JP2010249682A

JP2010249682A - Interferometer

Info

Publication number: JP2010249682A
Application number: JP2009099798A
Authority: JP
Inventors: Manabu Nemoto; 学根本
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2009-04-16
Filing date: 2009-04-16
Publication date: 2010-11-04

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an interferometer capable of suppressing difficulty in the operation of an operation part for adjusting positions of optical components caused by a position in which a case is attached and an orientation of the case. SOLUTION: The interferometer acquires an image of an interference fringe formed by reflected light from an inspection surface and reflected light from a reference surface by irradiating the inspection surface and the reference surface with light flux from a light source, and includes a plurality of the optical components disposed on an optical axis C1; a tubular case 10 housing at least one optical component 8 among the plurality of optical components therein; an adjustment moving mechanism 19 for adjusting the relative positional relationship between the at least one optical component housed in the case and the other optical components by moving the at least one optical component in the case; and an operation part 18 formed along the entire circumference of the peripheral part of the case and adjusting the movement amount of the adjustment moving mechanism. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は干渉計に関し、より詳しくは、干渉縞観察のために光学部品の位置等を調整することに関する。 The present invention relates to an interferometer, and more particularly to adjusting the position and the like of optical components for observation of interference fringes.

従来、被検面の形状を観察する干渉計において、干渉計の内部の光学部品の位置や向きを調整するために様々な機構が検討されている。
例えば、特許文献１に示す干渉計では、偏光ビームスプリッタで反射されたレーザ光を導く先を、アライメント光学系又は干渉縞観察光学系のいずれかに切替えるために、これらが収容されている干渉計本体の外部に円柱状のツマミ（操作部）を設けている。
干渉計本体内部において、ツマミに回転軸を介して接続された光路切替板には、アライメント光学系及び干渉縞観察光学系が、反射されたレーザ光と平行になるように取り付けられている。そして、ツマミを回転させることで、反射されたレーザ光の光路上に位置する光学系が切替わるように構成されている。 Conventionally, in an interferometer that observes the shape of a test surface, various mechanisms have been studied in order to adjust the position and orientation of optical components inside the interferometer.
For example, in the interferometer shown in Patent Document 1, in order to switch the laser beam reflected by the polarization beam splitter to either the alignment optical system or the interference fringe observation optical system, the interferometer in which these are accommodated A cylindrical knob (operation unit) is provided outside the main body.
Inside the interferometer body, an alignment optical system and an interference fringe observation optical system are attached to an optical path switching plate connected to a knob via a rotation shaft so as to be parallel to the reflected laser light. And it is comprised so that the optical system located on the optical path of the reflected laser beam may be switched by rotating a knob.

このような、ツマミは、光学系を切替えるだけでなく、例えば、図１１に示す干渉計１０１のように、ケーシング（筐体部）１０２の内部に設けられる不図示のレンズや撮像素子等の光学部品の位置を調節して、撮像素子で検出される干渉縞のフォーカスを調整するために用いられる。この干渉計１０１では、ツマミに相当するフォーカス調整操作部１０３は、ケーシング１０２の上面であって、光束が入射する方向Ｄ１に対して先端側の面１０２ａに設けられている。
また、干渉計の製造時に、その仕様に応じて、干渉計のベースに対して下向きや横向き等の様々な向きや、様々な位置に、ケーシング１０２と、レンズや撮像素子等からなる干渉縞観察ユニット１０６を取付けることが従来から行われてきた。上記の干渉計１０１では、干渉縞観察ユニット１０６は、不図示の被検面及び参照面から反射した光束が入射する方向Ｄ１が上向きとなるように、干渉縞観察ユニット１０６における光束が入射する方向Ｄ１に対して基端側の面１０２ｂが、取付部１０４を介してベース１０５に取付けられている。 Such a knob not only switches the optical system, but also, for example, an optical element such as a lens (not shown) or an image sensor provided in the casing (housing) 102 like the interferometer 101 shown in FIG. It is used to adjust the focus of the interference fringes detected by the image sensor by adjusting the position of the component. In the interferometer 101, the focus adjustment operation unit 103 corresponding to a knob is provided on the upper surface 102a of the casing 102 and on the front surface 102a with respect to the direction D1 in which the light beam enters.
In addition, when manufacturing the interferometer, observation of interference fringes made of a casing 102, a lens, an image sensor, etc. in various orientations and various positions such as a downward direction and a lateral direction with respect to the base of the interferometer according to the specifications. It has been conventional to install the unit 106. In the interferometer 101 described above, the interference fringe observation unit 106 is a direction in which the light flux in the interference fringe observation unit 106 is incident so that the direction D1 in which the light flux reflected from the test surface and the reference surface (not shown) is incident is upward. A surface 102b on the base end side with respect to D1 is attached to the base 105 via the attachment portion 104.

特開平８−６１９１３号公報JP-A-8-61913

しかしながら、上記の干渉計１０１の干渉縞観察ユニット１０６の構成では、例えば、干渉計の製造時において、干渉縞観察ユニット１０６における、不図示の被検面及び参照面から反射した光束の入射する方向が下向きとなるよう、同一仕様の干渉縞観察ユニット１０６を面１０２ｂが上方に位置するとともに、干渉縞観察ユニット１０６を干渉計の下部に取付ける場合を考えると、以下のような問題点がある。
すなわち、この場合には、干渉縞観察ユニット１０６の下方の空間が狭くなり、面１０２ａに設けられたフォーカス調整操作部１０３が操作し難くなる。 However, in the configuration of the interference fringe observation unit 106 of the interferometer 101 described above, the incident direction of the light beam reflected from the test surface and the reference surface (not shown) in the interference fringe observation unit 106 when the interferometer is manufactured, for example. When the interference fringe observation unit 106 having the same specification is positioned above the surface 102b and the interference fringe observation unit 106 is attached to the lower part of the interferometer, there are the following problems.
That is, in this case, the space below the interference fringe observation unit 106 is narrowed, and the focus adjustment operation unit 103 provided on the surface 102a is difficult to operate.

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、筐体部が取付けられる位置や向きにより、光学部品の位置を調整する操作部が操作し難くなるのを抑えた干渉計を提供するものである。 The present invention has been made in view of such problems, and is an interferometer that suppresses difficulty in operating an operation unit that adjusts the position of an optical component depending on the position and orientation of a housing unit. Is to provide.

上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の干渉計は、光源からの光束を被検面及び参照面に照射し、前記被検面からの反射光及び前記参照面からの反射光によって形成される干渉縞の像を取得する干渉計であって、光軸上に配置された複数の光学部品と、前記複数の光学部品のうち、少なくとも１つの前記光学部品を内部に納める筒状の筐体部と、該筐体部に納められた前記少なくとも１つの光学部品を前記筐体部内で移動させ、当該少なくとも１つの光学部品と他の前記光学部品との相対的な位置関係を調整する調整移動機構と、前記筐体部の外周部に全周にわたって設けられ、前記調整移動機構の移動量を操作する操作部と、を備えることを特徴としている。 In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means.
The interferometer according to the present invention irradiates a test surface and a reference surface with a light beam from a light source, and acquires an interference fringe image formed by reflected light from the test surface and reflected light from the reference surface. A plurality of optical components arranged on an optical axis, a cylindrical housing portion that houses at least one of the optical components among the plurality of optical components, and the housing portion. An adjustment moving mechanism for moving the at least one optical component in the housing unit and adjusting a relative positional relationship between the at least one optical component and the other optical component, and an outer periphery of the housing unit And an operation unit that operates the amount of movement of the adjustment movement mechanism.

また、上記の干渉計において、前記少なくとも１つの光学部品は、撮像素子と、該撮像素子の撮像面に前記干渉縞の像を投影する１以上の撮像レンズとからなり、前記調整移動機構は、前記光軸方向に、前記撮像素子、または前記撮像レンズのうちの少なくとも１つを移動させて、フォーカス調整を行うものであることがより好ましい。 In the interferometer, the at least one optical component includes an imaging element and one or more imaging lenses that project the image of the interference fringes on an imaging surface of the imaging element. More preferably, focus adjustment is performed by moving at least one of the image sensor or the imaging lens in the optical axis direction.

また、上記の干渉計において、前記筐体部は、中空円筒状に形成されて前記光軸方向に延在するように配置され、前記操作部は、リング状に形成されて前記操作部の周方向に回転可能に設けられ、前記調整移動機構は、前記操作部の回転運動を、前記光軸方向の直進運動に変換する機構からなることがより好ましい。 In the interferometer, the casing is formed in a hollow cylindrical shape so as to extend in the optical axis direction, and the operation portion is formed in a ring shape so as to surround the operation portion. More preferably, the adjusting and moving mechanism is provided so as to be rotatable in the direction, and includes a mechanism for converting the rotational movement of the operation unit into the linear movement in the optical axis direction.

また、上記の干渉計において、前記調整移動機構は、前記操作部の内周側に設けられ、前記操作部の回転に伴って前記筐体部の内部で一定の回転軸回りに回転可能に保持されるとともに、前記回転軸に対して螺旋状に形成されたガイド面を有する円筒カム部と、該円筒カム部の内側に配置され、外周面に前記ガイド面に沿って移動可能に係合される従動子が突設され、中心部に前記少なくとも１つの光学部品を保持してなる従動部材と、前記筐体部に固定され、前記従動部材を前記光軸方向に移動可能に支持する直動ガイド部と、を備えることがより好ましい。 In the interferometer, the adjustment moving mechanism is provided on the inner peripheral side of the operation unit, and is held so as to be rotatable around a certain rotation axis inside the housing unit as the operation unit rotates. And a cylindrical cam portion having a guide surface formed in a spiral shape with respect to the rotation shaft, and disposed inside the cylindrical cam portion, and is engaged with an outer peripheral surface so as to be movable along the guide surface. And a driven member that holds the at least one optical component at the center, and a linear motion that is fixed to the housing and supports the driven member movably in the optical axis direction. And a guide part.

また、上記の干渉計において、前記調整移動機構は、前記操作部の内周側に設けられ、前記操作部の回転に伴って前記筐体部の内部で一定の回転軸回りに回転可能に保持されるとともに、中心軸が前記回転軸に一致する雌ネジ部を内周面に有する円筒部材と、該円筒部材の内側に配置され、前記雌ネジ部と螺合する雄ネジ部を外周面に有し、中心部に前記少なくとも１つの光学部品を保持してなる従動部材と、前記筐体部に固定され、前記従動部材を前記光軸方向に移動可能に支持する直動ガイド部と、を備えることがより好ましい。 In the interferometer, the adjustment moving mechanism is provided on the inner peripheral side of the operation unit, and is held so as to be rotatable around a certain rotation axis inside the housing unit as the operation unit rotates. A cylindrical member having a female screw portion on the inner peripheral surface with a central axis coinciding with the rotation axis, and a male screw portion that is disposed inside the cylindrical member and screwed with the female screw portion on the outer peripheral surface. A driven member that holds the at least one optical component in the center, and a linear guide portion that is fixed to the housing and supports the driven member so as to be movable in the optical axis direction. More preferably, it is provided.

本発明の干渉計によれば、筐体部が取付けられる位置や向きにより、光学部品の位置を調整する操作部が操作し難くなるのを抑えることができる。 According to the interferometer of the present invention, it is possible to prevent the operation unit that adjusts the position of the optical component from being difficult to operate depending on the position and orientation of the housing unit.

本発明の第１実施形態の干渉計の説明図である。It is explanatory drawing of the interferometer of 1st Embodiment of this invention. 同干渉計の干渉縞観察ユニット周辺の構造を一部を破断して模式的に示した図である。It is the figure which fractured | ruptured one part and showed typically the structure around the interference fringe observation unit of the interferometer. 図２における切断線Ａ１−Ａ１の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along a cutting line A1-A1 in FIG. 図３おける切断線Ａ２−Ａ２の断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along section line A2-A2 in FIG. 同干渉計のカム環の斜視図である。It is a perspective view of the cam ring of the interferometer. 図３おける切断線Ａ３−Ａ３の断面図である。It is sectional drawing of the cutting line A3-A3 in FIG. 同干渉計の動作を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows operation | movement of the same interferometer. 本発明の第２実施形態の干渉計の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the interferometer of 2nd Embodiment of this invention. 同干渉計の干渉縞観察ユニットの動作を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the operation | movement of the interference fringe observation unit of the interferometer. 本発明の実施形態の変形例の干渉計の干渉縞観察ユニット周辺の構造を一部を破断して模式的に示した図である。It is the figure which fractured | ruptured one part and showed typically the structure around the interference fringe observation unit of the interferometer of the modification of embodiment of this invention. 従来の干渉計の斜視図である。It is a perspective view of the conventional interferometer.

（第１実施形態）
以下、本発明に係る干渉計の第１実施形態を、図１から図７を参照しながら説明する。
図１に示すように、本実施形態の干渉計１は、被検体Ｗの被検面Ｗ１の形状を干渉縞によって観察または計測するフィゾー干渉計である。
干渉計１の概略構成は、レーザ光源（光源）２、ビームスプリッタ３、コリメータレンズ４、基準原器５、調整機構６、結像用レンズ（撮像レンズ）７、およびＣＣＤ（撮像素子）８からなる。
このうち、調整機構６、基準原器５、コリメータレンズ４、ビームスプリッタ３、結像用レンズ７、およびＣＣＤ８は、干渉計１の光軸Ｃ１上に、この順で配置されている。 (First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of an interferometer according to the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the interferometer 1 of the present embodiment is a Fizeau interferometer that observes or measures the shape of the test surface W1 of the subject W using interference fringes.
The schematic configuration of the interferometer 1 includes a laser light source (light source) 2, a beam splitter 3, a collimator lens 4, a reference standard 5, an adjustment mechanism 6, an imaging lens (imaging lens) 7, and a CCD (imaging device) 8. Become.
Among these, the adjustment mechanism 6, the reference standard 5, the collimator lens 4, the beam splitter 3, the imaging lens 7, and the CCD 8 are arranged on the optical axis C 1 of the interferometer 1 in this order.

レーザ光源２は、被検体Ｗおよび基準原器５に照射するコヒーレントなレーザ光（光束）Ｌ１を発散光として発生する光源であり、光軸Ｃ１に対するビームスプリッタ３の側方に配置されている。
ビームスプリッタ３は、略四角柱状の部材であり、内部には偏光の向きに応じて光を反射するビームスプリッタ面３ａが形成されている。このビームスプリッタ面３ａの位置は、レーザ光源２から発生されたレーザ光Ｌ１が光軸Ｃ１上を進むように設定されている。
コリメータレンズ４は、ビームスプリッタ３を介して、ビームスプリッタ面３ａにおける反射してなる光路上で、コリメータレンズ４の焦点と、レーザ光源２の発光点の位置が、略等しくなるように配置されている。 The laser light source 2 is a light source that generates coherent laser light (light beam) L1 that irradiates the subject W and the reference standard 5 as divergent light, and is disposed on the side of the beam splitter 3 with respect to the optical axis C1.
The beam splitter 3 is a substantially quadrangular prism-shaped member, and a beam splitter surface 3a that reflects light according to the direction of polarized light is formed inside. The position of the beam splitter surface 3a is set so that the laser light L1 generated from the laser light source 2 travels on the optical axis C1.
The collimator lens 4 is arranged so that the focal point of the collimator lens 4 and the position of the light emission point of the laser light source 2 are substantially equal on the optical path reflected by the beam splitter surface 3a via the beam splitter 3. Yes.

基準原器５の調整機構６側には、参照面５ａが形成されていて、この参照面５ａは高精度に研磨されている。なお、基準原器５の曲率、及び基準原器５と調整機構６との距離は、被検体Ｗの被検面Ｗ１の曲率に応じて適宜調整される。
調整機構６は、被検面Ｗ１が参照面５ａに対向するとともに、被検面Ｗ１が光軸Ｃ１上に位置するように被検体Ｗを保持する。この調整機構６は、調整機構６の基準原器５側の面上において光軸Ｃ１に直交するとともに互いに直交する軸をＸ軸及びＹ軸と、光軸Ｃ１に平行な軸をＺ軸としたときに、被検レンズＷをＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿って移動させることができ、かつ、被検レンズＷをＸ軸回り及びＹ軸回りに回動させることができるように構成されている。
また、後述するように参照面５ａで反射されたレーザ光Ｌ２および被検面Ｗ１で反射されたレーザ光Ｌ３が干渉し、結像用レンズ７によりＣＣＤ８の撮像面８ａに投影する。
また、ＣＣＤ８は液晶ディスプレイ等の不図示の表示手段に接続され、ＣＣＤ８で検出した光を表示手段に表示できるようになっている。 A reference surface 5a is formed on the adjustment mechanism 6 side of the reference standard 5 and this reference surface 5a is polished with high accuracy. It should be noted that the curvature of the reference master 5 and the distance between the reference master 5 and the adjustment mechanism 6 are appropriately adjusted according to the curvature of the test surface W1 of the subject W.
The adjustment mechanism 6 holds the subject W so that the test surface W1 faces the reference surface 5a and the test surface W1 is positioned on the optical axis C1. The adjustment mechanism 6 has an X-axis and a Y-axis as axes orthogonal to the optical axis C1 and orthogonal to the optical axis C1 on the surface of the reference mechanism 5 of the adjustment mechanism 6, and a Z-axis as an axis parallel to the optical axis C1. Sometimes, the test lens W can be moved along the X axis, the Y axis, and the Z axis, and the test lens W can be rotated around the X axis and the Y axis. ing.
Further, as will be described later, the laser light L2 reflected by the reference surface 5a and the laser light L3 reflected by the test surface W1 interfere with each other, and are projected onto the imaging surface 8a of the CCD 8 by the imaging lens 7.
The CCD 8 is connected to display means (not shown) such as a liquid crystal display so that the light detected by the CCD 8 can be displayed on the display means.

本実施形態では、レーザ光源２、ビームスプリッタ３、コリメータレンズ４、基準原器５、および調整機構６は、本体側ケーシング９内に納められて、それぞれが本体側ケーシング９に取付けられている。
また、結像用レンズ７、ＣＣＤ８は、後で詳述するように中空円筒状に形成され光軸Ｃ１方向に延在するように配置された外装（筐体部）１０内に納められている。なお、外装１０と、結像用レンズ７やＣＣＤ８等のこの外装１０に納められているものとで干渉縞観察ユニット１１を構成する。
図１及び図２に示すように、干渉縞観察ユニット１１は本体側ケーシング９に、互いの光軸が光軸Ｃ１に一致するように取付けられている。さらに、本体側ケーシング９と干渉縞観察ユニット１１は、ベース１２にそれぞれ取付けられ、干渉計１が全体として一体になっている。
なお、結像用レンズ７とＣＣＤ８だけでなく、レーザ光源２、ビームスプリッタ３、コリメータレンズ４、基準原器５、及び調整機構６も外装１０内に納めるように構成しても良い。 In this embodiment, the laser light source 2, the beam splitter 3, the collimator lens 4, the reference master 5, and the adjustment mechanism 6 are housed in the main body side casing 9, and each is attached to the main body side casing 9.
The imaging lens 7 and the CCD 8 are housed in an exterior (housing) 10 that is formed in a hollow cylindrical shape and extends in the direction of the optical axis C1, as will be described in detail later. . In addition, the interference fringe observation unit 11 is configured by the exterior 10 and what is housed in the exterior 10 such as the imaging lens 7 and the CCD 8.
As shown in FIGS. 1 and 2, the interference fringe observation unit 11 is attached to the main body casing 9 so that the optical axes of the interference fringe observation units 11 coincide with the optical axis C1. Further, the main body side casing 9 and the interference fringe observation unit 11 are respectively attached to the base 12, and the interferometer 1 is integrated as a whole.
In addition to the imaging lens 7 and the CCD 8, the laser light source 2, the beam splitter 3, the collimator lens 4, the reference standard 5, and the adjustment mechanism 6 may be configured to be housed in the exterior 10.

図４に示すように、外装１０は、下方に配置された略円板状の第１の外装１３と、上方に配置された筒状の第２の外装１４と、を有する。これら第１の外装１３と第２の外装１４の外径は、ほぼ等しく設定されている。
外装１０内には、リング状に形成され、第１の外装１３の外周面（外周部）１３ａ及び第２の外装１４の外周面（外周部）１４ａの間の全周にわたって設けられた操作部材（操作部）１８と、前述の結像用レンズ７及びＣＣＤ８と、ＣＣＤ８を外装１０内で移動させてフォーカス調整を行う調整移動機構１９が備えられている。
第２の外装１４には、光軸Ｃ１上に貫通孔１４ｂが形成されている。そして、この貫通孔１４ｂ内において、結像用レンズ７は、支持部材１５により光軸Ｃ１上に支持されている。なお、結像用レンズ７は、第２の外装１４により支持されていても良い。
操作部材１８の外周面は、第１の外装１３の外周面１３ａ及び第２の外装１４の外周面１４ａと連なるように、すなわち、操作部材１８の外径が、第１の外装１３の外径及び第２の外装１４の外径とほぼ等しいか、わずかに大きい程度に設定されている。
そして、操作部材１８は、光軸Ｃ１回りに回転可能に設けられている。 As shown in FIG. 4, the exterior 10 includes a substantially disc-shaped first exterior 13 disposed below and a cylindrical second exterior 14 disposed above. The outer diameters of the first exterior 13 and the second exterior 14 are set substantially equal.
An operating member formed in a ring shape in the exterior 10 and provided over the entire circumference between the outer peripheral surface (outer peripheral portion) 13 a of the first outer casing 13 and the outer peripheral surface (outer peripheral portion) 14 a of the second outer casing 14. (Operation unit) 18, the above-described imaging lens 7 and CCD 8, and an adjustment moving mechanism 19 that adjusts the focus by moving the CCD 8 within the exterior 10 are provided.
A through hole 14b is formed in the second exterior 14 on the optical axis C1. The imaging lens 7 is supported on the optical axis C1 by the support member 15 in the through hole 14b. The imaging lens 7 may be supported by the second exterior 14.
The outer peripheral surface of the operation member 18 is connected to the outer peripheral surface 13a of the first exterior 13 and the outer peripheral surface 14a of the second exterior 14, that is, the outer diameter of the operation member 18 is the outer diameter of the first exterior 13. And the outer diameter of the second exterior 14 is set to be approximately equal to or slightly larger than the outer diameter.
The operation member 18 is provided so as to be rotatable around the optical axis C1.

調整移動機構１９は、筒状に形成され操作部材１８の内周側に設けられたカム環（円筒カム部）２０と、有頂筒状に形成されカム環２０の内側に配置された鏡枠（従動部材）２１と、第１の外装１３及び第２の外装１４に固定され、鏡枠（従動部材）２１を光軸Ｃ１方向に移動可能に支持するガイド部材（直動ガイド部）２２、２３と、を備えている。 The adjustment moving mechanism 19 includes a cam ring (cylindrical cam portion) 20 that is formed in a cylindrical shape and provided on the inner peripheral side of the operation member 18, and a lens frame that is formed in a cylindrical shape and is disposed inside the cam ring 20. (Driven member) 21 and a guide member (linear motion guide portion) 22 fixed to the first exterior 13 and the second exterior 14 and supporting the lens frame (driven member) 21 movably in the direction of the optical axis C1. 23.

図５に示すように、カム環２０の周壁部には、光軸Ｃ１方向に対して螺旋状に、周壁部の内周面から外周面まで貫通するように形成された孔部２０ａが設けられている。この孔部２０ａを形成する上方の面がガイド面２０ｂ、下方の面がガイド面２０ｃとなっている。
カム環２０を光軸Ｃ１方向から見たときの、光軸Ｃ１を中心として孔部２０ａが形成される角度は、フォーカス範囲と、操作部材１８を回転させる角度とにより決定される。ただし、操作部材１８の操作性を考慮して、前記の角度を１２０°以下とすることが望ましい。
図４に示されるように、カム環２０は、操作部材１８の内周面に固定されている。そして、カム環２０と操作部材１８が一体となって、光軸Ｃ１回りに回転可能に保持されている。
なお、操作部材１８は、カム環２０に形成された孔部２０ａを外周面側から覆い孔部２０ａを外側から見え難くするために、カム環２０の外周面に固定されている。 As shown in FIG. 5, a hole 20 a formed so as to penetrate from the inner peripheral surface of the peripheral wall portion to the outer peripheral surface is provided in the peripheral wall portion of the cam ring 20 in a spiral shape with respect to the direction of the optical axis C 1. ing. The upper surface forming the hole 20a is a guide surface 20b, and the lower surface is a guide surface 20c.
The angle at which the hole 20a is formed around the optical axis C1 when the cam ring 20 is viewed from the direction of the optical axis C1 is determined by the focus range and the angle at which the operation member 18 is rotated. However, in consideration of the operability of the operation member 18, it is desirable that the angle is 120 ° or less.
As shown in FIG. 4, the cam ring 20 is fixed to the inner peripheral surface of the operation member 18. The cam ring 20 and the operation member 18 are integrally held so as to be rotatable around the optical axis C1.
The operating member 18 is fixed to the outer peripheral surface of the cam ring 20 so as to cover the hole 20a formed in the cam ring 20 from the outer peripheral surface side and make the hole 20a difficult to see from the outer side.

鏡枠２１は、筒状部２１ａと、筒状部２１ａの結像用レンズ７側の端部に形成された板状部２１ｂと、を有している。
板状部２１ｂの中心部には貫通孔２１ｃが形成されている。ＣＣＤ８は、板状部２１ｂに保持されるとともに、撮像面８ａが貫通孔２１ｃ内であって光軸Ｃ１上に位置するように配置されている。
鏡枠２１の筒状部２１ａには、光軸Ｃ１に沿って延びるとともに光軸Ｃ１に対して対称となるように配置された一対のガイド孔２１ｄ、２１ｅが形成されている。
ガイド部材２２、２３は、それぞれが棒状に形成されている（図３参照）。これらガイド部材２２、２３の外径は、ガイド孔２１ｄ、２１ｅの内径とほぼ同一かわずかに小さい程度に設定されている。
ガイド孔２１ｄ、２１ｅには、ガイド部材２２、２３がそれぞれ挿通されている。ガイド部材２２、２３の一方の端部は、ガイド部材２２、２３が光軸Ｃ１に沿うように、第２の外装１４に形成された穴にそれぞれ固定されている。また、ガイド部材２２、２３の他方の端部は、第１の外装１３に止めネジ２６によりそれぞれ固定されている。 The lens frame 21 has a cylindrical portion 21a and a plate-like portion 21b formed at the end of the cylindrical portion 21a on the imaging lens 7 side.
A through hole 21c is formed at the center of the plate-like portion 21b. The CCD 8 is held by the plate-like portion 21b, and is arranged so that the imaging surface 8a is located in the through hole 21c and on the optical axis C1.
The cylindrical portion 21a of the lens frame 21 is formed with a pair of guide holes 21d and 21e that extend along the optical axis C1 and are symmetric with respect to the optical axis C1.
The guide members 22 and 23 are each formed in a rod shape (see FIG. 3). The outer diameters of the guide members 22 and 23 are set to be substantially the same as or slightly smaller than the inner diameters of the guide holes 21d and 21e.
Guide members 22 and 23 are inserted through the guide holes 21d and 21e, respectively. One end portions of the guide members 22 and 23 are fixed to holes formed in the second exterior 14 so that the guide members 22 and 23 are along the optical axis C1. The other ends of the guide members 22 and 23 are fixed to the first exterior 13 by set screws 26, respectively.

また、図６に示すように、鏡枠２１の筒状部２１ａの外周面には、カム環２０のガイド面２０ｂ、２０ｃに沿って移動可能に係合される従動子２７が突設されている。
そして、図４に示されるように、これら、第１の外装１３、第２の外装１４、操作部材１８、カム環２０、および鏡枠２１の軸線は、光軸Ｃ１に合致するように配置されている。
このように構成されたガイド部材２２、２３により、鏡枠２１及びこの鏡枠２１に突設された従動子２７は、光軸Ｃ１回りの回動を規制されるとともに、光軸Ｃ１に沿った移動のみを許可されている。 Further, as shown in FIG. 6, a follower 27 that is movably engaged along the guide surfaces 20 b and 20 c of the cam ring 20 protrudes from the outer peripheral surface of the cylindrical portion 21 a of the lens frame 21. Yes.
As shown in FIG. 4, the axes of the first exterior 13, the second exterior 14, the operation member 18, the cam ring 20, and the lens frame 21 are arranged to coincide with the optical axis C1. ing.
By the guide members 22 and 23 configured in this manner, the lens frame 21 and the follower 27 projecting from the lens frame 21 are restricted from rotating around the optical axis C1 and along the optical axis C1. Only movement is allowed.

図２に戻って説明を続ける。干渉縞観察ユニット１１は、光束が入射する方向Ｄ２に対して先端側の部分Ｐ１、すなわち第１の外装１３を取付部３１に取付け、さらに取付部３１をベース１２に取付けることにより、ベース１２に対して固定されている。すなわち、本実施形態では、第１の外装１３が、干渉縞観察ユニット１１をベース１２に設置する基準となっている。
取付部３１は、板状に形成された取付部本体３１ａと、取付部本体３１ａに固定された一対の取付部材３１ｂと、を有する。
そして、本実施形態では、干渉縞観察ユニット１１は、光軸Ｃ１方向が鉛直方向Ｚと一致するとともに、干渉縞観察ユニット１１に光束が入射する方向Ｄ２が下方を向くように配置されている。
なお、取付部材３１ｂが防振部材となっており、ベース１２に対して固定せずに配置することで、耐震性を高めても良い。 Returning to FIG. 2, the description will be continued. The interference fringe observation unit 11 attaches to the base 12 by attaching the portion P1 on the tip side with respect to the direction D2 in which the light beam enters, that is, the first exterior 13 to the attachment portion 31, and further attaching the attachment portion 31 to the base 12. It is fixed against. That is, in the present embodiment, the first exterior 13 is a reference for installing the interference fringe observation unit 11 on the base 12.
The attachment portion 31 has an attachment portion main body 31a formed in a plate shape and a pair of attachment members 31b fixed to the attachment portion main body 31a.
In the present embodiment, the interference fringe observation unit 11 is arranged such that the direction of the optical axis C1 coincides with the vertical direction Z and the direction D2 in which the light beam enters the interference fringe observation unit 11 faces downward.
In addition, the attachment member 31b is a vibration-proof member, and the vibration resistance may be improved by arranging the attachment member 31b without fixing to the base 12.

次に、以上のように構成された干渉計１の動作を、干渉縞観察ユニット１１の動作に重点をおいて説明する。
まず、図１に示すように、調整機構６に被検体Ｗを、被検面Ｗ１が参照面５ａに対向するように取付ける。そして、被検レンズＷをＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿って移動させるとともに、Ｘ軸回り及びＹ軸回りに回動させ、被検面Ｗ１の光軸が光軸Ｃ１に一致するように調整する。 Next, the operation of the interferometer 1 configured as described above will be described focusing on the operation of the interference fringe observation unit 11.
First, as shown in FIG. 1, the subject W is attached to the adjustment mechanism 6 so that the subject surface W1 faces the reference surface 5a. Then, the test lens W is moved along the X axis, the Y axis, and the Z axis, and is rotated about the X axis and the Y axis so that the optical axis of the test surface W1 coincides with the optical axis C1. adjust.

続いて、レーザ光源２からレーザ光Ｌ１を出射させると、レーザ光Ｌ１は、ビームスプリッタ３のビームスプリッタ面３ａで反射され、コリメータレンズ４を通過して平行光となる。
平行光となったレーザ光Ｌ１の一部分は、基準原器５の参照面５ａで反射されてレーザ光Ｌ２となる。また、レーザ光Ｌ１の他の一部分は、参照面５ａを透過して被検面Ｗ１で反射されてレーザ光Ｌ３となる。
レーザ光Ｌ３は、光軸Ｃ１に沿ってＣＣＤ８側に進み、基準原器５を通過してレーザ光と干渉してレーザ光Ｌ４となる。レーザ光Ｌ４は光軸Ｃ１上を通って、コリメータレンズ４、ビームスプリッタ３を通過し、結像用レンズ７によりＣＣＤ８の撮像面８ａ上で結像して検出される。 Subsequently, when the laser light L 1 is emitted from the laser light source 2, the laser light L 1 is reflected by the beam splitter surface 3 a of the beam splitter 3 and passes through the collimator lens 4 to become parallel light.
A portion of the laser light L1 that has become parallel light is reflected by the reference surface 5a of the reference standard 5 and becomes laser light L2. Further, the other part of the laser beam L1 passes through the reference surface 5a and is reflected by the test surface W1 to become the laser beam L3.
The laser light L3 travels along the optical axis C1 to the CCD 8 side, passes through the reference standard 5, and interferes with the laser light to become laser light L4. The laser beam L4 passes on the optical axis C1, passes through the collimator lens 4 and the beam splitter 3, and is imaged and detected on the imaging surface 8a of the CCD 8 by the imaging lens 7.

使用者は、不図示の表示手段に表示されたレーザ光Ｌ４の干渉縞の像を観察し、干渉縞の像が鮮明でないと判断したときには、以下のような手順で干渉縞観察ユニット１１のフォーカスを調整する。
まず、図７に示すように、外装１０に対して操作部材１８を、光軸Ｃ１回りのＲ方向に回転させる。すると、カム環２０に形成された孔部２０ａも光軸Ｃ１回りに回転する。
鏡枠２１は、孔部２０ａのガイド面２０ｂ及びガイド面２０ｃに係合する従動子２７とガイド部材２２、２３に案内されて下方に移動する。鏡枠２１に保持されたＣＣＤ８は、光軸Ｃ１上を結像用レンズ７から離間するように下方に移動する。そして、結像用レンズ７とＣＣＤ８との光軸Ｃ１方向の距離が長くなることで、フォーカスが調整される。 When the user observes the interference fringe image of the laser beam L4 displayed on the display means (not shown) and determines that the interference fringe image is not clear, the focus of the interference fringe observation unit 11 is determined in the following procedure. Adjust.
First, as shown in FIG. 7, the operation member 18 is rotated in the R direction around the optical axis C 1 with respect to the exterior 10. Then, the hole 20a formed in the cam ring 20 also rotates around the optical axis C1.
The lens frame 21 is guided by the guide surface 20b of the hole 20a and the follower 27 that engages with the guide surface 20c and the guide members 22 and 23 and moves downward. The CCD 8 held by the lens frame 21 moves downward on the optical axis C 1 so as to be separated from the imaging lens 7. The focus is adjusted by increasing the distance between the imaging lens 7 and the CCD 8 in the direction of the optical axis C1.

なお、この場合においても、表示手段に表示される干渉縞の像が鮮明でない場合には、操作部材１８をＲ方向とは逆方向に回動操作する。このときは、上記と反対の作用により、ＣＣＤ８は光軸Ｃ１上を結像用レンズ７に接近するように移動し、フォーカスが調整される。
使用者は、このように操作部材１８を回転操作し、表示手段に鮮明に表示された干渉縞の像を見て、被検面Ｗ１の形状を認識する。 Even in this case, if the interference fringe image displayed on the display means is not clear, the operation member 18 is rotated in the direction opposite to the R direction. At this time, the CCD 8 moves on the optical axis C1 so as to approach the imaging lens 7 by the action opposite to the above, and the focus is adjusted.
The user rotates the operation member 18 in this way, and recognizes the shape of the test surface W1 by viewing the interference fringe image clearly displayed on the display means.

こうして、本発明の第１実施形態の干渉計１によれば、操作部材１８を回転操作して調整移動機構１９を動作させ、筐体部１０内においてＣＣＤ８を光軸Ｃ１上で移動させることで、ＣＣＤ８と結像用レンズ７との相対的な位置関係が調整され、フォーカスが調整される。また、操作部材１８は、円筒状の筐体部１０の外周面１３ａ、１４ａに全周にわたって設けられている。このため、光軸Ｃ１に交差する任意の方向から操作部材１８を操作することが可能となっている。
従って、取付部３１が干渉縞観察ユニット１１に取付く位置や、干渉計１における干渉縞観察ユニット１１が取付けられる位置や向きにより、操作部材１８が回転操作し難くなるのを抑えることができる。 Thus, according to the interferometer 1 of the first embodiment of the present invention, the adjustment member 19 is operated by rotating the operation member 18 to move the CCD 8 on the optical axis C 1 in the housing unit 10. The relative positional relationship between the CCD 8 and the imaging lens 7 is adjusted, and the focus is adjusted. Further, the operation member 18 is provided on the outer peripheral surfaces 13 a and 14 a of the cylindrical casing 10 over the entire circumference. For this reason, it is possible to operate the operation member 18 from an arbitrary direction intersecting the optical axis C1.
Therefore, it is possible to prevent the operation member 18 from being difficult to rotate depending on the position where the attachment portion 31 is attached to the interference fringe observation unit 11 and the position and orientation where the interference fringe observation unit 11 is attached to the interferometer 1.

また、リング状に形成された操作部材１８を、光軸Ｃ１回りに回転させて回転運動させることで、調整移動機構１９により、ＣＣＤ８と結像用レンズ７を光軸Ｃ１方向に相対的に移動することができる。
また、操作部材１８を回転させると、操作部材１８の内周側に固定されたカム環２０は外装１０の内部で光軸Ｃ１回りに回転する。カム環２０は光軸Ｃ１に対して螺旋状に形成されたガイド面２０ｂ、２０ｃを有しており、このガイド面２０ｂ、２０ｃに沿って移動可能に係合される従動子２７が突設された鏡枠２１には、光軸Ｃ１方向の力と光軸Ｃ１回りの力とが作用することとなる。
ここで、鏡枠２１はガイド部材２２、２３により光軸Ｃ１方向に移動可能に支持されているので、鏡枠２１は光軸Ｃ１方向のみに移動する。従って、調整移動機構１９で操作部材１８の回転運動を、鏡枠２１の光軸Ｃ１方向の直進運動に変換することができる。 Further, the operating member 18 formed in a ring shape is rotated around the optical axis C1 to rotate, so that the adjustment moving mechanism 19 relatively moves the CCD 8 and the imaging lens 7 in the direction of the optical axis C1. can do.
When the operation member 18 is rotated, the cam ring 20 fixed on the inner peripheral side of the operation member 18 rotates around the optical axis C 1 inside the exterior 10. The cam ring 20 has guide surfaces 20b and 20c formed in a spiral shape with respect to the optical axis C1, and a follower 27 that is movably engaged along the guide surfaces 20b and 20c is projected. The force in the direction of the optical axis C1 and the force around the optical axis C1 are applied to the lens frame 21.
Here, since the lens frame 21 is supported by the guide members 22 and 23 so as to be movable in the optical axis C1 direction, the lens frame 21 moves only in the optical axis C1 direction. Therefore, the rotational movement of the operation member 18 can be converted into the straight movement of the lens frame 21 in the direction of the optical axis C 1 by the adjustment movement mechanism 19.

また、操作部材１８の外径は、第１の外装１３の外径及び第２の外装１４の外径にほぼ等しいか、わずかに大きい程度に設定されている。このため、干渉縞観察ユニット１１を扱うときに、干渉縞観察ユニット１１の側面、すなわち外周面１３ａ及び外周面１４ａから操作部材１８が外側に突出して干渉縞観察ユニット１１が扱い難くなるのを抑えることができる。また、操作部材１８を回転操作することで鏡枠２１を駆動するための大きなトルクを従動子２７に作用させることが可能となる。 The outer diameter of the operation member 18 is set to be approximately equal to or slightly larger than the outer diameter of the first exterior 13 and the outer diameter of the second exterior 14. For this reason, when the interference fringe observation unit 11 is handled, it is possible to prevent the interference fringe observation unit 11 from being difficult to handle due to the operation member 18 projecting outward from the side surface of the interference fringe observation unit 11, that is, the outer peripheral surface 13 a and the outer peripheral surface 14 a. be able to. Further, a large torque for driving the lens frame 21 can be applied to the follower 27 by rotating the operation member 18.

なお、本実施形態では、操作部材１８を備えずに、カム環２０を直接使用者が回転するように構成しても良い。
また、本実施形態では、カム環２０に光軸Ｃ１方向に対して螺旋状に形成された孔部２０ａを設け、鏡枠２１の外周面に突設させた従動子２７を孔部２０ａに係合させた。しかし、従動子２７を案内するガイド壁が形成されていれば、カム環２０に形成されるのは孔部２０ａでなく溝部でも良い。また、これら孔部２０ａ及び従動子２７に代えて、鏡枠２１の外周面に、光軸Ｃ１方向に対して螺旋状に形成された孔部又は溝部を設け、この孔部又は溝部に係合する従動子をカム環２０の内周面から内側に突設させるように構成しても良い。
また、鏡枠２１の外周部に、カム環２０の孔部２０ａに相当するものが設けられ、カム環２０にあたる部材に、鏡枠２１の孔部に突設される従動子を設けることで、操作部材１８とカム環２０にあたる部材を同一部材にしても良い。 In the present embodiment, the cam ring 20 may be directly rotated by the user without providing the operation member 18.
In the present embodiment, the cam ring 20 is provided with a hole portion 20a spirally formed in the direction of the optical axis C1, and the follower 27 protruding from the outer peripheral surface of the lens frame 21 is engaged with the hole portion 20a. Combined. However, if a guide wall for guiding the follower 27 is formed, the cam ring 20 may be formed with a groove instead of the hole 20a. Further, instead of the hole 20a and the follower 27, a hole or groove formed in a spiral shape with respect to the optical axis C1 direction is provided on the outer peripheral surface of the lens frame 21, and the hole or groove is engaged. The follower may be configured to project inward from the inner peripheral surface of the cam ring 20.
Moreover, what corresponds to the hole 20a of the cam ring 20 is provided on the outer periphery of the lens frame 21, and a member corresponding to the cam ring 20 is provided with a follower projecting from the hole of the lens frame 21, The operation member 18 and the cam ring 20 may be the same member.

また、第１の外装１３及び第２の外装１４を金属等の硬い材料で形成することで、第１の外装１３及び第２の外装１４を、光軸Ｃ１の位置決めをするための基準とすることができる。この場合、操作部材１８の剛性を高めるために、外装１０は中空円筒状に形成されていることが好ましい。なお、外装１０を中空円筒状に形成することは、光軸Ｃ１の位置決め基準を明確にするためにも好ましい。 Further, by forming the first exterior 13 and the second exterior 14 with a hard material such as metal, the first exterior 13 and the second exterior 14 are used as a reference for positioning the optical axis C1. be able to. In this case, in order to increase the rigidity of the operation member 18, the exterior 10 is preferably formed in a hollow cylindrical shape. In addition, it is preferable to form the exterior 10 in a hollow cylindrical shape in order to clarify the positioning reference of the optical axis C1.

（第２実施形態）
次に、本発明に係る第２実施形態について説明するが、前記実施形態と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
図８に示すように、本実施形態の干渉計４１は、上記実施形態の干渉計１の調整移動機構１９に代えて、調整移動機構４４を備えている。
この調整移動機構４４は、筒状に形成され操作部材１８の内周側に設けられた円筒部材４５と、有頂筒状に形成され円筒部材４５の内側に配置された鏡枠（従動部材）４６と、上述のガイド部材２２、２３と、を備えている。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment according to the present invention will be described. The same parts as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, the description thereof will be omitted, and only different points will be described.
As shown in FIG. 8, the interferometer 41 of this embodiment includes an adjustment movement mechanism 44 instead of the adjustment movement mechanism 19 of the interferometer 1 of the above embodiment.
The adjustment moving mechanism 44 includes a cylindrical member 45 that is formed in a cylindrical shape and provided on the inner peripheral side of the operation member 18, and a lens frame (a driven member) that is formed in a cylindrical shape and is disposed inside the cylindrical member 45. 46 and the guide members 22 and 23 described above.

円筒部材４５の内周面には、光軸Ｃ１回りに形成された雌ネジ部４５ａが設けられている。円筒部材４５は、操作部材１８の内周面に固定されている。そして、円筒部材４５と操作部材１８が一体となって、光軸Ｃ１回りに回転可能に保持されている。
鏡枠４６の外周面には、雌ネジ部４５ａと螺合する雄ネジ部４６ａが形成されている。 On the inner peripheral surface of the cylindrical member 45, a female screw portion 45a formed around the optical axis C1 is provided. The cylindrical member 45 is fixed to the inner peripheral surface of the operation member 18. The cylindrical member 45 and the operation member 18 are integrally held so as to be rotatable around the optical axis C1.
On the outer peripheral surface of the lens frame 46, a male screw portion 46a that is screwed with the female screw portion 45a is formed.

次に、このように構成された干渉計４１の干渉縞観察ユニット４２の動作を説明する。
まず、図９に示すように、外装１０に対して操作部材１８を、光軸Ｃ１回りに回転させる。すると、円筒部材４５に形成された雌ネジ部４５ａも光軸Ｃ１回りに回転する。
鏡枠４６は、円筒部材４５に形成された雌ネジ部４５ａとガイド部材２２、２３に案内されて上方又は下方に移動する。このため、鏡枠４６に保持されたＣＣＤ８は、光軸Ｃ１上を結像用レンズ７から離間するように、又は結像用レンズ７に接近するように移動する。
以上のように、操作部材１８を回転させることで、ＣＣＤ８の撮像面８ａ上に結像される干渉縞の像のフォーカスが調整される。 Next, the operation of the interference fringe observation unit 42 of the interferometer 41 configured as described above will be described.
First, as illustrated in FIG. 9, the operation member 18 is rotated around the optical axis C 1 with respect to the exterior 10. Then, the female screw portion 45a formed in the cylindrical member 45 also rotates around the optical axis C1.
The lens frame 46 is guided by the female screw portion 45a formed in the cylindrical member 45 and the guide members 22 and 23 and moves upward or downward. Therefore, the CCD 8 held by the lens frame 46 moves on the optical axis C 1 so as to be separated from the imaging lens 7 or approach the imaging lens 7.
As described above, the focus of the interference fringe image formed on the imaging surface 8a of the CCD 8 is adjusted by rotating the operation member 18.

こうして、本発明の第２実施形態の干渉計４１によれば、操作部材１８を回転させると、操作部材１８の内周側に固定された円筒部材４５は外装１０の内部で光軸Ｃ１回りに回転する。鏡枠４６は、円筒部材４５の雌ネジ部４５ａと螺合する雄ネジ部４６ａを外周面に有するので、鏡枠４６には、光軸Ｃ１方向の力と光軸Ｃ１回りの力とが作用することとなる。
ここで、鏡枠４６はガイド部材２２、２３により光軸Ｃ１方向に移動可能に支持されているので、鏡枠４６は光軸Ｃ１方向のみに移動する。従って、調整移動機構４４で操作部材１８の回転運動を、鏡枠４６の光軸Ｃ１方向の直進運動に変換することができる。
また、操作部材１８と円筒部材４５が同一部材となっていても良い。 Thus, according to the interferometer 41 of the second embodiment of the present invention, when the operating member 18 is rotated, the cylindrical member 45 fixed to the inner peripheral side of the operating member 18 is rotated around the optical axis C1 inside the exterior 10. Rotate. Since the lens frame 46 has a male screw part 46a screwed with the female screw part 45a of the cylindrical member 45 on the outer peripheral surface, a force in the direction of the optical axis C1 and a force around the optical axis C1 act on the lens frame 46. Will be.
Here, since the lens frame 46 is supported by the guide members 22 and 23 so as to be movable in the direction of the optical axis C1, the lens frame 46 moves only in the direction of the optical axis C1. Therefore, the rotational movement of the operation member 18 can be converted into the straight movement of the lens frame 46 in the direction of the optical axis C1 by the adjustment moving mechanism 44.
Further, the operation member 18 and the cylindrical member 45 may be the same member.

以上、本発明の第１実施形態及び第２実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の構成の変更等も含まれる。
例えば、上記第１実施形態及び第２実施形態では、外装１０は、光軸Ｃ１方向に延在する中空円筒状に形成されていた。しかし、外装１０の形状は光軸Ｃ１方向に延在するように形成されていればこの形状に限ることなく、例えば、中空の楕円筒状でも良いし、中空の四角柱状、六角柱状等の多角柱状でも良い。 As mentioned above, although 1st Embodiment and 2nd Embodiment of this invention were explained in full detail with reference to drawings, the concrete structure is not restricted to this embodiment, The structure of the range which does not deviate from the summary of this invention Changes are also included.
For example, in the said 1st Embodiment and 2nd Embodiment, the exterior | packing 10 was formed in the hollow cylinder shape extended in the optical axis C1 direction. However, the shape of the exterior 10 is not limited to this shape as long as it is formed so as to extend in the direction of the optical axis C1, and may be, for example, a hollow elliptical cylinder, or a polygon such as a hollow quadrangular prism or hexagonal prism. It may be columnar.

また、上記第１実施形態及び第２実施形態では、調整移動機構に光束が入射する方向Ｄ２が下方を向くように、取付部３１で干渉縞観察ユニットをベース１２に取付けた。
しかし、干渉縞観察ユニットをベース１２に取付ける向きはこの限りで無く、例えば、図１０に示すように、第１実施形態の干渉縞観察ユニット１１に光束が入射する方向Ｄ３が鉛直方向Ｚに直交するように、干渉縞観察ユニット１１をベース１２に取付けても良い。さらに、干渉縞観察ユニット１１に光束が入射する方向は、上方を向いても、下方と水平方向の中間となる斜めの方向を向いても良い。
また、干渉縞観察ユニットを取付部に取付ける部分は、光束が入射する方向に対する先端側の部分Ｐ１に限られない。例えば、図１０に示すように、第１実施形態の干渉縞観察ユニット１１の先端側の部分Ｐ１と、光束が入射する方向Ｄ３に対する基端側の部分Ｐ２、すなわち第２の外装１４の端部をそれぞれ取付部５１、５２に取付けても良いし、干渉縞観察ユニット１１の先端側の部分Ｐ１と基端側の部分Ｐ２との中間部分を取付部に取付けても良い。
なお、第２実施形態の干渉縞観察ユニット４２についても、干渉縞観察ユニット１１と同様に構成することができる。
このように、干渉縞観察ユニットは、干渉縞観察ユニットをベース１２に取付ける向き、干渉縞観察ユニットが干渉計に取付く位置、そして干渉縞観察ユニットに取付部が取付く位置によらず、操作部材１８の操作性を維持することができる。 In the first embodiment and the second embodiment, the interference fringe observation unit is attached to the base 12 by the attachment portion 31 so that the direction D2 in which the light beam enters the adjustment moving mechanism faces downward.
However, the direction in which the interference fringe observation unit is attached to the base 12 is not limited to this. For example, as shown in FIG. 10, the direction D3 in which the light beam enters the interference fringe observation unit 11 of the first embodiment is orthogonal to the vertical direction Z. As described above, the interference fringe observation unit 11 may be attached to the base 12. Further, the direction in which the light beam enters the interference fringe observation unit 11 may be directed upward or in an oblique direction that is intermediate between the downward direction and the horizontal direction.
Further, the portion where the interference fringe observation unit is attached to the attachment portion is not limited to the tip portion P1 with respect to the direction in which the light beam enters. For example, as shown in FIG. 10, the front end portion P1 of the interference fringe observation unit 11 of the first embodiment and the base end portion P2 with respect to the direction D3 in which the light beam enters, that is, the end portion of the second exterior 14 May be attached to the attachment portions 51 and 52, respectively, or an intermediate portion between the distal end portion P1 and the proximal end portion P2 of the interference fringe observation unit 11 may be attached to the attachment portion.
Note that the interference fringe observation unit 42 of the second embodiment can also be configured in the same manner as the interference fringe observation unit 11.
As described above, the interference fringe observation unit is operated regardless of the direction in which the interference fringe observation unit is attached to the base 12, the position where the interference fringe observation unit is attached to the interferometer, and the position where the attachment portion is attached to the interference fringe observation unit. The operability of the member 18 can be maintained.

また、上記第１実施形態及び第２実施形態では、結像用レンズ７とコリメータレンズ４は、それぞれ一枚のレンズにより構成されていた。しかしこれら結像用レンズ７とコリメータレンズ４は、それぞれ複数枚のレンズから構成されていても良い。
また、上記第１実施形態及び第２実施形態では、調整移動機構はＣＣＤ８を移動させてフォーカス調整を行った。しかし、調整移動機構は、結像用レンズ７を移動させてフォーカス調整を行うものでも良い。この場合、結像用レンズ７は、複数枚のレンズから構成され、少なくとも１枚のレンズを移動させてフォーカス調整を行う。 In the first embodiment and the second embodiment, the imaging lens 7 and the collimator lens 4 are each composed of a single lens. However, the imaging lens 7 and the collimator lens 4 may each be composed of a plurality of lenses.
In the first embodiment and the second embodiment, the adjustment movement mechanism moves the CCD 8 to perform focus adjustment. However, the adjustment moving mechanism may be one that performs focus adjustment by moving the imaging lens 7. In this case, the imaging lens 7 is composed of a plurality of lenses, and performs focus adjustment by moving at least one lens.

また、上記第１実施形態及び第２実施形態では、操作部材１８の回転軸と光軸Ｃ１が一致していた。しかし、操作部材１８に及ぼすトルクをプーリーとベルト等で伝達し、鏡枠を光軸Ｃ１回りに回転させること等により、操作部材１８の回転軸と光軸Ｃ１が一致しないように構成しても良い。 Moreover, in the said 1st Embodiment and 2nd Embodiment, the rotating shaft of the operation member 18 and the optical axis C1 corresponded. However, the torque applied to the operation member 18 is transmitted by a pulley, a belt, and the like, and the lens frame is rotated around the optical axis C1, so that the rotation axis of the operation member 18 and the optical axis C1 do not coincide. good.

１、４１干渉計
２レーザ光源（光源）
５ａ参照面
７結像用レンズ（撮像レンズ）
８ＣＣＤ（撮像素子）
１０外装（筐体部）
１８操作部材（操作部）
１９、４４調整移動機構
２０カム環（円筒カム部）
２０ｂ、２０ｃガイド壁
２１、４６鏡枠（従動部材）
２２、２３ガイド部材（直動ガイド部）
２７従動子
４５円筒部材
４５ａ雌ネジ部
４６ａ雄ネジ部
Ｃ１光軸
Ｌ１レーザ光（光束）
Ｗ１被検面 1, 41 Interferometer 2 Laser light source (light source)
5a Reference surface 7 Imaging lens (imaging lens)
8 CCD (imaging device)
10 Exterior (housing)
18 Operation member (operation part)
19, 44 Adjustment moving mechanism 20 Cam ring (cylindrical cam part)
20b, 20c Guide wall 21, 46 Mirror frame (driven member)
22, 23 Guide member (linear motion guide)
27 Follower 45 Cylindrical member 45a Female threaded part 46a Male threaded part C1 Optical axis L1 Laser beam (light beam)
W1 Test surface

Claims

光源からの光束を被検面及び参照面に照射し、前記被検面からの反射光及び前記参照面からの反射光によって形成される干渉縞の像を取得する干渉計であって、
光軸上に配置された複数の光学部品と、
前記複数の光学部品のうち、少なくとも１つの前記光学部品を内部に納める筒状の筐体部と、
該筐体部に納められた前記少なくとも１つの光学部品を前記筐体部内で移動させ、当該少なくとも１つの光学部品と他の前記光学部品との相対的な位置関係を調整する調整移動機構と、
前記筐体部の外周部に全周にわたって設けられ、前記調整移動機構の移動量を操作する操作部と、を備えることを特徴とする干渉計。 An interferometer that irradiates a test surface and a reference surface with a light beam from a light source, and obtains an image of interference fringes formed by reflected light from the test surface and reflected light from the reference surface,
A plurality of optical components arranged on the optical axis;
A cylindrical housing portion that houses at least one of the optical components among the plurality of optical components;
An adjustment moving mechanism for moving the at least one optical component housed in the casing within the casing and adjusting a relative positional relationship between the at least one optical component and the other optical components;
An interferometer, comprising: an operation unit that is provided on an outer peripheral part of the housing part over an entire circumference and operates a movement amount of the adjustment movement mechanism.

前記少なくとも１つの光学部品は、撮像素子と、該撮像素子の撮像面に前記干渉縞の像を投影する１以上の撮像レンズとからなり、
前記調整移動機構は、前記光軸方向に、前記撮像素子、または前記撮像レンズのうちの少なくとも１つを移動させて、フォーカス調整を行うものであることを特徴とする請求項１に記載の干渉計。 The at least one optical component includes an imaging element and one or more imaging lenses that project the image of the interference fringes on an imaging surface of the imaging element.
2. The interference according to claim 1, wherein the adjustment moving mechanism performs focus adjustment by moving at least one of the imaging element or the imaging lens in the optical axis direction. Total.

前記筐体部は、中空円筒状に形成されて前記光軸方向に延在するように配置され、
前記操作部は、リング状に形成されて前記操作部の周方向に回転可能に設けられ、
前記調整移動機構は、前記操作部の回転運動を、前記光軸方向の直進運動に変換する機構からなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の干渉計。 The casing is formed so as to have a hollow cylindrical shape and extend in the optical axis direction,
The operation portion is formed in a ring shape so as to be rotatable in the circumferential direction of the operation portion,
The interferometer according to claim 1, wherein the adjustment movement mechanism includes a mechanism that converts a rotational movement of the operation unit into a linear movement in the optical axis direction.

前記調整移動機構は、
前記操作部の内周側に設けられ、前記操作部の回転に伴って前記筐体部の内部で一定の回転軸回りに回転可能に保持されるとともに、前記回転軸に対して螺旋状に形成されたガイド面を有する円筒カム部と、
該円筒カム部の内側に配置され、外周面に前記ガイド面に沿って移動可能に係合される従動子が突設され、中心部に前記少なくとも１つの光学部品を保持してなる従動部材と、
前記筐体部に固定され、前記従動部材を前記光軸方向に移動可能に支持する直動ガイド部と、を備えることを特徴とする請求項３に記載の干渉計。 The adjustment movement mechanism is
Provided on the inner peripheral side of the operation unit, and is held so as to be rotatable around a certain rotation axis inside the housing unit as the operation unit rotates, and is formed in a spiral shape with respect to the rotation axis A cylindrical cam portion having a guided surface;
A follower member that is disposed inside the cylindrical cam portion, has a follower member that is movably engaged along the guide surface on an outer peripheral surface, and that holds the at least one optical component at a central portion; ,
The interferometer according to claim 3, further comprising: a linear motion guide unit that is fixed to the housing unit and supports the driven member so as to be movable in the optical axis direction.

前記調整移動機構は、
前記操作部の内周側に設けられ、前記操作部の回転に伴って前記筐体部の内部で一定の回転軸回りに回転可能に保持されるとともに、中心軸が前記回転軸に一致する雌ネジ部を内周面に有する円筒部材と、
該円筒部材の内側に配置され、前記雌ネジ部と螺合する雄ネジ部を外周面に有し、中心部に前記少なくとも１つの光学部品を保持してなる従動部材と、
前記筐体部に固定され、前記従動部材を前記光軸方向に移動可能に支持する直動ガイド部と、を備えることを特徴とする請求項３に記載の干渉計。 The adjustment movement mechanism is
A female which is provided on the inner peripheral side of the operation unit and is rotatably held around a certain rotation axis inside the housing unit with the rotation of the operation unit, and whose center axis coincides with the rotation axis A cylindrical member having a threaded portion on the inner peripheral surface;
A driven member disposed on the inner side of the cylindrical member, having a male threaded portion threadedly engaged with the female threaded portion on the outer peripheral surface, and holding the at least one optical component at the center;
The interferometer according to claim 3, further comprising: a linear motion guide unit that is fixed to the housing unit and supports the driven member so as to be movable in the optical axis direction.