JP2010245145A

JP2010245145A - プラズマ処理装置

Info

Publication number: JP2010245145A
Application number: JP2009089842A
Authority: JP
Inventors: Takashi Miyamoto; 高志宮本; Koji Takeishi; 浩司武石
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2009-04-02
Filing date: 2009-04-02
Publication date: 2010-10-28

Abstract

【課題】異常放電の発生を抑制することができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】被処理物Ｗを収容し大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な処理容器１と、前記処理容器に設けられた排気口７を介して前記処理容器内を減圧する減圧手段３１と、前記処理容器内のプラズマを発生させる空間にプラズマを発生させるプラズマ発生手段６と、前記プラズマを発生させる空間に処理ガスを供給する処理ガス供給手段３０と、誘電体から形成され、前記プラズマを発生させる空間を囲うように設けられた異常放電抑制手段１０と、導電体から形成され、前記異常放電抑制手段を囲うように設けられるとともに電気的に絶縁された第１の遮蔽体１２と、を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
【選択図】図１

Description

本発明は、プラズマ処理装置に関する。

プラズマを利用したドライプロセスは、半導体装置の製造、金属部品の表面硬化、プラスチック部品の表面活性化、無薬剤殺菌など、幅広い技術分野において活用されている。例えば、半導体装置やフラットパネルディスプレイなどの製造に関しては、アッシング、ドライエッチング、薄膜堆積あるいは表面改質などの各種のプラズマ処理が行われている。プラズマを利用したドライプロセスは、低コストで、高速であり、薬剤を用いないために環境汚染を低減できる点でも有利である。

この様なプラズマ処理において製品歩留まりや生産性を向上させるためには、処理の面内均一性を高める必要がある。そして、処理の面内均一性を高めるためには、均一なプラズマを発生させるようにする必要がある。
そのため、被処理物を載置する載置台の周囲を囲むようにして遮蔽体（シールド壁板）を設け、プラズマの拡がりを抑制するとともに安定化を図る技術が提案されている（特許文献１を参照）。

しかしながら、特許文献１に開示がされた技術においては、ニッケル合金やアルミニウムなどの金属で遮蔽体（シールド壁板）を形成するようにしている。そのため、プラズマを発生させる際に異常放電が起こるおそれがある。特に、近年においては処理能力を向上させるために、プラズマを発生させる際に大電力を電極に印加するようになってきている。そのため、異常放電の発生がより増加するおそれがある。
異常放電が発生すると、均一なプラズマが得られないおそれがある。また、異常放電による電力ロスで所望のエッチング性能が得られなかったり、処理容器内壁がエッチングされることによりダストや金属汚染が発生したりするおそれがある。

特開２００２−３２９７１１号公報

本発明は、異常放電の発生を抑制することができるプラズマ処理装置を提供する。

本発明の一態様によれば、被処理物を収容し大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な処理容器と、前記処理容器に設けられた排気口を介して前記処理容器内を減圧する減圧手段と、前記処理容器内のプラズマを発生させる空間にプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、前記プラズマを発生させる空間に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、誘電体から形成され、前記プラズマを発生させる空間を囲うように設けられた異常放電抑制手段と、導電体から形成され、前記異常放電抑制手段を囲うように設けられるとともに電気的に絶縁された第１の遮蔽体と、を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置が提供される。

本発明によれば、大電力を投入しても異常放電の発生を抑制することができるので、所望のエッチング性能を得ることができるうえに、処理容器内壁がエッチングされて発生する汚染やダストの影響を極力受けることのない処理を実現できるプラズマ処理装置が提供される。

本実施の形態に係るプラズマ処理装置を例示するための模式断面図である。本実施の形態に係るプラズマ処理装置を例示するための模式断面図である。異常放電の抑制効果を例示するための模式グラフ図である。他の実施形態に係る異常放電抑制手段を例示するための模式部分断面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図１および図２は、本実施の形態に係るプラズマ処理装置を例示するための模式断面図である。なお、図１は遮蔽部１２を上昇させた場合を表し、図２は遮蔽部１２を下降させた場合を表している。

図１、図２に示すように、プラズマ処理装置１は、処理容器２、電極４、高周波電源６、異常放電抑制手段１０、遮蔽部１２、処理ガス供給手段３０、減圧手段３１などを備えている。
処理容器２は、略円筒形状を呈し、その上下端が板状部材で塞がれている。処理容器２は金属（例えば、ステンレスやアルミニウム合金など）などの導電体から形成され、電気的に接地されている。この場合、プラズマ生成物による損傷を抑制するために、処理容器２の内壁面に、例えば、アルマイト（Ａｌ_２Ｏ_３）処理、フッ素樹脂処理、イットリア（Ｙ_２Ｏ_３）コート処理などを施すようにすることもできる。また、処理容器２は、ウェーハやガラス基板などの被処理物Ｗを収容し大気圧よりも減圧された雰囲気を維持できるようになっている。

処理容器２の天井中央部分には、処理ガスＧを導入するための処理ガス導入口１５が設けられている。そして、処理ガス導入口１５には、流量制御弁（Mass Flow Controller：ＭＦＣ）３２を介して処理ガス供給手段３０が接続されている。処理ガス供給手段３０は、プラズマＰを発生させる空間３に処理ガスＧを供給する。そのため、流量制御弁３２により流量調整がされた処理ガスＧを処理容器２内に供給することができる。処理ガスＧとしては、例えば、ＣＦ_４、ＮＦ_３、Ｏ_２などを例示することができる。ただし、これらに限定されるわけではなく、エッチングや薄膜堆積などの処理内容に応じて適宜変更することができる。

処理容器２の底面近傍には排気口７が設けられ、圧力制御器（Auto Pressure Controller：ＡＰＣ）８を介してターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）などの減圧手段３１が接続されている。すなわち、処理容器２の底面近傍には、処理容器２に設けられた排気口７を介して処理容器内を減圧する減圧手段３１が接続されている。圧力制御器８は、処理容器２の内圧を検出する図示しない真空計などの出力に基づいて、処理容器２の内圧が所定の圧力となるように制御する。

処理容器２の内部には、プラズマＰを発生させる空間３が設けられている。また、空間３の下方には電極４が設けられており、この電極４と処理容器２の天井部分とで平行平板電極を構成している。また、電極４には高周波電源６が整合器１６を介して電気的に接続されている。すなわち、本実施の形態においては、電極４や高周波電源６などが処理容器２内のプラズマＰを発生させる空間３にプラズマＰを発生させるプラズマ発生手段となる。

また、電極４の周囲を覆うようにして円筒状の絶縁リング５が設けられている。電極４の上面（載置面）には被処理物Ｗが載置可能となっている。なお、電極４には、被処理物Ｗを保持するための静電チャック（図示せず）や被処理物Ｗの受け渡しを行うための昇降ピン（図示せず）などを内蔵させることができる。

絶縁リング５の周囲を覆うようにして円筒状のアノードリング３３が設けられている。アノードリング３３は、金属（例えば、ステンレスやアルミニウム合金など）などの導電体から形成され、処理容器２と接触させることで電気的に接地されている。この場合、プラズマ生成物による損傷を抑制するために、アノードリング３３の表面に、例えば、アルマイト（Ａｌ_２Ｏ_３）処理、フッ素樹脂処理、イットリア（Ｙ_２Ｏ_３）コート処理などを施すようにすることもできる。アノードリング３３は、電極４の側面を電気的に接地状態にすることで、処理容器２の下部空間における電極４からの放電を防止するために設けられている。

電極４の上面には、被処理物Ｗが載置される領域を囲うようにしてフォーカスリング３４が設けられている。フォーカスリング３４は、例えば、シリコン（Ｓｉ）などから形成され、電極４と絶縁リング５との両方に跨って設けられている。フォーカスリング３４は、被処理物Ｗの周縁近傍のプラズマ生成物を拡散させて処理の面内均一性を向上させるために設けられている。

処理容器２の側壁には、被処理物Ｗを搬入搬出するための搬入搬出口９が設けられ、気密に閉鎖ができるようにゲート１７が設けられている。ゲート１７は、Ｏ（オー）リングのようなシール部材１４を備える扉１３を有し、図示しないゲート開閉機構により開閉される。扉１３が閉まった時には、シール部材１４が搬入搬出口９の壁面に押しつけられ、搬入搬出口９は気密に閉鎖される。

アノードリング３３の外側には、遮蔽部１２が設けられている。
遮蔽部１２には、遮蔽体１２ａ、基部１２ｂ、軸１２ｃが設けられている。遮蔽体１２ａは略円筒状を呈し、処理容器２の内壁に近接させるようにして基部１２ｂに設けられている。基部１２ｂは円板状を呈し、外周部の端面が処理容器２の内壁に近接するような寸法となっている。また、基部１２ｂの内周部の端面がアノードリング３３に近接するような寸法となっている。なお、本実施の形態においては、遮蔽体１２ａを略円筒状、基部１２ｂを略円板状としているが、これに限定されるわけではない。例えば、遮蔽体１２ａを略角柱状としたり、基部１２ｂを略多角形板としたりすることもできる。

また、基部１２ｂには、その厚み方向を貫通する図示しない通気孔が設けられている。図示しない通気孔は、後述する排出物Ｇ１（残余の処理ガスＧや残余のプラズマ生成物など）が処理容器２の底面側に排出されるのを容易にするために設けられている。なお、図示しない通気孔は、板状の基部１２ｂに設けられた貫通孔とすることもできるし、基部１２ｂを網目構造とすることで図示しない通気孔を設けるようにすることもできる。また、基部１２ｂを多孔質材料から形成することで図示しない通気孔を設けるようにすることもできる。

遮蔽体１２ａは、金属（例えば、ステンレスやアルミニウム合金など）などの導電体から形成されている。この場合、プラズマ生成物による損傷を抑制するために、遮蔽体１２ａの表面に、例えば、フッ素樹脂処理やイットリア（Ｙ_２Ｏ_３）コート処理などを施すようにすることもできる。基部１２ｂは、絶縁材料から形成されている。この場合、プラズマ生成物による損傷を抑制するために、例えば、フッ素樹脂や石英などから形成されるものとすることができる。なお、遮蔽体１２ａは絶縁体である基部１２ｂを介して設けられることになるので、電気的に絶縁（フローティング）された状態となる。すなわち、導電体から形成され、異常放電抑制手段１０を囲うように設けられるとともに電気的に絶縁された遮蔽体１２ａが設けられている。

軸１２ｃの一端は、基部１２ｂに接続されており、他端は上下に移動する移動手段１１に接続されている。軸１２ｃは略円柱状を呈しているがこれに限定されるわけではない。例えば、四角柱や多角柱、円筒状などであってもよい。移動手段１１の動力源としては、例えば、モータ、エアシリンダ、油圧シリンダなどを例示することができる。ただし、これらに限定されるわけではなく同様の機能を有する駆動源を適宜選択することができる。遮蔽部１２（遮蔽体１２ａ）の上昇端位置と下降端位置は、図示しない検出器からの信号により制御することができるが、タイマなどを用いた時間管理により制御することもできる。

遮蔽部１２（遮蔽体１２ａ）の上昇端位置（図１）においては、遮蔽体１２ａの上部端面と処理容器２の天井部分との間に、わずかに隙間が空くようにすることが好ましい。遮蔽体１２ａの上部端面と処理容器２の天井部分とが接触すればパーティクルなどの汚染物が発生するおそれがあるからである。また、この時、基部１２ｂの上面（空間３側の面）は、電極４の上面位置と略同一、あるいは、それより低い位置にある。

遮蔽部１２（遮蔽体１２ａ）の下降端位置（図２）においては、遮蔽体１２ａの上部端面の位置は、被処理物Ｗの搬入搬出を考慮して、電極４の上面位置と略同一、あるいは、若干低い位置にあるようにすることが好ましい。ただし、これに限定されるものではなく、例えば、被処理物Ｗの受け渡しを行うための図示しない昇降ピンなどが設けられている場合には、被処理物Ｗの受け渡し位置を考慮して適宜変更することもできる。また、遮蔽部１２（遮蔽体１２ａ）の下降端位置においては、基部１２ｂと処理容器２の底部との間に隙間が空くようにすることが好ましい。基部１２ｂと処理容器２の底部とが接触すると、パーティクルなどの汚染物が発生するおそれがあるからである。

遮蔽体１２ａの内側には、プラズマＰを発生させる空間３を囲うように略円筒状を呈する異常放電抑制手段１０が設けられている。異常放電抑制手段１０は基部１２ｂに設けられ、遮蔽体１２ａとともに移動するようになっている。なお、遮蔽部１２（遮蔽体１２ａ）の上昇端位置（図１）においては、異常放電抑制手段１０の上部端面と処理容器２の天井部分との間に、わずかに隙間が空くようにすることが好ましい。異常放電抑制手段１０の上部端面と処理容器２の天井部分とが接触すればパーティクルなどの汚染物が発生するおそれがあるからである。

異常放電抑制手段１０には、通気部１０ａが設けられている。通気部１０ａは、異常放電抑制手段１０の内側に位置する空間３から排出される排出物Ｇ１を処理容器２の底面側に排出させるために設けられている。すなわち、通気部１０ａはプラズマＰを発生させる空間３からの排出物Ｇ１を流通させる。本実施の形態においては、異常放電抑制手段１０を半径方向に貫通する孔が通気部１０ａとして設けられている。すなわち、通気部１０ａは、一端がプラズマＰを発生させる空間３に向けて開口され、他端が遮蔽体１２ａに向けて開口されている。また、最も下方（処理容器２の底面側）に設けられる通気部１０ａの位置は、載置された被処理物Ｗの上面よりは上方（処理容器２の天井側）に設けられている。通気部１０ａの形状、個数などには特に限定がなく適宜変更することができる。ただし、通気部１０ａの大きさを余り大きくしすぎると、後述する異常放電の抑制効果が低下するおそれがある。また、余り小さくしすぎると排出物Ｇ１の流通が阻害されるおそれがある。そのため、通気部１０ａの大きさは、異常放電の抑制効果と排出物Ｇ１の排出性とを考慮して決定することが好ましい。

また、穴状（例えば、丸穴状など）の通気部１０ａを放射状に複数設けるようにすることもできるが、異常放電抑制手段１０の外周に沿って延設されたスリット状の通気部１０ａを設けるようにすることもできる。
ここで、プラズマ生成物などによる侵食で通気部１０ａの大きさが大きくなると異常放電の抑制効果が低下するおそれがある。この場合、スリット状の通気部１０ａとすれば侵食による寸法変動の影響を軽減することができる。そのため、異常放電の抑制効果が経時的に変動することを抑制することができ、異常放電抑制手段１０の寿命を延ばすこともできる。

異常放電抑制手段１０は誘電体から形成されている。すなわち、異常放電抑制手段１０は、誘電体から形成され、プラズマＰを発生させる空間３を囲うように設けられている。誘電体としては、例えば、石英（ＳｉＯ_２）、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、サファイア、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム、酸化イットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ；Yttrium Aluminum Garnet）などからなる群より選ばれた少なくとも１種を含むものとすることができる。
この場合、異常放電抑制手段１０が侵食された場合に被処理物Ｗが汚染されるような物質を排出し難いものとすることがより好ましい。そのようなものとしては、例えば、石英（ＳｉＯ_２）などを例示することができる。

次に、プラズマ処理装置１の作用について例示をする。
まず、ゲート１７の扉１３を図示しないゲート開閉機構により開き、図示しない搬送手段により被処理物Ｗ（例えば、ウェーハやガラス基板など）を処理容器２内に搬入する。搬入された被処理物Ｗは電極４の上面（載置面）に載置され、電極４に内蔵された図示しない静電チャックなどにより保持される。

次に、図示しない搬送手段を処理容器２の外に退避させ、ゲート１７の扉１３を閉じる。また、移動手段１１により遮蔽部１２、異常放電抑制手段１０を上昇端位置にまで移動させる（図１を参照）。すなわち、移動手段１１は、プラズマＰを発生させる際にはプラズマＰを発生させる空間３が囲まれるように遮蔽部１２、異常放電抑制手段１０を移動する。

次に、処理容器２内を減圧手段３１により所定圧力にまで減圧する。この際、圧力制御器８により処理容器２内の圧力を調整する。また、処理ガス供給手段３０から供給され、流量制御弁３２により流量調整がされた処理ガスＧ（例えば、ＣＦ_４、ＮＦ_３、Ｏ_２など）が、処理容器２内のプラズマＰを発生させる空間３に向けて導入される。

一方、高周波電源６により１００ＫＨｚ〜１００ＭＨｚ程度の高周波電力を電極４に印加する。この際、電極４と処理容器２の天井部分とが平行平板電極を構成するため、電極間に放電が起こりプラズマＰが発生する。すなわち、処理容器２内のプラズマＰを発生させる空間３にプラズマＰが発生する。なお、整合器１６に内蔵されている図示しないチューニング回路により反射波を調整することで、プラズマＰの制御が行われる。

そして、発生したプラズマＰにより処理ガスＧが励起、活性化され中性活性種、イオン、電子などのプラズマ生成物が生成される。生成されたプラズマ生成物は、空間３内を下降して被処理物Ｗの表面に到達し、エッチング処理などのプラズマ処理が行われる。

このとき、電極４の側面部を覆うアノードリング３３が電気的に接地状態にあるので、電極４の側面部表面も接地状態にあることになる。これにより、側面部周辺と処理容器２の下部空間におけるプラズマ処理に不必要な放電を抑止することができる。
また、フォーカスリング３４により被処理物Ｗの周縁近傍のプラズマ生成物が拡散される。そのため、プラズマ処理における面内均一性が向上する。

また、本実施の形態においては、誘電体から形成され、プラズマＰを発生させる空間３を囲うように異常放電抑制手段１０が設けられている。そのため、プラズマポテンシャル（プラズマ電位）が高い部分が処理容器２の内壁側に向けて拡がることが抑制される。また、プラズマポテンシャル（プラズマ電位）が高い部分と、異常放電抑制手段１０の外側に位置する接地された処理容器２との間や、異常放電抑制手段１０とフォーカスリング３４との下方に位置する接地されたアノードリング３３などとの間の電位差を低減させることができる。その結果、遮蔽体１２と、処理容器２の内壁やアノードリング３３などとの間で生じ得る異常放電を抑制することができる。特に近年においては、処理能力を向上させるために大電力を電極４に印加するようになってきている。そのため、異常放電が生じやすくなっているが、本実施の形態によれば大電力を電極４に印加する場合であっても効果的に異常放電を抑制することができる。

図３は、異常放電の抑制効果を例示するための模式グラフ図である。
なお、横軸は電極４に印加する電力を表し、縦軸はプロセス性能（例えば、エッチングレートなど）を表している。また、図中のＡは異常放電抑制手段１０を設けている場合、Ｂは異常放電抑制手段１０を設けていない場合である。
異常放電抑制手段１０を設けていない場合には、図３中のＢに示すように、電極４に印加する電力を大きくしていくとプロセス性能（例えば、エッチングレートなど）がかえって低下してしまう。これは、電極４に印加する電力を大きくしすぎると異常放電が生じ、かえってプロセス性能が低下するからである。
一方、異常放電抑制手段１０を設けている場合には、図３中のＡに示すように、電極４に印加する電力を大きくするほどプロセス性能を向上させることができる。これは、異常放電抑制手段１０を設けるようにすれば、大電力を電極４に印加する場合であっても効果的に異常放電を抑制することができるからである。

ここで、プラズマＰからの電界は、誘電体から形成された異常放電抑制手段１０を透過することになる。しかしながら、導電体から形成された遮蔽体１２ａが異常放電抑制手段１０の外側を囲うように設けられ、その遮蔽体１２ａは電気的に絶縁（フローティング）されている。そのため、異常放電抑制手段１０より漏洩した電界が遮蔽体１２ａに遮られることにより処理容器２の内壁に到達することが抑制されるので、漏洩した電界による異常放電の発生をも抑制することができる。

プラズマＰを発生させる空間３から排出される排出物Ｇ１（残余の処理ガスＧや残余のプラズマ生成物など）は、通気部１０ａを介して異常放電抑制手段１０の外側に排出される。異常放電抑制手段１０の外側に排出された排出物Ｇ１は、基部１２ｂに設けられた図示しない通気孔を通って処理容器２の底面側に排出される。そして、処理容器２の底面側に排出された排出物Ｇ１は、排気口７から処理容器２の外部に排出される。

本実施の形態においては、異常放電抑制手段１０に通気部１０ａを設けるようにしている。そのため、プラズマＰを発生させる空間３を囲うように異常放電抑制手段１０を設けるようにしても排出物Ｇ１の排出が阻害されることがない。そのため、プラズマ処理における面内均一性が低下したり、堆積物が堆積したりすることを抑制することができる。

プラズマ処理が終了すると、処理容器２内の圧力とゲート１７の扉１３の外側の圧力とがほぼ等しくなるように、処理容器２内にパージガス（例えば、窒素などの不活性ガスなど）が導入される。この際、処理容器２内の圧力を若干高めにすれば、扉１３を開けたときにパーティクルなどの汚染物が処理容器２内に侵入してくるのを抑制することができる。なお、パージガスは図示しないパージガス供給手段から処理ガス導入口１５などを介して処理容器２内に導入することができる。

次に、移動手段１１により遮蔽部１２、異常放電抑制手段１０を下降端位置にまで移動させる（図２を参照）。すなわち、移動手段１１は、被処理物Ｗを搬入または搬出する際には、プラズマＰを発生させる空間３が開放されるように遮蔽部１２、異常放電抑制手段１０を移動する。そして、ゲート１７の扉１３を図示しないゲート開閉機構により開き、図示しない搬送手段によりプラズマ処理が終了した被処理物Ｗを処理容器２の外部に搬出する。この後、必要があれば、前述のプラズマ処理が繰り返される。

以上例示をしたように、本実施の形態によれば、誘電体から形成され、プラズマＰを発生させる空間３を囲うように異常放電抑制手段１０を設けているので、プラズマポテンシャル（プラズマ電位）が高い部分が処理容器２の内壁側に向けて拡がることを抑制することができる。そのため、プラズマポテンシャル（プラズマ電位）が高い部分と、処理容器２やアノードリング３３などとの間の電位差を低減させることができるので、異常放電を抑制することができる。この場合、処理能力を向上させるために大電力を電極４に印加しても効果的に異常放電を抑制することができる。

また、導電体から形成され、異常放電抑制手段１０を囲うように設けられるとともに電気的に絶縁された遮蔽体１２ａが設けられているので、プラズマＰからの電界が処理容器２の内壁にまで到達することを抑制することができる。そのため、異常放電の発生をさらに抑制することができる。

また、異常放電抑制手段１０に通気部１０ａを設けるようにしているので、プラズマＰを発生させる空間３を囲うように異常放電抑制手段１０を設けるようにしても排出物Ｇ１の排出が阻害されることがない。そのため、プラズマ処理における面内均一性が低下したり、堆積物が堆積したりすることを抑制することができる。

図４は、他の実施形態に係る異常放電抑制手段を例示するための模式部分断面図である。すなわち、プラズマＰを発生させる空間３を囲うように設けられた異常放電抑制手段の一部分を表す模式部分断面図である。

図４（ａ）に示すように、誘電体から形成され、プラズマＰを発生させる空間３を囲うように異常放電抑制手段２０が設けられている。また、異常放電抑制手段２０の断面形状は階段状を呈しており、外側（遮蔽体１２ａ側）になるほど高さ寸法が大きくなっている。また、異常放電抑制手段２０は基部１２ｂに設けられ、遮蔽体１２ａとともに移動するようになっている。

異常放電抑制手段２０には、通気部２０ａが設けられている。通気部２０ａは、異常放電抑制手段２０の内側に位置する空間３から排出される排出物Ｇ１を処理容器２の底面側に排出させるために設けられている。すなわち、通気部２０ａはプラズマＰを発生させる空間３からの排出物Ｇ１を流通させる。

本実施の形態においては、異常放電抑制手段２０を軸方向に貫通する孔が通気部２０ａとして設けられている。そして、階段状断面の側壁には通気部２０ａの一端が開口され、異常放電抑制手段２０の基部１２ｂに面する側の端面には通気部２０ａの他端が開口されている。すなわち、通気部２０ａは、一端がプラズマＰを発生させる空間に向けて開口され、他端が排気口７に連通する空間に向けて開口されている。通気部２０ａの形状、個数などには特に限定がなく適宜変更することができる。

本実施の形態においては、異常放電抑制手段２０の通気部２０ａを軸方向に貫通するように設けるようにしている。そのため、通気部２０ａを介してプラズマＰが遮蔽体１２ａ側に拡がることを抑制することができる。

図４（ｂ）に示すように、誘電体から形成され、プラズマＰを発生させる空間３を囲うように異常放電抑制手段２１が設けられている。また、異常放電抑制手段２１は基部１２ｂに設けられ、遮蔽体１２ａとともに移動するようになっている。
異常放電抑制手段２１には、通気部２１ａが設けられている。通気部２１ａは、異常放電抑制手段２１の内側に位置する空間３から排出される排出物Ｇ１を処理容器２の底面側に排出させるために設けられている。本実施の形態においては、異常放電抑制手段２１を軸方向に貫通する孔が通気部２１ａとして設けられている。そして、異常放電抑制手段２１の内側側壁には通気部２１ａの一端が開口され、基部１２ｂに面する側の端面には通気部２１ａの他端が開口されている。この場合、通気部２１ａは、屈曲するようにして異常放電抑制手段２１の内部に設けられている。すなわち、通気部２１ａは、一端がプラズマＰを発生させる空間に向けて開口され、他端が排気口７に連通する空間に向けて開口されている。通気部２１ａの形状、個数などには特に限定がなく適宜変更することができる。

本実施の形態においては、異常放電抑制手段２１の通気部２１ａを軸方向に貫通するように設けるようにしている。そのため、通気部２１ａを介してプラズマＰが遮蔽体１２ａ側に拡がることを抑制することができる。

図４（ｃ）に示すように、誘電体から形成され、異常放電抑制手段１０と、遮蔽体１２ａと、の間に設けられた第２の遮蔽体２２が備えられている。遮蔽体２２は、例えば、略円筒状のものとすることができる。ただし、遮蔽体２２の形状はこれに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
遮蔽体２２は、基部１２ｂに設けられ、遮蔽体１２ａ、異常放電抑制手段１０とともに移動するようになっている。また、遮蔽体１２ａと異常放電抑制手段１０との間には隙間２３が設けられている。隙間２３は、通気部１０ａを介して異常放電抑制手段１０の内側に位置する空間３から排出される排出物Ｇ１を処理容器２の底面側に排出させるために設けられている。

本実施の形態においては、異常放電抑制手段１０の外側を囲うようにして遮蔽体２２を設けるようにしている。そのため、通気部１０ａを介してプラズマＰが遮蔽体１２ａ側に拡がることを抑制することができる。

なお、遮蔽部１２（遮蔽体１２ａ）の上昇端位置においては、異常放電抑制手段２０、異常放電抑制手段２１、遮蔽体２２の上部端面と処理容器２の天井部分との間に、わずかに隙間が空くようにすることが好ましい。これらの上部端面と処理容器２の天井部分とが接触すればパーティクルなどの汚染物が発生するおそれがあるからである。
また、通気部２０ａ、通気部２１ａの大きさを余り大きくしすぎると、異常放電の抑制効果が低下するおそれがある。また、余り小さくしすぎると排出物Ｇ１の排出が阻害されるおそれがある。そのため、通気部２０ａ、通気部２１ａの大きさは、異常放電の抑制効果と排出物Ｇ１の排出性とを考慮して決定することが好ましい。
なお、前述した通気部１０ａと同様に通気部２０ａ、通気部２１ａをスリット状とすれば、侵食による寸法変動の影響を軽減することができる。そのため、異常放電の抑制効果が経時的に変動することを抑制することができ、異常放電抑制手段２０、異常放電抑制手段２１の寿命を延ばすこともできる。

異常放電抑制手段２０、異常放電抑制手段２１、遮蔽体２２は誘電体から形成されている。誘電体としては、例えば、石英（ＳｉＯ_２）、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、サファイア、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム、酸化イットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ；Yttrium Aluminum Garnet）などからなる群より選ばれた少なくとも１種を含むものとすることができる。

この場合、異常放電抑制手段２０、異常放電抑制手段２１、遮蔽体２２が侵食された場合に被処理物Ｗが汚染されるような物質を排出し難いものとすることがより好ましい。そのようなものとしては、例えば、石英（ＳｉＯ_２）などを例示することができる。

また、以上に例示をした被処理物Ｗとしては、例えば、半導体装置のウェーハやフラットパネルディスプレイのガラス基板などを例示することができる。ただし、これらに限定されるわけではなく、プラズマ処理が施される各種の部材を含めることができる。
また、プラズマ処理としては、ウェーハなどのエッチング処理やアッシング処理などを例示することができる。ただし、これらに限定されるわけではなく、例えば、フラットパネルディスプレイの製造におけるパターンのエッチング処理、位相シフトマスクの製造におけるパターンのエッチング処理、太陽電池の製造における反射防止膜のエッチング処理などとすることもできる。また、エッチング処理やアッシング処理のみならず、金属部品の表面硬化処理、プラスチック部品の表面活性化処理、無薬剤殺菌処理など、幅広い技術分野において活用されているプラズマ処理とすることができる。

また、平行平板電極に高周波電力を印加することでプラズマＰを発生させる場合を例示したが、これに限定されるわけではない。処理容器２の内部においてプラズマＰを発生させるものであればよい。例えば、誘電体から形成された透過窓を介して処理容器２の内部にマイクロ波を導入することでプラズマＰを発生させるようなものなどであってもよい。また、コイルに高周波電力を印加してプラズマＰを発生させるようなものなどであってもよい。すなわち、プラズマＰを発生させる空間３に電磁波を作用させてプラズマＰを発生させるプラズマ発生手段であればよい。

以上、本実施の形態について例示をした。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、プラズマ処理装置１などが備える各要素の形状、寸法、材質、配置などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。

１プラズマ処理装置、２処理容器、４電極、６高周波電源、７排気口、１０異常放電抑制手段、１０ａ通気部、１１移動手段、１２遮蔽部、１２ａ遮蔽体、１２ｂ基部、１２ｃ軸、２０異常放電抑制手段、２０ａ通気部、２１異常放電抑制手段、２１ａ通気部、２２、遮蔽体、３０処理ガス供給手段、３１減圧手段、Ｇ処理ガス、Ｇ１排出物、Ｐプラズマ、Ｗ被処理物

Claims

被処理物を収容し大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な処理容器と、
前記処理容器に設けられた排気口を介して前記処理容器内を減圧する減圧手段と、
前記処理容器内のプラズマを発生させる空間にプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、
前記プラズマを発生させる空間に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
誘電体から形成され、前記プラズマを発生させる空間を囲うように設けられた異常放電抑制手段と、
導電体から形成され、前記異常放電抑制手段を囲うように設けられるとともに電気的に絶縁された第１の遮蔽体と、
を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
前記異常放電抑制手段には、前記プラズマを発生させる空間からの排出物を流通させる通気部が設けられていること、を特徴とする請求項１記載のプラズマ処理装置。
前記通気部は、一端が前記プラズマを発生させる空間に向けて開口され、他端が前記排気口に連通する空間に向けて開口されていること、を特徴とする請求項２記載のプラズマ処理装置。
前記通気部は、一端が前記プラズマを発生させる空間に向けて開口され、他端が前記第１の遮蔽体に向けて開口されていること、を特徴とする請求項２記載のプラズマ処理装置。
誘電体から形成され、前記異常放電抑制手段と、前記第１の遮蔽体と、の間に設けられた第２の遮蔽体をさらに備えたこと、を特徴とする請求項４記載のプラズマ処理装置。
前記異常放電抑制手段を移動する移動手段を備え、
前記移動手段は、前記被処理物を搬入または搬出する際には、前記プラズマを発生させる空間が開放されるように前記異常放電抑制手段を移動すること、を特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のプラズマ処理装置。
前記誘電体は、石英（ＳｉＯ_２）、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、サファイア、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム、酸化イットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ；Yttrium Aluminum Garnet）からなる群より選ばれた少なくとも１種を含むこと、を特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載のプラズマ処理装置。