JP2010265895A - Vacuum pump - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum pump in which a side-channel-pump stage has an improved vacuum characteristic value and simultaneously a shape with which pump active parts can be easily manufactured. <P>SOLUTION: This vacuum pump includes a gas inlet, a gas outlet, and the side-channel-pump stage. The side-channel-pump stage includes an impeller provided with an outer circumference and at least one blade 402, and rotated. The blade includes a rear part 405 provided with an outer corner 408 positioned at rear in a motion direction 407. The blade includes a chamfer 406 at the outside corner of the rear part in order to improve vacuum characteristics with simple manufacturability. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、請求項１の上位概念に記載の真空ポンプに関するものである。   The present invention relates to a vacuum pump according to the superordinate concept of claim 1.

従来技術において、サイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプが、例えばドイツ特許公開第１９９３０９５２号から既知である。ここで提案された真空ポンプは、大気圧の容器を１０−４ｍｂａｒより小さい値まで真空にすることを可能にする。これは、複数のサイド・チャネル・ポンプ段を後方に設置することにより達成される。これらのサイド・チャネル・ポンプ段の各々は羽根車を有し、羽根車は、その外周部に、チャネル内において円運動を行う羽根を有している。 In the prior art, vacuum pumps with side channel pump stages are known, for example from DE 199 30 952. The vacuum pump proposed here makes it possible to evacuate the atmospheric container to a value of less than 10 −4 mbar. This is accomplished by installing multiple side channel pump stages behind. Each of these side channel pump stages has an impeller, and the impeller has, on its outer periphery, vanes that make a circular motion in the channel.

従来技術から、さらに、より高い背圧に対して排出可能なように、１つのサイド・チャネル・ポンプ段を追加して設けたターボ分子ポンプが既知である。このような真空ポンプが、例えば欧州特許第１５７６２９２号に示されている。   From the prior art, turbomolecular pumps are additionally known which are additionally provided with one side channel pump stage so that they can be discharged against higher back pressures. Such a vacuum pump is shown, for example, in EP 1576292.

十分に良好なポンプ能力を達成させるために、一般に、複数の段と、および費用をかけて形成されたサイド・チャネル・ポンプ段の羽根車とが必要である。少なくとも少量生産においては、費用をかけて中実材料から製造されなければならない多数の羽根に多大な費用がかかることは明らかである。ポンプの排気速度および入口および出口間の圧力比のようなサイド・チャネル・ポンプ段の真空特性値は、羽根、チャネルおよび回転部分と固定部分との間の隙間などの形態の関数である。一般に、良好な真空特性値は製造コストを上昇させることになる。   In order to achieve a sufficiently good pumping capacity, generally multiple stages and costly formed side channel pump stage impellers are required. Clearly, at least in low volume production, the large number of vanes that must be manufactured from solid material at high cost is very expensive. The vacuum characteristics of the side channel pump stage, such as pumping speed and pressure ratio between the inlet and outlet, are a function of morphology such as vanes, channels and gaps between rotating and stationary parts. In general, a good vacuum characteristic value increases the manufacturing cost.

他方で、サイド・チャネル・ポンプのポンプ能動部品の製造コストを低く抑える必要性が存在する。   On the other hand, there is a need to keep the manufacturing costs of the pump active parts of the side channel pump low.

ドイツ特許公開第１９９３０９５２号German Patent Publication No. 19930952 欧州特許第１５７６２９２号European Patent No. 1576292

したがって、本発明の課題は、真空ポンプのサイド・チャネル・ポンプ段が、改善された真空特性値と、同時に、ポンプ能動部品の簡単に製造可能な形状とを有する、真空ポンプを提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a vacuum pump in which the side channel pump stage of the vacuum pump has an improved vacuum characteristic value and at the same time a shape that allows the pump active components to be easily manufactured. is there.

この課題は、請求項１の特徴を有する真空ポンプにより解決される。従属請求項２−９は有利な変更態様を与える。
運動方向に関して後方に位置する後部の外側角部における面取り部は、真空特性値、特に圧力比を改善し、且つ多くの加工方法においてコスト的に有利に製造可能である。改善された圧力比は、真空ポンプ内の他の圧力範囲を包含可能にするために、少ないサイド・チャネル・ポンプ段を用いて作業することを可能にする。さらに、面取り部もまた、少量生産および中量生産において使用される、例えばフライス加工およびのこ引き加工のような加工方法でコスト的に有利に製造可能である。後部および面取り部が平面であるとき、製造はさらに容易となる。 This problem is solved by a vacuum pump having the features of claim 1. Dependent claims 2-9 provide advantageous modifications.
The chamfered portion at the rear outer corner located rearward with respect to the direction of motion improves the vacuum characteristic value, in particular the pressure ratio, and can be manufactured cost-effectively in many processing methods. The improved pressure ratio makes it possible to work with fewer side channel pump stages in order to be able to cover other pressure ranges within the vacuum pump. In addition, the chamfer can also be produced cost-effectively with processing methods such as milling and sawing, which are used in low-volume production and medium-volume production. Manufacture is even easier when the rear and chamfer are flat.

従属請求項の手段により、真空特性値のさらなる改善が達成可能である。これらの形態もまた、フライス加工およびのこ引き加工でコスト的に有利に製造可能である。図示の形状は、分子ポンプ段、例えばホルベック（Ｈｏｌｗｅｃｋ）ポンプ段との組み合わせにおいて有利であることが観察された。本発明によるサイド・チャネル・ポンプ段および分子ポンプ段の作業範囲は有利な範囲内にあるので、全体として、良好に格付けされた真空ポンプが形成される。   By means of the dependent claims, further improvements in the vacuum characteristic values can be achieved. These forms can also be produced cost-effectively by milling and sawing. The shape shown has been observed to be advantageous in combination with a molecular pump stage, such as a Holweck pump stage. The working range of the side channel pump stage and the molecular pump stage according to the present invention is in an advantageous range, so that a well-rated vacuum pump is formed as a whole.

これらの変更態様の一実施例により本発明を詳細に説明し、且つそれらの利点を掘り下げることとする。   The invention will be described in detail by way of an example of these modifications and their advantages will be explored.

図１は、サイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプの軸方向断面図を示す。FIG. 1 shows an axial cross-section of a vacuum pump with a side channel pump stage. 図２は、線Ｉ−Ｉ′による、サイド・チャネル・ポンプ段の軸中心線に直角な断面図を示す。FIG. 2 shows a cross-sectional view perpendicular to the axial centerline of the side channel pump stage, taken along line II ′. 図３は、羽根車の代替形態を備えたサイド・チャネル・ポンプ段の断面図を示す。FIG. 3 shows a cross-sectional view of a side channel pump stage with an alternative form of impeller. 図４は、線ＩＩ−ＩＩ′による、羽根車の代替形態を備えたサイド・チャネル・ポンプの断面図を示す。FIG. 4 shows a cross-sectional view of a side channel pump with an impeller alternative, taken along line II-II ′. 図５は、面取り部を設けた羽根の斜視図を示す。FIG. 5 shows a perspective view of a blade provided with a chamfered portion. 図６は、第１および第２の羽根を備えた羽根車を見た図を示す。FIG. 6 shows a view of an impeller with first and second blades. 図７は、線ＩＩＩ−ＩＩＩ′による、第１および第２の羽根を備えた羽根車の断面図を示す。FIG. 7 shows a cross-sectional view of an impeller with first and second blades, taken along line III-III ′. 図８は、本発明の一変更態様における、いくつかの羽根を備えた一部分を見た図を示す。FIG. 8 shows a view of a portion with several vanes in one variation of the invention.

この実施例の真空ポンプ１は、ガス入口２およびガス出口３、およびハウジングを有している。ハウジングは４つのハウジング部分２０、２１、２２および２３から構成され、これらのハウジング部分は、真空ポンプの構成要素を包囲している。これらの構成要素を以下に説明する。   The vacuum pump 1 of this embodiment has a gas inlet 2 and a gas outlet 3 and a housing. The housing consists of four housing parts 20, 21, 22 and 23, which enclose the components of the vacuum pump. These components are described below.

ガス入口を通過して真空ポンプ内に流入したガスは、はじめに、分子ポンプ段５内に到達する。分子ポンプ段は、内部ねじ山溝５０７が設けられている内部ステータ５０５、および外部ねじ山溝５０８が設けられている外部ステータ５０６を有している。内部ステータと外部ステータとの間に、滑らかな表面を有するシリンダ５０２が設けられ、シリンダはロータ５００と結合されている。したがって、分子ポンプ段はホルベック・ポンプ段として形成されている。図１に示されているホルベック・ポンプ段はステータ構造部分により包囲された第２のシリンダ５０２′と対称に形成され、したがって、複流で作動する。   The gas passing through the gas inlet and flowing into the vacuum pump first reaches the molecular pump stage 5. The molecular pump stage has an internal stator 505 provided with an internal thread groove 507 and an external stator 506 provided with an external thread groove 508. A cylinder 502 having a smooth surface is provided between the inner stator and the outer stator, and the cylinder is coupled to the rotor 500. The molecular pump stage is thus formed as a Holbeck pump stage. The Holbeck pump stage shown in FIG. 1 is formed symmetrically with the second cylinder 502 'surrounded by the stator structure and thus operates in double flow.

ロータは軸８と結合され、軸は転がり軸受１０および１１内において回転可能に支持されている。転がり軸受の代わりに、受動的および能動的磁気軸受が使用されてもよい。軸に少なくとも１つの永久磁石１３が配置され、永久磁石は固定コイル１２と協働し、且つ固定コイルと共に駆動装置７を形成している。転がり軸受１０、駆動装置７および分子ポンプ段５はハウジング部分２０および２１内に配置されている。   The rotor is coupled to a shaft 8 which is rotatably supported in rolling bearings 10 and 11. Instead of rolling bearings, passive and active magnetic bearings may be used. At least one permanent magnet 13 is arranged on the shaft, which cooperates with the stationary coil 12 and forms the drive device 7 together with the stationary coil. The rolling bearing 10, the drive device 7 and the molecular pump stage 5 are arranged in housing parts 20 and 21.

軸は、サイド・チャネル・ポンプ段４を含むハウジング部分２２を貫通する。サイド・チャネル・ポンプ段はサイド・チャネル４０１および羽根車４００から形成され、この場合、羽根車に少なくとも１つの羽根４０２が配置され、羽根はサイド・チャネル内において軸の回転により円運動を行い、これによりポンプ作用を発生する。ガスは移送チャネル２４を通過して分子ポンプ段５からサイド・チャネル・ポンプ段内に到達し、且つ他の移送チャネル２５を通過して排出される。   The shaft passes through the housing part 22 containing the side channel pump stage 4. The side channel pump stage is formed from a side channel 401 and an impeller 400, in which at least one vane 402 is arranged in the impeller, the vane making a circular motion by rotation of the shaft in the side channel, This generates a pumping action. The gas passes through the transfer channel 24, reaches the side channel pump stage from the molecular pump stage 5, and is exhausted through the other transfer channel 25.

サイド・チャネル・ポンプ段から、ガスは、移送チャネル２５を通過して背圧ポンプ段６内に到達する。背圧ポンプ段は同様にサイド・チャネル・ポンプとして形成され、この場合、羽根車６００に配置され且つサイド・チャネル６０１内において円運動を行う羽根６０２の形状は、羽根４０２の形状とは異なっている。このポンプ段から、ガスは、ガス出口を通過して真空ポンプから排出される。   From the side channel pump stage, the gas passes through the transfer channel 25 and reaches the back pressure pump stage 6. The back pressure pump stage is similarly formed as a side channel pump, in which case the shape of the blade 602 located in the impeller 600 and performing circular motion in the side channel 601 is different from the shape of the blade 402. Yes. From this pump stage, the gas passes through the gas outlet and is discharged from the vacuum pump.

羽根車４００および６００と、ハウジング部分２１、２２および２３との間に隙間が存在する。この隙間は、当該羽根車の自由な回転を可能にするが、回転を妨害するガス流れが発生しないように狭く形成されている。   There are gaps between the impellers 400 and 600 and the housing parts 21, 22 and 23. This gap allows the impeller to rotate freely, but is narrowly formed so as not to generate a gas flow that disturbs the rotation.

図２は、線Ｉ−Ｉ′によるハウジング部分２２の断面図を示す。軸８上に羽根車４００が装着されている。羽根車は外周部４０３を有し、外周部に、周囲に沿って均等に分布された羽根４０２が配置されている。サイド・チャネル４０１は羽根車を包囲し、この場合、サイド・チャネルは、ほぼリング状に、羽根車の羽根領域を包囲している。周囲の一部においてのみ、ハウジングは羽根車に密接している。この部分は中断部４０４を形成し、中断部は吸込側と排出側とを相互に分離し、且つ中断部において、サイド・チャネル内において形成され且つ羽根車の回転に追従するガス流れは、羽根車から切り離され且つ移送チャネル２５に移送される。   FIG. 2 shows a cross-sectional view of the housing part 22 along the line II ′. An impeller 400 is mounted on the shaft 8. The impeller has an outer peripheral portion 403, and the blades 402 that are evenly distributed along the periphery are arranged on the outer peripheral portion. The side channel 401 surrounds the impeller, in which case the side channel surrounds the impeller blade region in a substantially ring shape. Only part of the periphery is close to the impeller. This part forms an interruption 404, which separates the suction and discharge sides from each other, and in the interruption, the gas flow formed in the side channel and following the rotation of the impeller Disconnected from the car and transferred to transfer channel 25.

図１および２に示す例において、羽根は羽根車の外周部において半径方向に配置されている。図３および４がこの配置の代替態様を示している。
したがって、図３は代替態様として形成されたハウジング部分２２′を示し、ハウジング部分はサイド・チャネル・ポンプ段を受け入れ且つ軸８′により貫通されている。この場合、サイド・チャネル４０１′は羽根車４００′の面内に配置されてなく、軸方向にオフセットされて羽根車の横に配置されている。羽根４０２′はほぼディスク形状の羽根車から半径方向に突出してなく、羽根車から面に直角な方向に突出している。 In the example shown in FIGS. 1 and 2, the blades are arranged in the radial direction on the outer periphery of the impeller. 3 and 4 show an alternative embodiment of this arrangement.
FIG. 3 thus shows a housing part 22 'formed as an alternative, which housing part receives the side channel pump stage and is penetrated by the shaft 8'. In this case, the side channel 401 ′ is not arranged in the plane of the impeller 400 ′ but is offset in the axial direction and arranged beside the impeller. The blades 402 'do not protrude from the substantially disk-shaped impeller in the radial direction, but protrude from the impeller in a direction perpendicular to the surface.

図４に、図３に示すハウジング部分２２′および軸８′を有する配置の線ＩＩ−ＩＩ′による断面図が示されている。羽根４０２′は羽根車上に位置し且つリング状の自由空間４０９を通過してサイド・チャネル４０１′内に突出している。サイド・チャネルはリング状自由空間４０９とは異なり、閉じたリングを形成せず、中断部４０４′により中断される。移送チャネル２４′を通過してサイド・チャネル内に流入し且つ羽根によりサイド・チャネルに沿って移動されたガスは、中断部において、移送チャネルの方向に次のポンプ段に向けて転向される。   FIG. 4 shows a sectional view through line II-II ′ of the arrangement shown in FIG. 3 having the housing part 22 ′ and the shaft 8 ′. The vane 402 'is located on the impeller and passes through the ring-shaped free space 409 and projects into the side channel 401'. Unlike the ring-shaped free space 409, the side channel does not form a closed ring and is interrupted by the interrupting portion 404 '. The gas that passes through the transfer channel 24 'and flows into the side channel and is moved by the vanes along the side channel is redirected in the direction of the transfer channel towards the next pump stage at the interruption.

図１および３においては、図を見やすくするために、サイド・チャネル・ポンプ段に入り且つそれから出る移送チャネルは、羽根車の周囲に関して向かい合って示されている。しかしながら、これらの移送チャネルは、中断部４０４および４０４′のみによって分離されるように、小さい角度間隔で相互に配置することが好ましい。   In FIGS. 1 and 3, the transfer channels entering and exiting the side channel pump stage are shown face-to-face with respect to the periphery of the impeller for ease of viewing the figures. However, it is preferred that these transfer channels be arranged with a small angular spacing so that they are separated only by the interruptions 404 and 404 '.

図５には、ただ１つの羽根４０２が示されている。この羽根は、図１および２に示す配置においてのみならず、図３および４に示す配置においてもまた羽根４０２′として使用可能である。この羽根は、運動方向４０７に関して後方に位置する、外側角部４０８を設けた後部４０５を有している。この外側角部に面取り部４０６が配置されている。この面取り部により、真空特性値、特に羽根車により達成可能な圧力比が決定的に改善される。   In FIG. 5, only one blade 402 is shown. This vane can be used as vane 402 'not only in the arrangement shown in FIGS. 1 and 2, but also in the arrangement shown in FIGS. This vane has a rear part 405 with an outer corner 408 located rearward with respect to the direction of movement 407. A chamfered portion 406 is disposed at the outer corner. This chamfer decisively improves the vacuum characteristic value, in particular the pressure ratio achievable with the impeller.

一変更態様において、後部４０５および面取り部４０６はそれぞれ１つの平面を含む。このような平面は、のこ引き加工によりコスト的に有利に形成可能である。
製造ができるだけ簡単になるように、羽根の全ての表面が平面として形成されていることにより、有利な形態が可能となる。 In one variation, the rear 405 and the chamfer 406 each include a single plane. Such a plane can be advantageously formed by a sawing process in terms of cost.
In order to be as simple as possible to manufacture, an advantageous configuration is possible because all the surfaces of the blades are formed as planes.

羽根および羽根車の一変更態様が図６に示されている。第１の羽根４２０および第２の羽根４１２が運動方向４０７に相互に間隔をなして配置されている。これらの羽根の間に中間ウェブ４３０が形成されている。第１および第２の羽根は同じ形状に形成されている。これらの羽根は２つの羽根部分４２１および４２２を有し、一方、これらの羽根部分はそれぞれ、部分後部４２５および４２６を有している。各部分の部分後部に面取り部４１６が設けられている。羽根部分は、運動方向４０７と、運動方向に測定されて、９０°より小さい角度４１５を形成している。この角度により羽根部分のＶ形状配置が得られ、この場合、Ｖは運動方向に開いている。羽根部分のこの位置は、面取り部と協働して、羽根車により達成可能な圧力比を改善する。図２および４に示されているように、複数の羽根が、規則的な間隔で、羽根車の周囲に沿って分布されて設けられている。   One variation of the vanes and impellers is shown in FIG. The first blade 420 and the second blade 412 are spaced apart from each other in the direction of movement 407. An intermediate web 430 is formed between these blades. The first and second blades are formed in the same shape. These vanes have two vane portions 421 and 422, while these vane portions have partial rear portions 425 and 426, respectively. A chamfered portion 416 is provided at the rear portion of each portion. The vane portion forms a movement direction 407 and an angle 415 measured in the movement direction that is less than 90 °. This angle results in a V-shaped arrangement of the blade portions, where V is open in the direction of motion. This position of the vane portion cooperates with the chamfer to improve the pressure ratio achievable with the impeller. As shown in FIGS. 2 and 4, a plurality of vanes are provided distributed at regular intervals along the circumference of the impeller.

一変更態様において、少なくとも面取り部および部分後部が平面として形成され、且つ羽根が、羽根車内に存在して、羽根車から半径方向に突出するように、羽根が羽根車の外周部に配置されているとき、この形状は、特にコスト的に有利に製造可能である。このとき、中間ウェブは、外周部において羽根車の周りを伸長するように位置決めされている。この変更態様により形成された羽根車は、中実ディスクからのこ引き加工によりコスト的に有利に製造可能である。   In one modified embodiment, at least the chamfered portion and the partial rear portion are formed as a plane, and the blades are disposed on the outer periphery of the impeller so that the blades are present in the impeller and project radially from the impeller. This shape can be manufactured particularly cost-effectively. At this time, the intermediate web is positioned so as to extend around the impeller at the outer peripheral portion. The impeller formed according to this modified embodiment can be advantageously manufactured cost-effectively by sawing from a solid disk.

図７は、図６からの配置を、線ＩＩＩ−ＩＩＩ′による断面図で示す。この図において、羽根４２０および４１２の間に設けられた中間ウェブ４３０が横断面図で示されている。中間ウェブは、少なくとも部分的に、羽根高さ４３２より小さい中間ウェブ高さ４３１を有している。これにより、中間ウェブの両側の羽根の間の空間は相互に結合される。これは、同様に、達成可能な圧力比の改善をもたらす。   FIG. 7 shows the arrangement from FIG. 6 in a cross-sectional view along line III-III ′. In this view, an intermediate web 430 provided between vanes 420 and 412 is shown in cross-sectional view. The intermediate web has an intermediate web height 431 that is at least partially less than the blade height 432. Thereby, the space between the blades on both sides of the intermediate web is coupled to each other. This also results in an achievable pressure ratio improvement.

他の有利な形態特徴が図８により示されている。図８は羽根車の外周部を見た図を示す。羽根４５０は、それぞれ１つの部分後部４５３および４５４を設けた２つの羽根部分４５１および４５２を有している。部分後部において、外側角部にそれぞれ、面取り部４５６が配置されている。羽根部分は運動方向にオフセット量４６１だけ相互にオフセットされている。羽根部分の部分後部は羽根車外周部の中心線４６０を超えて伸長している。さらに、少なくとも１つの羽根部分は、運動方向と、９０°より小さい角度４１５′を形成している。この羽根の形態および形態要素の組み合わせは、同様に、改善された真空特性値を有している。   Another advantageous form feature is illustrated by FIG. FIG. 8 shows a view of the outer periphery of the impeller. The vane 450 has two vane portions 451 and 452 provided with one partial rear 453 and 454, respectively. In the partial rear portion, chamfered portions 456 are disposed at the outer corner portions, respectively. The blade portions are offset from each other by an offset amount 461 in the movement direction. The rear part of the blade part extends beyond the center line 460 of the outer periphery of the impeller. Further, the at least one vane portion forms an angle 415 ′ with the direction of motion that is less than 90 °. This blade configuration and combination of form elements likewise has improved vacuum characteristics.

１ 真空ポンプ
２ ガス入口
３ ガス出口
４ サイド・チャネル・ポンプ段
５ 分子ポンプ段
６ 背圧ポンプ段
７ 駆動装置
８、８′ 軸
１０、１１ 転がり軸受
１２ 固定コイル
１３ 永久磁石
２０、２１、２２、２２′、２３ ハウジング部分
２４、２４′ 移送チャネル
２５ 他の移送チャネル
４００、４００′、６００ 羽根車
４０１、４０１′、６０１ サイド・チャネル
４０２、４０２′、４１２、４２０、４５０、６０２ 羽根
４０３ 外周部
４０４、４０４′ 中断部
４０５ 後部
４０６、４１６、４５６ 面取り部
４０７ 運動方向
４０８ 外側角部
４０９ 自由空間
４１５、４１５′ 角度
４２１、４２２、４５１、４５２ 羽根部分
４２５、４２６、４５３、４５４ 部分後部
４３０ 中間ウェブ
４３１ 中間ウェブ高さ
４３２ 羽根高さ
４６０ 中心線
４６１ オフセット量
５００ ロータ
５０２、５０２′ シリンダ
５０５ 内部ステータ
５０６ 外部ステータ
５０７ 内部ねじ山溝
５０８ 外部ねじ山溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum pump 2 Gas inlet 3 Gas outlet 4 Side channel pump stage 5 Molecular pump stage 6 Back pressure pump stage 7 Drive device 8, 8 'Shaft 10, 11 Rolling bearing 12 Fixed coil 13 Permanent magnet 20, 21, 22, 22 ', 23 Housing part 24, 24' Transfer channel 25 Other transfer channel 400, 400 ', 600 Impeller 401, 401', 601 Side channel 402, 402 ', 412, 420, 450, 602 Blade 403 404, 404 'Interrupting portion 405 Rear portion 406, 416, 456 Chamfered portion 407 Movement direction 408 Outer corner portion 409 Free space 415, 415' Angle 421, 422, 451, 452 Blade portion 425, 426, 453, 454 Partial rear portion 430 Intermediate Web 431 Intermediate web height 432 Blade height 60 centerline 461 offset 500 rotor 502, 502 'cylinder 505 inside the stator 506 outside the stator 507 inside screw Yamamizo 508 external threads Yamamizo

Claims (9)

ガス入口（２）、ガス出口（３）およびサイド・チャネル・ポンプ段（４）を備えた真空ポンプ（１）であって、前記サイド・チャネル・ポンプ段は、外周部（４０３）と少なくとも１つの羽根（４０２、４０２′；４２０；４５０）とを設けた回転運動させられる羽根車（４００、４００′）を含み、この場合、前記羽根は、運動方向（４０７）において後方に位置する、外側角部（４０８）を設けた後部（４０５）を有する、真空ポンプにおいて、
前記羽根が前記後部の前記外側角部に面取り部（４０６；４１６；４５６）を有することを特徴とする真空ポンプ。 A vacuum pump (1) comprising a gas inlet (2), a gas outlet (3) and a side channel pump stage (4), wherein the side channel pump stage is at least one with the outer periphery (403) A rotating impeller (400, 400 ') with two vanes (402, 402';420; 450), wherein the vanes are located rearward in the direction of movement (407) In a vacuum pump having a rear portion (405) provided with corners (408),
A vacuum pump, wherein the blade has a chamfered portion (406; 416; 456) at the outer corner of the rear portion. 前記後部（４０５）および前記面取り部（４０６；４１６；４５６）がそれぞれ１つの平面を含むことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。 The vacuum pump according to claim 1, wherein the rear portion (405) and the chamfered portion (406; 416; 456) each include one plane. 前記羽根（４０２、４０２′；４２０；４５０）が、それぞれ１つの部分後部（４２５、４２６；４５３、４５４）を設けた２つの羽根部分（４２１、４２２；４５１、４５２）を含み、および少なくとも１つの羽根部分が、前記運動方向（４０７）と、９０°より小さい角度（４１５；４１５′）を形成することを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。 Said vane (402, 402 '; 420; 450) comprises two vane portions (421, 422; 451, 452) each provided with one rear part (425, 426; 453, 454) and at least one 3. Vacuum pump according to claim 1 or 2, characterized in that two blade parts form an angle (415; 415 ') with the direction of movement (407) of less than 90 °. 前記羽根車（４００、４００′）が第２の羽根（４１２）を含み、および羽根（４０２、４０２′；４２０）と第２の羽根との間に中間ウェブ（４３０）が設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の真空ポンプ。 The impeller (400, 400 ') includes a second blade (412) and an intermediate web (430) is provided between the blade (402, 402'; 420) and the second blade. The vacuum pump according to any one of claims 1 to 3. 前記羽根（４０２、４０２′；４２０；４５０）が、運動方向（４０７）において相互にオフセット配置されている２つの羽根部分（４５１、４５２）を含むことを特徴とする請求項３または４のいずれかに記載の真空ポンプ。 Either of the blades (402, 402 '; 420; 450) comprises two blade portions (451, 452) that are offset from each other in the direction of movement (407). The vacuum pump according to crab. 前記羽根部分（４５１、４５２）の部分後部（４５３、４５４）が羽根車（４００、４００′）の中心線（４６０）を超えて伸長することを特徴とする請求項３ないし５のいずれかに記載の真空ポンプ。 A partial rear portion (453, 454) of the blade portion (451, 452) extends beyond the center line (460) of the impeller (400, 400 '). The vacuum pump described. 相前後する２つの羽根（４２０、４１２）の間の中間ウェブ（４３０）が、少なくとも部分的に、羽根高さ（４３２）より小さい中間ウェブ高さ（４３１）を有することを特徴とする請求項４ないし６のいずれかに記載の真空ポンプ。 The intermediate web (430) between two adjacent blades (420, 412) has an intermediate web height (431) that is at least partially less than the blade height (432). The vacuum pump according to any one of 4 to 6. 前記羽根（４０２；４０２′；４２０；４５０：４１２）が、羽根車（４００、４００′）の外周部（４０３）において、半径方向に配置されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の真空ポンプ。 8. The blade according to claim 1, wherein the blades (402; 402 '; 420; 450: 412) are arranged radially on the outer periphery (403) of the impeller (400, 400'). The vacuum pump in any one. 真空ポンプが、サイド・チャネル・ポンプ段（４）とガス入口（２）との間に配置されている、分子圧力範囲に対して適合されたポンプ段（５）を有することを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の真空ポンプ。 The vacuum pump has a pump stage (5) adapted for the molecular pressure range, which is arranged between the side channel pump stage (4) and the gas inlet (2). Item 9. A vacuum pump according to any one of Items 1 to 8.
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