JP2010266320A - 角速度センサ装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明はパッケージ6の実装面に対して非平行に角速度センサ素子を実装する角速度センサ装置において前記角速度センサ素子は一端が固定部10に支持された駆動アーム12を振動させ角速度を検出する振動型素子とし、駆動アーム12を固定部10に対して対称配置した構造とした。
【選択図】図2
Description
7 角速度センサ素子
10 固定部
12 駆動アーム
20 素子電極
21 パッケージ電極
22 ボンディングワイヤ
23 金属バンプ
Claims (3)
- パッケージと、前記パッケージの実装面と非平行となるように前記パッケージの内部に実装される角速度センサ素子を有し、前記角速度センサ素子は一端が固定部に支持された駆動アームを振動させ角速度を検出する振動型素子とし、前記駆動アームを前記固定部に対して対称配置したことを特徴とする角速度センサ装置。
- パッケージの内部に設けたパッケージ電極と、角速度センサ素子に設けた素子電極と、前記素子電極と前記パッケージ電極とを接続するボンディングワイヤを有し、前記パッケージ電極と前記ボンディングワイヤの接続部分に金属バンプを介在させたことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ装置。
- パッケージと、前記パッケージの実装面と非平行となるように前記パッケージの内部に実装される角速度センサ素子と、前記角速度センサ素子に設けた素子電極と、前記パッケージの内部に設けられたパッケージ電極と、前記素子電極と前記パッケージ電極を接続するボンディングワイヤを備えた角速度センサ装置の製造方法において、前記パッケージ電極上に金属バンプを設け、この金属バンプ上に前記ボンディングワイヤを接続することを特徴とした角速度センサ装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009117472A JP2010266320A (ja) | 2009-05-14 | 2009-05-14 | 角速度センサ装置およびその製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012236348A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Seiko Epson Corp | 記録装置、記録方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11288961A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Kaijo Corp | 導線の接続方法、導線の配線方法およびワイヤボンディング方法 |
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JP2009041962A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-26 | Murata Mfg Co Ltd | 外力検知装置およびその製造方法 |
-
2009
- 2009-05-14 JP JP2009117472A patent/JP2010266320A/ja active Pending
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