション１１７との間で通信を行う。   The main body 118 includes a robot that transports a wafer or reticle, an illumination system that performs laser irradiation, and a mechanical unit such as a lens unit. The workstation 117 controls the operation of each unit of the main body 118. Specifically, the main body 118 includes an illumination unit 107 including a light source, and a reticle stage 109 that holds a reticle 108 on which a pattern is formed. The main body 118 includes a projection lens unit 110 and a wafer stage 112 that positions the wafer 111 coated with a photosensitive agent. Each unit of the main body 118 is driven in accordance with a command output from the 1ChipCPU 106. Thus, the 1ChipCPU 106 is provided as a control unit that controls the operation of the manufacturing apparatus. Further, the 1Chip CPU 106 serving as a control unit communicates with a workstation 117 serving as a console unit.

レチクル１０８に形成されたパターンは、投影レンズユニット１１０を介してウエハステージ１１２上のウエハ１１１に投影され、ウエハ１１１に塗布された感光剤に潜像パターンが形成される。この潜像パターンは、現像装置によって現像されて、物理的なパターンとなる。   The pattern formed on the reticle 108 is projected onto the wafer 111 on the wafer stage 112 via the projection lens unit 110, and a latent image pattern is formed on the photosensitive agent applied to the wafer 111. This latent image pattern is developed by the developing device to become a physical pattern.

本体部１１８は、ワークステーション１１７によって制御される。本体部１１８を制御するための制御プログラムは、ワークステーション１１７の内部に設けられた記憶装置１０５に保持されている。この制御プログラムは、必要に応じて、記憶装置１０５からメモリ１０４に呼び出され、ワークステーション１１７に設けられたＣＰＵ１０３によって実行される。   The main body 118 is controlled by the workstation 117. A control program for controlling the main body 118 is held in the storage device 105 provided inside the workstation 117. This control program is called from the storage device 105 to the memory 104 as necessary, and is executed by the CPU 103 provided in the workstation 117.

製造装置のオペレータ（ユーザ）による操作や製造装置の動作結果は、ワークステーション１１７に設けられたモニター１０２（表示部）において表示される。製造装置のワークステーション１１７は、イーサネット（登録商標）（ＨＳＭＳ＋ＴＣＰ／ＩＰ）によるネットワーク通信回線１０１（ＬＡＮ）を介し、ホストコンピュータ１１９と接続されて通信が行われる。ホストコンピュータ１１９は、製造装置に対して、メッセージという単位で情報を送信する。製造装置のワークステーション１１７は、ホストコンピュータ１１９から受信した上記情報に従って、各処理を行う。   The operation by the operator (user) of the manufacturing apparatus and the operation result of the manufacturing apparatus are displayed on the monitor 102 (display unit) provided in the workstation 117. A workstation 117 of the manufacturing apparatus is connected to and communicates with a host computer 119 via a network communication line 101 (LAN) using Ethernet (registered trademark) (HSMS + TCP / IP). The host computer 119 transmits information to the manufacturing apparatus in units called messages. The workstation 117 of the manufacturing apparatus performs each process according to the information received from the host computer 119.

製造装置のワークステーション１１７は、製造装置側で発生したイベント（イベント情報）をホストコンピュータ１１９に送信する。イベントとは、製造装置の内部で起こりうる現象のことである。ホストコンピュータ１１９は、ワークステーション１１７からイベント情報を受信することにより、製造装置の稼動情報を管理する。   The workstation 117 of the manufacturing apparatus transmits an event (event information) generated on the manufacturing apparatus side to the host computer 119. An event is a phenomenon that can occur inside a manufacturing apparatus. The host computer 119 receives the event information from the workstation 117 and manages the operation information of the manufacturing apparatus.

製造装置から送信されるイベント情報を処理するプログラムは、ホストコンピュータ１１９の内部の記憶装置１１６に保持される。このプログラムは、必要に応じて記憶装置１１６からメモリ１１５に呼び出され、ＣＰＵ１１４によって実行される。ホストコンピュータ１１９の操作は、ホストコンピュータ１１９のモニター１１３（表示部）にて行われる。   A program for processing event information transmitted from the manufacturing apparatus is held in the storage device 116 inside the host computer 119. This program is called from the storage device 116 to the memory 115 as necessary, and is executed by the CPU 114. The host computer 119 is operated on the monitor 113 (display unit) of the host computer 119.

次に、本実施例における製造装置及びホストコンピュータの内部プログラムの構成について説明する。図２は、本実施例における製造装置及びホストコンピュータの内部プログラムの構成を示すブロック図である。   Next, the configuration of the internal program of the manufacturing apparatus and the host computer in this embodiment will be described. FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the internal program of the manufacturing apparatus and the host computer in this embodiment.

製造装置のイベント（イベント情報）を発生させるトリガー（条件）は、製造装置における各ユニットの動作信号である。この動作信号は、製造装置の本体部１１８で実行される１Ｃｈｉｐプログラム２０６からワークステーション１１７へ送信される。１Ｃｈｉｐプログラム２０６は、本体制御プログラム２０５から製造装置における各ユニットの駆動指示を受け、この指示に従って製造装置のメカニカルユニットを動作させる。このとき、１Ｃｈｉｐプログラム２０６は、メカニカルユニットの動作毎に固有の信号を本体制御プログラム２０５に送信する。   A trigger (condition) for generating an event (event information) of the manufacturing apparatus is an operation signal of each unit in the manufacturing apparatus. This operation signal is transmitted to the workstation 117 from the 1Chip program 206 executed in the main body 118 of the manufacturing apparatus. The 1Chip program 206 receives a drive instruction for each unit in the manufacturing apparatus from the main body control program 205 and operates the mechanical unit of the manufacturing apparatus in accordance with this instruction. At this time, the 1Chip program 206 transmits a unique signal to the main body control program 205 for each operation of the mechanical unit.

一方、イベントリストファイル２０３には、ワークステーション１１７からホストコンピュータ１１９に送信されうるイベントについて記述されている。イベントには、それぞれ固有のイベントＩＤが定められおり、イベント発行の際には、ワークステーション１１７からホストコンピュータ１１９へイベントＩＤ（イベントの情報）が送信される。また、イベントリストファイル２０３には、イベントＩＤ毎に、その発行条件（トリガー）が記述されている。イベントの発行条件には、本体制御プログラム２０５から送信されるユニットの動作信号をトリガーとした条件式が定められている。   On the other hand, the event list file 203 describes events that can be transmitted from the workstation 117 to the host computer 119. Each event has a unique event ID. When an event is issued, the event ID (event information) is transmitted from the workstation 117 to the host computer 119. In the event list file 203, issuance conditions (triggers) are described for each event ID. In the event issuance condition, a conditional expression is set with the operation signal of the unit transmitted from the main body control program 205 as a trigger.

オンラインプログラム２０４は、イベントリストファイル２０３を読み込む。本体制御プログラム２０５から送信される動作信号がイベントリストファイル２０３に記述されているイベントの発行条件に該当する場合、該当したイベントの情報をホストコンピュータ１１９に送信するため、イベントＩＤを送受信部２０７に送る。   The online program 204 reads the event list file 203. When the operation signal transmitted from the main body control program 205 corresponds to the event issuance condition described in the event list file 203, the event ID is transmitted to the transmission / reception unit 207 in order to transmit the information of the corresponding event to the host computer 119. send.

ホストコンピュータ１１９は、ネットワーク通信回線１０１を通して、イベントＩＤを送受信部２０８で受け取る。装置管理プログラム２１０は、製造装置のワークステーション１１７から送信されたイベントＩＤ（イベントの情報）を管理する。具体的には、装置管理プログラム２１０は、イベントＩＤを記憶装置１１６に保存し、又は、コンソールプログラム２０９に送る。コンソールプログラム２０９は、ホストコンピュータ１１９が受信したイベントＩＤをモニター１１３に出力するように制御する。   The host computer 119 receives the event ID at the transmission / reception unit 208 via the network communication line 101. The device management program 210 manages the event ID (event information) transmitted from the workstation 117 of the manufacturing device. Specifically, the device management program 210 stores the event ID in the storage device 116 or sends it to the console program 209. The console program 209 controls the event ID received by the host computer 119 to be output to the monitor 113.

このように、コンソール部としてのワークステーション１１７は、製造装置で発生するイベントに関する選択肢をモニター１０２、１１３に表示させる。このような選択肢には、製造装置で発生する複数のイベントのうちホストコンピュータ１１９に通知すべきイベントが含まれる。また、このような選択肢には、イベントの情報をホストコンピュータ１１９に送信するタイミングが含まれる。   As described above, the workstation 117 as the console unit causes the monitors 102 and 113 to display options related to events that occur in the manufacturing apparatus. Such options include events to be notified to the host computer 119 among a plurality of events that occur in the manufacturing apparatus. Such options include timing for transmitting event information to the host computer 119.

また、ワークステーション１１７は、モニター１０２、１１３に表示された選択肢を選択する入力に従って、ホストコンピュータ１１９へのイベント通知に関する設定を行い、製造装置で発生したイベントの情報を１ＣｈｉｐＣＰＵ１０６（制御部）から受信する。そして、ワークステーション１１７は、前記設定にしたがって、製造装置で発生したイベントの情報をホストコンピュータ１１９に送信する。   In addition, the workstation 117 performs settings related to event notification to the host computer 119 in accordance with an input for selecting an option displayed on the monitors 102 and 113, and receives information on an event occurring in the manufacturing apparatus from the 1Chip CPU 106 (control unit). To do. Then, the workstation 117 transmits information on an event that has occurred in the manufacturing apparatus to the host computer 119 in accordance with the setting.

従来、製造装置のイベントリストは、製造装置メーカーからソフトウエアとして提供されるオンラインプログラムの中に含まれており、ユーザは、このイベントリストを変更することができなかった。   Conventionally, the event list of the manufacturing apparatus is included in an online program provided as software from the manufacturer of the manufacturing apparatus, and the user cannot change the event list.

一方、本実施例では、製造装置のワークステーション１１７において、イベントリストファイル２０３を編集可能なイベントリストエディタプログラム２０２が設けられている。このため、本実施例の製造装置は、イベントの発生条件（トリガー）を変更可能に構成されており、この条件を自由に設定するができる。   On the other hand, in the present embodiment, an event list editor program 202 capable of editing the event list file 203 is provided in the workstation 117 of the manufacturing apparatus. For this reason, the manufacturing apparatus of a present Example is comprised so that generation | occurrence | production condition (trigger) of an event can be changed, and this condition can be set freely.

イベントリストエディタプログラム２０２は、製造装置におけるイベントの発生条件をカスタマイズ（変更）するとき、イベントリストファイル２０３を記憶装置１０５からメモリ１０４に呼び出す。イベントリストファイル２０３は、メモリ１０４に読み出された後、コンソールプログラム２０１へ送られる。   The event list editor program 202 calls the event list file 203 from the storage device 105 to the memory 104 when customizing (changing) the event generation conditions in the manufacturing apparatus. The event list file 203 is read to the memory 104 and then sent to the console program 201.

コンソールプログラム２０１は、イベントリストファイル２０３の内容をモニター１０２に表示する。また、コンソールプログラム２０１は、モニター１０２からオペレータ（ユーザ）の操作を受け付け、オペレータの操作によるイベントリストの変更情報をイベントリストエディタプログラム２０２に送る。   The console program 201 displays the contents of the event list file 203 on the monitor 102. The console program 201 receives an operator (user) operation from the monitor 102, and sends event list change information by the operator operation to the event list editor program 202.

イベントリストエディタプログラム２０２は、コンソールプログラム２０１から受け取った変更情報に従い、イベントリストファイル２０３を書き換える。書き換えられたイベントリストファイル２０３は、メモリ１０４から記憶装置１０５へ送られて保存される。   The event list editor program 202 rewrites the event list file 203 according to the change information received from the console program 201. The rewritten event list file 203 is sent from the memory 104 to the storage device 105 and saved.

なお、図２に示されるプログラム構成では、イベントリストファイル２０３の編集作業は、製造装置側からのみ実行可能である。ただし、本実施例はこれに限定されるものではなく、ホストコンピュータ側からイベントリストファイルを編集可能に構成することができる。   In the program configuration shown in FIG. 2, the editing operation of the event list file 203 can be executed only from the manufacturing apparatus side. However, the present embodiment is not limited to this, and the event list file can be configured to be editable from the host computer side.

図３は、本実施例における製造装置及びホストコンピュータの他の内部プログラムの構成を示すブロック図である。図３に示されるプログラム構成は、ホストコンピュータ側からもイベントリストファイルの編集が可能である。   FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of another internal program of the manufacturing apparatus and the host computer in this embodiment. The program configuration shown in FIG. 3 allows editing of the event list file from the host computer side.

ホストコンピュータ１１９側からイベントリストファイルを編集するため、図３のホストコンピュータ１１９側のプログラム構成では、さらに、イベントリストエディタプログラム２１１が設けられている。また、ホストコンピュータ１１９の記憶装置１１６には、イベントリストファイル２１２が保管されている。イベントリストエディタプログラム２１１は、イベント発生条件をカスタマイズ（設定変更）する際、イベントリストファイル２１２を記憶装置１１６からメモリ１１５に呼び出す。編集されたイベントリストの内容は、コンソールプログラム２０９の制御により、モニター１１３に表示される。   In order to edit the event list file from the host computer 119 side, an event list editor program 211 is further provided in the program configuration on the host computer 119 side in FIG. An event list file 212 is stored in the storage device 116 of the host computer 119. The event list editor program 211 calls the event list file 212 from the storage device 116 to the memory 115 when customizing (changing settings) the event occurrence condition. The contents of the edited event list are displayed on the monitor 113 under the control of the console program 209.

また、製造装置側の場合と同様に、コンソールプログラム２０９は、モニター１１３からオペレータの操作を受け付ける。また、イベントリストエディタプログラム２１１はイベントリストの内容を書き換え、イベントリストファイル２１２を記憶装置１１６に保存する。   Similarly to the case of the manufacturing apparatus side, the console program 209 accepts an operator's operation from the monitor 113. In addition, the event list editor program 211 rewrites the contents of the event list and saves the event list file 212 in the storage device 116.

イベントリストエディタプログラム２１１は、イベントリストファイル２１２を製造装置のワークステーション１１７に送信する機能をも有する。送信時には、イベントリストエディタプログラム２１１がイベントリストファイル２１２を送受信部２０８へ送り、ネットワーク通信回線１０１を通してワークステーション１７の送受信部２０７でこのイベントリストファイル２１２を受け取る。また、オンラインプログラム２０４は、送受信部２０７からイベントリストファイル２１２を受け取り、ワークステーション１７に保持されているイベントリストファイル２０３は、イベントリストファイル２１２に置き換えられる。   The event list editor program 211 also has a function of transmitting the event list file 212 to the workstation 117 of the manufacturing apparatus. At the time of transmission, the event list editor program 211 sends the event list file 212 to the transmission / reception unit 208, and the transmission / reception unit 207 of the workstation 17 receives the event list file 212 through the network communication line 101. Further, the online program 204 receives the event list file 212 from the transmission / reception unit 207, and the event list file 203 held in the workstation 17 is replaced with the event list file 212.

なお、図２又は図３のいずれのプログラム構成を採用するかは、ユーザの運用に合わせて決定される。   It should be noted that which program configuration of FIG. 2 or FIG. 3 is adopted is determined in accordance with the user's operation.

次に、本実施例におけるイベント情報の発行手順について説明する。図４は、本実施例におけるイベント情報の発行手順を示すフローチャートである。   Next, a procedure for issuing event information in this embodiment will be described. FIG. 4 is a flowchart showing a procedure for issuing event information in this embodiment.

まず、ステップＳ１０１において、１Ｃｈｉｐプログラム２０６が製造装置のメカユニットの動作に応じた信号（動作信号）を本体制御プログラム２０５へ送信する。そして、ステップＳ１０２において、本体制御プログラム２０５は、１Ｃｈｉｐプログラム２０６からユニットの動作信号を受信し、この動作信号をオンラインプログラム２０４へ再送信する。   First, in step S101, the 1Chip program 206 transmits a signal (operation signal) corresponding to the operation of the mechanical unit of the manufacturing apparatus to the main body control program 205. In step S 102, the main body control program 205 receives the unit operation signal from the 1Chip program 206 and retransmits this operation signal to the online program 204.

次に、ステップＳ１０３において、オンラインプログラム２０４は、本体制御プログラム２０５からユニットの動作信号を受信する。そして、ステップＳ１０４において、オンラインプログラム２０４が受信した動作信号について、イベントリストファイル２０３のイベントリストと照合する。   Next, in step S <b> 103, the online program 204 receives a unit operation signal from the main body control program 205. In step S104, the operation signal received by the online program 204 is checked against the event list in the event list file 203.

ステップ１０５では、この動作信号が、ホストコンピュータ１１９へのイベント情報の発行条件に合致するか否かを判定する。オンラインプログラム２０４の受信信号（動作信号）がイベントリストに記述されているいずれかのイベントＩＤの発行条件に合致する場合、ステップＳ１０６へ進む。ステップＳ１０６では、オンラインプログラム２０４が、イベント情報の発行条件に合致したイベントＩＤを、ホストコンピュータへ送信する。一方、オンラインプログラム２０４の受信信号がいずれのイベントＩＤの発行条件にも合致しない場合、イベント情報を発行するためのフローは終了する。   In step 105, it is determined whether or not this operation signal matches a condition for issuing event information to the host computer 119. If the received signal (operation signal) of the online program 204 matches one of the event ID issuance conditions described in the event list, the process proceeds to step S106. In step S106, the online program 204 transmits an event ID that matches the event information issuance condition to the host computer. On the other hand, when the received signal of the online program 204 does not match any event ID issuance condition, the flow for issuing event information ends.

次に、イベントファイルリストを編集する際にモニターに表示される画面について説明する。図５は、イベントリストファイル２０３、２１２を編集する際にモニター１０２、１１３に表示されるイベントリストエディタ画面の一例である。   Next, the screen displayed on the monitor when editing the event file list will be described. FIG. 5 is an example of an event list editor screen displayed on the monitors 102 and 113 when the event list files 203 and 212 are edited.

製造装置におけるイベントは、主に二種類に分類される。一つは、製造装置のユニットがある状態から別の状態に遷移する瞬間に発行される遷移イベントである。もう一つは、前後の状態に依存せず、突発的に発生し得る独立イベントである。   Events in manufacturing equipment are mainly classified into two types. One is a transition event issued at the moment when the unit of the manufacturing apparatus transitions from one state to another state. The other is an independent event that can occur unexpectedly without depending on the preceding and following states.

遷移イベントの例としては、ウエハ処理関連のイベントが挙げられる。通常、製造装置（半導体製造装置）は、ウエハを外部装置から受け取るため、製造装置はウエハ待ちの状態になることがある。そして、製造装置は、ウエハを受け取った後、必ずウエハ処理開始の状態に遷移する。このウエハ待ち状態からウエハ処理開始状態に遷移したときのイベントが遷移イベントである。   An example of a transition event is an event related to wafer processing. Usually, since a manufacturing apparatus (semiconductor manufacturing apparatus) receives a wafer from an external apparatus, the manufacturing apparatus may be in a wafer waiting state. Then, after receiving the wafer, the manufacturing apparatus always transitions to a wafer processing start state. An event when a transition is made from the wafer wait state to the wafer processing start state is a transition event.

一方、独立イベントの例としては、エラー関連のイベントやオペレータによる操作イベントが挙げられる。突発的に起きる製造装置のエラーやオペレータの操作は前後の状態に関係なく発生するため、独立イベントと呼ばれる。   On the other hand, examples of the independent event include an error-related event and an operation event by an operator. A manufacturing device error or operator operation that occurs unexpectedly occurs regardless of the previous or next state, and is therefore referred to as an independent event.

このようなイベントの種類によって、イベント情報の発行条件の編集方法は異なる。このため、図５に示されるイベント編集画面では、区別しやすいように、イベントのタイプの欄に、そのイベントの種類が表示される。   Depending on the type of event, the editing method of the event information issuance condition differs. For this reason, in the event editing screen shown in FIG. 5, the event type is displayed in the event type column so that it can be easily distinguished.

また、送信フラグの欄には、イベントの発行条件を編集した結果、該当イベントの情報をホストコンピュータ１１９へ送信するか否かが、「ＯＮ」「ＯＦＦ」で表される。イベントの発行条件を設定し、イベントＩＤを送信する場合には送信フラグは「ＯＮ」である。一方、イベント発行条件を設定せず、イベントＩＤを送信しない場合には送信フラグは「ＯＦＦ」である。   Also, in the transmission flag column, “ON” or “OFF” indicates whether or not information on the event is transmitted to the host computer 119 as a result of editing the event issuance condition. When an event issuance condition is set and an event ID is transmitted, the transmission flag is “ON”. On the other hand, if the event issuance condition is not set and the event ID is not transmitted, the transmission flag is “OFF”.

編集の欄にはボタンが設置されており、このボタンを押下すると、各イベントの発行条件を変更するための画面が起動する。また、イベント内容の欄には、各イベントの意味が記述されている。   A button is installed in the edit column, and when this button is pressed, a screen for changing the issue condition of each event is activated. In the event content column, the meaning of each event is described.

次に、本実施例におけるイベントリストファイルの編集手順について説明する。図６は、イベントリストファイル２０３の編集手順を示すフローチャートである。   Next, an event list file editing procedure in this embodiment will be described. FIG. 6 is a flowchart showing the editing procedure of the event list file 203.

まず、ステップＳ２０１において、オペレータがモニター１０２を通して操作することにより、コンソールプログラム２０１はイベントリストエディタプログラム２０２を実行する。そして、ステップＳ２０２において、イベントリストエディタプログラム２０２は、イベントリストファイル２０３をメモリ１０４に読み込む。   First, in step S <b> 201, the console program 201 executes the event list editor program 202 when the operator operates through the monitor 102. In step S 202, the event list editor program 202 reads the event list file 203 into the memory 104.

次に、ステップＳ２０３において、イベントリストエディタプログラム２０２は、イベントリストファイル２０３の情報をコンソールプログラム２０１に送る。また、ステップＳ２０４において、コンソールプログラム２０１は、製造装置のイベントの一覧情報をモニター１０２に表示する。そして、ステップＳ２０５において、オペレータは、イベント情報の発行条件をカスタマイズ（設定変更）しようとするイベントＩＤの編集ボタンを選択する。   Next, in step S <b> 203, the event list editor program 202 sends information of the event list file 203 to the console program 201. In step S <b> 204, the console program 201 displays manufacturing apparatus event list information on the monitor 102. In step S <b> 205, the operator selects an event ID edit button for customizing (setting changing) the event information issuance condition.

ステップＳ２０６においては、オペレータが選択した編集ボタン（イベントＩＤ）のタイプが独立イベント又は遷移イベントのいずれであるかを判定する。選択されたイベントＩＤが独立イベントの場合、ステップＳ２０７の独立イベントカスタマイズへ進む。一方、選択されたイベントＩＤが遷移イベントの場合、ステップＳ２０８の遷移イベントカスタマイズへ進む。   In step S206, it is determined whether the type of the edit button (event ID) selected by the operator is an independent event or a transition event. If the selected event ID is an independent event, the process proceeds to independent event customization in step S207. On the other hand, if the selected event ID is a transition event, the process proceeds to transition event customization in step S208.

次に、タイプ別に異なるイベント情報の発行条件の設定手順について説明する。まず、独立イベントの発行条件の設定手順を説明する。図７は、独立イベントの発行条件をカスタマイズ（設定変更）するときのフローチャートである。また、図８は、独立イベントの発行条件を編集する画面の一例である。   Next, a procedure for setting conditions for issuing event information that differs depending on the type will be described. First, an independent event issue condition setting procedure will be described. FIG. 7 is a flowchart for customizing (setting change) the issuance conditions of the independent event. FIG. 8 is an example of a screen for editing the issue condition of the independent event.

まず、ステップＳ３０１において、図５のイベントリストエディタ画面で独立イベントのＥＤＩＴボタンを押下すると、モニターには、図８に示される発行条件（発行トリガー）の編集画面が表示される。そして、ステップＳ３０２において、オペレータは、該当イベントの発行を許可するか否かを決定する。   First, in step S301, when the EDIT button of the independent event is pressed on the event list editor screen of FIG. 5, an edit screen for the issue condition (issue trigger) shown in FIG. 8 is displayed on the monitor. In step S <b> 302, the operator determines whether or not to issue the event.

独立イベントの場合、製造装置で該当イベントの現象が発生したときに１Ｃｈｉｐプログラム２０６から送信される信号とイベントＩＤとが一対一に対応している。このため、カスタマイズ（設定変更）可能な内容は、イベントＩＤをホストコンピュータ１１９へ送信するか否かという二択のみである。   In the case of an independent event, there is a one-to-one correspondence between a signal transmitted from the 1Chip program 206 and an event ID when a phenomenon of the event occurs in the manufacturing apparatus. For this reason, the contents that can be customized (setting change) are only two choices of whether to transmit the event ID to the host computer 119 or not.

該当イベント（イベントＩＤ）をホストコンピュータ１１９へ送信する場合にはステップＳ３０３へ進み、独立イベントの発行条件（発行トリガー）のチェックボックスをＯＮにする。一方、該当イベントの発行を許可しない場合にはステップＳ３０５へ進み、独立イベントの発行条件（発行トリガー）のチェックボックスをＯＦＦにする。   When the corresponding event (event ID) is transmitted to the host computer 119, the process proceeds to step S303, and the check box of the independent event issue condition (issue trigger) is turned ON. On the other hand, if the issue of the event is not permitted, the process advances to step S305 to turn off the check box for the independent event issue condition (issue trigger).

最後に、ステップＳ３０４において、独立イベントの発行条件（発行トリガー）の編集画面のＳＡＶＥボタンを押下し、編集後の発行条件を保存する。   Finally, in step S304, the SAVE button on the edit screen for the independent event issue condition (issue trigger) is pressed to save the edited issue condition.

次に、遷移イベントの発行条件の設定手順を説明する。図９は、遷移イベントの発行条件（発行トリガー）をカスタマイズ（設定変更）するときのフローチャートである。また、図１０は、遷移イベントの発行条件を編集する画面の一例である。   Next, a procedure for setting transition event issuing conditions will be described. FIG. 9 is a flowchart for customizing (setting change) the issue condition (issue trigger) of the transition event. FIG. 10 shows an example of a screen for editing transition event issuance conditions.

まず、ステップＳ４０１において、図５のイベントリストエディタ画面上で遷移イベントのＥＤＩＴボタンを押下する。例えば、図５のイベントＩＤの一覧の中から、イベントＩＤ「１００７」として示される遷移イベントの発行トリガーのカスタマイズ画面（遷移画面）を図１０に示す。   First, in step S401, the transition event EDIT button is pressed on the event list editor screen of FIG. For example, FIG. 10 shows a customization screen (transition screen) for a transition event issuance trigger indicated as event ID “1007” from the list of event IDs in FIG.

遷移イベントのカスタマイズ（設定変更）では、独立イベントとは異なり、イベント情報を発行するタイミングを、複数のユニット動作の中から遷移画面上で選択することが可能である。すなわち、コンソール部としてのワークステーション１１７は、イベントの情報をホストコンピュータ１１９に送信するタイミングに関する条件を選択肢としてモニター１０２、１１３に表示させる。また、ワークステーション１１７は、論理記号とその条件とをモニター１０２、１１３に表示させ、その論理記号と条件とを選択する入力に従って、複数の条件に対する論理演算を表す論理式を設定する。そして、ワークステーション１１７は、設定された論理式にしたがって、イベントの情報をホストコンピュータ１１９に送信する。   In transition event customization (setting change), unlike an independent event, the timing for issuing event information can be selected from a plurality of unit operations on a transition screen. In other words, the workstation 117 as the console unit causes the monitors 102 and 113 to display, as options, conditions relating to the timing for transmitting event information to the host computer 119. In addition, the workstation 117 causes the monitors 102 and 113 to display logical symbols and conditions thereof, and sets logical expressions representing logical operations for a plurality of conditions in accordance with inputs for selecting the logical symbols and conditions. Then, the workstation 117 transmits event information to the host computer 119 in accordance with the set logical expression.

図１０は遷移イベントの発行条件（発行トリガー）のカスタマイズ画面（遷移画面）であるが、表示されている条件（トリガー）の一覧は、ウエハ処理開始動作の中で、ウエハステージユニットの状態を遷移する順に並べられている。イベントＩＤ「１００７」は、ウエハ処理開始時に通知するイベントであり、イベントＩＤの発行タイミングが設定可能である。具体的には、ウエハステージがウエハを認識した瞬間とするか、ウエハステージの初期位置駆動が終了した瞬間とするか、又は、露光処理が開始した瞬間とするか等、ユーザは発行タイミングを自由に設定することができる。   FIG. 10 shows a customization screen (transition screen) of transition event issuance conditions (issue trigger). The list of displayed conditions (triggers) changes the state of the wafer stage unit during the wafer processing start operation. They are arranged in order. The event ID “1007” is an event to be notified at the start of wafer processing, and the event ID issuance timing can be set. Specifically, the user can set the issuance timing freely, such as the moment when the wafer stage recognizes the wafer, the moment when the initial position driving of the wafer stage is completed, or the moment when the exposure process starts. Can be set to

次に、図９のステップＳ４０２において、ユーザは、イベントＩＤの発行トリガー（発行条件）を単一又は複数のいずれの発行トリガーに設定するかを選択する。単一トリガーに設定されると、例えば図１０に示される単一トリガーの使用例のように、ウエハステージユニットがウエハを認識した瞬間を発行トリガーとして、イベントＩＤ「１００７」が発行される。   Next, in step S <b> 402 of FIG. 9, the user selects whether to set a single or a plurality of issue triggers as event ID issue triggers (issue conditions). When the single trigger is set, an event ID “1007” is issued with the moment when the wafer stage unit recognizes the wafer as an issue trigger, as in the use example of the single trigger shown in FIG. 10, for example.

一方、複数トリガーに設定されると、例えば図１０に示される論理式を用いた複数トリガーの使用例のように、複数の発行トリガーに対する論理演算を表す論理式が満たされた場合にイベントＩＤ「１００７」が発行される。例えば論理演算（論理記号）として「ＡＮＤ」が用いられると、任意に設定された複数の発行トリガーの全てが満たされた瞬間に、イベントＩＤ「１００７」が発行される。また、論理式として「ＯＲ」が用いられると、任意に設定された複数の発行トリガーの内のいずれか一つが満たされた瞬間に、イベントＩＤ「１００７」が発行される。つまり、イベント情報の発行条件として複数の発行トリガーによる論理式を用いる場合、この論理式が満たされた場合にイベント情報を発行するように、発行条件をカスタマイズ（設定変更）することが可能となる。   On the other hand, when a plurality of triggers are set, an event ID “when a logical expression representing a logical operation for a plurality of issued triggers is satisfied, as in the use example of a plurality of triggers using the logical expression shown in FIG. 1007 "is issued. For example, when “AND” is used as a logical operation (logical symbol), an event ID “1007” is issued at the moment when all of a plurality of arbitrarily set issue triggers are satisfied. Further, when “OR” is used as a logical expression, an event ID “1007” is issued at the moment when any one of a plurality of arbitrarily set issue triggers is satisfied. In other words, when a logical expression using a plurality of issuance triggers is used as the event information issuance condition, the issuance condition can be customized (setting change) so that event information is issued when the logical expression is satisfied. .

図９のフローチャートのステップＳ４０２において、発行トリガーを一つのみ選択した場合、ステップＳ４０３へ進む。そして、ステップＳ４０９において、遷移イベントの発行トリガーの設定を保存する。一方、ステップＳ４０２において、複数の発行トリガーを選択した場合、ステップＳ４０４へ進む。ステップＳ４０４の「Ｎ」は、選択される発行トリガー数のカウンタである。カウンタＮは１に初期化される。そして、ステップＳ４０５において、第１の発行トリガーが選択される。   If only one issue trigger is selected in step S402 of the flowchart of FIG. 9, the process proceeds to step S403. In step S409, the setting of the transition event issuance trigger is saved. On the other hand, when a plurality of issue triggers are selected in step S402, the process proceeds to step S404. “N” in step S404 is a counter of the number of issued triggers to be selected. Counter N is initialized to 1. In step S405, the first issue trigger is selected.

次に、ステップＳ４０６において、論理式で用いられる演算子を、ＡＮＤボタン、ＯＲボタン、及び、ＮＯＴボタンの中から選択する。そして、ステップＳ４０７において、第２の発行トリガーを選択し、論理式を完成させる。   Next, in step S406, an operator used in the logical expression is selected from an AND button, an OR button, and a NOT button. In step S407, the second issue trigger is selected to complete the logical expression.

図１０の使用例では、発行トリガー「１−１−２」と発行トリガー「１−２−２」のＡＮＤをイベント発行の条件としている。２つの発行トリガーに相当するメカユニット信号が１Ｃｈｉｐプログラム２０６から発信される。オンラインプログラム２０４が、本体制御プログラム２０５を介してメカユニット信号を受信すると、送受信部２０７がホストコンピュータ１１９へイベントＩＤ「１００７」を送信する。   In the usage example of FIG. 10, the AND of the issue trigger “1-1-2” and the issue trigger “1-2-2” is set as an event issue condition. A mechanical unit signal corresponding to two issuance triggers is transmitted from the 1Chip program 206. When the online program 204 receives the mechanical unit signal via the main body control program 205, the transmission / reception unit 207 transmits the event ID “1007” to the host computer 119.

図９のステップＳ４０７において第２の発行トリガーが選択された後、ステップＳ４０８において、さらに発行トリガーの数を増加させるか否かを選択する。発行トリガー数を増加させる場合、再びステップＳ４０６へ進み、追加する演算子を選択する。一方、ステップＳ４０８において、全ての発行トリガーの選択が完了した場合、ステップＳ４０９へ進み、遷移イベントの発行トリガーの設定を保存する。   After the second issue trigger is selected in step S407 in FIG. 9, it is selected in step S408 whether or not to further increase the number of issue triggers. When increasing the number of issuance triggers, the process proceeds to step S406 again, and an operator to be added is selected. On the other hand, if the selection of all the issuance triggers is completed in step S408, the process proceeds to step S409 and the setting of the transition event issuance trigger is saved.

以上の手順により、遷移イベントの発行条件をカスタマイズ（設定変更）することができる。   With the above procedure, the transition event issuance conditions can be customized (setting change).

図１０は、遷移イベントの発行トリガーのカスタマイズ画面の一例である。この画面には、選択可能な発行トリガーの一覧が表示されており、チェックボックスをチェックすることで、任意の発行トリガーをイベント情報の発行条件に含めることができる。図１０に示されるように、この画面には、論理演算子ボタン及び条件をクリアするＣＬＥＡＲボタンが設けられている。チェックボックスと演算子ボタンを用いて論理式を組み立てると、発行条件の論理式が表示される。また、ユーザがＳＡＶＥボタンを押下することにより、発行トリガーの設定が保存される。   FIG. 10 shows an example of a transition event issuance trigger customization screen. On this screen, a list of selectable issue triggers is displayed, and by checking a check box, any issue trigger can be included in the event information issue condition. As shown in FIG. 10, this screen is provided with a logical operator button and a CLEAR button for clearing the condition. When a logical expression is assembled using check boxes and operator buttons, the logical expression of the issuance condition is displayed. Further, when the user presses the SAVE button, the setting of the issue trigger is saved.

以上、本実施例では、ユーザ自らがイベント情報の発行タイミングを設定変更することについて説明したが、これに限定されるものではない。例えば、オンラインプログラムを提供する製造装置メーカーが、本実施例を適用してユーザの要望に迅速に対応するという運用も考えられる。   As described above, in the present embodiment, the user himself / herself explained the setting change of the event information issue timing. However, the present invention is not limited to this. For example, an operation may be considered in which a manufacturing apparatus manufacturer that provides an online program quickly responds to a user's request by applying this embodiment.

本実施例の構成によれば、図１２に示されるように、イベントのカスタマイズが可能なオンラインプログラムを一つ開発すれば、その後は、ユーザが要望するイベント発行条件に合わせてカスタマイズするだけで済む。このように、本実施例によれば、図１１に示されるようなソフトウエアの修正が不要となるため、開発工数の削減が可能となる。   According to the configuration of this embodiment, as shown in FIG. 12, if one online program capable of customizing an event is developed, then it is only necessary to customize it according to the event issuing conditions desired by the user. . As described above, according to this embodiment, it is not necessary to modify the software as shown in FIG. 11, and therefore, the number of development steps can be reduced.

カスタマイズされた発行トリガーに関する情報は、製造装置内の不揮発性記憶装置又は取り外し可能な記憶装置に保存することができる。また、外部記憶装置に保存した発行トリガーに関する情報を、製造装置以外の環境においても編集可能に構成することができる。   Information regarding customized issue triggers can be stored in non-volatile storage or removable storage in the manufacturing equipment. Further, the information related to the issuance trigger stored in the external storage device can be configured to be editable even in an environment other than the manufacturing apparatus.

また、製造装置以外の環境で作成した発行トリガーの設定データを、製造装置に直接又はネットワークを介して転送し、カスタマイズした発行トリガーの設定でオンライン運用を行うこともできる。   It is also possible to transfer issuance trigger setting data created in an environment other than the manufacturing apparatus directly to the manufacturing apparatus or via a network and perform online operation with customized issuance trigger settings.

半導体生産工場でのオンライン運用において、本実施例によれば、製造装置から収集すべきイベントの選択やイベント情報の発行タイミングを自由にカスタマイズすることができる。このため、ユーザは、従来のように、製造装置メーカーへ定義済みの収集イベントの変更要望を出すという手間がかからなくなる。また、製造装置メーカーにとっても、製造装置ユーザ毎の要求に合わせてイベントを変更するというソフトウエアの修正が不要となるため、コストと時間がかからなくなる。   In online operation in a semiconductor production factory, according to the present embodiment, it is possible to freely customize the selection of events to be collected from the manufacturing apparatus and the issue timing of event information. For this reason, the user does not have to take the trouble of making a request for changing the defined collection event to the manufacturing apparatus manufacturer, as in the past. In addition, since it is not necessary for the manufacturing apparatus manufacturer to modify the software to change the event in accordance with the request of each manufacturing apparatus user, cost and time are not required.

デバイス（半導体集積回路素子、液晶表示素子等）は、前述の実施例の製造装置（露光装置）を使用して感光剤を塗布した基板（ウエハ、ガラスプレート等）を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される。   A device (semiconductor integrated circuit element, liquid crystal display element, etc.) includes a step of exposing a substrate (wafer, glass plate, etc.) coated with a photosensitive agent using the manufacturing apparatus (exposure apparatus) of the above-described embodiment, and the substrate It is manufactured by going through a step of developing and other known steps.

本実施例によれば、ホストコンピュータへのイベント通知に関する設定に有利な製造装置を提供することができる。また、このような製造装置（露光装置）を用いたデバイス製造方法を提供することができる。   According to the present embodiment, it is possible to provide a manufacturing apparatus that is advantageous for setting related to event notification to the host computer. In addition, a device manufacturing method using such a manufacturing apparatus (exposure apparatus) can be provided.

以上、本発明の実施例について具体的に説明した。ただし、本発明は上記実施例として記載された事項に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。   The embodiment of the present invention has been specifically described above. However, the present invention is not limited to the matters described as the above-described embodiments, and can be appropriately changed without departing from the technical idea of the present invention.

１０２、１１３ モニター
１０６ １ＣｈｉｐＣＰＵ
１１７ ワークステーション
１１９ ホストコンピュータ
102, 113 Monitor 106 1ChipCPU
117 workstation 119 host computer

Claims (9)

ホストコンピュータと通信して動作する製造装置であって、
前記製造装置の動作を制御する制御部と、
前記制御部と通信するコンソール部と、を有し、
前記コンソール部は、
前記製造装置で発生するイベントに関する選択肢を表示部に表示させ、
前記表示部に表示された前記選択肢を選択する入力に従って、前記ホストコンピュータへのイベント通知に関する設定を行い、
前記製造装置で発生したイベントの情報を前記制御部から受信し、
前記設定にしたがって、前記製造装置で発生したイベントの情報を前記ホストコンピュータに送信する、ことを特徴とする製造装置。 A manufacturing device that operates in communication with a host computer,
A control unit for controlling the operation of the manufacturing apparatus;
A console unit communicating with the control unit,
The console section is
Display the options related to the event that occurs in the manufacturing apparatus on the display unit,
In accordance with the input for selecting the option displayed on the display unit, setting for event notification to the host computer,
Receives information on events occurring in the manufacturing apparatus from the control unit,
In accordance with the setting, information on an event that has occurred in the manufacturing apparatus is transmitted to the host computer. 前記選択肢は、前記製造装置で発生する複数のイベントのうち前記ホストコンピュータに通知すべきイベントを含む、ことを特徴とする請求項１に記載の製造装置。   The manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the option includes an event to be notified to the host computer among a plurality of events that occur in the manufacturing apparatus. 前記選択肢は、前記イベントの情報を前記ホストコンピュータに送信するタイミングを含む、ことを特徴とする請求項１または２に記載の製造装置。   The manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the option includes a timing at which the event information is transmitted to the host computer. 前記コンソール部は、前記イベントの情報を前記ホストコンピュータに送信するタイミングに関する条件を前記選択肢として前記表示部に表示させる、ことを特徴とする請求項１に記載の製造装置。   The manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the console unit causes the display unit to display a condition related to a timing for transmitting the event information to the host computer as the option. 前記コンソール部は、論理記号と前記条件とを前記表示部に表示させ、前記論理記号と前記条件とを選択する入力に従って、複数の条件に対する論理演算を表す論理式を設定し、設定された前記論理式にしたがって、前記イベントの情報を前記ホストコンピュータに送信する、ことを特徴とする請求項４に記載の製造装置。   The console unit displays a logical symbol and the condition on the display unit, sets a logical expression representing a logical operation for a plurality of conditions according to an input for selecting the logical symbol and the condition, and sets the set The manufacturing apparatus according to claim 4, wherein the event information is transmitted to the host computer in accordance with a logical expression. 前記表示部は、前記コンソール部に設けられた表示部であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の製造装置。   The manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the display unit is a display unit provided in the console unit. 前記表示部は、前記ホストコンピュータの表示部であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の製造装置。   6. The manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the display unit is a display unit of the host computer. 前記製造装置は露光装置であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の製造装置。   The manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the manufacturing apparatus is an exposure apparatus. 請求項８記載の製造装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。 Exposing the substrate using the manufacturing apparatus according to claim 8;
Developing the substrate exposed in the step;
A device manufacturing method comprising:
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