JP2010221547A - Flow channel unit of liquid ejection head, and liquid ejection head having the same - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flow channel unit of a liquid ejection head that can be miniaturized by equalizing a width of a margin of a piezoelectric actuator with respect to a pressure chamber plate while reducing an influence to an ink ejection characteristic. <P>SOLUTION: First pressure chambers 81 each positioned at an inner portion in one direction of a pressure chamber group 53b formed in a flow channel unit 11 are arranged in such a manner that the positions in one direction differ from one another corresponding to respective positions of nozzle holes 55. Second pressure chambers 82 each positioned at an end in one direction of the pressure chamber group 53b are deviated from positions corresponding to the nozzle holes 55. The positions of the second pressure chambers 82 in one direction are the same and arranged on a line along a direction Y perpendicular to a pressure chamber row 53a. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェットプリンタ装置などの液体吐出装置に備えられる液体吐出ヘッドの流路ユニット及び液体吐出ヘッドに関し、特に、該流路ユニットに形成する複数の圧力室のレイアウトに関する。   The present invention relates to a flow path unit and a liquid discharge head of a liquid discharge head provided in a liquid discharge apparatus such as an ink jet printer apparatus, and more particularly to a layout of a plurality of pressure chambers formed in the flow path unit.

液体吐出装置の一例として、ノズル孔から液体（インク）を被記録体へ吐出する液体吐出ヘッドを備えたインクジェット式のプリンタ装置が知られている（特許文献１参照）。該プリンタ装置が備える液体吐出ヘッドは、圧力室とノズル孔とを結ぶチャンネルが複数形成された流路ユニットと、各圧力室内のインクに吐出圧力を付与するために活性部を有するアクチュエータとが、各圧力室と各活性部とを対応して配置した状態で、接着剤にて接合して構成されている。流路ユニットは、適宜通路孔又は通路溝が形成された複数の薄肉状プレートが積層接合されて成り、これら通路孔又は通路溝が連通することによって、圧力室からノズル孔へ至るチャンネルが形成される。圧力室は、上面側に開口した状態で最上層に形成され、圧電アクチュエータがその上に積層されることで、圧力室が構成されている。圧電アクチュエータは、流路ユニットよりもその平面視外形状が小さく、流路ユニットの上面に開口する複数の圧力室が形成された領域（圧力室形成領域）を覆って接合されている。   As an example of a liquid ejecting apparatus, an ink jet printer apparatus including a liquid ejecting head that ejects liquid (ink) from a nozzle hole to a recording medium is known (see Patent Document 1). The liquid discharge head provided in the printer device includes a flow path unit in which a plurality of channels connecting the pressure chambers and the nozzle holes are formed, and an actuator having an active portion for applying discharge pressure to the ink in each pressure chamber. Each pressure chamber and each active part are arranged corresponding to each other and are joined by an adhesive. The flow path unit is formed by laminating and joining a plurality of thin plates with appropriate passage holes or passage grooves, and a channel from the pressure chamber to the nozzle hole is formed by the passage holes or passage grooves communicating with each other. The The pressure chamber is formed in the uppermost layer in an open state on the upper surface side, and the pressure chamber is configured by stacking the piezoelectric actuator thereon. The piezoelectric actuator has an outer shape in plan view smaller than that of the flow path unit, and is joined so as to cover a region (pressure chamber formation region) where a plurality of pressure chambers opened on the upper surface of the flow channel unit is formed.

このような液体吐出ヘッドは、タンクから供給されたインクを複数の圧力室に分配し、全圧力室のなかから一又は複数の圧力室に対しパルス状の圧力を付与する。これにより、圧力が付与された圧力室と連通しているノズル孔から液体を吐出させ、被記録体に付着させて画像を形成する。またこの際、シリアルヘッドタイプの場合は、液体吐出ヘッドを主走査方向へ移動させつつインクを吐出し、被記録体の一例である被記録紙は、主走査方向に直交する方向（副走査方向）へと搬送される。   Such a liquid discharge head distributes ink supplied from a tank to a plurality of pressure chambers, and applies a pulsed pressure to one or a plurality of pressure chambers from among all the pressure chambers. As a result, the liquid is ejected from the nozzle hole communicating with the pressure chamber to which the pressure is applied, and is adhered to the recording medium to form an image. In this case, in the case of the serial head type, ink is ejected while moving the liquid ejection head in the main scanning direction, and the recording paper, which is an example of the recording material, is in a direction (sub-scanning direction) ).

一方、近年のプリンタ装置では画像の解像度（ｄｐｉ）の向上のため、図７にも示すように流路ユニット１１１には、同一色に対し、一列にノズル孔１５５が配設されて成るノズル孔列が複数列形成されている。例えば、シリアルヘッドタイプの液体吐出ヘッドでは、同一色に属するノズル孔１５５が副走査方向（Ｘ方向）に沿って配設されてノズル孔列を成し、このノズル孔列が主走査方向（Ｙ方向）に複数並設された構成となっている。そして、同一色に属する各ノズル孔１５５は、副走査方向（Ｘ方向）の位置が全て異なるように配設され、いわゆる千鳥状に配設されており、これによって解像度の向上が図られている（図７，特許文献１の図２参照）。   On the other hand, in recent printer apparatuses, in order to improve the resolution (dpi) of an image, as shown in FIG. 7, the nozzle holes 155 are formed by arranging nozzle holes 155 in a line for the same color in the flow path unit 111. A plurality of rows are formed. For example, in a liquid discharge head of a serial head type, nozzle holes 155 belonging to the same color are arranged along the sub-scanning direction (X direction) to form a nozzle hole row, and this nozzle hole row is the main scanning direction (Y Direction). The nozzle holes 155 belonging to the same color are arranged so as to have different positions in the sub-scanning direction (X direction), and are arranged in a so-called staggered manner, thereby improving the resolution. (See FIG. 7, FIG. 2 of Patent Document 1).

特開２００５−３１３６２９号公報JP 2005-313629 A

ところで、一般に、ノズル孔１５５と共に流路ユニット１１１に形成される圧力室１５３についても、ノズル孔１５５と同様に千鳥状に配設されている（図７，特許文献１の段落００４１の記載参照）。具体的には、同一色に属する圧力室１５３が副走査方向（Ｘ方向）に沿って配設されて圧力室列を成し、この圧力室列が主走査方向（Ｙ方向）に複数並設された構成になっている。しかしながら、このように圧力室１５３を千鳥状に配設すると、一の圧力室列の両端部に関する副走査方向の位置と、他の圧力室列の両端部に関する副走査方向の位置とが、互いに異なってしまう。換言すれば、流路ユニット１１１の副走査方向における端面から、各圧力室列の両端に位置する圧力室１５３までの距離が、圧力室列毎に異なることになる。このような圧力室１５３が形成された領域を覆い、対応した位置に活性部１５４を有する圧電アクチュエータ１１２は、図７のように圧力室形成領域に対応できるような外形矩形で、圧電アクチュエータ１１２の副走査方向における端面から、各圧力室列の両端に位置する圧力室１５３までの距離が圧力室列毎に異なることになる。例えば、図７において左端の列に配置される圧力室列の両端の圧力室１５３から圧電アクチュエータ１１２の端部までの距離Ｌａと、右端の列に配置される圧力室列の両端の圧力室１５３から圧電アクチュエータ１１２の端部までの距離Ｌｂとでは、Ｌａ＜Ｌｂとなっている。圧電アクチュエータ１１２において、その両端から圧力室列の両端までの距離は、圧電アクチュエータ１１２の余肉部であり、圧力室１５３が形成されるプレートに対して圧電アクチュエータ１１２を接着するときの接着代となっている。そのため、圧力室１５３が形成されるプレートに対する圧電アクチュエータ１１２の接着代の幅が均一ではなくなる。接着代は、圧電アクチュエータ１１２と流路ユニット１１１とを接合するための面積が確保される必要があり、それを図７の距離Ｌａであるとすると、それよりも余剰幅の広いＬｂの部分においては、そこに塗布される接着剤量が多くなって、余剰分の接着剤が他の幅の狭い部分に侵入し、プレートに形成された圧力室１５３や通路孔などにまで達したり、外側へはみ出したりする可能性があるため好ましくない。また、接着代の余剰幅が広い面積分だけ圧電アクチュエータ１１２の外形状が大型化していた。   By the way, in general, the pressure chambers 153 formed in the flow path unit 111 together with the nozzle holes 155 are also arranged in a staggered manner as with the nozzle holes 155 (see FIG. 7, description of paragraph 0041 of Patent Document 1). . Specifically, the pressure chambers 153 belonging to the same color are arranged along the sub-scanning direction (X direction) to form a pressure chamber row, and a plurality of these pressure chamber rows are arranged in parallel in the main scanning direction (Y direction). It has been configured. However, when the pressure chambers 153 are arranged in a staggered manner in this way, the position in the sub-scanning direction with respect to both ends of one pressure chamber row and the position in the sub-scanning direction with respect to both ends of the other pressure chamber row are mutually connected. It will be different. In other words, the distance from the end surface of the flow path unit 111 in the sub-scanning direction to the pressure chambers 153 located at both ends of each pressure chamber row is different for each pressure chamber row. The piezoelectric actuator 112 that covers the region in which the pressure chamber 153 is formed and has the active portion 154 in the corresponding position is an external rectangle that can correspond to the pressure chamber forming region as shown in FIG. The distance from the end surface in the sub-scanning direction to the pressure chambers 153 located at both ends of each pressure chamber row is different for each pressure chamber row. For example, in FIG. 7, the distance La from the pressure chambers 153 at both ends of the pressure chamber row arranged in the leftmost row to the end of the piezoelectric actuator 112, and the pressure chambers 153 at both ends of the pressure chamber row arranged in the rightmost row. From the distance Lb from the piezoelectric actuator 112 to the end of the piezoelectric actuator 112, La <Lb. In the piezoelectric actuator 112, the distance from the both ends to both ends of the pressure chamber row is the surplus portion of the piezoelectric actuator 112, and the bonding allowance when the piezoelectric actuator 112 is bonded to the plate on which the pressure chamber 153 is formed. It has become. Therefore, the width of the bonding allowance of the piezoelectric actuator 112 to the plate in which the pressure chamber 153 is formed is not uniform. As for the bonding allowance, an area for joining the piezoelectric actuator 112 and the flow path unit 111 needs to be secured. If the distance is a distance La in FIG. In this case, the amount of adhesive applied thereto increases, so that excess adhesive penetrates into other narrow portions and reaches the pressure chambers 153 and passage holes formed in the plate, or outwards. Since it may protrude, it is not preferable. In addition, the outer shape of the piezoelectric actuator 112 is increased by an area where the surplus width of the bonding margin is wide.

これに対し、解像度を変えずに各圧力室を格子状に配設することで、圧電アクチュエータの接着代幅を均一化することも考えられるが、このようにすると、格子状に配設された各圧力室と千鳥状に配設された各ノズル孔とを、個別に傾斜をもたせるなどして構成した通路（ディセンダ）により連通させる必要がある。この場合、各ディセンダのインク通流特性の均一化を図りつつ、各圧力室（各活性部）を格子状に配設することで、各圧力室（各活性部）を千鳥状に配設する場合に比べて、各圧力室間（各活性部間）の距離が狭くなり、流路ユニットにも圧電アクチュエータに対しても製造工程上にて不良がでやすい。また、そのような圧力室を配設された液体吐出ヘッドを駆動すると、圧力室間の距離が近いことでクロストークが起こりやすく、インク吐出特性への影響が大きくなってしまう。これを避けるために圧力室間の距離を広くしようとすると、流路ユニットおよび圧電アクチュエータ全体の外形状が大きくなってしまう。   On the other hand, it may be possible to make the bonding margin of the piezoelectric actuator uniform by arranging the pressure chambers in a grid pattern without changing the resolution, but in this way, the pressure chambers are arranged in a grid pattern. It is necessary to communicate each pressure chamber and each nozzle hole arranged in a staggered manner by a passage (decender) configured by, for example, providing an inclination. In this case, each pressure chamber (each active portion) is arranged in a staggered manner by arranging each pressure chamber (each active portion) in a lattice shape while achieving uniform ink flow characteristics of each descender. Compared with the case, the distance between the pressure chambers (between the active parts) becomes narrow, and both the flow path unit and the piezoelectric actuator are likely to be defective in the manufacturing process. Further, when the liquid discharge head provided with such a pressure chamber is driven, the distance between the pressure chambers is short, so that crosstalk is likely to occur, and the influence on the ink discharge characteristics is increased. If an attempt is made to increase the distance between the pressure chambers in order to avoid this, the outer shape of the entire flow path unit and the piezoelectric actuator becomes large.

なお、このような事情は、インクジェット式プリンタ装置が備える液体吐出ヘッドに限らず、同様の構成を備える液体吐出ヘッドの流路ユニット全般においても同様である。   Such a situation is not limited to the liquid discharge head provided in the ink jet printer apparatus, but also applies to the entire flow path unit of the liquid discharge head having the same configuration.

そこで本発明は、インク吐出特性への影響を抑制しつつ、圧力室プレートに対する圧電アクチュエータの接着代幅の均一化を図り、小型化することのできる液体吐出ヘッドの流路ユニット及びこれを備える液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。   In view of the above, the present invention provides a liquid discharge head channel unit and a liquid equipped with the same, which can reduce the size of the piezoelectric actuator with respect to the pressure chamber plate while suppressing the influence on the ink discharge characteristics. An object is to provide a discharge head.

本発明に係る液体吐出ヘッドの流路ユニットは、複数のノズル孔とこれに対応する複数の圧力室とがそれぞれ液体流路を通じて連通する液体吐出ヘッドの流路ユニットであって、前記ノズル孔を一方向に沿って配設して成るノズル孔列が複数並設されてノズル孔群が形成されており、該ノズル孔群内の各ノズル孔は、前記一方向における位置が互いに異なっており、前記圧力室は、前記一方向に沿って配設されて圧力室列を形成すると共に、該圧力室列は複数並設されて圧力室群を形成しており、該圧力室群の前記一方向の内方に位置する圧力室である第１圧力室は、前記ノズル孔の位置に対応して前記一方向における位置が互いに異なっている一方、前記圧力室群の前記一方向の末端部に位置する圧力室である第２圧力室は、前記ノズル孔に対応する位置から偏倚させて、前記一方向における位置が前記第２圧力室同士で同一になっており、前記圧力室列に直交する方向に沿って直線状に配設されている。   The flow path unit of the liquid discharge head according to the present invention is a flow path unit of a liquid discharge head in which a plurality of nozzle holes and a plurality of corresponding pressure chambers communicate with each other through the liquid flow path. A plurality of nozzle hole rows arranged along one direction are arranged in parallel to form a nozzle hole group, and each nozzle hole in the nozzle hole group is different from each other in the one direction, The pressure chambers are arranged along the one direction to form a pressure chamber row, and a plurality of the pressure chamber rows are arranged in parallel to form a pressure chamber group, and the one direction of the pressure chamber group The first pressure chamber, which is a pressure chamber located inwardly, is different in position in the one direction corresponding to the position of the nozzle hole, and is positioned at the end portion in the one direction of the pressure chamber group. The second pressure chamber, which is a pressure chamber, performs the nozzle hole By biased from the corresponding position, said has become the same position in the second pressure chamber with each other in one direction, they are arranged in a straight line along a direction perpendicular to the pressure chamber row.

このような構成とすることにより、圧力室群の内方に位置する第１圧力室においては、例えば千鳥状にするなどしてノズル孔に対応したレイアウトとしているため、これらの圧力室とノズル孔とを連通するディセンダの液体通流特性を均一化することができる。これに加えて、各圧力室列の末端部に位置する第２圧力室は互いに直線状にレイアウトしているため、圧力室を形成するプレートに対する圧電アクチュエータの接着代幅を均一化することができ、接着剤の通路孔への侵入も防止することができる。また、必要最小限の接着代幅に均一化することができるため、圧電アクチュエータの小型化に寄与することができる。あるいは、圧電アクチュエータの外形状が従来と同じであっても、接着代幅が必要最小限に均一化されることで、圧力室形成領域が広くなるため、圧力室間同士の距離が広くなり、クロストークの影響を少なくすることができる。   By adopting such a configuration, the first pressure chamber located inside the pressure chamber group has a layout corresponding to the nozzle holes, for example, in a zigzag shape. The fluid flow characteristics of the descender communicating with can be made uniform. In addition, since the second pressure chambers located at the end of each pressure chamber row are laid out in a straight line with each other, it is possible to equalize the bonding margin of the piezoelectric actuator to the plate forming the pressure chambers. Intrusion of the adhesive into the passage hole can also be prevented. In addition, since it is possible to equalize to the minimum necessary bonding margin width, it is possible to contribute to miniaturization of the piezoelectric actuator. Alternatively, even if the outer shape of the piezoelectric actuator is the same as the conventional one, the bonding margin width is made uniform to the minimum necessary, so that the pressure chamber forming region is widened, so the distance between the pressure chambers is widened, The influence of crosstalk can be reduced.

本発明によれば、インク吐出特性への影響を少なくしつつ、圧力室プレートに対する圧電アクチュエータの接着代幅の均一化を図り、小型化することのできる液体吐出ヘッドの流路ユニット及びこれを備える液体吐出ヘッドを提供することができる。   According to the present invention, there is provided a liquid discharge head channel unit and a liquid discharge head channel unit that can reduce the size of the piezoelectric actuator with respect to the pressure chamber plate while reducing the influence on the ink discharge characteristics. A liquid discharge head can be provided.

液体吐出装置たるプリンタ装置の要部を示す模式的平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view illustrating a main part of a printer device that is a liquid ejection device. プリンタ装置が備える液体吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating a configuration of a liquid discharge head provided in the printer device. 流路ユニットと圧電アクチュエータとが接合された状態でのヘッド本体を、図２のIII-III線（後述するノズル行方向に沿った線）で切断したときの構成を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a configuration when the head main body in a state in which the flow path unit and the piezoelectric actuator are joined is cut along a line III-III in FIG. 2 (a line along a nozzle row direction to be described later). 流路ユニットと圧電アクチュエータとが接合された状態でのヘッド本体を、図２のIV-IV線（即ち、ノズル列方向に沿った線）で切断したときの構成を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a configuration when the head main body in a state where the flow path unit and the piezoelectric actuator are joined is cut along the line IV-IV in FIG. 2 (that is, a line along the nozzle row direction). 流路ユニットに圧電アクチュエータが接合された状態の平面図であり、流路ユニットに形成された同一色に属する圧力室の配置を示している。It is a top view in the state where a piezoelectric actuator was joined to a channel unit, and shows arrangement of a pressure chamber belonging to the same color formed in a channel unit. 流路ユニットに圧電アクチュエータが接合された状態の平面図であり、流路ユニットに形成された同一色に属する圧力室の他の配置を示している。It is a top view in the state where a piezoelectric actuator was joined to a channel unit, and shows other arrangement of a pressure chamber belonging to the same color formed in a channel unit. 従来の流路ユニットに圧電アクチュエータが接合された状態の平面図であり、流路ユニットに形成された同一色に属する圧力室の配置を示している。It is a top view in the state where a piezoelectric actuator was joined to the conventional channel unit, and has shown arrangement of a pressure room belonging to the same color formed in a channel unit.

以下、本発明の実施の形態に係る液体吐出ヘッドの流路ユニット及びこれを備える液体吐出ヘッドについて、液体吐出装置の一例であるインクジェットプリンタ装置（以下、「プリンタ装置」と称する）に適用したとき場合を例にとり、図面を参照しつつ説明する。但し、本発明はプリンタ装置が備える液体吐出ヘッドの流路ユニットへの適用に限定されるものではなく、インク以外の液体を吐出する液体吐出ヘッドの流路ユニット全般に対しても適用できることを付言しておく。   Hereinafter, when the flow path unit of the liquid discharge head according to the embodiment of the present invention and the liquid discharge head including the same are applied to an ink jet printer apparatus (hereinafter referred to as “printer apparatus”) which is an example of a liquid discharge apparatus. A case will be described as an example with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the application to the flow path unit of the liquid ejection head provided in the printer device, but can be applied to the entire flow path unit of the liquid ejection head that ejects liquid other than ink. Keep it.

［プリンタ装置の全体構成］
図１は、液体吐出装置たるプリンタ装置１００の要部を示す模式的平面図である。図１に示すように、プリンタ装置１００は、左右方向へ延びる一対のガイドレール１０２，１０３が略平行に配設されており、このガイドレール１０２，１０３に液体供給ユニット１０４が走査方向にスライド可能に支持されている。ガイドレール１０３の左右の端部付近には一対のプーリ１０５，１０６が設けられ、液体供給ユニット１０４は、このプーリ１０５，１０６に巻き掛けられたタイミングベルト１０７に接合されている。一方のプーリ１０６には正逆回転駆動するモータ（図示せず）が設けられており、そのプーリ１０６が正逆回転駆動することでタイミングベルト１０７が左方向及び右方向へと往復移動可能になっており、これに伴って液体供給ユニット１０４がガイドレール１０２，１０３に沿って左右方向（走査方向）へ往復走査される。 [Overall configuration of printer device]
FIG. 1 is a schematic plan view showing a main part of a printer apparatus 100 as a liquid ejection apparatus. As shown in FIG. 1, the printer apparatus 100 includes a pair of guide rails 102 and 103 extending in the left-right direction. The guide rails 102 and 103 can slide the liquid supply unit 104 in the scanning direction. It is supported by. A pair of pulleys 105 and 106 are provided near the left and right ends of the guide rail 103, and the liquid supply unit 104 is joined to a timing belt 107 wound around the pulleys 105 and 106. One pulley 106 is provided with a motor (not shown) that drives forward and reverse rotation, and when the pulley 106 is driven forward and reverse, the timing belt 107 can reciprocate leftward and rightward. Accordingly, the liquid supply unit 104 is reciprocally scanned in the left-right direction (scanning direction) along the guide rails 102 and 103.

プリンタ装置１００には、４つのインクカートリッジ１０８が交換のために挿脱可能にして装着されている。そして、液体供給ユニット１０４には、これらのインクカートリッジ１０８から４色の有色インク（例えば、ブラック、シアン、マゼンダ、イエロー）を夫々供給すべく、可撓性を有する４本のインク供給チューブ１０９が接続されている。液体供給ユニット１０４の下部には液体吐出ヘッド２（図２参照）が搭載されており、その下方で走査方向と直角する方向（用紙搬送方向）に搬送される被記録体（例えば、記録用紙）に向けて液体吐出ヘッド２からインク（液体）を吐出し、この被記録体に画像を形成することができるようになっている。   Four ink cartridges 108 are detachably mounted on the printer device 100 for replacement. The liquid supply unit 104 includes four flexible ink supply tubes 109 for supplying four colored inks (for example, black, cyan, magenta, and yellow) from these ink cartridges 108, respectively. It is connected. A liquid discharge head 2 (see FIG. 2) is mounted below the liquid supply unit 104, and a recording medium (for example, recording paper) that is transported in a direction (paper transport direction) perpendicular to the scanning direction below the liquid discharge head 2 is mounted. Ink (liquid) is ejected from the liquid ejection head 2 toward the surface, and an image can be formed on the recording medium.

［液体吐出ヘッドの概略構成］
図２はプリンタ装置１００が備える液体吐出ヘッド２の構成を示す分解斜視図である。この図２に示すように、液体吐出ヘッド２は、圧電アクチュエータ１２を上方から流路ユニット１１に接合して成るヘッド本体１５と、このヘッド本体１５の上部にて圧電アクチュエータ１２に接合されて駆動回路６６を有するフレキシブル基板１３とが接合されて構成されている。流路ユニット１１及び圧電アクチュエータ１２は、用紙搬送方向に長い平面視矩形状を成し、流路ユニット１１は複数のプレート部材が積層された構成となっている。 [Schematic configuration of liquid discharge head]
FIG. 2 is an exploded perspective view showing the configuration of the liquid ejection head 2 provided in the printer apparatus 100. As shown in FIG. 2, the liquid ejection head 2 is driven by being joined to the piezoelectric actuator 12 at the upper portion of the head body 15 formed by joining the piezoelectric actuator 12 to the flow path unit 11 from above. A flexible substrate 13 having a circuit 66 is joined to the circuit 66. The flow path unit 11 and the piezoelectric actuator 12 have a rectangular shape in plan view that is long in the paper conveyance direction, and the flow path unit 11 has a configuration in which a plurality of plate members are stacked.

また、これらヘッド本体１５及び圧電アクチュエータ１２は、用紙搬送方向に長い平面視矩形状の支持フレーム１６を介してケース（図示せず）に支持されている。即ち、支持フレーム１６は、外形寸法が流路ユニット１１より大きく構成され、且つ、その中央部には、圧電アクチュエータ１２の外形より若干大きな開口１６ａを有している。そして、圧電アクチュエータ１２が上面に接合された流路ユニット１１に対し、開口１６ａ内に圧電アクチュエータ１２が位置するようにして上方から設けられ、流路ユニット１１において圧電アクチュエータ１２が位置する外側の周縁部に接着接合されている。これにより、開口１６ａを通じて圧電アクチュエータ１２の上面が露出し、この露出した上面に接合されているフレキシブル基板１３は、開口１６ａからその端部が引き出されている。そして、この状態で支持フレーム１６の周縁部がケースに接続されるようになっている。   The head body 15 and the piezoelectric actuator 12 are supported by a case (not shown) via a support frame 16 having a rectangular shape in plan view that is long in the paper transport direction. That is, the support frame 16 is configured to have an outer dimension larger than that of the flow path unit 11, and has an opening 16 a slightly larger than the outer shape of the piezoelectric actuator 12 at the center. The flow path unit 11 having the piezoelectric actuator 12 bonded to the upper surface is provided from above so that the piezoelectric actuator 12 is positioned in the opening 16a, and the outer periphery of the flow path unit 11 where the piezoelectric actuator 12 is positioned. It is adhesively bonded to the part. Thereby, the upper surface of the piezoelectric actuator 12 is exposed through the opening 16a, and the end portion of the flexible substrate 13 bonded to the exposed upper surface is drawn from the opening 16a. In this state, the peripheral edge of the support frame 16 is connected to the case.

図３は、流路ユニット１１と圧電アクチュエータ１２とが接合された状態でのヘッド本体１５を、図２のIII-III線（後述するノズル行方向に沿った線）で切断したときの構成を示す断面図である。図３に示すように、流路ユニット１１はその下面にて開口する複数のノズル孔５５を有しており、該ノズル孔５５は、或一方向に延びる一又は複数の列を成すようにして複数配設されている。１つのノズル列に並ぶノズル孔５５は、互いに所定間隔をおいて配置されて同色の液体（インク）が吐出されるようになっている。このノズル列は、該ノズル列と略直交する方向に適宜間隔で配置され、本実施の形態では、吐出される液体の色ごとに６列ずつ設けられている（図５参照）。   3 shows a configuration when the head main body 15 in a state where the flow path unit 11 and the piezoelectric actuator 12 are joined is cut along a line III-III (a line along a nozzle row direction to be described later) in FIG. It is sectional drawing shown. As shown in FIG. 3, the flow path unit 11 has a plurality of nozzle holes 55 opened on the lower surface thereof, and the nozzle holes 55 form one or a plurality of rows extending in one direction. A plurality are arranged. The nozzle holes 55 arranged in one nozzle row are arranged at a predetermined interval from each other so that the same color liquid (ink) is ejected. The nozzle rows are arranged at appropriate intervals in a direction substantially orthogonal to the nozzle rows, and in this embodiment, six rows are provided for each color of liquid to be ejected (see FIG. 5).

以下、ノズル列の延びる方向を「ノズル列方向Ｘ」といい、このノズル列方向Ｘに対するノズル行方向を「ノズル行方向Ｙ」という。なお、液体吐出ヘッド２は、ノズル行方向Ｙに往復走査される（図１参照）。   Hereinafter, the extending direction of the nozzle row is referred to as “nozzle row direction X”, and the nozzle row direction with respect to the nozzle row direction X is referred to as “nozzle row direction Y”. The liquid ejection head 2 is reciprocally scanned in the nozzle row direction Y (see FIG. 1).

流路ユニット１１の内部には、液体を一時的に貯留する共通貯留室であるマニホールド５１と、マニホールド５１と各ノズル５５とを個別に連通する複数のチャンネルとが形成されている。マニホールド５１は、各チャンネルに共通でＸ方向に延びて形成され、各チャンネルは、各ノズル５５に対応して設けられて液体を貯留する圧力室５３、マニホールド５１と各圧力室５３の一端部５３ａとを連通する絞り部５２、及び各ノズル５５と各圧力室５３の他端部５３ｂとを連通するディセンダ孔５４などの各空間で構成されている。圧力室５３は、上側に開口されて形成されていて、流路ユニット１１に接合される圧電アクチュエータの下面（ここではベース層２４）がこの開口を覆うことで構成されている。   Inside the flow path unit 11, a manifold 51, which is a common storage chamber for temporarily storing liquid, and a plurality of channels that individually connect the manifold 51 and the nozzles 55 are formed. The manifold 51 is formed so as to extend in the X direction in common with each channel, and each channel is provided corresponding to each nozzle 55 to store a liquid, a manifold 51 and one end portion 53a of each pressure chamber 53. And a space such as a throttle hole 52 that communicates with each other and a descender hole 54 that communicates between each nozzle 55 and the other end 53 b of each pressure chamber 53. The pressure chamber 53 is formed to be opened on the upper side, and is configured such that the lower surface (here, the base layer 24) of the piezoelectric actuator joined to the flow path unit 11 covers this opening.

図２に示すように、流路ユニット１１の上面には液体タンク（図示せず）に接続されている液体供給口１７が液体の色別に設けられている。液体タンクから各液体供給口１７に供給された液体は、流路ユニット１１内のマニホールド５１に流入し、絞り部５２を介して圧力室５３に至る。そして、圧力室５３内の液体が、圧電アクチュエータ１２の駆動により吐出圧を受けると、その圧力波はディセンダ孔５４を通じてノズル孔５５近傍の液体にも伝搬し、該ノズル孔５５から液体が吐出されるようになっている。   As shown in FIG. 2, a liquid supply port 17 connected to a liquid tank (not shown) is provided on the upper surface of the flow path unit 11 for each color of liquid. The liquid supplied from the liquid tank to each liquid supply port 17 flows into the manifold 51 in the flow path unit 11 and reaches the pressure chamber 53 via the throttle portion 52. When the liquid in the pressure chamber 53 receives a discharge pressure by driving the piezoelectric actuator 12, the pressure wave propagates to the liquid near the nozzle hole 55 through the descender hole 54, and the liquid is discharged from the nozzle hole 55. It has become so.

［圧電アクチュエータ］
図４は、流路ユニット１１と圧電アクチュエータ１２とが接合された状態でのヘッド本体１５を、図２のIV-IV線（即ち、ノズル列方向に沿った線）で切断したときの構成を示す断面図であり、図５は、圧電アクチュエータ１２の平面図である。 [Piezoelectric actuator]
4 shows a configuration when the head main body 15 in a state where the flow path unit 11 and the piezoelectric actuator 12 are joined is cut along the IV-IV line in FIG. 2 (that is, a line along the nozzle row direction). FIG. 5 is a plan view of the piezoelectric actuator 12.

図３及び図４に示すように、圧電アクチュエータ１２は、流路ユニット１１の上面に積層接合され、流路ユニット１１の上面に開口している圧力室５３を閉塞している。圧電アクチュエータ１２は、流路ユニット１１の平面視外形状よりも小さい矩形状になっていて、流路ユニット１１の液体供給口１７を露出した状態で、圧力室５３が形成された領域を覆う大きさとなっている。この圧電アクチュエータ１２は、圧電材料（例えば、ＰＺＴ）で構成される圧電層２３と、該圧電層２３が上面に積層されると共に流路ユニット１１の上面に接合されるベース層２４（２０μｍ）とを備えており、圧電層２３は更に、上側圧電層２１及び下側圧電層２２の上下二層で構成されている。また、上側圧電層２１の上面には、各圧力室５３に対応して個別電極４２が設けられ、上側圧電層２１と下側圧電層２２との間には、各個別電極４２に対応して（即ち、各圧力室５３に対応して）上側定電位電極４６が設けられている。更に、下側圧電層２２とボトム層２４との間には下側定電位電極４７が設けられている。なお、以下では、圧電アクチュエータ１２を構成する圧電層２３の積層方向を「積層方向Ｚ」という。また、ベース層は圧電材料に限られず、薄厚のステンレス等で形成されていてもよい。   As shown in FIGS. 3 and 4, the piezoelectric actuator 12 is laminated and bonded to the upper surface of the flow path unit 11, and closes the pressure chamber 53 that opens to the upper surface of the flow path unit 11. The piezoelectric actuator 12 has a rectangular shape smaller than the outer shape of the flow path unit 11 in plan view, and covers a region where the pressure chamber 53 is formed in a state where the liquid supply port 17 of the flow path unit 11 is exposed. It has become. The piezoelectric actuator 12 includes a piezoelectric layer 23 made of a piezoelectric material (for example, PZT), a base layer 24 (20 μm) that is laminated on the upper surface and bonded to the upper surface of the flow path unit 11. The piezoelectric layer 23 is further composed of upper and lower two layers of an upper piezoelectric layer 21 and a lower piezoelectric layer 22. An individual electrode 42 is provided on the upper surface of the upper piezoelectric layer 21 corresponding to each pressure chamber 53, and between the upper piezoelectric layer 21 and the lower piezoelectric layer 22, corresponding to each individual electrode 42. An upper constant potential electrode 46 is provided (corresponding to each pressure chamber 53). Further, a lower constant potential electrode 47 is provided between the lower piezoelectric layer 22 and the bottom layer 24. Hereinafter, the stacking direction of the piezoelectric layers 23 constituting the piezoelectric actuator 12 is referred to as “stacking direction Z”. The base layer is not limited to the piezoelectric material, and may be formed of thin stainless steel or the like.

上記各電極のうち、個別電極４２は、後に詳述するように配設された圧力室５３と対向するように、上側圧電層２１の上面に配置されている。各個別電極４２の一部はノズル行方向Ｙに突出しており、この突出部がフレキシブル基板１３の個別電極接続ランド（図示せず）に接続される接続端子となっている。また、個別電極４２は、駆動回路からの駆動パルスにより、高電位（２８Ｖ）と低電位（０Ｖ）とが切替可能となっている。   Among the electrodes, the individual electrode 42 is disposed on the upper surface of the upper piezoelectric layer 21 so as to face a pressure chamber 53 disposed as will be described in detail later. A part of each individual electrode 42 protrudes in the nozzle row direction Y, and this protrusion serves as a connection terminal connected to an individual electrode connection land (not shown) of the flexible substrate 13. The individual electrode 42 can be switched between a high potential (28 V) and a low potential (0 V) by a drive pulse from the drive circuit.

上側定電位電極４６は、下側圧電層２２の上面にてノズル列方向Ｘに沿って並んでおり、そうして形成された上側定電位電極４６の列は、ノズル行方向Ｙに複数並設されている。そのため、上側定電位電極４６と個別電極４２とは積層方向Ｚに重複して設けられている。また、圧電アクチュエータ１２に具備される全ての上側定電位電極４６は電気的に接続されており、全ての上側定電位電極４６に対して共通電位（たとえば、２８Ｖ）が付与されるようになっている。   The upper constant potential electrodes 46 are arranged along the nozzle column direction X on the upper surface of the lower piezoelectric layer 22, and a plurality of columns of the upper constant potential electrodes 46 formed in this manner are arranged in parallel in the nozzle row direction Y. Has been. Therefore, the upper constant potential electrode 46 and the individual electrode 42 are provided overlapping in the stacking direction Z. Further, all the upper constant potential electrodes 46 included in the piezoelectric actuator 12 are electrically connected, and a common potential (for example, 28 V) is applied to all the upper constant potential electrodes 46. Yes.

下側定電位電極４７は、ノズル列方向Ｘに沿って並ぶ圧力室５３に共通の電極となるように、ノズル列方向Ｘに沿って延びる帯状に形成されており、下側定電位電極４７と上側定電位電極４６と個別電極４２とは積層方向Ｚに重複している。圧電アクチュエータ１２に具備される全ての下側定電位電極４７は電気的に接続されており、全ての下側定電位電極４７に対して共通電位（たとえば、０Ｖ）が付与されるようになっている。   The lower constant potential electrode 47 is formed in a strip shape extending along the nozzle row direction X so as to be a common electrode for the pressure chambers 53 arranged along the nozzle row direction X. The upper constant potential electrode 46 and the individual electrode 42 overlap in the stacking direction Z. All the lower constant potential electrodes 47 provided in the piezoelectric actuator 12 are electrically connected, and a common potential (for example, 0 V) is applied to all the lower constant potential electrodes 47. Yes.

ここで、図４の断面図に示すように、上側定電位電極４６のノズル列方向Ｘの寸法は、個別電極４２のノズル列方向Ｘの寸法よりも小さく、且つ、積層方向Ｚに沿って見ると、上側定電位電極４６は個別電極４２のノズル列方向Ｘの略中央に配置されている。従って、個別電極４２のノズル列方向Ｘの略中央部分では、個別電極４２と上側定電位電極４６と下側定電位電極４７とが積層方向Ｚに重複している。このように圧電アクチュエータ１２において個別電極４２と上側定電位電極４６との間に上側圧電層２１が挟まれている部分を、以下、「第一活性部３６」という。一方、個別電極４２のノズル列方向Ｘの両端部分では、個別電極４２と下側定電位電極４７とが積層方向Ｚに重複しており、これらの電極の間には上側定電位電極４６が存在しない。このように圧電アクチュエータ１２において個別電極４２のノズル列方向Ｘの両端部分と下側定電位電極４７との間に上側圧電層２１及び下側圧電層２２が挟まれている部分を、以下、「第二活性部３７，３７」という。   Here, as shown in the sectional view of FIG. 4, the dimension of the upper constant potential electrode 46 in the nozzle array direction X is smaller than the dimension of the individual electrode 42 in the nozzle array direction X and is viewed along the stacking direction Z. The upper constant potential electrode 46 is arranged at the approximate center of the individual electrode 42 in the nozzle row direction X. Therefore, the individual electrode 42, the upper constant potential electrode 46, and the lower constant potential electrode 47 overlap in the stacking direction Z at a substantially central portion of the individual electrode 42 in the nozzle row direction X. The portion where the upper piezoelectric layer 21 is sandwiched between the individual electrode 42 and the upper constant potential electrode 46 in the piezoelectric actuator 12 in this manner is hereinafter referred to as a “first active portion 36”. On the other hand, at both ends of the individual electrode 42 in the nozzle row direction X, the individual electrode 42 and the lower constant potential electrode 47 overlap in the stacking direction Z, and the upper constant potential electrode 46 exists between these electrodes. do not do. In this way, in the piezoelectric actuator 12, a portion in which the upper piezoelectric layer 21 and the lower piezoelectric layer 22 are sandwiched between both end portions of the individual electrode 42 in the nozzle row direction X and the lower constant potential electrode 47 is hereinafter referred to as “ It is referred to as a second active part 37, 37 ".

図３及び図４に示すように、上記構成の圧電アクチュエータ１２において、個別電極４２、上側定電位電極４６、下側定電位電極４７、及び個別電極４２と下側定電位電極４７とで挟まれた圧電層２３の部分は、圧力室５３内に液体吐出圧を加えるために各圧力室５３に対応して設けられたエネルギー発生部４０を成し、３種の電極４２、４６、４７によって構成される２種の活性部３６，３７を、液体吐出がなされるとともに、クロストークが抑制されるようにして変位駆動させることができる。このエネルギー発生部４０に駆動信号（駆動電圧）を入力するために、各エネルギー発生部４０に対応して上述した接続端子が設けられている。そして、該接続端子は、ノズル列方向Ｘに延びる一又は複数の列を成して圧電アクチュエータ１２の上面に配置され、該圧電アクチュエータ１２に接合されるフレキシブル基板１３の接続端子に接続され、駆動信号が入力されるようになっている。なお、圧電アクチュエータは、上述の形態に限られることはない。   As shown in FIGS. 3 and 4, in the piezoelectric actuator 12 having the above-described configuration, the individual electrode 42, the upper constant potential electrode 46, the lower constant potential electrode 47, and the individual electrode 42 and the lower constant potential electrode 47 are sandwiched. The portion of the piezoelectric layer 23 constitutes an energy generating section 40 provided corresponding to each pressure chamber 53 in order to apply a liquid discharge pressure in the pressure chamber 53, and is constituted by three types of electrodes 42, 46, 47. The two active portions 36 and 37 to be driven can be displaced and driven so that liquid is discharged and crosstalk is suppressed. In order to input a drive signal (drive voltage) to the energy generator 40, the connection terminals described above are provided corresponding to the energy generators 40. The connection terminals are arranged on one or more rows extending in the nozzle row direction X, arranged on the upper surface of the piezoelectric actuator 12, connected to the connection terminals of the flexible substrate 13 joined to the piezoelectric actuator 12, and driven A signal is input. In addition, a piezoelectric actuator is not restricted to the above-mentioned form.

［圧力室のレイアウト（１）］
次に、流路ユニット１１が有する圧力室５３の配置について詳述する。図５は、流路ユニット１１に圧電アクチュエータ１２が接合された状態の平面図であり、流路ユニット１１に形成された同一色に属する圧力室５３の配置を示している。また図５では、流路ユニット１１の下面に配設されたノズル孔５５及び、流路ユニット１１上に接合される圧電アクチュエータ１２についても、説明の便宜から実線で図示している。 [Pressure chamber layout (1)]
Next, the arrangement of the pressure chambers 53 included in the flow path unit 11 will be described in detail. FIG. 5 is a plan view of the state in which the piezoelectric actuator 12 is joined to the flow path unit 11 and shows the arrangement of the pressure chambers 53 belonging to the same color formed in the flow path unit 11. In FIG. 5, the nozzle hole 55 disposed on the lower surface of the flow path unit 11 and the piezoelectric actuator 12 joined to the flow path unit 11 are also shown by solid lines for convenience of explanation.

図５に示すように、流路ユニット１１の下面には複数のノズル孔５５が配設されており、これらのノズル孔５５は、既に説明したように一方向（ノズル列方向Ｘ）に沿って配設されてノズル孔列５５ａ（図５中の二点鎖線で囲んだノズル孔５５の列）を形成しており、更にこのノズル孔列５５ａがノズル行方向Ｙに６列設けられてノズル孔群５５ｂを形成している。そして、各ノズル孔５５は、ノズル列方向Ｘの位置が全て互いに異なっており、隣接する２つのノズル孔列５５ａに着目すると、ノズル孔５５はいわゆる千鳥状にレイアウトされている。   As shown in FIG. 5, a plurality of nozzle holes 55 are provided on the lower surface of the flow path unit 11, and these nozzle holes 55 extend along one direction (nozzle row direction X) as described above. The nozzle hole array 55a (the array of nozzle holes 55 surrounded by a two-dot chain line in FIG. 5) is formed, and further, six nozzle hole arrays 55a are provided in the nozzle row direction Y to form nozzle holes. A group 55b is formed. The positions of the nozzle holes 55 in the nozzle row direction X are all different from each other, and the nozzle holes 55 are laid out in a so-called zigzag pattern when focusing on two adjacent nozzle hole rows 55a.

流路ユニット１１の上面には、上記各ノズル孔５５に連通する圧力室５３が配設されている。即ち、圧力室５３は、ノズル列方向Ｘに沿って配設されて圧力室列５３ａ（図５中の二点鎖線で囲んだ圧力室５３の列）を形成しており、更にこの圧力室列５３ａがノズル行方向Ｙに６列設けられて圧力室群５３ｂを形成している。そして、この圧力室群５３ｂのうち、ノズル列方向Ｘの内方（本実施の形態ではノズル列方向Ｘの中央部）に位置する圧力室５３は第１圧力室８１を成しており、該第１圧力室８１は、ノズル列方向Ｘにおける位置が、対応するノズル孔５５と一致するようにして設けられている（偏倚量ゼロ）。換言すれば、第１圧力室８１は、対応するノズル孔５５と同様にノズル列方向Ｘの位置が互いに全て異なるようにしてレイアウトされていて、ディセンダ５４は、第１圧力室８１の端部５３ｂから積層方向Ｚに垂直下方に延びてノズル孔５５に連通している（偏倚量ゼロ）。   A pressure chamber 53 communicating with each nozzle hole 55 is disposed on the upper surface of the flow path unit 11. That is, the pressure chambers 53 are arranged along the nozzle row direction X to form a pressure chamber row 53a (a row of pressure chambers 53 surrounded by a two-dot chain line in FIG. 5). 53a are provided in six columns in the nozzle row direction Y to form a pressure chamber group 53b. In the pressure chamber group 53b, the pressure chamber 53 positioned inward in the nozzle row direction X (in the present embodiment, the central portion in the nozzle row direction X) forms a first pressure chamber 81, and The first pressure chamber 81 is provided such that the position in the nozzle row direction X coincides with the corresponding nozzle hole 55 (zero deviation amount). In other words, the first pressure chambers 81 are laid out so that the positions in the nozzle row direction X are all different from each other in the same manner as the corresponding nozzle holes 55, and the descender 54 has the end 53 b of the first pressure chamber 81. Extends vertically downward in the stacking direction Z and communicates with the nozzle hole 55 (zero deviation).

また、圧力室群５３ｂのうち、ノズル列方向Ｘの一方の末端部に位置する圧力室５３は第２圧力室８２を成している。この第２圧力室８２は、対応するノズル孔５５の位置から偏倚して、ノズル列方向Ｘにおける位置が第２圧力室８２同士で同一になっており、ノズル行方向Ｙに沿って直線状にレイアウトされている。同様に、ノズル列方向Ｘの他方の末端部に位置する圧力室５３も第２圧力室８２を成しており、ノズル行方向Ｙに沿って直線状にレイアウトされている。これらの第２圧力室８２の端部５３ｂと対応するノズル孔５５とを連通するディセンダ孔５４は、対応するノズル孔５５と第２圧力室８２との位置に合わせて、個別に適宜の斜度を有して構成されている。なお、複数のディセンダ５４は、全体として流路抵抗が合うように流路径などを調整されている。   Further, in the pressure chamber group 53 b, the pressure chamber 53 located at one end portion in the nozzle row direction X forms a second pressure chamber 82. The second pressure chambers 82 are deviated from the positions of the corresponding nozzle holes 55, the positions in the nozzle row direction X are the same in the second pressure chambers 82, and are linear along the nozzle row direction Y. It is laid out. Similarly, the pressure chamber 53 located at the other end portion in the nozzle row direction X also forms the second pressure chamber 82 and is laid out linearly along the nozzle row direction Y. The descender holes 54 that communicate the end portions 53b of the second pressure chambers 82 with the corresponding nozzle holes 55 are individually provided with an appropriate slope according to the positions of the corresponding nozzle holes 55 and the second pressure chambers 82. It is comprised. The plurality of descenders 54 are adjusted in channel diameter and the like so that the channel resistance as a whole matches.

なお、本実施の形態においては、ノズル列方向Ｘの一方（図５の上方）の末端部に位置する６つの第２圧力室８２のうち、ノズル行方向Ｙの一方（図５の左側）の末端部に位置する第２圧力室８２のみ、対応するノズル孔５５の位置に一致させており、ノズル列方向Ｘの位置がこの位置に一致するように、その他の５つの第２圧力室８２が配設されている。以下、これら６つの第２圧力室８２のノズル孔５５に対する偏倚量（ノズル列方向Ｘに位置をずらした量）を平均した値を、「偏倚量Ｌ₂」とする。 In the present embodiment, one of the six second pressure chambers 82 located at one end portion in the nozzle row direction X (upper side in FIG. 5) and one in the nozzle row direction Y (left side in FIG. 5). Only the second pressure chamber 82 located at the end portion is made to coincide with the position of the corresponding nozzle hole 55, and the other five second pressure chambers 82 are arranged so that the position in the nozzle row direction X coincides with this position. It is arranged. Hereinafter, a value obtained by averaging the deviation amounts (amounts of positions displaced in the nozzle row direction X) of the six second pressure chambers 82 with respect to the nozzle holes 55 is referred to as “bias amount L ₂ ”.

また同様に、ノズル列方向Ｘの他方（図５の下方）の末端部に位置する６つの第２圧力室８２のうち、ノズル行方向Ｙの他方（図５の右側）の末端部に位置する第２圧力室８２のみ、対応するノズル孔５５の位置に一致させており、ノズル列方向Ｘの位置がこの位置に一致するように、その他の５つの第２圧力室８２が配設されている。そして、これら６つの第２圧力室８２のノズル孔５５に対する偏倚量の平均値も偏倚量Ｌ₂を有するようになっている。 Similarly, among the six second pressure chambers 82 positioned at the other end in the nozzle row direction X (downward in FIG. 5), the second pressure chamber 82 is positioned at the other end (right side in FIG. 5) in the nozzle row direction Y. Only the second pressure chamber 82 is made to coincide with the position of the corresponding nozzle hole 55, and the other five second pressure chambers 82 are arranged so that the position in the nozzle row direction X coincides with this position. . Then, the average value of the deviation amount with respect to the six nozzle holes 55 of the second pressure chamber 82 is adapted to have a bias amount L _2.

一方、上述した第１圧力室８１と第２圧力室８２との間には、第３圧力室８３が配設されている。この第３圧力室８３は、ノズル列方向Ｘにおける位置が互いに異なると共に、対応するノズル孔５５の位置からも偏倚して設けられている。これらの第３圧力室８３と対応するノズル孔５５とを連通するディセンダ孔５４も、上記第２圧力室８２の場合と同様に、個別に適宜の斜度を有して構成されている。   On the other hand, a third pressure chamber 83 is disposed between the first pressure chamber 81 and the second pressure chamber 82 described above. The third pressure chamber 83 is provided at a position different from each other in the nozzle row direction X and is also deviated from the position of the corresponding nozzle hole 55. The descender holes 54 that communicate with the third pressure chambers 83 and the corresponding nozzle holes 55 are also individually configured with an appropriate inclination, as in the case of the second pressure chamber 82.

また、本実施の形態では、第１圧力室８１に対してノズル列方向Ｘの一方（図５の上方）に位置する第３圧力室８３は、ノズル行方向Ｙの一方（図５の左側）の末端部に位置する第３圧力室８３のみ、対応するノズル孔５５の位置に一致させており、その他の第３圧力室８３は、対応するノズル孔５５の位置から偏倚させている。以下では、これら一群の第３圧力室８３のうち、各圧力室列５３ｂにおいてノズル列方向Ｘの一方（図５の上方）からＮ番目（Ｎ＝１〜ｎ）に位置する第３圧力室８３のノズル孔５５に対する偏倚量を平均した値を「偏倚量Ｌ_3N」とする。 In the present embodiment, the third pressure chamber 83 located on one side in the nozzle row direction X (upward in FIG. 5) with respect to the first pressure chamber 81 is on the one side in the nozzle row direction Y (left side in FIG. 5). Only the third pressure chamber 83 located at the end of the nozzle is made to coincide with the position of the corresponding nozzle hole 55, and the other third pressure chambers 83 are deviated from the position of the corresponding nozzle hole 55. In the following, among the group of third pressure chambers 83, the third pressure chamber 83 located Nth (N = 1 to n) from one side (upper side in FIG. 5) in the nozzle row direction X in each pressure chamber row 53b. A value obtained by averaging the deviation amounts with respect to the nozzle holes 55 is defined as “a deviation amount L _3N ”.

同様に、第１圧力室８１に対してノズル列方向Ｘの他方（図５の下方）に位置する第３圧力室８３は、ノズル行方向の他方（図５の右側）の末端部に位置する第３圧力室８３のみ、対応するノズル孔５５の位置に一致させており、その他の第３圧力室８３は、対応するノズル孔５５の位置から偏倚させている。そして、これらの一群の第３圧力室８３についても、各圧力室列５３ｂにおいてノズル列方向Ｘの他方（図５の下方）からＮ番目（Ｎ＝１〜ｎ）に位置する第３圧力室８３のノズル孔５５に対する偏倚量の平均値は、偏倚量Ｌ_3Nを有するようになっている。 Similarly, the third pressure chamber 83 located on the other side in the nozzle row direction X (lower side in FIG. 5) with respect to the first pressure chamber 81 is located on the other end in the nozzle row direction (right side in FIG. 5). Only the third pressure chamber 83 is made to coincide with the position of the corresponding nozzle hole 55, and the other third pressure chambers 83 are deviated from the position of the corresponding nozzle hole 55. The third pressure chambers 83 of these groups are also located Nth (N = 1 to n) from the other in the nozzle row direction X (downward in FIG. 5) in each pressure chamber row 53b. The average deviation amount with respect to the nozzle hole 55 has a deviation amount L _3N .

ここで、上述したような圧力室５３において、第３圧力室８３の偏倚量Ｌ_3Nは、第２圧力室８２の偏倚量Ｌ₂よりも小さくなっている。更に、一群の第３圧力室８３について言えば、その偏倚量Ｌ_3Nは、第２圧力室８２側から第１圧力室８１側へ向かうに従って小さくなっている。換言すれば、第３圧力室８３は、第１圧力室８１に近接するほど、その偏倚量Ｌ_3Nは第１圧力室８１の偏倚量（ゼロ）に近い小さい値となり、第２圧力室８２に近接するほど、その偏倚量Ｌ_3Nは第２圧力室８２の偏倚量Ｌ₂に近い大きい値となり、Ｌ_3N＜Ｌ_3N-1という関係になっている。一方、圧電アクチュエータ１２が有するエネルギー発生部４０は、上述した圧力室５３（第１圧力室８１，第２圧力室８２，第３圧力室８３）に対応してこれと同一レイアウトで配設されている。 Here, in the pressure chamber 53 as described above, the deviation amount L _3N of the third pressure chamber 83 is smaller than the deviation amount L ₂ of the second pressure chamber 82. Further, regarding the group of third pressure chambers 83, the amount of deviation L _3N decreases from the second pressure chamber 82 side toward the first pressure chamber 81 side. In other words, the closer the third pressure chamber 83 is to the first pressure chamber 81, the smaller the deviation amount L _3N becomes closer to the deviation amount (zero) of the first pressure chamber 81, and the second pressure chamber 82 the more close, the bias amount L _3N becomes a large value close to the offset amount L ₂ of the second pressure chamber 82, have a relationship of L _3N <L _3N-1. On the other hand, the energy generating unit 40 of the piezoelectric actuator 12 is disposed in the same layout as the pressure chamber 53 (first pressure chamber 81, second pressure chamber 82, third pressure chamber 83) described above. Yes.

以上に説明したような液体吐出ヘッド２の流路ユニット１１によると、圧力室群５３ｂの周縁部に位置する圧力室５３、即ち、ノズル行方向Ｙの両端に位置する圧力室５３がノズル行方向Ｙに沿った直線状に配設され、ノズル列方向Ｘの両端に位置する圧力室５３（第２圧力室８２）はノズル列方向Ｘに沿った直線状に配設されている。従って、圧力室群５３ｂの外周囲に、均一の幅寸法を有する接着代を設けることができる。   According to the flow path unit 11 of the liquid discharge head 2 as described above, the pressure chambers 53 located at the peripheral edge of the pressure chamber group 53b, that is, the pressure chambers 53 located at both ends in the nozzle row direction Y are in the nozzle row direction. The pressure chambers 53 (second pressure chambers 82) arranged in a straight line along Y and located at both ends in the nozzle row direction X are arranged in a straight line along the nozzle row direction X. Therefore, a bonding margin having a uniform width dimension can be provided on the outer periphery of the pressure chamber group 53b.

また、このように形成された流路ユニット１１の上には各圧力室５３に対応した位置に第一活性部３６及び第二活性部３７を有する圧電アクチュエータ１２が接着接合される。そのため、圧力室プレートに対して圧電アクチュエータ１２のノズル列方向Ｘの両端に位置する接着代Ｌａを、ノズル行方向Ｙに沿って直線状で均一の幅寸法を有するようにすることができる。このとき、接着代Ｌａが、圧電アクチュエータ１２と流路ユニット１１との接着に必要最小限の接着代寸法となっているため、そこに塗布される接着剤量を必要最小限の量で均一にさせることができる。よって、他の通路や外側に漏れ出すことを抑制することができる。   In addition, the piezoelectric actuator 12 having the first active portion 36 and the second active portion 37 is adhesively bonded on the flow path unit 11 formed in this manner at a position corresponding to each pressure chamber 53. Therefore, the bonding margin La positioned at both ends of the piezoelectric actuator 12 in the nozzle row direction X with respect to the pressure chamber plate can be linear along the nozzle row direction Y and have a uniform width dimension. At this time, since the bonding allowance La is the minimum bond allowance necessary for bonding the piezoelectric actuator 12 and the flow path unit 11, the amount of the adhesive applied thereto is uniformly made the minimum necessary amount. Can be made. Therefore, it is possible to suppress leakage to other passages and the outside.

また、圧電アクチュエータ１２の外形状が図７に示す従来の構成のものと同じであった場合、ノズル列方向Ｘの両端側の接着代を必要最小限のＬａとして均一化することで、圧電アクチュエータ１２の表面全体面積のうち、圧力室５３（又は活性部３６，３７）を設けることのできる領域が、図７の構成の場合と比べて広くなる。従って、各圧力室間（各活性部間）の距離を広くすることができるため、クロストークを抑制する効果が得られる。また、圧電アクチュエータ１２の大きさを変えることができる場合においては、接着代を最小限のＬａとすることで、図７に示す従来構成の圧電アクチュエータを例にすれば、ノズル列方向Ｘの片側外形寸法を（Ｌｂ−Ｌａ）寸法分だけ短くすることができ、両側ではその２倍分の外形寸法を小さくすることができ、小型化に寄与することができる。   Further, when the outer shape of the piezoelectric actuator 12 is the same as that of the conventional configuration shown in FIG. 7, the piezoelectric actuator is obtained by uniformizing the bonding allowance at both ends in the nozzle row direction X as the minimum required La. Of the entire surface area of 12, the area where the pressure chamber 53 (or active part 36, 37) can be provided is wider than in the case of the configuration of FIG. Therefore, since the distance between the pressure chambers (between the active portions) can be increased, an effect of suppressing crosstalk can be obtained. Further, in the case where the size of the piezoelectric actuator 12 can be changed, the adhesive allowance is set to a minimum La, and the piezoelectric actuator having the conventional configuration shown in FIG. The outer dimension can be shortened by the dimension (Lb-La), and the outer dimension can be reduced by two times on both sides, which contributes to miniaturization.

また、ノズル列方向Ｘの端部に位置する複数行の圧力室５３に対して偏倚量をＬ₂として各行の圧力室５３をノズル行方向Ｙに沿った直線状に設けるのではなく、接着代の幅を均一化するためにノズル行方向Ｘの両端に位置する一行分の圧力室５３のみを偏倚量Ｌ₂の第２圧力室８２とし、その他の圧力室５３は、偏倚量が徐々に小さくなる第３圧力室８３及び偏倚量ゼロの第１圧力室８１としている。これにより、単に全圧力室５３を格子状に配設した場合のように、各圧力室間（各活性部間）の距離が狭くなって、流路ユニット及び圧電アクチュエータの製造において不良が生じやすくなったり、クロストークが起こりやすくインク吐出特性への影響が大きくなったりするといった事態が、本実施の形態に係る構成では改善されるようになっている。また、このような事態を回避するために圧力室間の距離を広くして、流路ユニットおよび圧電アクチュエータ全体の寸法を大型化させることもない。また、偏倚量Ｌ２から徐々に小さくした偏倚量Ｌ３を介して偏倚量ゼロとしていることで、圧力室５３，５３間距離が部分的に広くなるところがないため、部分的にクロストークの影響が大きくなるところがない
また、中央部分に設けられた第１圧力室８１は、対応するノズル孔５５の位置に一致してレイアウトされているため、これらの圧力室５３ではディセンダ孔５４（図３参照）の形状を共通化でき、その液体通流特性の均一化を図ることができる。 In addition, instead of providing the pressure chambers 53 in each row in a straight line along the nozzle row direction Y with a deviation amount L ₂ with respect to the plurality of rows of pressure chambers 53 positioned at the end in the nozzle row direction X, an adhesion margin is provided. In order to make the width of the nozzles uniform, only the pressure chambers 53 for one row located at both ends in the nozzle row direction X are used as the second pressure chambers 82 of the deviation amount L ₂ , and the deviation amounts of the other pressure chambers 53 are gradually reduced. The third pressure chamber 83 and the first pressure chamber 81 with zero deviation are formed. As a result, as in the case where all the pressure chambers 53 are simply arranged in a lattice shape, the distance between the pressure chambers (between the active portions) becomes narrow, and defects are likely to occur in the manufacture of the flow path unit and the piezoelectric actuator. In the configuration according to the present embodiment, such a situation that the crosstalk is likely to occur or the influence on the ink ejection characteristics becomes large is improved. Further, in order to avoid such a situation, the distance between the pressure chambers is increased, and the overall dimensions of the flow path unit and the piezoelectric actuator are not increased. Further, since the deviation amount is made zero through the deviation amount L3 that is gradually reduced from the deviation amount L2, there is no place where the distance between the pressure chambers 53 and 53 is partially increased, so that the influence of the crosstalk is partially increased. In addition, since the first pressure chambers 81 provided in the central portion are laid out so as to coincide with the positions of the corresponding nozzle holes 55, the descender holes 54 (see FIG. 3) of these pressure chambers 53 are not provided. The shape can be made common and the liquid flow characteristics can be made uniform.

なお、図５では第２圧力室５３として、ノズル行方向Ｙに沿って一行のみを設けた構成を例示したが、これに限られず、２行以上の複数行を設けるようにしてもよい。また、ノズル列方向Ｘの一方側の第２圧力室５３と他方側の第２圧力室５３とで、行数を互いに異ならせてもよい。第３圧力室８３についても、第１圧力室８１に対してノズル列方向Ｘの一方側に位置するものの個数と他方側に位置するものの個数とを互いに異ならせてもよい。   5 illustrates the configuration in which only one row is provided along the nozzle row direction Y as the second pressure chamber 53, the present invention is not limited thereto, and a plurality of rows of two or more rows may be provided. The number of rows may be different between the second pressure chamber 53 on one side in the nozzle row direction X and the second pressure chamber 53 on the other side. Also for the third pressure chamber 83, the number of ones located on one side in the nozzle row direction X with respect to the first pressure chamber 81 may be different from the number of those located on the other side.

更に、図５では、各圧力室列５３ｂにおいてノズル列方向Ｘの一方又は他方からＮ番目に位置する第３圧力室８３のノズル孔５５に対する偏倚量を平均した値を「偏倚量Ｌ_3N」とし、且つ「Ｌ_3N＜Ｌ_3N-1」という関係が成立するように構成したが、これについてもこの構成に限定されない。例えば、Ｎの値に関わらないで、第３圧力室８３の偏倚量Ｌ３が、０＜Ｌ₃＜Ｌ₂の関係を有するように構成してもよい。 Further, in FIG. 5, a value obtained by averaging the deviation amounts with respect to the nozzle holes 55 of the third pressure chamber 83 located Nth from one or the other in the nozzle row direction X in each pressure chamber row 53b is referred to as “bias amount L _3N ”. In addition, the relationship of “L _3N <L _3N-1 ” is established, but this is not limited to this configuration. For example, the deviation amount L3 of the third pressure chamber 83 may be configured to have a relationship of 0 <L ₃ <L ₂ regardless of the value of N.

［圧力室のレイアウト（２）］
図６は、流路ユニット１１の平面図であり、流路ユニット１１に形成された同一色に属する圧力室５３の他の配置を示している。図６に示す圧力室５３は、図５に示したものから第３圧力室８３を除外した構成となっており、第１圧力室８１と第２圧力室８２とが隣接して配設されている。そして、この流路ユニット１１に接合接着される圧電アクチュエータ１２が有するエネルギー発生部４０は、上述した圧力室５３（第１圧力室８１，第２圧力室８２）に対応してこれと同一レイアウトで配設されている。なお、その他の構成については、図５を用いて既に説明した内容と同じであるため、ここでの詳説は省略する。 [Pressure chamber layout (2)]
FIG. 6 is a plan view of the flow path unit 11 and shows another arrangement of the pressure chambers 53 belonging to the same color formed in the flow path unit 11. The pressure chamber 53 shown in FIG. 6 has a configuration in which the third pressure chamber 83 is excluded from that shown in FIG. 5, and the first pressure chamber 81 and the second pressure chamber 82 are disposed adjacent to each other. Yes. The energy generating unit 40 of the piezoelectric actuator 12 bonded and bonded to the flow path unit 11 corresponds to the pressure chamber 53 (the first pressure chamber 81 and the second pressure chamber 82) described above and has the same layout. It is arranged. Other configurations are the same as those already described with reference to FIG. 5, and thus detailed description thereof is omitted here.

このような液体吐出ヘッド２の流路ユニット１１においても、容易に理解されるように、圧力室群５３ｂの外周囲に均一の幅寸法を有する接着代を設けることができる。また、第１圧力室８１に対応するディセンダ孔５４（図３参照）の形状を共通化でき、液体通流特性の均一化を図ることができる。また、このような第１圧力室８１の個数が圧力室５３全体に占める割合が多いため、流路ユニット１１全体を見ても、各ディセンダ孔５４での液体通流特性のより一層の均一化を図ることができる。更に、ノズル孔５５に対して偏倚させる圧力室５３が第２圧力室８２のみであるため、個別に傾斜させたディセンダ孔５４を形成する工程を簡略化することができる。   Also in the flow path unit 11 of the liquid discharge head 2, as can be easily understood, an adhesive margin having a uniform width dimension can be provided around the outer periphery of the pressure chamber group 53 b. Further, the shape of the descender hole 54 (see FIG. 3) corresponding to the first pressure chamber 81 can be made common, and the liquid flow characteristics can be made uniform. In addition, since the number of the first pressure chambers 81 occupies the entire pressure chamber 53, the liquid flow characteristics in the descender holes 54 can be made more uniform even when the entire flow path unit 11 is viewed. Can be achieved. Further, since the pressure chamber 53 that is biased with respect to the nozzle hole 55 is only the second pressure chamber 82, the process of forming the descender hole 54 that is individually inclined can be simplified.

また、図５及び図６に示した流路ユニット１１では、同一色に属する圧力室５３の対応するノズル孔５５からの偏倚量が、ノズル列方向Ｘの中央部を基準にして対称的になるようにレイアウトされている。そして、流路ユニット１１に接合される圧電アクチュエータ１２は、このような圧力室５３のレイアウトに整合するように、各電極４２，４６，４７がノズル列方向Ｘの中央部を基準にして対称的になるようにレイアウトされる。一方、図１に示すように、本実施の形態に係るフレキシブル基板１３は、圧電アクチュエータ１２との接合領域を挟むようにしてノズル列方向Ｘの両端部に駆動回路６６，６６が設けられ、この２つの駆動回路６６から個別電極４２へ駆動信号が入力される。また、フレキシブル基板１３の両端部から高電位バイアス線及び低電位バイアス線が延設され、圧電アクチュエータ１２の上側定電位電極４６及び下側定電位電極４７の夫々に一定の電位をバイアスする。   Further, in the flow path unit 11 shown in FIGS. 5 and 6, the amount of deviation from the corresponding nozzle hole 55 of the pressure chamber 53 belonging to the same color is symmetric with respect to the central portion in the nozzle row direction X. Is laid out. In the piezoelectric actuator 12 joined to the flow path unit 11, the electrodes 42, 46, and 47 are symmetrical with respect to the central portion in the nozzle row direction X so as to match the layout of the pressure chamber 53. Is laid out. On the other hand, as shown in FIG. 1, the flexible substrate 13 according to the present embodiment is provided with drive circuits 66 and 66 at both ends in the nozzle row direction X so as to sandwich the joining region with the piezoelectric actuator 12. A drive signal is input from the drive circuit 66 to the individual electrode 42. Further, a high potential bias line and a low potential bias line are extended from both ends of the flexible substrate 13 to bias a constant potential to each of the upper constant potential electrode 46 and the lower constant potential electrode 47 of the piezoelectric actuator 12.

このように、流路ユニット１１，圧電アクチュエータ１２，フレキシブル基板１３の何れもが、ノズル列方向Ｘの中央部を基準にして対称的な構成となっている。従って、フレキシブル基板１３を流れる信号の電圧降下の影響を低減することができ、圧電アクチュエータ１２の各活性部４０の動作を均一化することができ、最終的に流路ユニット１１の各ノズル孔５５からの液体の吐出特性の均一化を図ることができる。   Thus, all of the flow path unit 11, the piezoelectric actuator 12, and the flexible substrate 13 have a symmetric configuration with respect to the central portion in the nozzle row direction X. Therefore, the influence of the voltage drop of the signal flowing through the flexible substrate 13 can be reduced, the operation of each active portion 40 of the piezoelectric actuator 12 can be made uniform, and finally each nozzle hole 55 of the flow path unit 11. Therefore, it is possible to make the discharge characteristics of the liquid uniform.

なお、図５及び図６に示した流路ユニット１１に接合される圧電アクチュエータは、何れも図３及び図４を用いて説明した圧電アクチュエータ１２のみに限定されるものではない。例えば、圧力室５３に個別に対応して変位する駆動電位が付与される個別電極と、全ての圧力室５３に対して共通の低電位が付与される共通電極とを、交互に複数積層させ、且つ、隣接する個別電極及び共通電極の間に圧電層を挟んで構成された圧電アクチュエータと接合するようにしてもよい。このような圧電アクチュエータとしては、例えば特開２００８−１９５０４７号公報（図４）などに開示され、公知となっているため、ここではその構成についての詳細な説明は省略する。   Note that the piezoelectric actuator joined to the flow path unit 11 shown in FIGS. 5 and 6 is not limited to the piezoelectric actuator 12 described with reference to FIGS. 3 and 4. For example, a plurality of individual electrodes to which a driving potential that is individually displaced corresponding to the pressure chambers 53 is applied and a common electrode to which a common low potential is applied to all the pressure chambers 53 are alternately stacked. Further, it may be joined to a piezoelectric actuator configured by sandwiching a piezoelectric layer between adjacent individual electrodes and a common electrode. Such a piezoelectric actuator is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-195047 (FIG. 4) and the like, and is well known. Therefore, detailed description of the configuration is omitted here.

本発明は、インク吐出特性への影響を少なくしつつ、圧力室プレートに対する接着代幅の均一化を図り、小型化することのできる液体吐出ヘッドの流路ユニット及びこれを備える液体吐出ヘッドに適用することができる。   The present invention is applied to a liquid discharge head channel unit and a liquid discharge head including the same, which can reduce the size of the pressure chamber plate while reducing the influence on the ink discharge characteristics and uniformizing the margin of adhesion to the pressure chamber plate. can do.

２ 液体吐出ヘッド
１１ 流路ユニット
１２ 圧電アクチュエータ
１３ フレキシブル基板
５３ 圧力室
５３ａ 圧力室列
５３ｂ 圧力室群
５５ ノズル孔
５５ａ ノズル孔列
５５ｂ ノズル孔群
８１ 第１圧力室
８２ 第２圧力室
８３ 第３圧力室
１００ 液体吐出装置 2 Liquid discharge head 11 Flow path unit 12 Piezoelectric actuator 13 Flexible substrate 53 Pressure chamber 53a Pressure chamber row 53b Pressure chamber group 55 Nozzle hole 55a Nozzle hole row 55b Nozzle hole group 81 First pressure chamber 82 Second pressure chamber 83 Third pressure Chamber 100 Liquid discharge device

Claims (4)

複数のノズル孔とこれに対応する複数の圧力室とがそれぞれ液体流路を通じて連通する液体吐出ヘッドの流路ユニットであって、
前記ノズル孔を一方向に沿って配設して成るノズル孔列が複数並設されてノズル孔群が形成されており、該ノズル孔群内の各ノズル孔は、前記一方向における位置が互いに異なっており、
前記圧力室は、前記一方向に沿って配設されて圧力室列を形成すると共に、該圧力室列は複数並設されて圧力室群を形成しており、
該圧力室群の前記一方向の内方に位置する圧力室である第１圧力室は、前記ノズル孔の位置に対応して前記一方向における位置が互いに異なっている一方、
前記圧力室群の前記一方向の末端部に位置する圧力室である第２圧力室は、前記ノズル孔に対応する位置から偏倚させて、前記一方向における位置が前記第２圧力室同士で同一になっており、前記圧力室列に直交する方向に沿って直線状に配設されていることを特徴とする液体吐出ヘッドの流路ユニット。 A plurality of nozzle holes and a plurality of pressure chambers corresponding to the plurality of nozzle holes, each of which is a flow path unit of a liquid discharge head that communicates through a liquid flow path;
A plurality of nozzle hole arrays formed by arranging the nozzle holes along one direction are arranged side by side to form a nozzle hole group, and the positions of the nozzle holes in the nozzle hole group are mutually in the one direction. Is different,
The pressure chambers are arranged along the one direction to form a pressure chamber row, and a plurality of the pressure chamber rows are arranged in parallel to form a pressure chamber group.
The first pressure chamber, which is a pressure chamber located inward in the one direction of the pressure chamber group, is different from each other in the one direction corresponding to the position of the nozzle hole,
The second pressure chamber, which is a pressure chamber located at the end in one direction of the pressure chamber group, is deviated from the position corresponding to the nozzle hole, and the position in the one direction is the same between the second pressure chambers. The flow path unit of the liquid ejection head is arranged in a straight line along a direction orthogonal to the pressure chamber row. 前記第１圧力室と前記第２圧力室との間には、前記一方向における位置が互いに異なり、且つ前記ノズル孔に対応する位置からも異なるように設けられた圧力室である第３圧力室が配設され、
該第３圧力室とこれに対応する前記ノズル孔との偏倚量は、前記第２圧力室とこれに対応する前記ノズル孔との偏倚量よりも小さく、且つ前記第２圧力室側から前記第１圧力室側へ向かうに従って小さくなっていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの流路ユニット。 A third pressure chamber which is a pressure chamber provided between the first pressure chamber and the second pressure chamber so that positions in the one direction are different from each other and also from positions corresponding to the nozzle holes. Is arranged,
The amount of deviation between the third pressure chamber and the nozzle hole corresponding thereto is smaller than the amount of deviation between the second pressure chamber and the nozzle hole corresponding thereto, and the second pressure chamber side from the second pressure chamber side. The flow path unit of the liquid discharge head according to claim 1, wherein the flow path unit becomes smaller toward the one pressure chamber side. 同一の前記圧力室列を形成する前記第１圧力室と前記第２圧力室とが隣接して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの流路ユニット。   2. The flow path unit of the liquid ejection head according to claim 1, wherein the first pressure chamber and the second pressure chamber forming the same pressure chamber row are provided adjacent to each other. 請求項１乃至３の何れかに記載の流路ユニットと該流路ユニットに接合接着される圧電アクチュエータとを備える液体吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータは、前記流路ユニットが有する圧力室内の液体に吐出圧力を付与すべく変位駆動する活性部を、各圧力室に対して個別に有しており、該活性部は、前記各圧力室に対応して該圧力室と同一レイアウトで配設されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 A liquid discharge head comprising the flow path unit according to claim 1 and a piezoelectric actuator bonded and bonded to the flow path unit,
Each of the piezoelectric actuators has an active part for each pressure chamber that is displaced to apply a discharge pressure to the liquid in the pressure chamber of the flow path unit. A liquid ejection head, wherein the liquid ejection head is disposed in the same layout as the pressure chamber corresponding to the chamber.

Images