JP2010249600A - Method for measuring thickness of adhesive layer in cemented body, cemented lens, and cemented body - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for measuring the thickness of an adhesive layer in a cemented body, which properly measures the thickness of an adhesive layer regardless of the magnitude of a difference in refractive index of elements in a cemented body. <P>SOLUTION: The method for measuring the thickness of an adhesive layer of a cemented body having a first layer and an adhesive layer having nearly the same refractive index as the first layer and welded to the first layer, has: a reflective layer formation process S10 for forming, on the interface between the first layer and the adhesive layer, a reflective layer having higher reflectivity than the interface; a measuring light application process S20 for applying measuring light onto the reflective layer; a reflected light acquisition process S30 for acquiring the reflected light of the measuring light reflected by the reflective layer; and a reflected light analysis process S40 for calculating the thickness of the adhesive layer on the basis of the obtained reflected light. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、接合体における接着層の厚さの測定方法及び接合レンズ並びに接合体に関する。より詳しくは、接着剤等によって接合された光学素子等の接合体における接着層の厚さの測定方法、及び当該測定方法の適用可能な接合レンズ並びに接合体に関する。   The present invention relates to a method for measuring the thickness of an adhesive layer in a joined body, a joined lens, and a joined body. More specifically, the present invention relates to a method for measuring the thickness of an adhesive layer in a joined body such as an optical element joined by an adhesive or the like, a joined lens to which the measuring method can be applied, and a joined body.

光学製品の分野では、重ね合わせた二枚のレンズの間に膜状の接着剤を介在させることによって、それら二枚のレンズが一体に固定された接合レンズが広く用いられている。
このような接合レンズでは、レンズの間に介在する接着剤の厚さ寸法の均一性が性能を決定する大きな要素の一つである。したがって、接合レンズの性能を一定水準以上に保つためには接着剤の厚さを高精度で測定できることが重要である。 In the field of optical products, a cemented lens is widely used in which a film-like adhesive is interposed between two superposed lenses so that the two lenses are fixed integrally.
In such a cemented lens, the uniformity of the thickness dimension of the adhesive interposed between the lenses is one of the major factors that determine the performance. Therefore, in order to keep the performance of the cemented lens above a certain level, it is important that the thickness of the adhesive can be measured with high accuracy.

このような目的に適用可能な厚さ測定方法として、特許文献１に記載の透明フィルムの厚み測定方法が知られている。この方法は、ピークバレー法とも呼ばれる。以下、図８及び図９を参照して本方法について簡潔に説明する。
図８に示すように、白色の平行光線２０１をフィルム２０２に照射すると、フィルム２０２の表面で直接反射される反射光Ｒ２１の他に、フィルム２０２内に進入して両表面の間を何回か反射した後にフィルム２０２外に出て行く反射光Ｒ２２、Ｒ２３・・・が存在する。フィルム２０２内で反射する反射光Ｒ２２、Ｒ２３等は互いに干渉し合い、その結果、特定の波長の光が強く、また特定の波長の光が弱くなる。つまりフィルム２０２に入る前の光の放射エネルギーの波長強度分布（以下、「光のスペクトル」と称する。）がフィルム２０２内で反射されることにより図９に示すように変化する。 As a thickness measuring method applicable to such a purpose, a transparent film thickness measuring method described in Patent Document 1 is known. This method is also called a peak valley method. Hereinafter, this method will be briefly described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 8, when the film 202 is irradiated with white parallel light rays 201, in addition to the reflected light R21 reflected directly on the surface of the film 202, the film 202 enters the film 202 several times between the surfaces. There are reflected lights R22, R23,... That go out of the film 202 after being reflected. Reflected light R22, R23 and the like reflected in the film 202 interfere with each other, and as a result, light of a specific wavelength is strong and light of a specific wavelength is weak. That is, the wavelength intensity distribution (hereinafter referred to as “light spectrum”) of the radiant energy of the light before entering the film 202 changes as shown in FIG.

この変化は図８に示す平行光線２０１の入射角θが一定ならば、フィルム２０２の厚さｄおよび屈折率ｎに依存する。したがって、フィルム２０２に白色の平行光線２０１を照射し、フィルム２０２により反射された光のスペクトルを測定すれば、これと予め測定したフィルム２０２の屈折率ｎとからフィルム２０２の厚さｄを求めることが可能となる。   This change depends on the thickness d and refractive index n of the film 202 if the incident angle θ of the parallel light ray 201 shown in FIG. 8 is constant. Therefore, if the film 202 is irradiated with the white parallel light beam 201 and the spectrum of the light reflected by the film 202 is measured, the thickness d of the film 202 is obtained from this and the refractive index n of the film 202 measured in advance. Is possible.

特開昭５６−１１５９０５号公報JP-A-56-115905

特許文献１に記載の測定方法を実行するためには、一定の光量の反射光を取得する必要がある。反射光の光量を決定する反射率は、フレネルの公式によって定義されており、図１０において、媒質１３１の屈折率をｎ１、媒質１３２の屈折率をｎ２とすると、反射率Ｒは以下の数１で表すことができる。
この数１より、ｎ１値とｎ２の値の差が小さい、すなわち隣接する媒質の屈折率差が小さいと、２つの媒質の界面における反射率Ｒの値が小さくなり、その結果反射光量が少なくなることがわかる。 In order to execute the measurement method described in Patent Document 1, it is necessary to acquire reflected light having a certain amount of light. The reflectance that determines the amount of reflected light is defined by the Fresnel formula. In FIG. 10, when the refractive index of the medium 131 is n 1 and the refractive index of the medium 132 is n 2 , the reflectance R is as follows: It can be expressed by Equation 1.
If the difference between the values of n 1 and n 2 is small from Equation 1 , that is, if the difference in refractive index between adjacent media is small, the value of the reflectance R at the interface between the two media becomes small, and as a result, the amount of reflected light is reduced. It turns out that it decreases.

Figure 2010249600
Figure 2010249600

しかしながら、通常接合レンズにおいては、接合されるレンズと接合する接着剤とを一体の光学素子として機能させるために、レンズと接着剤との屈折率差が小さくなるようにそれぞれの材料が選択、調整されていることが多い。その結果、特許文献１の方法を用いて接合レンズの接着剤層の厚さを測定しようとしても、レンズと接着剤層との界面における反射率が小さいために十分な反射光が得られず、測定が困難である場合が多いという問題がある。   However, in a normal cemented lens, each material is selected and adjusted so that the refractive index difference between the lens and the adhesive becomes small so that the cemented lens and the adhesive to be joined function as an integrated optical element. It is often done. As a result, even when trying to measure the thickness of the adhesive layer of the cemented lens using the method of Patent Document 1, sufficient reflected light cannot be obtained because the reflectance at the interface between the lens and the adhesive layer is small. There is a problem that measurement is often difficult.

本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、接合体における各構成の屈折率差の大小に関係なく、好適に接着層の厚さを測定することができる、接合体における接着層の厚さの測定方法を提供することを目的とする。
本発明の他の目的は、各構成の屈折率差が小さくても接着層の厚さを好適に測定可能な接合レンズ及び接合体を提供することである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to suitably measure the thickness of the adhesive layer regardless of the refractive index difference of each component in the joined body. It aims at providing the measuring method of thickness.
Another object of the present invention is to provide a cemented lens and a cemented body that can suitably measure the thickness of an adhesive layer even if the refractive index difference between the components is small.

本発明の第一の態様である厚さの測定方法は、第１層と、前記第１層と同等の屈折率を有し、前記第１層に接合される接着層とを有する接合体の前記接着層の厚さを測定するための測定方法であって、前記第１層と前記接着層との界面に、前記界面よりも高い反射率を有する反射層を形成する反射層形成工程と、前記反射層に測定光を照射する測定光照射工程と、前記測定光が前記反射層で反射された反射光を取得する反射光取得工程と、取得された前記反射光に基づいて前記接着層の厚さを算出する反射光解析工程とを備えることを特徴とする。   The thickness measuring method according to the first aspect of the present invention is a bonded body having a first layer and an adhesive layer having a refractive index equivalent to that of the first layer and bonded to the first layer. A measurement method for measuring the thickness of the adhesive layer, the reflective layer forming step of forming a reflective layer having a higher reflectance than the interface at the interface between the first layer and the adhesive layer; A measurement light irradiation step of irradiating the reflection layer with measurement light, a reflected light acquisition step of acquiring the reflected light of the measurement light reflected by the reflection layer, and the adhesive layer based on the acquired reflected light And a reflected light analyzing step for calculating the thickness.

本発明の第二の態様である接合レンズは、第１レンズ部材と第２レンズ部材とが接着層を間に挟んで接合された接合レンズであって、前記接着層に対向する前記第１レンズ部材の面上に形成された第１の反射層と、前記接着層に対向する前記第２レンズ部材の面上に形成された第２の反射層とを備え、前記第１の反射層と、前記第２の反射層とは、前記接合レンズの光軸方向において、少なくとも一部が重畳することを特徴とする。
このとき、前記第１の反射層及び前記第２の反射層は、周方向に連続して環状に形成されてもよい。 The cemented lens according to the second aspect of the present invention is a cemented lens in which a first lens member and a second lens member are cemented with an adhesive layer interposed therebetween, and the first lens faces the adhesive layer. A first reflective layer formed on the surface of the member; and a second reflective layer formed on the surface of the second lens member facing the adhesive layer; the first reflective layer; The second reflective layer is characterized in that at least a part thereof overlaps in the optical axis direction of the cemented lens.
At this time, the first reflective layer and the second reflective layer may be formed annularly continuously in the circumferential direction.

本発明の第三の態様である接合体は、第１の部材と第２の部材とが接着層を間に挟んで接合された接合体であって、前記接着層に対向する前記第１の部材の面上に形成された第１の反射層と、前記接着層に対向する前記第２の部材の面上に形成された第２の反射層とを備え、前記第１の反射層と、前記第２の反射層とは、前記接合体の光軸方向において、少なくとも一部が重畳することを特徴とする。   The joined body according to the third aspect of the present invention is a joined body in which a first member and a second member are joined with an adhesive layer interposed therebetween, and the first member facing the adhesive layer. A first reflective layer formed on the surface of the member; and a second reflective layer formed on the surface of the second member facing the adhesive layer; the first reflective layer; The second reflective layer is characterized in that at least a part thereof overlaps in the optical axis direction of the joined body.

本発明の部材の厚さの測定方法によれば、接合体における各構成の屈折率差の大小に関係なく、好適に接着層の厚さを測定することができる。
本発明の接合レンズ及び接合体によれば、各構成の屈折率差が小さくても接着層の厚さを好適に測定可能とすることができる。 According to the method for measuring the thickness of the member of the present invention, the thickness of the adhesive layer can be suitably measured regardless of the difference in the refractive index of each component in the joined body.
According to the cemented lens and the cemented body of the present invention, the thickness of the adhesive layer can be suitably measured even when the refractive index difference between the respective components is small.

本発明の第１実施形態の厚さ測定方法を実行する測定装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the measuring apparatus which performs the thickness measuring method of 1st Embodiment of this invention. 同厚さ測定方法の対象となる接合体である接合レンズの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the cemented lens which is the conjugate | zygote used as the object of the same thickness measuring method. 同厚さ測定方法の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the same thickness measuring method. 白色光が照射された同接合レンズの拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the cemented lens irradiated with white light. 取得された反射光のスペクトルの一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the spectrum of the acquired reflected light. 本発明の第２実施形態の厚さ測定方法を実行する測定装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the measuring apparatus which performs the thickness measuring method of 2nd Embodiment of this invention. 同厚さ測定方法の対象となる接合体である接合レンズの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the cemented lens which is the conjugate | zygote used as the object of the same thickness measuring method. 従来の厚さ測定方法の原理を説明する図である。It is a figure explaining the principle of the conventional thickness measuring method. 従来の厚さ測定方法において取得される反射光のスペクトルの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the spectrum of the reflected light acquired in the conventional thickness measuring method. フレネルの公式を説明する図である。It is a figure explaining the formula of Fresnel.

本発明の第１実施形態の接合体及び本発明の一実施形態に係る、接合体における接着層の厚さの測定方法（以下、単に「厚さ測定方法」と称する。）について、図１から図５を参照して説明する。
図１は、本実施形態の厚さ測定方法を実行する測定装置１の一例を示す図である。測定装置１は、上述の特許文献１に記載のように、反射分光を用いて膜厚等を測定する装置であり、被検物としての接合レンズ１００を保持する保持部１０と、保持部１０に保持された被検物に光を射出する光源部２０と、被検物からの反射光を受光する受光部３０と、受光部３０と接続されたパソコン４０とを備えている。 FIG. 1 illustrates a bonded body according to the first embodiment of the present invention and a method for measuring the thickness of an adhesive layer in the bonded body according to an embodiment of the present invention (hereinafter simply referred to as “thickness measuring method”). This will be described with reference to FIG.
FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a measurement apparatus 1 that executes the thickness measurement method of the present embodiment. As described in Patent Document 1 described above, the measuring device 1 is a device that measures a film thickness or the like using reflection spectroscopy, and includes a holding unit 10 that holds a cemented lens 100 as a test object, and a holding unit 10. A light source unit 20 that emits light to a test object held by the test unit, a light receiving unit 30 that receives reflected light from the test object, and a personal computer 40 connected to the light receiving unit 30.

保持部１０は、被検物が載置されるホルダ１１と、ホルダ１１に載置された被検物の一部を把持するためのアーム１２とを備える。アーム１２はＺステージ等からなる操作部１３を有し、操作部１３を操作することにより、アーム１２を上下に移動させることができる。   The holding unit 10 includes a holder 11 on which the test object is placed, and an arm 12 for gripping a part of the test object placed on the holder 11. The arm 12 has an operation unit 13 composed of a Z stage or the like, and the arm 12 can be moved up and down by operating the operation unit 13.

光源部２０は、白色光源２１と、白色光源２１から発生される白色光を平行光にするレンズ系２２とを備えている。光源部２０は図示しない機構により、位置及び角度を調整可能であり、保持部１０に取り付けられた被検物の所望の位置に所望の入射角で平行光となった白色光を照射可能である。   The light source unit 20 includes a white light source 21 and a lens system 22 that converts white light generated from the white light source 21 into parallel light. The light source unit 20 can be adjusted in position and angle by a mechanism (not shown), and can irradiate a desired position of a test object attached to the holding unit 10 with white light that has become parallel light at a desired incident angle. .

受光部３０は、被検物からの反射光を調整するレンズ系３１及び３２と、反射光を分光するプリズム３３と、プリズム３３で分光された光を集光する集光レンズ３４と、集光された反射光を受光する受光素子３５とを備えている。レンズ系の個数や具体的構成は、適宜変更することができる。また、プリズム３３に代えて回折格子が使用されてもよい。   The light receiving unit 30 includes lens systems 31 and 32 that adjust reflected light from the test object, a prism 33 that splits the reflected light, a condensing lens 34 that collects the light dispersed by the prism 33, and a light collecting unit. And a light receiving element 35 for receiving the reflected light. The number and specific configuration of the lens system can be changed as appropriate. Further, a diffraction grating may be used instead of the prism 33.

パソコン４０は受光素子３５が受け取った反射光の画像を処理する画像処理ボード４１と、反射光の情報等を表示するためのモニタ４２とを備えている。   The personal computer 40 includes an image processing board 41 for processing an image of reflected light received by the light receiving element 35 and a monitor 42 for displaying information on the reflected light.

図２は、被検物の一例である接合レンズ（接合体）１００を示す図である。接合レンズ１００は、一方の面に光学面を構成する曲面１０１Ａを有し、他方が平坦に加工された平面１０１Ｂとなっている一対のレンズ部材１０１を備えており、一対のレンズ部材１０１を、平面１０１Ｂを対向させつつ接着剤で一体に接合して形成されている。したがって、一対のレンズ部材１０１の間には、接着層１０２が形成されている。   FIG. 2 is a diagram showing a cemented lens (joint) 100 that is an example of a test object. The cemented lens 100 includes a pair of lens members 101 having a curved surface 101A constituting an optical surface on one surface and a flat surface 101B processed on the other surface. It is formed by integrally bonding with an adhesive while facing the flat surface 101B. Therefore, an adhesive layer 102 is formed between the pair of lens members 101.

接合レンズ１００を１個の光学素子として機能させるため、一対のレンズ部材１０１と接着層１０２を形成する接着剤は、屈折率差が小さくなるように選択されている、したがって、そのままではレンズ部材１０１と接着層１０２との界面における反射光の量が少なく、接着層１０２の厚さを測定装置１で好適に測定することはできない。
そこで、一対のレンズ部材１０１のそれぞれに反射層が形成されている。具体的には、図２において上側に位置するレンズ部材（第１レンズ部材）１０１の平面１０１Ｂ上には、ハーフミラーとして機能するハーフミラー層（第１の反射層）１０３が形成され、図２において下側に位置するレンズ部材（第２レンズ部材）１０１の平面１０１Ｂ上には、ハーフミラー層１０３と対向する位置、すなわち、完成した接合レンズ１００の光軸方向においてハーフミラー層１０３と重畳する位置に反射層１０４（第２の反射層）が形成されている。 In order for the cemented lens 100 to function as a single optical element, the adhesive that forms the adhesive layer 102 with the pair of lens members 101 is selected so that the difference in refractive index is small. The amount of reflected light at the interface between the adhesive layer 102 and the adhesive layer 102 is small, and the thickness of the adhesive layer 102 cannot be suitably measured by the measuring device 1.
Therefore, a reflective layer is formed on each of the pair of lens members 101. Specifically, a half mirror layer (first reflective layer) 103 that functions as a half mirror is formed on the plane 101B of the lens member (first lens member) 101 located on the upper side in FIG. The lens member (second lens member) 101 located on the lower side of FIG. 10 overlaps with the half mirror layer 103 in a position facing the half mirror layer 103, that is, in the optical axis direction of the completed cemented lens 100. A reflective layer 104 (second reflective layer) is formed at the position.

ハーフミラー層１０３及び反射層１０４は、スパッタリング等によって単層又は多層の薄膜を成膜することにより容易に形成することができる。なお、ハーフミラー層１０３及び反射層１０４の厚さはナノメートル（ｎｍ）オーダーであり、接着層１０２の厚さに対して十分薄く、実際には視認は困難であるが、本明細書では、理解をしやすくするために、実際の寸法と異ならせてこれらの反射層を示している。   The half mirror layer 103 and the reflective layer 104 can be easily formed by forming a single-layer or multilayer thin film by sputtering or the like. Note that the thickness of the half mirror layer 103 and the reflective layer 104 is on the order of nanometers (nm), which is sufficiently thin with respect to the thickness of the adhesive layer 102, and is actually difficult to visually recognize. For ease of understanding, these reflective layers are shown differently from the actual dimensions.

一対のレンズ部材１０１は、それぞれ周縁にフランジ１０１Ｃを有しており、ハーフミラー層１０３及び反射層１０４は、接合レンズ１００の光軸方向において、フランジ１０１Ｃと重畳する位置に形成されている。すなわち、ハーフミラー層１０３及び反射層１０４は、接合レンズ１００の有効径の外側に位置している。   Each of the pair of lens members 101 has a flange 101 </ b> C at the periphery, and the half mirror layer 103 and the reflective layer 104 are formed at positions overlapping the flange 101 </ b> C in the optical axis direction of the cemented lens 100. That is, the half mirror layer 103 and the reflective layer 104 are located outside the effective diameter of the cemented lens 100.

上記の測定装置１を用いて、接合レンズ１００の接着層１０２の厚さを、本実施形態の厚さ測定方法により測定する場合の手順について説明する。
図３は、本実施形態の厚さ測定方法を含む接合レンズ１００の製造の流れを示すフローチャートである。本実施形態の厚さ測定方法は、図３に示すように、被検物に反射層を形成する反射層形成工程Ｓ１０と、被検物に対して測定光を照射する測定光照射工程Ｓ２０と、被検物から反射された反射光を取得する反射光取得工程Ｓ３０と、取得された反射光を解析して接着層の厚さを算出する反射光解析工程Ｓ４０とを備えている。 A procedure for measuring the thickness of the adhesive layer 102 of the cemented lens 100 by the thickness measurement method of the present embodiment using the measurement apparatus 1 will be described.
FIG. 3 is a flowchart showing a flow of manufacturing the cemented lens 100 including the thickness measurement method of the present embodiment. As shown in FIG. 3, the thickness measuring method of the present embodiment includes a reflective layer forming step S10 for forming a reflective layer on the test object, and a measuring light irradiation step S20 for irradiating the test object with measuring light. A reflected light acquisition step S30 for acquiring reflected light reflected from the test object, and a reflected light analysis step S40 for analyzing the acquired reflected light and calculating the thickness of the adhesive layer are provided.

まずユーザは、ステップＳ１０において、接合レンズ１００の製造時に、一対のレンズ部材１０１の一方にハーフミラー層１０３を、他方に反射層１０４をそれぞれスパッタリング等により各々の平面１０１Ｂ上かつレンズ部材１０１の厚さ方向においてフランジ１０１Ｃと重畳する位置に形成する。次に、ステップＳ１１において、各々の平面１０１Ｂに接着層１０２を形成する紫外線（ＵＶ）硬化性の接着剤を塗布し、ステップＳ１２において、ハーフミラー層１０３と反射層１０４とが、製造される接合レンズの光軸方向において重畳するように一対のレンズ部材１０１を接合して、接合レンズ１００を得る。   First, in step S10, when manufacturing the cemented lens 100, the user forms the half mirror layer 103 on one of the pair of lens members 101 and the reflective layer 104 on the other by sputtering or the like on each plane 101B and the thickness of the lens member 101. It is formed at a position overlapping with the flange 101C in the vertical direction. Next, in step S11, an ultraviolet (UV) curable adhesive that forms the adhesive layer 102 is applied to each plane 101B, and in step S12, the half mirror layer 103 and the reflective layer 104 are manufactured. A pair of lens members 101 are joined so as to overlap in the optical axis direction of the lens, and a cemented lens 100 is obtained.

ステップＳ１３において、ユーザは図１に示すように、接合レンズ１００を、ハーフミラー層１０３が上側(光源部２０側)となるように測定装置１のホルダ１１に設置する。このとき、上側のレンズ部材１０１をアーム１２で把持しておく。そして、ステップＳ２０において、光源部２０の位置や角度、及び必要に応じてハーフミラー層１０３及び反射層１０４の位置を調節してから、白色光源２１から白色光（測定光）Ｌ１を射出する。発せられた白色光Ｌ１はレンズ系２２を通って平行光となり、保持部１０に取り付けられた接合レンズ１００のハーフミラー層１０３に向かって照射される。   In step S13, as shown in FIG. 1, the user places the cemented lens 100 on the holder 11 of the measuring apparatus 1 so that the half mirror layer 103 is on the upper side (the light source unit 20 side). At this time, the upper lens member 101 is held by the arm 12. In step S <b> 20, after adjusting the position and angle of the light source unit 20 and the positions of the half mirror layer 103 and the reflective layer 104 as necessary, white light (measurement light) L <b> 1 is emitted from the white light source 21. The emitted white light L1 becomes parallel light through the lens system 22 and is irradiated toward the half mirror layer 103 of the cemented lens 100 attached to the holding unit 10.

ステップＳ３０において、白色光Ｌ１は、上側のレンズ部材１０１と接着層１０２との界面に位置するハーフミラー層１０３で一部が反射され、反射光Ｒ１となる。残りはハーフミラー層１０３を透過して下側のレンズ部材１０１と接着層１０２との界面に位置する反射層１０４で反射され、反射光Ｒ２となる。   In step S30, the white light L1 is partially reflected by the half mirror layer 103 located at the interface between the upper lens member 101 and the adhesive layer 102, and becomes reflected light R1. The remaining light passes through the half mirror layer 103 and is reflected by the reflective layer 104 located at the interface between the lower lens member 101 and the adhesive layer 102 to be reflected light R2.

反射光Ｒ１と、反射光Ｒ２とは互いに干渉し、受光部３０のレンズ系３１及び３２で十分に拡がった平行光線となった後、プリズム３３を通って分光される。分光された反射光Ｒ１、Ｒ２は集光レンズ３４により波長ごとに異なった位置へ集光され、受光素子３５の上に写し出されて取得される。   The reflected light R <b> 1 and the reflected light R <b> 2 interfere with each other, become parallel light beams that are sufficiently spread by the lens systems 31 and 32 of the light receiving unit 30, and are then split through the prism 33. The split reflected lights R1 and R2 are collected by the condenser lens 34 at different positions for each wavelength, and are projected onto the light receiving element 35 and acquired.

ステップＳ４０において、受光素子３５に取得された反射光は画像処理ボード４１を通してパソコン４０に取り込まれ、解析される。この解析は、上述の特許文献１に記載されたピークバレー法を用いて行われるが、以下、本実施形態に沿って詳細に説明する。   In step S40, the reflected light acquired by the light receiving element 35 is taken into the personal computer 40 through the image processing board 41 and analyzed. This analysis is performed using the peak valley method described in Patent Document 1 described above, and will be described in detail below along the present embodiment.

図４は、白色光Ｌ１が反射しているときの接合レンズ１００の拡大断面図である。反射光Ｒ１と反射光Ｒ２とは互いに干渉し、反射光Ｒ２に含まれる波長が、接着層１０２の中を通過する光路長すなわち反射光Ｒ１と反射光Ｒ２との光路差Δの整数倍と一致したとき光量は増加し、光路差の半分Δ／２の奇数倍と一致したとき光量は減少する。   FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the cemented lens 100 when the white light L1 is reflected. The reflected light R1 and the reflected light R2 interfere with each other, and the wavelength included in the reflected light R2 matches the optical path length passing through the adhesive layer 102, that is, an integral multiple of the optical path difference Δ between the reflected light R1 and the reflected light R2. The light quantity increases, and the light quantity decreases when it coincides with an odd multiple of half the optical path difference Δ / 2.

接着層１０２の屈折率をｎ、接着層１０２の厚さをｄ、白色光Ｌ１の入射角度をθとすると、反射光Ｒ１と反射光Ｒ２との光路差Δは、下記数２で表される。   When the refractive index of the adhesive layer 102 is n, the thickness of the adhesive layer 102 is d, and the incident angle of the white light L1 is θ, the optical path difference Δ between the reflected light R1 and the reflected light R2 is expressed by the following formula 2. .

Figure 2010249600
Figure 2010249600

また、干渉の次数をｍ、波長をλとすると、Δが下記数３で示される条件を満たすような波長の光について反射光は極大となり、数４で示されるような条件を満たす波長については反射光が極小となる。   Also, assuming that the order of interference is m and the wavelength is λ, the reflected light is maximal for light having a wavelength that satisfies the condition represented by the following equation 3, and for the wavelength that satisfies the condition represented by equation 4. The reflected light is minimal.

Figure 2010249600
Figure 2010249600

Figure 2010249600
反射光Ｒ１、Ｒ２はプリズム３３を通って分光され、集光レンズ３４により波長ごとに異なった位置へ集光され、受光素子３５の上にスペクトルを写し出す。受光素子３５により得られる電気信号は各波長に対応した集光位置における光強度であるので、これを波長―光強度に変換すれば図５に示すようなスペクトルとなる。
Figure 2010249600
 The reflected lights R1 and R2 are split through the prism 33, and are collected at different positions for each wavelength by the condenser lens 34, and the spectrum is projected onto the light receiving element 35. Since the electrical signal obtained by the light receiving element 35 is the light intensity at the condensing position corresponding to each wavelength, if this is converted into wavelength-light intensity, a spectrum as shown in FIG. 5 is obtained.

ここで、ｍ次の極大を示す波長をλｊ、ｍ＋１次の極大を示す波長をλｊ＋１とすると、厚さｄとλｊ及びλｊ＋１との間には、下記数５及び数６に示すような関係が成り立つ。 Here, when the wavelength indicating the m-th order maximum lambda j, the wavelength indicating the m + 1-order maxima and lambda j + 1, between the thickness d and the lambda j and lambda j + 1, shown in the following Equation 5 and Equation 6 Such a relationship holds.

Figure 2010249600
Figure 2010249600

Figure 2010249600
Figure 2010249600

数５及び数６より、接着層１０２の厚さｄは以下の数７によって求められる。したがって、パソコン４０は、取得した反射光のデータのうち、極大を示した波長を数７に従って解析して接着層１０２の厚さｄを算出する。測定結果はモニタ４２に表示されて一連の測定が終了する。   From Equation 5 and Equation 6, the thickness d of the adhesive layer 102 is obtained by Equation 7 below. Therefore, the personal computer 40 calculates the thickness d of the adhesive layer 102 by analyzing the wavelength indicating the maximum among the acquired reflected light data according to Equation 7. The measurement result is displayed on the monitor 42, and a series of measurements is completed.

Figure 2010249600
Figure 2010249600

その後、ステップＳ４１において、ステップＳ４０で取得された測定結果に基づき、接着層１０２の厚さが設定範囲（たとえば、接合レンズ１００の規格幅）内にあるかどうかが判定される。判定はユーザがモニタ４２の表示を確認して行ってもよいし、パソコン４０に自動で行わせてもよい。この判定がＮｏの場合、処理は後述するステップＳ４２に進み、Ｙｅｓの場合は後述するステップＳ４３に進む。   Thereafter, in step S41, based on the measurement result obtained in step S40, it is determined whether the thickness of the adhesive layer 102 is within a set range (for example, the standard width of the cemented lens 100). The determination may be performed by the user confirming the display on the monitor 42 or may be automatically performed by the personal computer 40. If this determination is No, the process proceeds to step S42 to be described later, and if Yes, the process proceeds to step S43 to be described later.

ステップＳ４２において、ユーザは操作部１３を操作してアーム１２及び把持されたレンズ部材１０１を上下させて接着層１０２の厚さｄが適切な値となるように調整を行う。調整後、処理はステップＳ２０に戻り、再度接着層１０２の厚さが測定される。アーム１２を駆動する機構をパソコン４０と接続しておけば、ステップＳ４２の工程をパソコン４０に行わせて調整精度を向上させることも可能である。   In step S42, the user operates the operation unit 13 to move the arm 12 and the held lens member 101 up and down to adjust the thickness d of the adhesive layer 102 to an appropriate value. After the adjustment, the process returns to step S20, and the thickness of the adhesive layer 102 is measured again. If the mechanism for driving the arm 12 is connected to the personal computer 40, the adjustment accuracy can be improved by causing the personal computer 40 to perform the process of step S42.

ステップＳ４３において、図示しない紫外線照射機構から、接合レンズ１００に紫外線が照射される（ＵＶ照射）。ＵＶ照射によって接着層１０２は瞬時に硬化され、接着層１０２が設定した厚さで固化される。こうして接合レンズ１００の製造が終了する。
なお、ステップＳ４１からＳ４３の厚さ調整が行われない場合は、必ずしもステップＳ１１において接着層１０２を形成する接着剤としてＵＶ硬化性のものを用いたり、ステップＳ１３においてアーム１２でレンズ部材１０１を把持したりしなくてもよい。 In step S43, the cemented lens 100 is irradiated with ultraviolet rays from an ultraviolet irradiation mechanism (not shown) (UV irradiation). The adhesive layer 102 is instantly cured by the UV irradiation, and the adhesive layer 102 is solidified with a set thickness. Thus, the manufacture of the cemented lens 100 is completed.
If the thickness is not adjusted in steps S41 to S43, a UV curable adhesive is not necessarily used in step S11, or the lens member 101 is held by the arm 12 in step S13. You don't have to.

本実施形態の厚さ測定方法によれば、ステップＳ１０の反射層形成工程において、一対のレンズ部材１０１と接着層１０２との界面にそれぞれハーフミラー層１０３及び反射層１０４が形成される。そのため、レンズ部材１０１と接着層１０２との屈折率差が小さくても、光源部２０から発せられる白色光Ｌ１がレンズ部材１０１と接着層１０２との界面で好適に反射され、十分な量の反射光が反射光取得工程Ｓ３０で受光素子３５に取得される。その結果、接合レンズ１００としての光学特性に影響を与えることなく、接着層１０２の厚さを良好に測定して、接合レンズ１００の品質を正確に評価することができる。   According to the thickness measurement method of the present embodiment, the half mirror layer 103 and the reflective layer 104 are formed at the interface between the pair of lens members 101 and the adhesive layer 102 in the reflective layer forming step of Step S10. Therefore, even if the refractive index difference between the lens member 101 and the adhesive layer 102 is small, the white light L1 emitted from the light source unit 20 is suitably reflected at the interface between the lens member 101 and the adhesive layer 102, and a sufficient amount of reflection is performed. Light is acquired by the light receiving element 35 in the reflected light acquisition step S30. As a result, the quality of the cemented lens 100 can be accurately evaluated by measuring the thickness of the adhesive layer 102 without affecting the optical characteristics of the cemented lens 100.

また、レンズ部材１０１にフランジ１０１Ｃが設けられ、ハーフミラー層１０３及び反射層１０４は、接合レンズ１００の光軸方向においてフランジ１０１Ｃと重畳する位置に形成されているので、ハーフミラー層１０３及び反射層１０４が接合レンズ１００の有効径の外側に位置し、接合レンズ１００の視野に影響を与えることがない。   Further, since the lens member 101 is provided with a flange 101C, and the half mirror layer 103 and the reflective layer 104 are formed at positions overlapping the flange 101C in the optical axis direction of the cemented lens 100, the half mirror layer 103 and the reflective layer are formed. 104 is located outside the effective diameter of the cemented lens 100 and does not affect the field of view of the cemented lens 100.

また、本実施形態の厚さ測定方法を実行する測定装置１においては、レンズ部材１０１を把持可能なアーム１２を備えているので、接着層１０２の厚さの寸法結果に応じて、一対のレンズ部材１０１間の距離を調節して接着層１０２の厚さを適正な範囲に調節することができる。   In addition, since the measuring apparatus 1 that executes the thickness measuring method of the present embodiment includes the arm 12 that can hold the lens member 101, a pair of lenses is used according to the dimensional result of the thickness of the adhesive layer 102. The thickness of the adhesive layer 102 can be adjusted to an appropriate range by adjusting the distance between the members 101.

次に本発明の第２実施形態について、図６及び図７を参照して説明する。本実施形態と上述の第１実施形態との異なるところは、保持部の構成及びその使用方法である。なお、以降の説明において、上述の第１実施形態と共通する構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The difference between the present embodiment and the first embodiment described above is the configuration of the holding unit and the method of use thereof. In the following description, the same reference numerals are assigned to the same components as those in the first embodiment described above, and duplicate descriptions are omitted.

図６は本実施形態で使用される測定装置５１の一例を示す図である。保持部６０は、ホルダ１１と、ホルダ１１の下方に設けられたステージ６１とを備えている。ステージ６１は、公知のＸＹＺステージであり、ホルダ１１及びホルダ１１に取り付けられた接合レンズ１１０（後述）を、光源部２０及び受光部３０に対して相対移動させることができる。   FIG. 6 is a diagram showing an example of the measuring device 51 used in the present embodiment. The holding unit 60 includes a holder 11 and a stage 61 provided below the holder 11. The stage 61 is a known XYZ stage, and can move the holder 11 and a cemented lens 110 (described later) attached to the holder 11 relative to the light source unit 20 and the light receiving unit 30.

図７は、本実施形態における被検物である接合レンズ１１０を示す図である。一対のレンズ部材１０１がフランジ１０１Ｃを有する点は接合レンズ１００と同様であるが、接合レンズ１１０においては、ハーフミラー層１１３及び反射層１１４が、フランジ１０１Ｃの全周にわたって連続して形成されている。   FIG. 7 is a diagram showing a cemented lens 110 that is a test object in the present embodiment. The pair of lens members 101 has the flange 101C in the same manner as the cemented lens 100. However, in the cemented lens 110, the half mirror layer 113 and the reflective layer 114 are continuously formed over the entire circumference of the flange 101C. .

上述の測定装置５１を用いて接合レンズ１１０の接着層１０２の厚さを測定する際の流れについて説明する。
ステップＳ１０において、ハーフミラー層１１３及び反射層１１４がレンズ部材１０１のフランジ１０１Ｃの平面１０１Ｂ側の面に全周にわたって形成されて接合レンズ１１０が形成される。 A flow when measuring the thickness of the adhesive layer 102 of the cemented lens 110 using the above-described measuring device 51 will be described.
In step S <b> 10, the half mirror layer 113 and the reflective layer 114 are formed on the entire surface of the flange 101 </ b> C of the lens member 101 on the flat surface 101 </ b> B side to form the cemented lens 110.

続いて、ハーフミラー層１１３及び反射層１１４上の一領域（第１の領域）に白色光Ｌ１が照射され、ステップＳ２０からステップＳ４０の各工程が第１実施形態と同様に行われ、当該領域における接着層１０２の厚さが算出される。   Subsequently, one region (first region) on the half mirror layer 113 and the reflective layer 114 is irradiated with white light L1, and each step from Step S20 to Step S40 is performed in the same manner as in the first embodiment. The thickness of the adhesive layer 102 is calculated.

次に、ユーザは、第１の領域と接合レンズ１１０の中心からの距離が同一となる他の領域（第２の領域）を設定し、光源部２０、受光部３０、及びステージ６１を調節して、当該第２の領域に白色光Ｌ１を照射し、第１の領域と同様の手順で接着層１０２の厚さを測定する。   Next, the user sets another region (second region) in which the distance from the center of the first region and the cemented lens 110 is the same, and adjusts the light source unit 20, the light receiving unit 30, and the stage 61. Then, the second region is irradiated with the white light L1, and the thickness of the adhesive layer 102 is measured in the same procedure as the first region.

さらに、ユーザは、第１の領域と接合レンズ１１０の中心からの距離が同一となる他の領域（第３の領域）を設定し、第２の領域と同様の操作によって、接着層１０２の厚さを算出する。   Further, the user sets another region (third region) in which the distance from the center of the cemented lens 110 is the same as the first region, and the thickness of the adhesive layer 102 is determined by the same operation as in the second region. Is calculated.

３つの領域における接着層１０２の厚さが計測できたところで、ユーザは各領域における厚さを比較し、接着層１０２全体の均一性が所望の範囲内にあるかどうかを判定して（判定工程）、一連の工程を終了する。
上述の判定工程においては、３箇所以上の厚さデータに基づいて、接着層１０２の界面の推定形状を算出させ、この平坦度を評価することによって接着層の均一性が判定されてもよい。また、この場合、必ずしも厚さを測定する領域すべてが接合レンズ１１０の中心から等距離に位置していなくてもよい。 When the thicknesses of the adhesive layers 102 in the three regions can be measured, the user compares the thicknesses in the respective regions and determines whether the uniformity of the entire adhesive layer 102 is within a desired range (determination step). ), A series of steps is completed.
In the above-described determination step, the uniformity of the adhesive layer may be determined by calculating the estimated shape of the interface of the adhesive layer 102 based on the thickness data at three or more locations and evaluating the flatness. Further, in this case, not all the regions for which the thickness is measured need to be located at the same distance from the center of the cemented lens 110.

本実施形態の厚さ測定方法においても、レンズ部材１０１と屈折率差の小さい接着層１０２の厚さを正確に計測することができる。また、複数箇所の接着層１０２の厚さが測定され、これらが判定工程で比較等されることによって、選択された箇所における接着層１０２の厚さに加えて、接着層１０２全体としての均一性についても評価することができる。したがって、より高精度に接着層１０２の評価を行い、接合レンズ１１０等の接合体の品質をより好適に管理することができる。   Also in the thickness measurement method of the present embodiment, the thickness of the adhesive layer 102 having a small refractive index difference from the lens member 101 can be accurately measured. In addition, the thickness of the adhesive layer 102 at a plurality of locations is measured, and these are compared in the determination process, whereby the uniformity of the adhesive layer 102 as a whole is added to the thickness of the adhesive layer 102 at the selected location. Can also be evaluated. Therefore, the adhesive layer 102 can be evaluated with higher accuracy, and the quality of the joined body such as the cemented lens 110 can be more suitably managed.

また、接合レンズ１１０においては、ハーフミラー層１１３及び反射層１１４がフランジ１０１Ｃの全周にわたって連続して形成されているので、保持部６０に取り付ける際に、周方向の位置合わせをする必要がなく、光源部２０等との位置合わせを容易に行うことができ、第１の領域と中心から等距離にある第２及び第３の領域の設定も容易に行うことができる。また、接合レンズ１１０の製造時においても、一対のレンズ部材１０１を接合する際に、ハーフミラー層１１３と反射層１１４との周方向における位置合わせをする必要がなく、接合レンズの製造効率を向上させることができる。   Further, in the cemented lens 110, since the half mirror layer 113 and the reflective layer 114 are continuously formed over the entire circumference of the flange 101C, there is no need to align the circumferential direction when attaching to the holding portion 60. Alignment with the light source unit 20 and the like can be easily performed, and setting of the second and third regions that are equidistant from the center of the first region can be easily performed. In addition, even when the cemented lens 110 is manufactured, it is not necessary to align the half mirror layer 113 and the reflective layer 114 in the circumferential direction when the pair of lens members 101 are bonded, and the manufacturing efficiency of the cemented lens is improved. Can be made.

さらに、測定装置５１においては、保持部６０にステージ６１が設けられているので、光源部２０や受光部３０のみを動かして位置合わせを行うのに比べて、白色光Ｌ２の照射位置の位置合わせがより容易となる。   Furthermore, in the measuring apparatus 51, since the stage 61 is provided in the holding unit 60, the alignment of the irradiation position of the white light L2 is compared with the case where the alignment is performed by moving only the light source unit 20 and the light receiving unit 30. Becomes easier.

本実施形態では、ハーフミラー層１１３及び反射層１１４の３つの領域の厚さが測定される例を説明したが、測定箇所の数は判定方法、要求精度等を考慮してユーザが適宜設定してよい。
また、保持部がホルダ１１を軸線回りに回転可能な駆動部を有し、かつ当該駆動部の回転軸とホルダ１１に取り付けられた被検物の中心軸との軸合わせが可能に構成されると、軸合わせの後、ホルダ１１及び接合体を回転させるだけで、第１の領域と等距離の第２、第３の領域等に容易に位置合わせを行うことができる。 In the present embodiment, an example in which the thicknesses of the three regions of the half mirror layer 113 and the reflective layer 114 are measured has been described. However, the number of measurement points is appropriately set by the user in consideration of a determination method, required accuracy, and the like. It's okay.
In addition, the holding unit has a drive unit that can rotate the holder 11 around the axis, and the rotation axis of the drive unit and the center axis of the object attached to the holder 11 can be aligned. Then, after the axis alignment, it is possible to easily align the second and third regions and the like that are equidistant from the first region simply by rotating the holder 11 and the joined body.

以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述の各実施形態においては、接合体としての接合レンズの有効径の外側にフランジを有し、光軸方向においてフランジと重畳するように反射層としてのハーフミラー層及び反射層が設けられる例を説明したが。本発明の接合体はこれには限定されない。一例として、接合されるレンズ部材の有効径を必要な値よりも大きく設定し、ハーフミラー層及び反射層を必要な有効径の外側に位置するように形成することによって、接合レンズとしては所望の有効径を確保しつつ、反射層が球面の一部と光軸方向において重畳するように設けられてもよい。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the technical scope of the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in each of the above-described embodiments, a flange is provided outside the effective diameter of the cemented lens as a cemented body, and a half mirror layer and a reflective layer as a reflective layer are provided so as to overlap the flange in the optical axis direction. I explained an example. The joined body of the present invention is not limited to this. As an example, the effective diameter of the lens member to be bonded is set larger than a necessary value, and the half mirror layer and the reflective layer are formed so as to be located outside the required effective diameter. The reflective layer may be provided so as to overlap a part of the spherical surface in the optical axis direction while securing the effective diameter.

また、接合体も、上述の接合レンズには限定されず、互いの屈折率差が小さい複数の部材及び接着層からなる接合体であれば、適宜位置を調節して反射層を設けることによって、本発明の厚さ測定方法を適用可能な接合体とすることが可能である。このような例としては、カメラに使用する、ＣＣＤとローパスフィルタとの接合体等を挙げることができる。   Further, the cemented body is not limited to the above-described cemented lens, and if the cemented body is composed of a plurality of members and adhesive layers having a small difference in refractive index from each other, by appropriately adjusting the position and providing a reflective layer, It is possible to obtain a joined body to which the thickness measuring method of the present invention can be applied. As such an example, a joined body of a CCD and a low-pass filter used for a camera can be cited.

さらに、上述の各実施形態では、接合レンズの反射層の一方がハーフミラー層であり、他方が反射層である例を説明したが、測定光の光量等を調節して十分な光量の反射光が取得できるようにすれば、すべての反射層がハーフミラー層で構成されてもよい。このようにすると、一対のレンズ部材に同一の反射層を形成すればよいため、部品点数が減少して製造効率が向上されるとともに、測定装置に設置する際もいずれの面を上側にするかについて考慮する必要がないので、さらに効率よく測定を行うことができる。   Furthermore, in each of the above-described embodiments, an example in which one of the reflective layers of the cemented lens is a half mirror layer and the other is a reflective layer has been described. Can be obtained, all the reflective layers may be composed of half mirror layers. In this way, since the same reflective layer only needs to be formed on the pair of lens members, the number of parts is reduced and the manufacturing efficiency is improved. Therefore, it is possible to perform measurement more efficiently.

１００、１１０ 接合レンズ（接合体）
１０１ レンズ部材
１０２ 接着層
１０３、１１３ ハーフミラー層（第１の反射層）
１０４、１１４ 反射層（第２の反射層）
Ｌ１ 白色光（測定光）
Ｒ１、Ｒ２ 反射光
Ｓ１０ 反射層形成工程
Ｓ２０ 測定光照射工程
Ｓ３０ 反射光取得工程
Ｓ４０ 反射光解析工程 100, 110 cemented lens (joint)
101 Lens member 102 Adhesive layer 103, 113 Half mirror layer (first reflective layer)
104, 114 Reflective layer (second reflective layer)
L1 White light (measurement light)
R1, R2 Reflected light S10 Reflective layer forming step S20 Measuring light irradiation step S30 Reflected light obtaining step S40 Reflected light analyzing step

Claims (4)

第１層と、前記第１層と同等の屈折率を有し、前記第１層に接合される接着層とを有する接合体の前記接着層の厚さを測定するための測定方法であって、
前記第１層と前記接着層との界面に、前記界面よりも高い反射率を有する反射層を形成する反射層形成工程と、
前記反射層に測定光を照射する測定光照射工程と、
前記測定光が前記反射層で反射された反射光を取得する反射光取得工程と、
取得された前記反射光に基づいて前記接着層の厚さを算出する反射光解析工程と、
を備えることを特徴とする測定方法。 A measurement method for measuring the thickness of the adhesive layer of a bonded body having a first layer and an adhesive layer having a refractive index equivalent to that of the first layer and bonded to the first layer. ,
A reflective layer forming step of forming a reflective layer having a higher reflectance than the interface at the interface between the first layer and the adhesive layer;
A measuring light irradiation step of irradiating the reflective layer with measuring light;
A reflected light acquisition step of acquiring the reflected light reflected by the reflective layer of the measurement light;
A reflected light analysis step of calculating the thickness of the adhesive layer based on the obtained reflected light;
A measurement method comprising: 第１レンズ部材と第２レンズ部材とが、接着層を間に挟んで接合された接合レンズであって、
前記接着層に対向する前記第1レンズ部材の面上に形成された第１の反射層と、
前記接着層に対向する前記第２レンズ部材の面上に形成された第２の反射層と、
を備え、
前記第１の反射層と、前記第２の反射層とは、前記接合レンズの光軸方向において、少なくとも一部が重畳することを特徴とする接合レンズ。 The first lens member and the second lens member are cemented lenses joined with an adhesive layer interposed therebetween,
A first reflective layer formed on the surface of the first lens member facing the adhesive layer;
A second reflective layer formed on the surface of the second lens member facing the adhesive layer;
With
At least a part of the first reflective layer and the second reflective layer overlap each other in the optical axis direction of the cemented lens. 前記第１の反射層及び前記第２の反射層は、周方向に連続して環状に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の接合レンズ。   The cemented lens according to claim 2, wherein the first reflective layer and the second reflective layer are annularly formed continuously in a circumferential direction. 第１の部材と第２の部材とが、接着層を間に挟んで接合された接合体であって、
前記接着層に対向する前記第1の部材の面上に形成された第１の反射層と、
前記接着層に対向する前記第２の部材の面上に形成された第２の反射層と、
を備え、
前記第１の反射層と、前記第２の反射層とは、前記接合体の光軸方向において、少なくとも一部が重畳することを特徴とする接合体。 The first member and the second member are a joined body joined with an adhesive layer in between,
A first reflective layer formed on the surface of the first member facing the adhesive layer;
A second reflective layer formed on the surface of the second member facing the adhesive layer;
With
At least a part of the first reflective layer and the second reflective layer overlap each other in the optical axis direction of the bonded body.
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