JP2010263061A - 圧電装置及びそれを備える送風機 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧電素子の疲労破壊による変位量の低下を抑制する。
【解決手段】圧電装置1は、圧電体11と、圧電体主面上に形成される表面電極12と、を有する圧電素子10と、圧電素子10の一方の主面上に形成され、圧電素子10と電気的に接続されるように接合されている振動板21と、圧電素子の他方の主面上に、圧電素子10と電気的に接続されるように形成されている外部電極22と、振動板21及び外部電極22を通じて圧電素子10と電気的に接続されている外部接続端子32と、を備える。そして、外部電極22は、圧電素子10の他方の主面上の少なくとも中心部上に形成されていることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】圧電装置1は、圧電体11と、圧電体主面上に形成される表面電極12と、を有する圧電素子10と、圧電素子10の一方の主面上に形成され、圧電素子10と電気的に接続されるように接合されている振動板21と、圧電素子の他方の主面上に、圧電素子10と電気的に接続されるように形成されている外部電極22と、振動板21及び外部電極22を通じて圧電素子10と電気的に接続されている外部接続端子32と、を備える。そして、外部電極22は、圧電素子10の他方の主面上の少なくとも中心部上に形成されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電装置、特に連続駆動する圧電装置及びそれを備える送風機に関する。
近年、小型・低背化を目的として、圧電装置を使用した送風機に対する需要が高まっている。圧電装置において、圧電素子は振動板に貼り付けられ、電圧を印加して圧電素子を屈曲変形させることで、振動板を振動させる。送風機用途の圧電装置は連続駆動させる必要があり、圧電素子を長時間振動させた場合の信頼性が問題となる。従来、発音体用途の圧電装置において使用される圧電素子と端子部との間を配線する場合、固定片や導線で接続する方法が一般的にとられている。
例えば、下記の特許文献1には圧電発音体が開示されている。図6において振動するのは金属板113に圧電素子114を貼り合わせた圧電振動板112である。外部の端子部122との間は固定片125で配線されている。固定片125と圧電素子114とは半田付け126により電気的に接続されている。
図6の構造をそのまま送風機用の圧電装置に用いた場合、圧電素子の連続振動により圧電素子が疲労破壊する場合がある。その際、圧電素子は、図5のように給電可能領域114aと給電不能領域114bの二ヶ所に分断される。固定片125と電気的に接続されている給電可能領域114aには給電されるため、圧電素子は振動し続けるが、給電不能領域114bには給電することができず、この部分は振動できなくなる。したがって全体としての変位量が大幅に低下し、圧電素子としての特性が著しく低下するという課題があった。
本発明の目的は、上述した従来技術を鑑み、連続振動する圧電素子の変位量の低下を抑制することができる、圧電装置及びそれを備えた送風機を提供することである。
本発明に係る圧電装置は、圧電体と、前記圧電体主面上に形成される表面電極と、を有する圧電素子と、前記圧電素子の一方の主面上に形成され、前記圧電素子と電気的に接続されるように接合されている振動板と、前記圧電素子の他方の主面の少なくとも中心部上に、前記圧電素子と電気的に接続されるように形成されている外部電極と、前記振動板及び前記外部電極を通じて前記圧電素子と電気的に接続されている外部接続端子と、を備えることを特徴としている。
この場合、外部電極が変位の大きい圧電素子の中心部上に形成されている。圧電素子の中心部は疲労破壊しやすいため、圧電素子が中心部で疲労破壊しても、圧電素子に電圧を印加し続けることができる。したがって圧電素子の変位量の低下を抑制することができる。
また、本発明では、前記外部電極は、前記圧電素子上に形成される圧電素子形成部と、前記圧電素子形成部から連続して一体的に形成され、前記外部接続端子と電気的に接続される外部接続部と、を有することを特徴としている。
この場合、固定片等で引き出している場合に比べて、外部接続部の幅を任意に設定することができるため、外部電極の強度を大きくすることができる。それにより外部電極自体の疲労破壊に対する信頼性を向上させることができる。
また、本発明では、前記外部電極は前記他方の主面上の全面に形成されていることを特徴としている。
この場合、圧電素子がいかなる部分で疲労破壊しても、圧電素子に電圧を印加し続けることが可能である。したがって、変位量の低下を抑制することができる。
また、本発明は、前記圧電素子は連続振動する圧電装置にも向けられる。
この場合、圧電素子が連続振動した場合、特に顕著に疲労破壊が発生しやすく、変位量の低下を抑制することができるためである。
また、本発明は、前記外部電極は網目状である圧電装置にも向けられる。
この場合、外部電極が弾性を有するため、長時間の連続振動が可能となる。
また、本発明は、前記外部電極は金属板からなる圧電装置にも向けられる。
また、本発明は、前記外部電極は導電性フィルムからなる圧電装置にも向けられる。
この場合、外部電極の加工が容易である。また、外部電極が弾性を有するため、長時間の連続振動が可能となる。
また、本発明は、前記圧電素子を備える、送風機にも向けられる。
この場合、長時間の連続駆動が可能となる送風機を提供できる。
本発明に係る圧電装置及びそれを備える送風機では、圧電素子の主面の少なくとも中心部上に、前記圧電素子と電気的に接続されるように予め外部電極が形成されている。したがって、圧電素子が疲労破壊しても、変位量の低下を抑制することができる。
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、実施例に基づいて説明する。
(実施例1)
図1は、本発明の実施例1に係る圧電装置の斜視図である。また、図2は、図1のA−A断面図である。図2において、回路端子33は省略している。
(実施例1)
図1は、本発明の実施例1に係る圧電装置の斜視図である。また、図2は、図1のA−A断面図である。図2において、回路端子33は省略している。
圧電装置1は、圧電素子10と、振動板21と、外部電極22と、外部接続端子32と、を備えている。
圧電素子10は、圧電体11と、その両主面上に形成される表面電極12、とを有する単板構造となっている。圧電体の材質は、大きな変位量が要求されるため、圧電セラミックが好ましい。要求される特性により、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸鉛、ニオブ酸アルカリ等、様々な材質が選択される。
表面電極12は、圧電体11を分極するために用いるものである。表面電極12は、圧電体11の両主面上に、スパッタや、スクリーン印刷と焼き付け等で形成することができる。
振動板21は、圧電素子10の一方の主面上に形成され、圧電素子10と電気的に接続されるように接合されている。圧電素子10と振動板21とは、例えば樹脂と金属フィラーを含む導電性接着剤等で接合される。圧電素子10は単板構造であるので、本圧電装置はユニモルフ構造になっている。振動板21はその端部を筺体31に固定されており、圧電素子10の屈曲変形に伴い変形する。振動板21は弾性変形しやすい金属板で形成するのが良い。
外部電極22は、前記圧電素子10の他方の主面の少なくとも中心部上に、圧電素子10と電気的に接続されるように形成されている。
圧電素子10は、圧電素子の共振モードによって異なるが、中心部の変位が特に大きく、疲労破壊しやすくなる。振動の節がない一次共振モードの場合には、圧電素子の最大変位量の半分以上変位する領域が中心部となる。また、振動の節がある高次共振モードの場合には、一番中心に近い節の内側の領域が中心部となる。外部電極22が圧電素子10の少なくとも中心部上に形成されることにより、圧電素子10の疲労破壊しやすい部分に給電し続けることが可能となる。
外部電極22は、圧電素子10上に形成される圧電素子形成部22aと、前記圧電素子形成部22aから連続して一体的に形成され、外部接続端子32と電気的に接続される外部接続部22bと、を有する。外部接続部22bは圧電素子形成部22aから連続して一体的に形成されているため、圧電素子の振動による外部電極の強度の低下を防ぐことができる。また、圧電素子形成部22aと外部接続部22bが同じ材質であれば、外部電極22自体の強度が上がるため、さらに好ましい。
また、図1では圧電素子形成部22aが圧電素子10の主面上の全面に形成されている。かかる場合には、圧電素子がいかなる部分で疲労破壊しても、圧電素子10に電圧を印加し続けることが可能である。したがって、変位量の低下を更に抑制することができる。
外部電極22は圧電素子の振動を阻害しないことが望ましいため、厚さは30〜100μmが好ましい。
さらに、外部電極22は、網目状であることが好ましい。網目状であれば、外部電極自体が弾性を有するため、圧電素子の振動を阻害しにくいためである。また、網目の目開きは20μm以上、網目の線径は15μm以上が好ましい。かかる場合には、網目状の目開き部に接合の際に使用する導電性接着剤が入り込むため、接着が強固になるためである。
外部電極22は、金属板からなっていても良い。金属板の材質は、真鍮、銅、ステンレス等、導電性を有するものが望ましい。また、外部電極22は、導電性フィルムからなっていても良い。導電性フィルムは樹脂フィルムに導電性機能を持たせたもので、外部電極22の加工が容易になるためである。
外部接続端子32は、外部電極22を通じて圧電素子10と電気的に接続されている。また、図示していないが、外部接続端子32と振動板21とは電気的に接続されている。外部接続端子32は、外部導線33を通じて、回路端子34と接続されている。回路端子34は、圧電素子10と電気信号の授受を行う。
図3は、図1の圧電装置を備えた送風機の断面図である。図3では、外部電極、外部接続端子、外部導線、回路端子の図示は省略している。圧電装置1は、図1、図2に図示したものに加え、ブロア室42と、ブロア室貫通穴45と、を備える。筺体31と送風機筺体41により、流入口44、流入経路43、吐出口46が形成される。流体は、流入口44から流入し、流入経路43を通って、吐出口46から排出される。
次に、送風機の駆動状況を図3に従って説明する。図中の矢印は流体の流れを示す。なお、図3は圧電素子を一次共振モードで変形させる例だが、三次以上の高次の共振モードで変形させる場合も形状が異なるだけで、ほぼ同様である。
図3(A)は圧電素子10に電圧を印加していない状態であり、振動板21は平坦である。次に、圧電素子10に電圧を印加することにより、図3(B)のように圧電素子10は下に凸に屈曲変形する。それに伴い、振動板21も下に凸に変形し、ブロア室42の容積が拡大する。この容積の拡大によって、ブロア室貫通穴45からブロア室42内に流体が流入する。一方、図3(C)のように、図3(B)と逆の極性の電圧を印加することにより、圧電素子は上に凸に屈曲変形する。この場合には、ブロア室42の容積は縮小し、ブロア室貫通穴45からブロア室42の流体が吐出される。図3の(A)→(B)→(A)→(C)→(A)の順で、繰り返し圧電素子を高周波で振動させることにより、流入口44から流入した流体が、吐出口46から排出される流れが形成される。
(実験例)
本実験例では、図1に示す形態の圧電装置を作製した。まず、厚み0.2mm、直径11mmΦのPZT単板からなる圧電体と、スパッタにより形成され、銀からなる表面電極と、を有する圧電素子を用意した。
(実験例)
本実験例では、図1に示す形態の圧電装置を作製した。まず、厚み0.2mm、直径11mmΦのPZT単板からなる圧電体と、スパッタにより形成され、銀からなる表面電極と、を有する圧電素子を用意した。
そして、圧電素子と、厚み0.08mmの42Niからなる振動板とを貼り付けた。圧電素子と振動板とは、エポキシ樹脂と金属フィラーを含む導電性接着剤で接合した。
外部電極には、厚み0.05mm、目開き0.05mmの網目状金属を使用した。金属の材質は、ステンレスである。外部電極の圧電素子形成部は、直径11mmΦの圧電素子の上部に形成した。また、外部接続部の幅は2mmとした。圧電素子と外部電極とは、エポキシ樹脂と金属フィラーを含む導電性接着剤で接合した。そして、主にSUS板からなる筺体を用いて、縦20mm×横20mm×高さ2.4mmの送風機を作製した。ブロア室の大きさは高さ0.15mm、直径16mmΦである。また、流入経路の高さを0.4mmに設計した。
(比較例)
一方、比較例として、図4に示すような構造の圧電装置を作製した。図4の圧電装置1では、外部電極を用いずに、接続導線35で、表面電極12と外部接続端子32とを接続している。接続導線34は直径0.6mmΦであり、りん青銅からなる。接続導線35と表面電極12とは、半田付けにより接合した。それ以外は、実験例と同様に作製した。
(比較例)
一方、比較例として、図4に示すような構造の圧電装置を作製した。図4の圧電装置1では、外部電極を用いずに、接続導線35で、表面電極12と外部接続端子32とを接続している。接続導線34は直径0.6mmΦであり、りん青銅からなる。接続導線35と表面電極12とは、半田付けにより接合した。それ以外は、実験例と同様に作製した。
表1に、圧電素子の疲労破壊前後における、実験例と比較例の変位量の変化を示す。
一方、本実験例の構造では、圧電素子の主面の全面に外部電極が形成されている。したがって、圧電素子が疲労破壊を起こしても、電気的に断絶する領域がないため、変位量の低下を抑制することが可能となる。
1:圧電装置
10:圧電素子
11:圧電体
12:表面電極
21:振動板
22:外部電極
22a:圧電素子形成部
22b:外部接続部
31:筺体
32:外部接続端子
33:外部導線
34:回路端子
35:接続導線
40:送風機
41:送風機筺体
42:ブロア室
43:流入経路
44:流入口
45:ブロア室貫通穴
46:吐出口
51:送風機筺体
112:圧電振動板
113:金属板
114:圧電素子
114a:給電可能領域
114b:給電不能領域
122:端子部
125:固定片
126:半田付け
10:圧電素子
11:圧電体
12:表面電極
21:振動板
22:外部電極
22a:圧電素子形成部
22b:外部接続部
31:筺体
32:外部接続端子
33:外部導線
34:回路端子
35:接続導線
40:送風機
41:送風機筺体
42:ブロア室
43:流入経路
44:流入口
45:ブロア室貫通穴
46:吐出口
51:送風機筺体
112:圧電振動板
113:金属板
114:圧電素子
114a:給電可能領域
114b:給電不能領域
122:端子部
125:固定片
126:半田付け
Claims (8)
- 圧電体と、前記圧電体主面上に形成される表面電極と、を有する圧電素子と、
前記圧電素子の一方の主面上に形成され、前記圧電素子と電気的に接続されるように接合されている振動板と、
前記圧電素子の他方の主面の少なくとも中心部上に、前記圧電素子と電気的に接続されるように形成されている外部電極と、
前記振動板及び前記外部電極を通じて前記圧電素子と電気的に接続されている外部接続端子と、
を備える圧電装置。 - 前記外部電極は、前記圧電素子上に形成される圧電素子形成部と、前記圧電素子形成部から連続して一体的に形成され、前記外部接続端子と電気的に接続される外部接続部と、を有する、請求項1に記載の圧電素子。
- 前記外部電極は前記他方の主面上の全面に形成されている、請求項1又は2に記載の圧電装置。
- 前記圧電素子は連続振動する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧電装置。
- 前記外部電極は網目状である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電装置。
- 前記外部電極は金属板からなる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電装置。
- 前記外部電極は導電性フィルムからなる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電装置。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の前記圧電装置を備える、送風機。
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---|---|---|---|
JP2009112476A JP2010263061A (ja) | 2009-05-07 | 2009-05-07 | 圧電装置及びそれを備える送風機 |
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JP2009112476A JP2010263061A (ja) | 2009-05-07 | 2009-05-07 | 圧電装置及びそれを備える送風機 |
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---|---|---|---|---|
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-
2009
- 2009-05-07 JP JP2009112476A patent/JP2010263061A/ja active Pending
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