JP2010247067A - Coating method and coating device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To attain the improvement of measurement precision of the surface undulation of a coated member and also, the upgrading of productivity tact. <P>SOLUTION: The measurement precision is improved by putting into practice the calibration of measurement results obtained by a height detector (10) using a reference plate (4). Further, the reproducibility of the measurement results is attained by ascending/descending the height detector (10) with the help of a cam up and down mechanism (22 and 23). <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えばプラズマディスプレイ、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ、光学フィルタ、プリント基板、集積回路、半導体などの製造分野に使用されるものであり、詳しくはガラス基板などの被塗布部材表面に非接触で塗布液を吐出しながら塗膜を形成する塗布方法に関するものである。   The present invention is used in the manufacturing field of, for example, a plasma display, a color filter for a color liquid crystal display, an optical filter, a printed circuit board, an integrated circuit, a semiconductor, and the like. It is related with the coating method which forms a coating film, discharging a coating liquid.

近年、ディスプレイはその方式において次第に多様化してきているが、現在注目されているものの一つが、従来のブラウン管よりも大型で薄型軽量化が可能なプラズマディスプレイである。   In recent years, displays have gradually become diversified in their systems, and one of the current attention is a plasma display that is larger than a conventional cathode ray tube and can be reduced in thickness and weight.

これは、ガラス基板上に、一定ピッチでストライプ状に一方向にのびる溝をもつ隔壁を構成し、さらにこの隔壁の溝にＲ，Ｇ，Ｂの蛍光体を充填し、任意の部位を紫外線により発光させ、所定のカラーパターンを写し出すものである。通常、隔壁のある方が背面板、発光させる部位を決める電極がある方が前面板と呼ばれており、両者を貼りあわせてプラズマディスプレイとして構成される。   This is because a partition having a groove extending in one direction in a striped pattern at a constant pitch is formed on a glass substrate, and further, R, G, B phosphors are filled in the groove of the partition, and an arbitrary portion is irradiated with ultraviolet rays. It emits light and projects a predetermined color pattern. Usually, the side with the partition is called the back plate, and the side with the electrode that determines the site to emit light is called the front plate.

ここで、背面板上の隔壁パターンの形成方法としては、隔壁用のペーストを均一に塗布し、乾燥して均一膜厚のものを形成してから、所定ピッチのストライプ状の溝を、サンドブラスト法やフォトリソグラフィー法等の後加工によって彫り込み、これを焼成するのが主流である。   Here, as a method for forming a partition pattern on the back plate, a partition paste is uniformly applied and dried to form a uniform film thickness, and then a striped groove having a predetermined pitch is formed by a sandblast method. It is the mainstream to engrave and post-process it by post-processing such as photolithography and photolithography.

隔壁の塗膜の厚さは焼成後でも１００〜２００μｍと厚く、この膜厚に隔壁ペーストを均一に塗布する手段としては、数〜数千Ｐａ・ｓというペースト粘度にあわせて、スクリーン印刷法で何度も塗布する方法が一般的に用いられている。   The thickness of the coating film on the partition walls is as thick as 100 to 200 μm even after firing. As a means for uniformly applying the partition paste to this film thickness, a screen printing method is used in accordance with a paste viscosity of several to several thousand Pa · s. The method of applying many times is generally used.

しかしこの方法では、塗布回数が１０〜２０回にも及ぶため、コスト削減や品質向上を狙って、塗布を１回で完了できるロール法やスリットダイコート法等の導入が、近年盛んに取り組み始められている。   However, with this method, the number of coatings reaches 10 to 20 times, and in recent years, the introduction of a roll method and a slit die coating method that can complete the coating in one time has been started actively in order to reduce costs and improve quality. ing.

この中でも、スリットダイを用いて塗布を行うスリットダイコート法は、塗布回数を１回で行えることの他、（１）アプリケータであるダイがガラス基板と非接触であるので、塗布面にスクリーンむらが残らず品質を向上できる、（２）スクリーンのような消耗品がないので、その費用を皆無にできる、等のメリットがある。   Among these, the slit die coating method in which coating is performed using a slit die can be performed only once, and (1) since the die as the applicator is not in contact with the glass substrate, the screen has unevenness on the coating surface. (2) Since there is no consumable such as a screen, there is an advantage that the cost can be eliminated.

このようなダイコート法において、従来例としてスリットダイと被塗布部材間の距離を一定とするものがある。特許文献１では、被塗布部材の厚さを予め測定しておいて、その厚さに基づいてスリットダイの上下方向位置を変化させる技術が示されている。   In such a die coating method, there is a conventional example in which the distance between the slit die and the member to be coated is made constant. Patent Document 1 discloses a technique in which the thickness of a member to be coated is measured in advance and the vertical position of the slit die is changed based on the thickness.

特開平１０−４２１号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-421

しかしながら前記従来の構成では、被塗布部材表面のうねりを測定する高さ検知器の測定結果が測定器の問題などにより、例えば経時的にシフトした場合には、その測定結果を用いて塗布を実施した場合、スリットダイと被塗布部材の表面との距離が目的の値でないまま塗布を行ってしまって、正確な塗布を実施できないという課題がある。   However, in the conventional configuration, when the measurement result of the height detector that measures the waviness of the surface of the coated member is shifted over time due to a problem with the measuring device, for example, the measurement result is used for coating. In such a case, there is a problem that the application is performed without the distance between the slit die and the surface of the member to be applied being a target value, and accurate application cannot be performed.

また、被塗布部材の広範囲について表面のうねり測定を実施するために、複数の前記高さ検知器を設けた場合には、各高さ測定器の個体差や測定値のシフトなどの影響があり、被塗布部材の面内で正確に測定することが出来ないなどの課題を有している。   In addition, in order to carry out surface waviness measurement over a wide range of the member to be coated, when a plurality of the height detectors are provided, there are effects such as individual differences of each height measuring device and shift of measured values. There is a problem that it cannot be measured accurately within the surface of the member to be coated.

また、より正確に被塗布部材の表面のうねりを測定するためには、前記高さ検知器としては高精度なものが必要とされるが、一般に使用される高精度な前記高さ検知器は焦点距離が短いため、被塗布部材と前記高さ検知器との隙間を小さくして前記高さ検知器が取り付けられる。さらに、高精度でしかも測定の再現性が必要とされる製造現場で運転されるこの種の生産設備では、以上の理由によって前記高さ検知器は、被塗布部材から離れる方向に移動させるようには組み立てられていない。   Further, in order to measure the surface undulation of the member to be coated more accurately, a high-precision height detector is required as the height detector, but the high-precision height detector generally used is Since the focal length is short, the height detector is attached with a small gap between the member to be coated and the height detector. Further, in this type of production equipment that is operated at a manufacturing site that requires high accuracy and measurement reproducibility, the height detector is moved away from the member to be coated for the above reasons. Is not assembled.

そのため、塗布の完了した被塗布部材を、次の被塗布部材に入れ換える工程は、前記高さ検知器を前記スリットダイと共に塗布開始時の位置へ移動させる際に同時に実施することが困難であって、生産タクトを増大させているなどの課題がある。   Therefore, it is difficult to simultaneously perform the step of replacing the coated member after coating with the next coated member when the height detector is moved together with the slit die to the position at the start of coating. There are problems such as increasing production tact.

本発明の請求項１記載の塗布方法は、テーブルにセットされた被塗布部材に対して、スリットダイを移動させて前記被塗布部材に塗布液を塗布するに際し、前記スリットダイによって塗布液を塗布する前に前記被塗布部材の塗布面の高さを昇降機構を備えた高さ検知器によって検出し、この検出値に基づいて前記スリットダイと前記被塗布部材の塗布面との距離を目標値に保ちながら塗布すると共に、前記塗布の前工程において、前記テーブル上に設置された厚みが既知の基準板を前記高さ検知器によって測定して前記高さ検知器の測定値を校正することを特徴とする。   In the coating method according to claim 1 of the present invention, when the coating liquid is applied to the coated member by moving the slit die with respect to the coated member set on the table, the coating liquid is applied by the slit die. The height of the coated surface of the coated member is detected by a height detector equipped with an elevating mechanism before the distance between the slit die and the coated surface of the coated member is determined based on the detected value. In the pre-application process, the reference plate having a known thickness is measured by the height detector and the measured value of the height detector is calibrated. Features.

本発明の請求項２記載の塗布方法は、請求項１において、厚みが既知の基準板を高さ検知器によって測定して前記高さ検知器の測定値を校正する工程は、前記高さ検知器によって基準板４までの距離ｄ１を測定し、次に前記高さ検知器によって前記テーブルまでの距離ｄ２を測定し、測定結果の距離ｄ１と距離ｄ２との差が基準板の既知の厚みｄ０と同じになるように補正値ｄｉを記憶し、その後の時々の前記高さ検知器の検出距離ｄｔを、“ｄｔ−ｄｉ”で補正することを特徴とする。   The coating method according to claim 2 of the present invention is the coating method according to claim 1, wherein the step of measuring a reference plate having a known thickness with a height detector and calibrating the measured value of the height detector is the height detection. The distance d1 to the reference plate 4 is measured by the instrument, and then the distance d2 to the table is measured by the height detector, and the difference between the distance d1 and the distance d2 of the measurement result is the known thickness d0 of the reference plate. The correction value di is stored so as to be the same as, and the subsequent detection distance dt of the height detector is corrected by “dt-di”.

本発明の請求項３記載の塗布方法は、請求項１において、厚みが既知の基準板を高さ検知器によって測定して前記高さ検知器の測定値を校正する工程は、段差が既知の段差ゲージの二つの面を前記高さ検知器によって測定し、段差ゲージの各面までの距離ｄ１，距離ｄ２との差が前記基準板の既知の差ｄ０と同じになるように補正値ｄｉを記憶し、その後の時々の前記高さ検知器の検出距離ｄｔを、“ｄｔ−ｄｉ”で補正することを特徴とする。   The coating method according to claim 3 of the present invention is the coating method according to claim 1, wherein the step of measuring the reference plate having a known thickness with a height detector and calibrating the measurement value of the height detector has a known step. Two surfaces of the step gauge are measured by the height detector, and the correction value di is set so that the difference between the distance d1 and the distance d2 to each surface of the step gauge is the same as the known difference d0 of the reference plate. It memorize | stores and the detection distance dt of the said height detector after that is correct | amended by "dt-di", It is characterized by the above-mentioned.

本発明の請求項４記載の塗布方法は、請求項１において、前記スリットダイが塗布開始位置から塗布終了位置に到着して、前記スリットダイを前記塗布終了位置から前記塗布開始位置に移動させる時には、前記高さ検知器を前記テーブルの上面から離れる方向に移動させるとともに、前記テーブル上の塗布の完了した被塗布部材を次の被塗布部材に入れ換えることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the coating method according to the first aspect, wherein the slit die arrives at the coating end position from the coating start position and moves the slit die from the coating end position to the coating start position. The height detector is moved in a direction away from the upper surface of the table, and the coated member on the table that has been coated is replaced with the next coated member.

本発明の請求項５記載の塗布方法は、請求項４において、カム曲線ブロックを倣って前記高さ検知器を前記テーブルの上面から離れる方向に移動させることを特徴とする。
本発明の請求項６記載の塗布装置は、テーブルにセットされた被塗布部材に対して、スリットダイを移動させて前記被塗布部材に塗布液を塗布する塗布装置であって、前記スリットダイと前記テーブルのうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材に塗膜を形成する駆動部と、厚みが既知で前記テーブルの上に設置された基準板と、前記スリットダイと一体に取り付けられるとともに、前記テーブルの上面から離れる方向に移動可能に支持され前記テーブルの上面の前記被塗布部材ならびに前記基準板との距離を測定する高さ検知器とを設け、前記スリットダイと前記被塗布部材の塗布面との距離を調節できるように前記スリットダイを、ダイ昇降部を介して取り付け、塗布中のダイ昇降部を、前記高さ検知器による前記基準板との距離の検出値に基づいて制御して前記スリットダイと前記被塗布部材の塗布面との距離を目標値に制御する制御部を設け、前記高さ検知器を、前記テーブルの上面から離れる方向に移動可能に昇降機構を介して取り付け、前記制御部を、前記スリットダイが塗布開始位置から塗布終了位置に到着して、前記スリットダイを前記塗布終了位置から前記塗布開始位置に移動させる時には、前記昇降機構によって前記高さ検知器を前記テーブルの上面から離れる方向に移動させるとともに、前記テーブル上の塗布の完了した被塗布部材を次の被塗布部材に入れ換えるよう構成したことを特徴とする。 The coating method according to claim 5 of the present invention is characterized in that, in claim 4, the height detector is moved in a direction away from the upper surface of the table along a cam curve block.
A coating apparatus according to claim 6 of the present invention is a coating apparatus that applies a coating liquid to the coated member by moving a slit die with respect to the coated member set on a table, A drive unit that relatively moves at least one of the tables to form a coating film on the member to be coated, a reference plate having a known thickness and installed on the table, and an integral part of the slit die And a height detector that is supported so as to be movable in a direction away from the upper surface of the table and that measures the distance between the member to be coated and the reference plate on the upper surface of the table. The slit die is attached via a die lifting / lowering part so that the distance from the application surface of the application member can be adjusted, and the die lifting / lowering part being applied is connected to the reference by the height detector. And a control unit for controlling the distance between the slit die and the application surface of the member to be applied to a target value by controlling based on the detected value of the distance between the height detector and the upper surface of the table. When the slit die arrives at the application end position from the application start position and moves the slit die from the application end position to the application start position, the control unit is attached via an elevating mechanism movably in the direction. The height detector is moved in the direction away from the upper surface of the table by the lifting mechanism, and the coated member on the table is replaced with the next coated member. .

本発明の請求項７記載の塗布装置は、請求項６において、前記昇降機構を、カム曲線ブロックを倣って前記高さ検知器を前記テーブルの上面から離れる方向に移動させるよう構成したことを特徴とする。   The coating apparatus according to claim 7 of the present invention is characterized in that, in claim 6, the elevating mechanism is configured to move the height detector in a direction away from the upper surface of the table following a cam curve block. And

この構成によると、塗布の前工程において、テーブル上に設置された厚みが既知の基準板を高さ検知器によって測定して高さ検知器の測定値を校正し、この校正値に基づいてスリットダイと被塗布部材の塗布面との距離を目標値に保ちながら塗布するので、高精度な塗布膜厚を制御した塗布を行うことが出来る。   According to this configuration, in the pre-application process, a reference plate with a known thickness installed on the table is measured by the height detector to calibrate the measurement value of the height detector, and the slit is based on this calibration value. Since application is performed while keeping the distance between the die and the application surface of the member to be applied at a target value, highly accurate application film thickness can be controlled.

また、テーブルの上面から離れる方向に移動可能に支持され前記テーブルの上面の前記被塗布部材ならびに前記基準板との距離を測定する高さ検知器を設け、高さ検知器を、テーブルの上面から離れる方向に移動可能に昇降機構を介して取り付け、制御部を、前記スリットダイが塗布開始位置から塗布終了位置に到着して、前記スリットダイを前記塗布終了位置から前記塗布開始位置に移動させる時には、前記昇降機構によって前記高さ検知器を前記テーブルの上面から離れる方向に移動させるとともに、前記テーブル上の塗布の完了した被塗布部材を次の被塗布部材に入れ換えるよう構成することによって、本発明の塗布方法を実現できる。   In addition, a height detector that is supported so as to be movable in a direction away from the upper surface of the table and that measures the distance between the coated member and the reference plate on the upper surface of the table is provided, and the height detector is disposed from the upper surface of the table. When the slit die is moved from the application start position to the application end position and moved from the application end position to the application start position, the control unit is attached via an elevating mechanism so as to be movable in the direction of separation. The height detector is moved away from the upper surface of the table by the elevating mechanism, and the coated member on the table is replaced with the next coated member. The application method can be realized.

本発明の実施の形態における塗布装置の側面図The side view of the coating device in embodiment of this invention 図１の塗布装置をＸ−Ｘ方向から見た矢視図1 is an arrow view of the coating apparatus of FIG. 1 viewed from the XX direction. 図１の塗布装置の要部の平面図FIG. 1 is a plan view of the main part of the coating apparatus of FIG. 同実施の形態の高さ検知器の構成図Configuration diagram of the height detector of the same embodiment 同実施の形態の制御部の構成を示すフローチャート図The flowchart figure which shows the structure of the control part of the embodiment

以下、本発明の塗布方法を具体的な実施の形態に基づいて説明する。
（実施の形態１）
図１〜図３は本発明の塗布方法を実施するスリットダイコータ塗布装置を示す。 Hereinafter, the coating method of the present invention will be described based on specific embodiments.
(Embodiment 1)
1 to 3 show a slit die coater coating apparatus for carrying out the coating method of the present invention.

被塗布部材１１に塗布液を塗るこの塗布装置１は、被塗布部材１１をセットするテーブル１２と、塗布液を吐出するスリットダイ３１と、ダイ昇降部３４ａ，３４ｂと、塗布液供給部３０と、複数の高さ検出器１０ａ，１０ｂ，１０ｃを備えている。各高さ検出器１０ａ，１０ｂ，１０ｃは、それぞれ別々のカム昇降機構３ａ，３ｂ，３ｃを介してセンサー２ａ，２ｂ，２ｃが取り付けられている。   The coating apparatus 1 for applying a coating liquid to the member to be coated 11 includes a table 12 on which the member to be coated 11 is set, a slit die 31 for discharging the coating liquid, die elevating units 34a and 34b, a coating liquid supply unit 30, and the like. A plurality of height detectors 10a, 10b, and 10c are provided. Sensors 2a, 2b, and 2c are attached to the height detectors 10a, 10b, and 10c via separate cam elevating mechanisms 3a, 3b, and 3c, respectively.

テーブル１２は、表面に設けられた図示しない吸着孔によって吸引して、被塗布部材１１をテーブル１２上に吸着し保持できるように構成されている。高精度塗布が要求される場合には、テーブル１２の表面の平面度は面内で１０μm以下が必要であるため、テーブル１２の材質としてはグラナイトなどの石材が用いられる。被塗布部材１１の交換機構としてテーブル１２内には、ローラ回転機構１３を搭載したコンベア機構１４を上下させる上下機構１５が設けられている。この上下機構１５は、エアーシリンダなどを用いてもよいし、ＡＣサーボモータによりボールネジを駆動させて上下させるものを用いてもよい。   The table 12 is configured so that the member 11 can be sucked and held on the table 12 by being sucked by suction holes (not shown) provided on the surface. When high-precision coating is required, since the flatness of the surface of the table 12 needs to be 10 μm or less in the surface, a stone material such as granite is used as the material of the table 12. In the table 12 as an exchange mechanism for the member 11 to be coated, an up-and-down mechanism 15 that moves up and down a conveyor mechanism 14 equipped with a roller rotation mechanism 13 is provided. The vertical mechanism 15 may be an air cylinder or the like, and may be one that moves up and down by driving a ball screw by an AC servo motor.

また、センサー２ａ〜２ｃの校正用として、あらかじめ高さが正確にわかっている基準板４ａ〜４ｃがテーブル１２上に設置されている。基準板４ａ〜４ｃの厚みは、被塗布部材１１の標準厚さと同じ厚みのものを用いているが、事前に厚みがわかっているものであれば、特に指定はない。   Reference plates 4a to 4c whose heights are accurately known in advance are installed on the table 12 for calibration of the sensors 2a to 2c. The thickness of the reference plates 4a to 4c is the same as the standard thickness of the member 11 to be coated, but is not particularly specified as long as the thickness is known in advance.

図２は図１のＸ−Ｘ方向からの矢視図であり、被塗布部材１１の広範囲な表面のうねりを測定するため設けられた高さ検知器１０ａ，１０ｂ，１０ｃが、被塗布部材１１の幅方向（矢印Ｃ方向）に所定間隔で配設されている。高さ検知器１０ａ，１０ｂ，１０ｃはガントリ１８を介してテーブル１２に取り付けられている。ガントリ１８は、テーブル１２上にある一対のガイド溝レール１９に沿って移動することが出来、被塗布部材１１の長手方向（矢印Ａ，Ｂ方向）に往復移動するように駆動部４０によって駆動される。   FIG. 2 is an arrow view from the XX direction in FIG. 1, and height detectors 10 a, 10 b, and 10 c provided for measuring a wide range of surface waviness of the coated member 11 are coated with the coated member 11. Are arranged at predetermined intervals in the width direction (arrow C direction). The height detectors 10 a, 10 b, and 10 c are attached to the table 12 via a gantry 18. The gantry 18 can move along a pair of guide groove rails 19 on the table 12 and is driven by the drive unit 40 so as to reciprocate in the longitudinal direction (arrow A, B direction) of the member 11 to be coated. The

塗布液を被塗布部材１１に向けて吐出するスリットダイ３１は、図３に示すように一対のダイ昇降部３４ａ，３４ｂを介してガントリ１８に取り付けられている。スリットダイ３１への塗布液の供給している塗布液供給部３０は、スリットダイ３１に塗布液を供給するタンク３３と、塗布液を定容量送るシリンジポンプ３２の他、タンク３３とシリンジポンプ３２との間を連結する吸引ホース３５、シリンジポンプ３２とスリットダイ３１との間を連結する供給ホース３６により構成され、さらに、各供給ホース３６、吸引ホース３５の途中には、開閉弁３７，３８が設けられている。このシリンジポンプ３２と各々の開閉弁３７，３８の動作によって、タンク３３内の塗布液を定容量、スリットダイ３１に供給することができる。   As shown in FIG. 3, the slit die 31 that discharges the coating liquid toward the member to be coated 11 is attached to the gantry 18 via a pair of die elevating parts 34a and 34b. The coating liquid supply unit 30 that supplies the coating liquid to the slit die 31 includes a tank 33 that supplies the coating liquid to the slit die 31, a syringe pump 32 that sends the coating liquid at a constant volume, and a tank 33 and a syringe pump 32. And a supply hose 36 for connecting the syringe pump 32 and the slit die 31. Further, on the way of the supply hose 36 and the suction hose 35, open / close valves 37, 38 are provided. Is provided. By the operation of the syringe pump 32 and the on-off valves 37 and 38, the coating liquid in the tank 33 can be supplied to the constant volume and slit die 31.

なお、塗布液供給部３０として、シリンジポンプを用いた構成の他に、ギアポンプ、ダイヤフラムポンプ、チューブポンプの他、エアー圧送による構成が用いられても良い。なお、タンク３３は密閉容器で一定圧力のエアーや、Ｎ_２等の不活性ガスで加圧されていることが好ましい。加圧力は好ましくは０．０２〜０．１５ＭＰａ、より好ましくは０．１〜０．１５ＭＰａ程度が安全にまた、正確に供給出来ることが経験上わかっている。 In addition to the configuration using a syringe pump, the coating liquid supply unit 30 may be configured by air pressure feeding in addition to a gear pump, a diaphragm pump, and a tube pump. In addition, it is preferable that the tank 33 is a sealed container and is pressurized with air of a constant pressure or an inert gas such as N ₂ . Experience has shown that a pressure of preferably 0.02 to 0.15 MPa, more preferably about 0.1 to 0.15 MPa, can be supplied safely and accurately.

演算用コンピュータ７を有する制御部４１には、高さ検出器１０ａ〜１０ｃのセンサー２が検出しているテーブル１２の矢印Ａ，Ｂ方向の絶対位置を示すデータＤ１と、ダイ昇降部３４ａ，３４ｂのそれぞれの昇降位置を検出したデータＤ２と、高さ検出器１０ａ，１０ｂ，１０ｃのセンサー２の時々の検出高さのデータＤ３などが入力されて、駆動部４０によるガントリ１８の走行を制御し、塗布液供給部３０のシリンジポンプ３２と開閉弁３７，３８を制御し、ダイ昇降部３４ａ，３４ｂを制御し、出力信号Ｓ１によってカム昇降機構３を制御し、出力信号Ｓ２によって上下機構１５などを制御するように構成されている。   The control unit 41 having the calculation computer 7 includes data D1 indicating absolute positions in the directions of arrows A and B of the table 12 detected by the sensors 2 of the height detectors 10a to 10c, and die lifting units 34a and 34b. The data D2 for detecting the respective raising / lowering positions and the data D3 of the heights detected by the sensors 2 of the height detectors 10a, 10b, 10c, etc. are input to control the traveling of the gantry 18 by the drive unit 40. The syringe pump 32 and the on-off valves 37 and 38 of the coating liquid supply unit 30 are controlled, the die lifting and lowering units 34a and 34b are controlled, the cam lifting and lowering mechanism 3 is controlled by the output signal S1, and the vertical mechanism 15 and the like by the output signal S2. Is configured to control.

ダイ昇降部３４ａ，３４ｂを独立して昇降させることにより、ダイ先端部３９と被塗布部材１１の表面との距離を自在に制御することが出来る。ダイ昇降部３４ａ，３４ｂによる左右のダイ先端部３９の制御位置は、ガントリ１８とスリットダイ３１のうちの一方に取り付けられたスケール（図示せず）を他方に取り付けられた読み取り装置（図示せず）によって読み取ってこれを前記データＤ２として制御部４１によって処理することにより、時々のダイ先端部３９の位置を求めることが出来る。   The distance between the die tip 39 and the surface of the member to be coated 11 can be freely controlled by independently elevating and lowering the die elevating parts 34a and 34b. The control positions of the left and right die tip portions 39 by the die lifting and lowering portions 34a and 34b are determined by a reading device (not shown) in which a scale (not shown) attached to one of the gantry 18 and the slit die 31 is attached to the other. ) And processed by the control unit 41 as the data D2, the occasional position of the die tip 39 can be obtained.

図４（ａ）は塗布中のセンサー２ａとカム昇降機構３ａを示している。
ガントリ１８に取り付けられたベース２４に昇降自在にセンサー２ａが支持されている。センサー２ａにはブラケット２５が取り付けられている。 FIG. 4A shows the sensor 2a and the cam elevating mechanism 3a during application.
A sensor 2a is supported on a base 24 attached to the gantry 18 so as to be movable up and down. A bracket 25 is attached to the sensor 2a.

ベース２４には、エアーシリンダ２１とこのエアーシリンダ２１によって矢印Ｃ方向にスライド駆動できるように取り付けられたカム曲線ブロック２３が設けられている。カム曲線ブロック２３には、ブラケット２５に取り付けられたカムフロア２２の当り面として曲線部を持つ加工が施してある。この加工部は、両端にフラット部２３ａ，２３ｂを持ち、その間の傾斜部は滑らかな曲線にて接続され、カムフロア２２をスムーズに移動せることが出来るよう工夫してある。カム曲線ブロック２３にカムフロア２２を常に下方向に押し付けるために、ブラケット２５とカム曲線ブロック２３の間に圧縮バネ（図示せず）が介装されている。センサー２ｂとカム昇降機構３ｂ，センサー２ｃとカム昇降機構３ｃも、センサー２ａとカム昇降機構３ａと同じである。   The base 24 is provided with an air cylinder 21 and a cam curve block 23 attached so as to be slidable in the direction of arrow C by the air cylinder 21. The cam curve block 23 is processed to have a curved portion as a contact surface of the cam floor 22 attached to the bracket 25. This processed portion has flat portions 23a and 23b at both ends, and the inclined portions between them are connected by a smooth curve, and the cam floor 22 can be moved smoothly. A compression spring (not shown) is interposed between the bracket 25 and the cam curve block 23 in order to always press the cam floor 22 downward on the cam curve block 23. The sensor 2b, the cam lifting mechanism 3b, the sensor 2c, and the cam lifting mechanism 3c are the same as the sensor 2a and the cam lifting mechanism 3a.

ちなみに、センサー２ａ，２ｂ，２ｃは、測定対象物でのレーザ反射位置をレーザ焦点位置によって求めて、センサーと対象物との距離を測定するレーザフォーカス式である。レーザ焦点合わせが可能な距離は、必要な測定精度および測手物の厚みや色などによっても変化し、測定精度±０．０１μｍでかつ測定物が透明であるなどの制限がある場合、塗布装置に使用出来るものとしてはレーザ焦点距離や焦点幅もかなり制限され焦点距離は１０ｍｍ以下、焦点幅も±０．３ｍｍである。   Incidentally, the sensors 2a, 2b, and 2c are of a laser focus type in which the laser reflection position on the measurement object is obtained from the laser focus position and the distance between the sensor and the object is measured. The distance at which laser focusing is possible varies depending on the required measurement accuracy and the thickness and color of the object to be measured. If the measurement accuracy is ± 0.01 μm and the measurement object is transparent, the coating device The laser focal length and focal width are considerably limited, and the focal length is 10 mm or less and the focal width is ± 0.3 mm.

このセンサー２ａ，２ｂ，２ｃは、アンプ６ａ，６ｂ，６ｃを介して演算用コンピュータ７に接続されており、演算用コンピュータ７では、測定結果をもとにダイ先端部３９と被塗布部材１１との距離を計算するなどの演算プログラムを備えている。   The sensors 2a, 2b, and 2c are connected to the computing computer 7 through amplifiers 6a, 6b, and 6c. The computing computer 7 determines the die tip 39 and the coated member 11 based on the measurement result. An arithmetic program for calculating the distance is provided.

図５は制御部４１の構成を示している。
まず、ステップＳ１では、上下機構１５によりコンベア１４を上昇させ、ローラ回転機構１３が回転し、前工程にある被塗布部材１１がテーブル１２上に搬送される。次にコンベア１４が下降し、被塗布部材１１は、テーブル１２上に設置され、図示されていない吸着機構により密着させられる。 FIG. 5 shows the configuration of the control unit 41.
First, in step S <b> 1, the conveyor 14 is raised by the vertical mechanism 15, the roller rotating mechanism 13 is rotated, and the coated member 11 in the previous process is conveyed onto the table 12. Next, the conveyor 14 descends, and the member 11 to be coated is placed on the table 12 and brought into close contact with a suction mechanism (not shown).

ステップＳ２では、センサー２ａ〜２ｃの校正を実施するため、図１の状態でセンサー２ａ〜２ｃを用いて基準板４ａ〜４ｃまでの距離を測定する。具体的には、ガントリ１８を移動させてセンサー２ａ〜２ｃで基準板４ａ〜４ｃまでの距離ｄ１を測定する。そして、センサー２ａ〜２ｃの下方に、基準板４も被塗布部材１１も無い位置までＡ方向へガントリ１８を移動させてテーブル１２までの距離ｄ２を測定する。このときの測定結果の距離ｄ１と距離ｄ２との差が基準板４ａの既知の厚みｄ０と同じになるように校正を演算用コンピュータ７内で実施する。つまり、センサー２ａの補正値ｄｉとして演算用コンピュータ７が記憶し、その後の時々のセンサー２ａの検出距離ｄｔを、“ｄｔ−ｄｉ”で補正している。つまり、図２の場合は、この動作を３つの高さ検出器１０ａ，１０ｂ，１０ｃにて実施し、それぞれのセンサーユニットの校正を実施するのと同時に３つの高さ検知器１０ａ，１０ｂ，１０ｃの零点の位置が基準板４ａ〜４ｃの上となるよう演算用コンピュータ７にて処理する。   In step S2, in order to calibrate the sensors 2a to 2c, the distances to the reference plates 4a to 4c are measured using the sensors 2a to 2c in the state of FIG. Specifically, the gantry 18 is moved, and the distances d1 to the reference plates 4a to 4c are measured by the sensors 2a to 2c. Then, below the sensors 2a to 2c, the gantry 18 is moved in the A direction to a position where neither the reference plate 4 nor the coated member 11 is present, and the distance d2 to the table 12 is measured. Calibration is performed in the computing computer 7 so that the difference between the distance d1 and the distance d2 of the measurement result is the same as the known thickness d0 of the reference plate 4a. That is, the computing computer 7 stores the correction value di of the sensor 2a and corrects the detection distance dt of the sensor 2a from time to time by “dt−di”. That is, in the case of FIG. 2, this operation is performed by the three height detectors 10a, 10b, and 10c, and the three height detectors 10a, 10b, and 10c are simultaneously performed at the same time as the calibration of the respective sensor units. The calculation computer 7 performs processing so that the zero point position is on the reference plates 4a to 4c.

ステップＳ３では、スリットダイ３１のダイ先端部３９が塗布開始位置５１に来るまでガントリ１８をＡ方向に移動させる。この間に、高さ検出器１０ａ〜１０ｃは、被塗布部材１１を通過し、通過中に被塗布部材１１との距離を測定し、被塗布部材１１の表面のうねり状態を把握する。その測定結果より、ダイ昇降部３４ａ，３４ｂを用いてスリットダイ３１を傾かせ、ダイ先端部３９と被塗布部材１１の表面との距離がスリットダイ３１の長手方向に一定になるようにする。   In step S <b> 3, the gantry 18 is moved in the A direction until the die tip 39 of the slit die 31 reaches the application start position 51. During this time, the height detectors 10 a to 10 c pass through the member to be coated 11, measure the distance from the member to be coated 11 during passage, and grasp the undulation state of the surface of the member to be coated 11. From the measurement result, the slit die 31 is tilted by using the die lifting / lowering parts 34 a and 34 b so that the distance between the die tip 39 and the surface of the coated member 11 is constant in the longitudinal direction of the slit die 31.

但し、被塗布部材１１の表面のうねりが、ＡＢ方向にも発生している場合には、うねりの平均値に合わせスリットダイ３１を昇降させたり、ガントリ１８の移動に合わせてスリットダイ３１を昇降させるなど様々な方法が取れる。   However, when the undulation of the surface of the coated member 11 is also generated in the AB direction, the slit die 31 is moved up and down according to the average value of the undulation, or the slit die 31 is moved up and down according to the movement of the gantry 18. Various methods can be taken.

ステップＳ４では、塗布液供給部３０では、開閉弁３７を閉じ、開閉弁３８を開けた状態で、シリンジポンプ３２を作動させ、タンク３３からシリンジポンプ側に所定量の塗布液を吸引供給する。シリンジポンプ３２への塗布液の充填が完了すれば、開閉弁３７を開き、開閉弁３８を閉じる。   In step S4, the coating liquid supply unit 30 operates the syringe pump 32 with the on-off valve 37 closed and the on-off valve 38 opened, and sucks and supplies a predetermined amount of the coating liquid from the tank 33 to the syringe pump side. When the filling of the application liquid into the syringe pump 32 is completed, the on-off valve 37 is opened and the on-off valve 38 is closed.

ステップＳ５では、ガントリ１８が、塗布開始位置５１からＡ方向に、所定の塗布速度で移動を開始する。この時、スリットダイ３１と被塗布部材１１との距離は指定の距離になるように調整されており、その距離は目的の塗布膜厚により数十μmから数百μｍである場合が一般的である。高さ検知器１０ａ〜１０ｃによる測定位置とダイ先端部３９とのオフセット距離Ｌ１と、高さ検知器１０ａ〜１０ｃによる測定位置とダイ昇降部３４ａ，３４ｂの基準位置におけるダイ先端部３９との矢印Ａ，Ｂ方向のオフセット高さＬ２などは既知であって、これらの必要な個有情報は制御部４１にプリセットされている。   In step S5, the gantry 18 starts moving from the application start position 51 in the A direction at a predetermined application speed. At this time, the distance between the slit die 31 and the member to be coated 11 is adjusted to be a specified distance, and the distance is generally several tens μm to several hundreds μm depending on the target coating film thickness. is there. The offset distance L1 between the measurement position by the height detectors 10a to 10c and the die tip 39, and the arrow between the measurement position by the height detectors 10a to 10c and the die tip 39 at the reference position of the die lifting parts 34a and 34b. The offset height L2 and the like in the A and B directions are known, and the necessary individual information is preset in the control unit 41.

塗布開始位置５１からＡ方向に移動開始時に、ダイ先端部３９が塗布位置に達するより前に、高さ検知器１０ａ，１０ｂ，１０ｃが検出した被塗布部材１１との実測距離を、基準板４ａ〜４ｃを検出したときの距離で零点補正した距離に基づいて、被塗布部材１１とオフセット距離Ｌ１だけ遅れて塗布位置に到着したダイ先端部３９との距離が目標値になるようにダイ昇降部３４ａ，３４ｂを制御している。これとともに、塗布時には、シリンジポンプ３２を作動させ、シリンジポンプ３２側から塗布液が、スリットダイ３１側に、所定の速度で送られ、ダイ先端部３９より塗布液が吐出する。この時、ガントリ１８の移動とともに、被塗布部材１１上に塗膜が形成される。   At the start of movement in the A direction from the coating start position 51, the measured distance from the coated member 11 detected by the height detectors 10a, 10b, 10c before the die tip 39 reaches the coating position is used as the reference plate 4a. Based on the distance zero-corrected with the distance when detecting ~ 4c, the die lifting / lowering unit is set so that the distance between the member to be coated 11 and the die tip 39 arriving at the coating position delayed by the offset distance L1 becomes the target value. 34a and 34b are controlled. At the same time, during application, the syringe pump 32 is operated, the application liquid is sent from the syringe pump 32 side to the slit die 31 side at a predetermined speed, and the application liquid is discharged from the die tip portion 39. At this time, as the gantry 18 moves, a coating film is formed on the member 11 to be coated.

ステップＳ６では、ダイ先端部３９が被塗布部材１１の塗布終了位置５２の真上に来たことを検出すると、シリンジポンプ３２を停止して塗布液の吐出を停止させ、これとほぼ同時に、スリットダイ３１を上昇させて塗布が終了する。ガントリ１８がＡ方向に移動中の塗布時は、高さ検出器１０ａ〜１０ｃは図４（ａ）に示したように、カムフロア２２がカム曲線ブロック２３のフラット部２３ａに当たって位置決めされている安定な位置にあって、被塗布部材１１の表面との正確なクリアランスを測定し続けており、ダイ先端部３９が被塗布部材１１の塗布終了位置５２の真上に来たことを検出した塗布終了時には、被塗布部材１１の全面のクリアランスが測定完了となる。塗布終了後は、高さ検出器１０ａ〜１０ｃの各エアーシリンダ２１を動作させて図４（ｂ）に示すように、カムフロア２２がカム曲線ブロック２３のフラット部２３ｂに当たってセンサー２ａ〜２ｃがテーブル１２から上方へ離間する。   In step S6, when it is detected that the die tip portion 39 has come directly above the coating end position 52 of the member to be coated 11, the syringe pump 32 is stopped to stop the discharge of the coating liquid. The die 31 is raised to finish the application. At the time of application while the gantry 18 is moving in the A direction, the height detectors 10a to 10c are stable so that the cam floor 22 is positioned against the flat portion 23a of the cam curve block 23 as shown in FIG. At the end of application, the accurate clearance with the surface of the member to be coated 11 is continuously measured, and it is detected that the die tip 39 has come directly above the coating end position 52 of the member to be coated 11. The clearance of the entire surface of the member to be coated 11 is measured. After the application is finished, the air cylinders 21 of the height detectors 10a to 10c are operated, and the cam floor 22 hits the flat portion 23b of the cam curve block 23 and the sensors 2a to 2c are moved to the table 12 as shown in FIG. Away from the top.

その後、ステップＳ７では、ガントリ１８が矢印Ｂ方向に図１の最初の位置まで後退する。ガントリ１８が後退中に、テーブル１２は被塗布部材１１の吸着を開放し、コンベア上下機構１５によりローラ回転機構１３及びコンベア機構１４は上昇し、被塗布部材１１も上昇する。コンベア機構１４が所望の高さに上昇後、ローラ回転機構１３が回転し、被塗布部材１１は次工程の乾燥工程へ搬出され、合わせて塗布前の被塗布部材１１が前工程より導入される。乾燥工程は、熱風、ホットプレート、赤外線を加熱源として利用したものから、大気圧より減圧した雰囲気で加熱乾燥する真空乾燥機など、いかなるものを使用してもよい。   Thereafter, in step S7, the gantry 18 moves backward in the arrow B direction to the first position in FIG. While the gantry 18 moves backward, the table 12 releases the suction of the member 11 to be coated, the roller rotating mechanism 13 and the conveyor mechanism 14 are raised by the conveyor vertical mechanism 15, and the member 11 to be coated is also raised. After the conveyor mechanism 14 is raised to a desired height, the roller rotation mechanism 13 is rotated, the coated member 11 is carried out to the next drying step, and the coated member 11 before coating is also introduced from the previous step. . Any drying process may be used, such as a hot dryer, a hot plate, or a device that uses infrared rays as a heating source, or a vacuum dryer that is heated and dried in an atmosphere reduced from atmospheric pressure.

ステップＳ８では、センサー２ａ〜２ｃは、最初の位置に移動後、エアーシリンダ２１が動くことにより下降し、再度、基準板４ａ〜４ｃとの距離を測定し、センサー２ａ〜２ｃの高さ方向の校正を実施し、装置全体として繰り返しの動作を開始する。   In step S8, the sensors 2a to 2c move down to the initial position, and then move down as the air cylinder 21 moves. Then, the distance from the reference plates 4a to 4c is measured again, and the sensors 2a to 2c move in the height direction. Calibration is performed, and repeated operation of the entire apparatus is started.

このように、基準板４ａ〜４ｃの測定結果に基づいて高さ検知器１０ａ〜１０ｃの実測距離を零点補正した結果によって、被塗布部材１１とダイ先端部３９との間隔を制御しながら塗布液を被塗布部材１１に塗布するため、被塗布部材１１に表面うねりが発生していても正確な膜厚の塗布を実現できる。   Thus, the coating liquid is controlled while controlling the distance between the member to be coated 11 and the die tip 39 based on the result of zero correction of the measured distance of the height detectors 10a to 10c based on the measurement results of the reference plates 4a to 4c. Is applied to the member to be coated 11, so that even when surface waviness is generated on the member to be coated 11, it is possible to realize application with an accurate film thickness.

また、センサー２ａ，２ｂ，２ｃの焦点距離が短いにもかかわらず、塗布終了後は、センサー２ａ〜２ｃをテーブル１２から離間させてテーブル１２との隙間を大きくしているので、ガントリ１８が塗布終了位置５２から初期位置に復帰する期間中に、テーブル１２上の塗布の完了した被塗布部材１１を次の被塗布部材１１に入れ換えることができ、ガントリ１８が初期位置に復帰してから被塗布部材１１を次の被塗布部材１１に入れ換える場合に比べて生産タクトの向上を実現できる。   In addition, although the focal lengths of the sensors 2a, 2b, and 2c are short, the gantry 18 is applied since the sensors 2a to 2c are separated from the table 12 to increase the gap with the table 12 after the application is completed. During the period of returning from the end position 52 to the initial position, the application target member 11 on the table 12 that has been applied can be replaced with the next application target member 11, and the application target is applied after the gantry 18 returns to the initial position. The production tact can be improved as compared with the case where the member 11 is replaced with the next member to be coated 11.

さらに、上記のように被塗布部材１１を次の被塗布部材１１に入れ換える場合にセンサー２ａ〜２ｃを移動させるにもかかわらず、塗布期間中のセンサー２ａ〜２ｃは図４（ａ）に示すようにカムフロア２２がカム曲線ブロック２３のフラット部２３ａに当たって正確に位置決めされているため、換言すると、カム曲線の両端にフラット部２３ａ，２３ｂを設けることにより、停止精度が悪いエアーシリンダ２１であってもカムフロア２２の上下動の再現性を実現することができ、高精度に被塗布部材１１との距離を測定して、塗布膜の高精度の制御を実現できる。   Further, when the member to be coated 11 is replaced with the next member to be coated 11 as described above, the sensors 2a to 2c during the coating period are shown in FIG. In addition, since the cam floor 22 is accurately positioned in contact with the flat portion 23a of the cam curve block 23, in other words, by providing the flat portions 23a and 23b at both ends of the cam curve, even if the air cylinder 21 has poor stopping accuracy. The reproducibility of the vertical movement of the cam floor 22 can be realized, and the distance from the member 11 to be applied can be measured with high accuracy, so that the coating film can be controlled with high accuracy.

（実施の形態２）
上記の実施の形態１では、塗布終了後は、高さ検知器１０ａ〜１０ｃを毎回上昇させて被塗布部材１１を次の被塗布部材１１に入れ換たが、塗布終了後に高さ検知器１０ａ〜１０ｃを上昇させずにガントリ１８を初期位置に復帰させることによって、被塗布部材１１上に塗布された塗布膜表面との距離を測定しながら初期位置に復帰させることもできる。この場合は、コンベア機構１４などの上昇は不可能であり、被塗布部材１１は吸着したままである。センサー２ａ〜２ｃによって測定された結果は演算用コンピュータ７へ送られ、塗布前の被塗布部材１１の表面までの距離と塗布後の塗布膜表面までの距離の差を演算することにより、塗布された膜厚を求めることが出来る。 (Embodiment 2)
In the first embodiment, after the application is finished, the height detectors 10a to 10c are raised each time to replace the member 11 to be applied with the next member 11 to be applied. By returning the gantry 18 to the initial position without raising 10 to 10c, it is also possible to return to the initial position while measuring the distance from the surface of the coating film coated on the member 11 to be coated. In this case, the conveyor mechanism 14 or the like cannot be raised, and the coated member 11 remains adsorbed. The results measured by the sensors 2a to 2c are sent to the computing computer 7 and applied by calculating the difference between the distance to the surface of the coated member 11 before coating and the distance to the coating film surface after coating. Can be obtained.

ガントリ１８が初期位置へ戻った後は、上記と同様に被塗布部材１１の吸着を開放し、交換を行う。
（実施の形態３）
上記の実施の形態１では、塗布終了後は、高さ検知器１０ａ〜１０ｃを毎回上昇させて被塗布部材１１を次の被塗布部材１１に入れ換えたが、より高精度を求める場合は、ガントリ１８の後退時にセンサー２ａ，２ｂ，２ｃにより被塗布部材１１の表面との距離を測定するのではなく、塗布後、ガントリ１８を塗布前の初期位置まで矢印Ｂ方向に後退させ、塗布膜表面との距離を、ガントリ１８を再度Ａ方向に移動させながら測定し、測定結果の差により塗布膜厚を求めることが出来る。この場合の方が、高速で測定した場合、制御信号の取り込みタイミングのズレが少ないため、測定ポイントをより塗布前と同じ位置に出来る点で、塗布厚さを正確に測定することが出来る。 After the gantry 18 returns to the initial position, the suction of the coated member 11 is released and exchanged as described above.
(Embodiment 3)
In the above-described first embodiment, after the application is finished, the height detectors 10a to 10c are raised each time to replace the application target member 11 with the next application target member 11. However, when higher accuracy is required, the gantry is used. Rather than measuring the distance from the surface of the member 11 to be coated by the sensors 2a, 2b, 2c when the 18 is retracted, the gantry 18 is retracted in the direction of arrow B to the initial position before coating after coating. Is measured while moving the gantry 18 in the A direction again, and the coating film thickness can be obtained from the difference in the measurement results. In this case, when the measurement is performed at a high speed, the deviation of the timing of taking in the control signal is small, so that the coating thickness can be accurately measured in that the measurement point can be made the same position as before the coating.

上記の各実施の形態において、塗布液としては粘度が０．１Ｐａ・ｓ〜１０００Ｐａ・ｓ、望ましくは０．５Ｐａ・ｓ〜５０Ｐａ・ｓであり、また、ニュートニアンが塗布性から好ましいが、チキソ性を有する塗布液にも適用できる。被塗布部材としてはガラスの他にアルミ等の金属板、プラスティック板やフィルム、セラミック板、シリコンウェハー等はもちろんのこと、前工程にて何らかの塗膜を形成した基板を用いてもよい。さらに使用する塗布状態としては、クリアランスが４０〜５００μｍ、より好ましくは８０〜３００μｍ、塗布速度が０．１ｍ／分〜１０ｍ／分、より好ましくは０．５ｍ／分〜６ｍ／分、ダイのリップ間隙は５０〜１０００μｍ、より好ましくは１００〜６００μｍ、塗布厚さが５〜４００μｍ、より好ましくは５〜１００μｍである。   In each of the above embodiments, the coating solution has a viscosity of 0.1 Pa · s to 1000 Pa · s, preferably 0.5 Pa · s to 50 Pa · s, and Newtonian is preferable from the viewpoint of applicability. The present invention can also be applied to a coating solution having properties. As a member to be coated, in addition to glass, a metal plate such as aluminum, a plastic plate or film, a ceramic plate, a silicon wafer, or the like may be used as well as a substrate on which a coating film is formed in the previous step. Further, as a coating state to be used, the clearance is 40 to 500 μm, more preferably 80 to 300 μm, the coating speed is 0.1 m / min to 10 m / min, more preferably 0.5 m / min to 6 m / min, the die lip The gap is 50 to 1000 μm, more preferably 100 to 600 μm, and the coating thickness is 5 to 400 μm, more preferably 5 to 100 μm.

上記の各実施の形態の基準板４ａ，４ｂ，４ｃは、段差ゲージなどを用いても良い。センサー２ａ，２ｂ，２ｃとしては、レーザフォーカス方式、静電容量方式、超音波式等様々なものが用いられるが、レーザフォーカス式のものが、非接触で、しかも対象が通常のガラス基板でも、あらかじめ片面に塗膜が付けられている基板でも、ガラス基板の面側から基板表面と裏面位置を検知すれば精確に基板厚さを測定できるので、特に好ましい。   As the reference plates 4a, 4b, and 4c in the above embodiments, a step gauge or the like may be used. As the sensors 2a, 2b, and 2c, various types such as a laser focus method, a capacitance method, and an ultrasonic method are used, but the laser focus type is non-contact and the target is a normal glass substrate. It is particularly preferable even if the substrate has a coating film on one side in advance because the substrate thickness can be accurately measured by detecting the substrate surface and the back surface position from the surface side of the glass substrate.

上記の各実施の形態では、基準板の数を高さ検知器の数に合わせて３個設置しているが、より被塗布部材１１を広い範囲で細かく測定したい場合は、高さ検知器をさらに多く設置したり、また高さ検知ユニット１０自体を左右に移動させる手段などを追加することにより可能と出来る。   In each of the above embodiments, the number of reference plates is set to three according to the number of height detectors. However, when it is desired to measure the member 11 to be coated in a wider range, the height detector is used. This can be achieved by installing more or adding means for moving the height detection unit 10 left and right.

本発明は、高精度な塗布技術が必要とされるプラズマディスプレイの製造工程など、塗布液の塗布を必要とする各種の装置の高性能化に寄与できる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can contribute to high performance of various apparatuses that require application of a coating liquid, such as a plasma display manufacturing process that requires high-precision application technology.

１ スリットダイコータ
２ａ，２ｂ，２ｃ センサー
３ａ，３ｂ，３ｃ カム昇降機構
４ａ，４ｂ，４ｃ 基準板
６ａ，６ｂ，６ｃ アンプ
７ 演算用コンピュータ
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ 高さ検出器
１１ 被塗布部材
１２ テーブル
１３ ローラ回転機構
１４ コンベア機構
１５ 上下機構
１８ ガントリ
１９ ガイド溝レール
２１ エアーシリンダ
２２ カムフロア
２３ カム曲線ブロック
２５ ブラケット
３０ 塗布供給部
３１ スリットダイ
３２ シリンジポンプ
３３ タンク
３４ ダイ昇降部
３５ 吸引ホース
３６ 供給ホース
３７ 開閉弁
３８ 開閉弁
３９ ダイ先端部
４０ 駆動部
４１ 制御部
５１ 塗布開始位置
５２ 塗布終了位置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Slit die coater 2a, 2b, 2c Sensor 3a, 3b, 3c Cam raising / lowering mechanism 4a, 4b, 4c Reference | standard board 6a, 6b, 6c Amplifier 7 Calculation computer 10a, 10b, 10c Height detector 11 Coating member 12 Table 13 Roller rotating mechanism 14 Conveyor mechanism 15 Vertical mechanism 18 Gantry 19 Guide groove rail 21 Air cylinder 22 Cam floor 23 Cam curve block 25 Bracket 30 Application supply part 31 Slit die 32 Syringe pump 33 Tank 34 Die lifting part 35 Suction hose 36 Supply hose 37 Opening / closing Valve 38 On-off valve 39 Die tip 40 Drive unit 41 Control unit 51 Application start position 52 Application end position

Claims (7)

テーブルにセットされた被塗布部材に対して、スリットダイを移動させて前記被塗布部材に塗布液を塗布するに際し、
前記スリットダイによって塗布液を塗布する前に前記被塗布部材の塗布面の高さを昇降機構を備えた高さ検知器によって検出し、この検出値に基づいて前記スリットダイと前記被塗布部材の塗布面との距離を目標値に保ちながら塗布すると共に、
前記塗布の前工程において、前記テーブル上に設置された厚みが既知の基準板を前記高さ検知器によって測定して前記高さ検知器の測定値を校正する
塗布方法。 When applying the coating liquid to the coated member by moving the slit die to the coated member set on the table,
Before coating the coating liquid with the slit die, the height of the coated surface of the coated member is detected by a height detector equipped with a lifting mechanism, and based on the detected value, the slit die and the coated member are detected. While applying while keeping the distance to the application surface at the target value,
A coating method in which, in the pre-coating step, a reference plate having a known thickness set on the table is measured by the height detector and the measured value of the height detector is calibrated. 厚みが既知の基準板を高さ検知器によって測定して前記高さ検知器の測定値を校正する工程は、
前記高さ検知器によって基準板４までの距離ｄ１を測定し、次に前記高さ検知器によって前記テーブルまでの距離ｄ２を測定し、測定結果の距離ｄ１と距離ｄ２との差が基準板の既知の厚みｄ０と同じになるように補正値ｄｉを記憶し、その後の時々の前記高さ検知器の検出距離ｄｔを、“ｄｔ−ｄｉ”で補正する
請求項１記載の塗布方法。 A step of measuring a reference plate having a known thickness with a height detector and calibrating the measurement value of the height detector,
A distance d1 to the reference plate 4 is measured by the height detector, and then a distance d2 to the table is measured by the height detector, and a difference between the distance d1 and the distance d2 of the measurement result is a difference of the reference plate. The coating method according to claim 1, wherein a correction value di is stored so as to be the same as a known thickness d0, and a detection distance dt of the height detector after that is corrected by “dt-di”. 厚みが既知の基準板を高さ検知器によって測定して前記高さ検知器の測定値を校正する工程は、
段差が既知の段差ゲージの二つの面を前記高さ検知器によって測定し、段差ゲージの各面までの距離ｄ１，距離ｄ２との差が前記基準板の既知の差ｄ０と同じになるように補正値ｄｉを記憶し、その後の時々の前記高さ検知器の検出距離ｄｔを、“ｄｔ−ｄｉ”で補正する
請求項１記載の塗布方法。 A step of measuring a reference plate having a known thickness with a height detector and calibrating the measurement value of the height detector,
Two surfaces of the step gauge with known steps are measured by the height detector so that the difference between the distance d1 and the distance d2 to each surface of the step gauge is the same as the known difference d0 of the reference plate. The coating method according to claim 1, wherein a correction value di is stored, and a detection distance dt of the height detector at each subsequent time is corrected by “dt-di”. 前記スリットダイが塗布開始位置から塗布終了位置に到着して、前記スリットダイを前記塗布終了位置から前記塗布開始位置に移動させる時には、
前記高さ検知器を前記テーブルの上面から離れる方向に移動させるとともに、前記テーブル上の塗布の完了した被塗布部材を次の被塗布部材に入れ換える
請求項１記載の塗布方法。 When the slit die arrives at the application end position from the application start position and moves the slit die from the application end position to the application start position,
The coating method according to claim 1, wherein the height detector is moved in a direction away from the upper surface of the table, and the coated member on the table is replaced with a next coated member. カム曲線ブロックを倣って前記高さ検知器を前記テーブルの上面から離れる方向に移動させる
請求項４記載の塗布方法。 The coating method according to claim 4, wherein the height detector is moved in a direction away from the upper surface of the table following a cam curve block. テーブルにセットされた被塗布部材に対して、スリットダイを移動させて前記被塗布部材に塗布液を塗布する塗布装置であって、
前記スリットダイと前記テーブルのうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材に塗膜を形成する駆動部と、
厚みが既知で前記テーブルの上に設置された基準板と、
前記スリットダイと一体に取り付けられるとともに、前記テーブルの上面から離れる方向に移動可能に支持され前記テーブルの上面の前記被塗布部材ならびに前記基準板との距離を測定する高さ検知器と
を設け、前記スリットダイと前記被塗布部材の塗布面との距離を調節できるように前記スリットダイを、ダイ昇降部を介して取り付け、
塗布中のダイ昇降部を、前記高さ検知器による前記基準板との距離の検出値に基づいて制御して前記スリットダイと前記被塗布部材の塗布面との距離を目標値に制御する制御部を設け、
前記高さ検知器を、
前記テーブルの上面から離れる方向に移動可能に昇降機構を介して取り付け、
前記制御部を、
前記スリットダイが塗布開始位置から塗布終了位置に到着して、前記スリットダイを前記塗布終了位置から前記塗布開始位置に移動させる時には、前記昇降機構によって前記高さ検知器を前記テーブルの上面から離れる方向に移動させるとともに、前記テーブル上の塗布の完了した被塗布部材を次の被塗布部材に入れ換えるよう構成した
塗布装置。 A coating apparatus that applies a coating liquid to the coated member by moving a slit die with respect to the coated member set on a table,
A drive unit that relatively moves at least one of the slit die and the table to form a coating film on the coated member;
A reference plate of known thickness and installed on the table;
A height detector that is mounted integrally with the slit die and is supported so as to be movable in a direction away from the upper surface of the table and that measures the distance between the coated member and the reference plate on the upper surface of the table, The slit die is attached via a die lifting part so that the distance between the slit die and the application surface of the member to be coated can be adjusted.
Control for controlling the distance between the slit die and the coating surface of the coated member to a target value by controlling the die lifting part during coating based on the detected value of the distance from the reference plate by the height detector Set up a section,
The height detector,
It is attached via a lifting mechanism so as to be movable in a direction away from the upper surface of the table,
The control unit
When the slit die arrives at the application end position from the application start position and moves the slit die from the application end position to the application start position, the elevation detector moves the height detector away from the upper surface of the table. A coating apparatus configured to move in the direction and replace the coated member on the table with the next coated member. 前記昇降機構を、
カム曲線ブロックを倣って前記高さ検知器を前記テーブルの上面から離れる方向に移動させるよう構成した
請求項６記載の塗布装置。 The lifting mechanism,
The coating apparatus according to claim 6, wherein the height detector is moved in a direction away from the upper surface of the table following a cam curve block.

Images