JP2010255663A - ロック機構付き手動弁 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロック機構付き手動弁1において、弁開閉動作に使用されるシリンダ部材32とハンドル31を通過するように係止孔55を手動機構3に貫通して形成し、その係止孔55に南京錠51の吊52を挿通することによりハンドル31がシリンダ部材32に対して相対的に上下方向へ移動しないようにして手動機構3の動作を制限する。
【選択図】図1
Description
従来の手動弁101は、ハンドル102を回転させることにより、弁体103を弁座104に当接又は離間させる。手動弁101のハウジング105には、フレーム106が設けられ、ハウジング105の固定溝108に嵌合するプレート107がフレーム106に図中上下方向へスライド可能に保持されている。このプレート107は、ハンドル102と一体的に回転するダミーハンドル109により、図中上方への移動を制限されている。しかし、ダミーハンドル109には、ハンドル102を弁閉位置に回転させたときにプレート107と一致する位置に切り欠き溝110が形成されている。このような手動弁101は、ハンドル102を弁閉位置に回転させた場合に、プレート107を切り欠き溝110を介して上方へ引き出し、プレート107の貫通孔111にワイヤ112を取り付けることによりプレート107が切り欠き溝110から外れないようにすることができる。よって、例えば、作業者が誤ってハンドル102を回転させようとした場合でも、プレート107が切り欠き溝110に引っ掛かってダミーハンドル109及びハンドル102の回転を阻止するので、手動弁101が誤作動で開かない(例えば特許文献1参照)。
(1)弁体を弁座に当接又は離間させる手動機構と、手動機構の動作を制限するロック機構とを備えるロック機構付き手動弁において、前記手動機構は、前記弁体に連結する操作ロッドと、前記弁本体に連結されて前記操作ロッドが挿通されるシリンダ部材と、前記操作ロッドの移動方向に沿って前記シリンダ部材に対して相対的に移動可能に設けられたハンドルと、前記ハンドルを前記操作ロッドに対して移動させる推進力を前記ハンドルに付与する駆動部と、を有し、前記ロック機構が、前記シリンダ部材と前記ハンドルを通過するように前記手動機構に形成した係止孔と、前記係止孔に挿通されるロック部材と、を有する。
図1に示すロック機構付き手動弁(以下「手動弁」という。)1は、例えば、半導体製造装置に取付プレート5を介して設置され、薬液の供給を制御する。手動弁1は、弁本体2と手動機構3を連結して構成されている。手動弁1には、手動機構3に貫通するように形成した係止孔55に南京錠(ロック手段の一例)51の吊(棒の一例)52を挿通することにより、手動機構3の動作を制限するロック機構4が構成されている。
例えば、差動ねじにより弁開度を調整する手動弁に、上記実施形態のロック機構4,4A,4Bの何れかを設けてもよい。
例えば、上記実施形態では、雄ねじ部35と雌ねじ部36によりハンドル31をスライドさせる駆動部を構成し、手動機構3を手動機構の一例として説明した。これに対して、手動機構は、カム機構等によりハンドル31をスライドさせるものであってもよい。
例えば、上記実施形態では、係止孔55に南京錠51の吊52を挿通してロック機構4を構成したが、ワイヤを係止孔55に挿通してロック機構を構成しても良い。
例えば、上記実施形態では、溝56を環状に形成したが、図7に示すように、シリンダ部材32の円筒部34の外周面に部分的に溝61を形成しても良い。
例えば、円筒部34を構成する壁の肉厚がロック部材(南京錠51の吊52やワイヤなど)の直径より大きい場合には、図8に示すように、円筒部34の壁を貫通して形成された貫通孔62とハンドル31に貫通して形成された貫通孔63とで係止孔55を構成しても良い。
3 手動機構
4 ロック機構
23 弁座
25 ダイアフラム弁体(弁体の一例)
31 ハンドル
32 シリンダ部材
33 操作ロッド
46 駆動部
51 南京錠(ロック手段の一例)
52 吊
55 係止孔
56 溝
57 貫通孔
58 凹部
Claims (4)
- 弁体を弁座に当接又は離間させる手動機構と、手動機構の動作を制限するロック機構とを備えるロック機構付き手動弁において、
前記手動機構は、
前記弁体に連結する操作ロッドと、
前記弁本体に連結されて前記操作ロッドが挿通されるシリンダ部材と、
前記操作ロッドの移動方向に沿って前記シリンダ部材に対して相対的に移動可能に設けられたハンドルと、
前記ハンドルを前記操作ロッドに対して移動させる推進力を前記ハンドルに付与する駆動部と、を有し、
前記ロック機構が、
前記シリンダ部材と前記ハンドルを通過するように前記手動機構に形成した係止孔と、
前記係止孔に挿通されるロック部材と、を有する
ことを特徴とするロック機構付き手動弁。 - 請求項1に記載するロック機構付き手動弁において、
前記ハンドルは、前記シリンダ部材の外周面を覆うように配置され、
前記係止孔は、前記シリンダ部材の外周面に形成された溝と、前記ハンドルの内周面を通過するように前記ハンドルに貫通して形成された貫通孔によって、構成されている
ことを特徴とするロック機構付き手動弁。 - 請求項2に記載するロック機構付き手動弁において、
前記溝は、前記シリンダ部材の外周面のうち、少なくとも、前記弁体を前記弁座に当接させたときに前記ハンドルの前記凹部に対向する位置、又は、前記弁体を前記弁座から離間させたときに前記ハンドルの前記凹部に対向する位置に、設けられている
ことを特徴とするロック機構付き手動弁。 - 請求項1乃至請求項3の何れか1つに記載するロック機構付き手動弁において、
前記ロック部材が、前記係止孔に挿通される棒又はワイヤを有する
ことを特徴とするロック機構付き手動弁。
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