JP2010221076A - Device for removing foreign matter, method of removing foreign matter and sheet-like material - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シート状物の製造又は加工ラインに沿って設けられ、シート状物表面の異物をインラインでも除去できる異物除去装置、異物除去方法およびこれらにより異物が除去されたシート状物に関する。 The present invention relates to a foreign matter removing apparatus, a foreign matter removing method, and a sheet-like product from which foreign matter has been removed, which are provided along a manufacturing or processing line for a sheet-like product and can remove foreign matter on the surface of the sheet-like product even in-line.
近年、高分子フィルムに対する品質要求が厳しくなりつつあり、フィルム上の異物に対する要求規格も年々高まっている。そのため、高分子フィルムに代表されるシート状物の製造工程おいては、シート状物表面の塵埃等の異物の除去が一般的に行なわれている。 In recent years, quality requirements for polymer films are becoming stricter, and requirements for foreign substances on the film are increasing year by year. For this reason, in the manufacturing process of a sheet-like material represented by a polymer film, foreign matters such as dust on the surface of the sheet-like material are generally removed.
従来、シート状物表面の異物を除去する手段として、帯電除去手段によって静電気を除去したシート状物上に、一定間隔を空けて設置したエアー吹き付け手段によって圧縮エアーをシート状物に吹き付け、エアー吹き付け手段近傍に配置された吸引手段によって異物を除去する方法および装置が提案されている。この方法によれば、シート状物表面に付着している異物は除去可能であるが、ニップロール通過等によりシート状物にめり込んだ異物や、一部がシート状物と固着している異物は除去できないという問題点があった。 Conventionally, as a means for removing foreign matter on the surface of a sheet-like material, compressed air is blown onto the sheet-like material by air blowing means installed at regular intervals on the sheet-like material from which static electricity has been removed by a charge removing means. There has been proposed a method and apparatus for removing foreign matter by suction means arranged in the vicinity of the means. According to this method, foreign matter adhering to the surface of the sheet-like material can be removed, but foreign matter that has entered the sheet-like material by passing through a nip roll or a part of the foreign matter that is fixed to the sheet-like material is removed. There was a problem that it was not possible.
これに対し、回転するブラシを走行中のシート状物表面に接触させて異物を表面から離脱させ、吸引設備により捕集する方法も知られているが、この方法ではブラシがシート状物表面に傷や損傷を与えるおそれがあった。 On the other hand, a method is also known in which a rotating brush is brought into contact with the surface of a running sheet-like object to remove foreign matter from the surface and collected by a suction facility. There was a risk of scratching or damage.
上記問題点を解決する手段として、粘着ゴムロールをシート状物に接触させて異物を粘着ゴムに転写させる方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、シート状物と粘着ゴムロールの接触の際、シート状物は凹状に湾曲しながら粘着ロールに接触するため、異物と粘着ロールの接触面積が小さくなり、結果的に数十ミクロンサイズの微小な異物は完全に除去できないという問題点があった。これに対して、工程のガイドロールを通過中のシート状物に粘着ゴムロールを押し当て、シート状物をガイドロールと粘着ゴムロールで挟むことで異物を粘着ゴムロールに押圧・転写する方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。しかし、この方法ではガイドロール側の面に異物が存在した場合、異物をかえってシート状物に押し込むこととなる上、粘着ロールに予め蓄積していた異物もシート状物に押し付けられるため、結果的にシート状物に傷や打痕を残すケースがあった。 As means for solving the above problems, there is known a method in which an adhesive rubber roll is brought into contact with a sheet-like material to transfer foreign matter to the adhesive rubber (for example, see Patent Document 1). However, when the sheet-like material and the adhesive rubber roll are in contact with each other, the sheet-like material comes into contact with the adhesive roll while curving in a concave shape, so that the contact area between the foreign matter and the adhesive roll is reduced, resulting in a minute size of several tens of microns. There was a problem that foreign matters could not be completely removed. On the other hand, a method has been proposed in which an adhesive rubber roll is pressed against a sheet-like material that is passing through a guide roll in the process, and a foreign material is pressed and transferred to the adhesive rubber roll by sandwiching the sheet-like material between the guide roll and the adhesive rubber roll. (For example, refer to Patent Document 2). However, in this method, when foreign matter exists on the surface on the guide roll side, the foreign matter is changed and pushed into the sheet-like material, and the foreign matter accumulated in advance on the adhesive roll is also pushed against the sheet-like material. In some cases, scratches and dents were left on the sheet.
従って、フィルム表面の異物を、フィルムに傷や打痕を残すことなく、除去できる手段の開発・改良が求められている。 Therefore, development and improvement of means capable of removing foreign matters on the film surface without leaving scratches or dents on the film are required.
本発明は、上記事情に鑑み、シート状物表面に付着した異物のほか、シート状物表面にめり込んだ異物や、一部がシート状物と固着している異物を効果的に除去できる異物除去装置、異物除去方法、および異物が除去されたシート状物を提供することを目的とする。 In view of the above circumstances, the present invention eliminates foreign matter adhering to the surface of the sheet-like material, foreign matter that has been indented on the surface of the sheet-like material, and foreign matter that is partly fixed to the sheet-like material. An object is to provide an apparatus, a foreign matter removing method, and a sheet-like material from which foreign matter has been removed.
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、シート状物表面の異物を除去するにあたり、エアーによってシート状物を部分的に湾曲させ、エアー衝突面の反対面側を粘着ゴムロールと接触させることで、シート状物に打痕や傷を残すことなく、表面の異物を確実に除去する手法を見出すことにより、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have partially curved the sheet-like material with air to remove the foreign matter on the surface of the sheet-like material, and set the opposite side of the air collision surface to the adhesive rubber roll. The present invention has been completed by finding a method for reliably removing foreign matter on the surface without leaving dents or scratches on the sheet-like material.
すなわち、本発明の第一は、シート状物の製造又は加工ラインにおける走行経路上において、シート状物の少なくとも一方の面に対して設置され、前記シート状物に対してエアーを吹き付け可能なエアー吹き付け手段と、エアー吹き付け手段から吹き付けられたエアーがシート状物表面で反射する方向を覆うように配置された吸引手段と、シート状物のエアー吹き付け手段設置面の反対面側に配置された粘着ロールとを有するシート状物表面の異物除去装置であって、前記粘着ロールはシート状物と間隔を空けて設置され、前記エアー吹き付け手段からエアーが吹き付けられてシート状物が粘着ロール設置側に湾曲することにより、シート状物と粘着ロールが接触することを特徴とするシート状物表面の異物除去装置に関する。 That is, the first aspect of the present invention is an air that is installed on at least one surface of the sheet-like material on the travel path in the production or processing line of the sheet-like material, and can blow air on the sheet-like material. Blowing means, suction means arranged so as to cover the direction in which the air blown from the air blowing means reflects on the surface of the sheet-like material, and adhesive arranged on the opposite side of the surface of the sheet-like material on which the air blowing means is installed An apparatus for removing foreign matter on the surface of a sheet-like object having a roll, wherein the adhesive roll is installed at a distance from the sheet-like object, and air is blown from the air blowing means so that the sheet-like object is placed on the adhesive roll installation side. The present invention relates to an apparatus for removing foreign matter on a surface of a sheet-like material, characterized in that the sheet-like material and an adhesive roll come into contact with each other by bending.
好ましい実施態様は、前記シート状物の粘着ロール設置面側において、シート状物の走行方向で粘着ロールの前後に配置されたガイドロールにより、前記エアー吹き付け手段から吹き付けられるエアーの衝突位置での張力を保ちながらシート状物を走行することを特徴とする、前記の異物除去装置に関する。 In a preferred embodiment, the tension at the collision position of the air blown from the air blowing means by the guide rolls arranged before and after the adhesive roll in the running direction of the sheet-like material on the adhesive roll installation surface side of the sheet-like material It is related with the said foreign material removal apparatus characterized by driving | running | working a sheet-like material, maintaining.
好ましい実施態様は、シート状物の少なくとも一方の表面に対し、シート状物の帯電電圧を低減する帯電抑制手段を、シート状物の走行方向の上流側に設置することを特徴とする、前記いずれかの異物除去装置に関する。 A preferred embodiment is characterized in that a charging suppression means for reducing the charging voltage of the sheet-like material is installed on the upstream side in the running direction of the sheet-like material with respect to at least one surface of the sheet-like material. The present invention relates to a foreign matter removing apparatus.
本発明の第二は、前記いずれかに記載の異物除去装置を用いて、走行中のシート状物の異物を除去することを特徴とする異物除去方法に関する。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a foreign matter removing method characterized in that the foreign matter is removed from a sheet-like object while traveling by using the foreign matter removing apparatus according to any one of the above.
本発明の第三は、前記の異物除去方法を用いて異物が除去されたシート状物に関する。 The third of the present invention relates to a sheet-like material from which foreign matter has been removed using the foreign matter removing method.
本発明によれば、シート状物をロールで挟むことなく、粘着ロールとの接触面積を広げながら粘着ロールに異物を押圧することが可能となり、シート状物表面に付着した異物のほか、シート状物表面にめり込んだ異物や、一部がシート状物と固着している異物までも効果的に除去できるため、シート状物表面の異物を、シート状物の品質を損ねることなく、長期間に亘り安定して除去することが可能となる。 According to the present invention, it becomes possible to press foreign matter against the adhesive roll while expanding the contact area with the adhesive roll without sandwiching the sheet-like material between the rolls. Since foreign matter that has intruded into the surface of the object or partly adhered to the sheet-like material can also be effectively removed, foreign matter on the surface of the sheet-like material can be removed for a long time without deteriorating the quality of the sheet-like material. It is possible to remove stably over a long period.
本発明は、シート状物の製造又は加工ラインにおける走行経路上において、シート状物の少なくとも一方の面に対して設置され、前記シート状物に対してエアーを吹き付け可能なエアー吹き付け手段と、エアー吹き付け手段から吹き付けられたエアーがシート状物表面で反射する方向を覆うように配置された吸引手段と、シート状物のエアー吹き付け手段設置面の反対面側に配置された粘着ロールとを有するシート状物表面の異物除去装置であって、前記粘着ロールはシート状物と間隔を空けて設置され、前記エアー吹き付け手段からエアーが吹き付けられてシート状物が粘着ロール設置側に湾曲することにより、シート状物と粘着ロールが接触することを特徴とするシート状物表面の異物除去装置、及び当該装置を用いた異物除去方法に関する。 The present invention provides an air blowing means that is installed on at least one surface of a sheet-like material on a travel route in the production or processing line of the sheet-like material, and that can blow air against the sheet-like material, The sheet | seat which has the suction means arrange | positioned so that the air sprayed from the blowing means may cover the direction reflected on the sheet-like material surface, and the adhesive roll arrange | positioned on the opposite surface side of the air spraying means installation surface of a sheet-like object It is a foreign matter removing device on the surface of the object, wherein the adhesive roll is installed at a distance from the sheet object, the air is blown from the air blowing means, and the sheet object is curved toward the adhesive roll installation side, The present invention relates to an apparatus for removing foreign matter on a surface of a sheet-like material, characterized in that the sheet-like material and an adhesive roll are in contact with each other, and a foreign matter removing method using the device. That.
本発明における「シート状物」とは、面方向に対し厚み方向のスケールが非常に小さい、いわゆるシート状物であって、特に厚みや幅などは限定されるものではない。シート状物として、例えば、フィルム、シート、薄膜、連続紙などが挙げられる。 The “sheet-like material” in the present invention is a so-called sheet-like material having a very small scale in the thickness direction with respect to the surface direction, and the thickness and width are not particularly limited. Examples of the sheet-like material include a film, a sheet, a thin film, and continuous paper.
本発明において、シート状物が「走行中」とは、例えば、シート状物が製造、加工等の生産工程内で連続的に搬送されている状態が挙げられ、特に限定されるものではない。 In the present invention, the “running” of the sheet-like material includes, for example, a state in which the sheet-like material is continuously conveyed in a production process such as manufacturing and processing, and is not particularly limited.
本発明において「異物」とは、例えば、塵、埃、ゴミ、繊維、人毛、微粉、シート状物片などが、シート状物表面に付着している他、シート状物にめり込んだものや一部がシート状物と固着しているものが例示され、シート状物表面に存在するものであれば特に限定されるものではない。ここで、前記「シート状物片」とは、例えば、シート状物のスリット時等に発生する切削屑や破断時に発生する屑のように、その原因を問わずシート状物から発生する異物が挙げられる。シート状物がポリイミドフィルムである場合は、フィルムを把持するためにフィルム端部をピンシートに刺すことが一般的に行なわれているが、この際に発生するフィルム屑なども含まれる。 In the present invention, the term “foreign matter” refers to, for example, dust, dust, dust, fibers, human hair, fine powder, sheet-like material pieces, etc. attached to the surface of the sheet-like material, A part of which is fixed to the sheet-like material is exemplified, and it is not particularly limited as long as it is present on the surface of the sheet-like material. Here, the “sheet-like material piece” means, for example, foreign matter generated from the sheet-like material regardless of the cause, such as cutting waste generated at the time of slitting the sheet-like material or waste generated at the time of breakage. Can be mentioned. In the case where the sheet-like material is a polyimide film, it is generally performed to pierce the end of the film into the pin sheet in order to hold the film, but also includes film scraps generated at this time.
以下、本発明に係る異物除去装置及び異物除去方法に関して、図1、2、3に基づいて説明する。なお、以下の実施形態は本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。 Hereinafter, a foreign matter removing apparatus and a foreign matter removing method according to the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, the following embodiment is an example which actualized this invention, Comprising: The thing of the character which limits the technical scope of this invention is not.
図1は、従来の粘着ロール式異物除去装置の概略構成を示す模式図である。 FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a conventional adhesive roll type foreign matter removing apparatus.
図1中、1はシート状物でありガイドロール2A、2Bを介して矢印Xの方向へ走行している。また、3は粘着ロールであり、シート状物の除塵を行う。
In FIG. 1,
図1では、ガイドロール2A、2B間において、シート状物の張力を利用して粘着ロールを押し当て、シート状物1と粘着ロール3の接触位置において除塵を行う。この時、シート状物は粘着ロールに沿って湾曲し、また粘着ロールが接触する面の反対面においては、外部からの押圧力は無い。そのため、表面の付着した異物は除去可能であるが、一部がフィルム上に埋め込まれているような異物の除去は困難である。
In FIG. 1, the pressure-sensitive adhesive roll is pressed between the
そこで、図2のように、シート状物をガイドロールと粘着ロールで挟み込むことで強力な押圧力を確保し、異物を粘着ロールに押し込む方法も一般的に行われている。図2中、1はシート状物でありガイドロール2を介して矢印Yの方向へ走行している。また、3は粘着ロールであり、ガイドロール2と共に異物を挟みこんでシート状物の除塵を行う。しかし、異物がガイドロール側の面に存在した場合、異物は除去されず、かえってシート状物に異物をめり込ませ、傷や打痕を発生させる要因となっていた。
Therefore, as shown in FIG. 2, a method of securing a strong pressing force by sandwiching a sheet-like material between a guide roll and an adhesive roll and pushing a foreign substance into the adhesive roll is generally performed. In FIG. 2,
これに対し、図3は、本発明に係る異物除去装置及び異物除去方法の概略構成を示す模式図である。 On the other hand, FIG. 3 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the foreign matter removing apparatus and the foreign matter removing method according to the present invention.
図3中、1はシート状物であり、ガイドロール2A、2Bを介して矢印Zの方向へ走行している。ガイドロール2A、2B間には、シート状物1に対してガイドロール2A、2Bと同じ面側に粘着ロール3を配置しており、粘着ロール3はシート状物から一定の間隔を保って設置されている。また、シート状物1において粘着ロール3を配置した反対面側には、エアー吹き付け時にシート状物と粘着ロールが点接触するよう角度をθに調整した、エアーノズル(エアー吹き付け手段)4を設置している。更に、エアーノズル4から吹き付けられたエアーを漏れなく回収するために、エアーの進行方向を覆うように吸引手段5を設置している。
In FIG. 3,
上記構成によれば、エアーノズル4から吹き付けたエアーにより、シート状物1が凸状に湾曲した状態で粘着ロール3と接触する。仮にシート状物1で粘着ロール3設置側の面とは反対面側に異物が存在した場合においても、エアーで異物が飛散して吸引手段5に捕集されるか、あるいはシート状物1の表面に痕を残さない程度に異物を押し付けるに留まる。その結果、表面に打痕や傷を発生させることは無く、シート状物1の表面上に存在する異物を確度高く除去することが可能となる。また、粘着ロール3の前後に配置されたガイドロール2A、2Bがシート状物1に一定の張力を付与するため、エアー吹き付けによって粘着ロール3に接触したシート状物1は、エアー衝突位置を通過後は即座に粘着ロール3から離脱することとなり、シート状物1が粘着ロール3に巻き込まれることは無い。
シート状物1の両面に異物が付着している場合は、図3に示したシート状物1の反対面にも、上述と同様の異物除去装置を設置することが好ましい。
また、本発明においては、シート状物の少なくとも一方の表面に対し、シート状物の製造又は加工ラインにおける上流側に「帯電抑制手段」を設置することで、シート状物表面からの付着異物の離脱を支援し、付着異物の除去効果を高めることも可能である。ここで、帯電抑制手段とは、工程の上流側でシート状物に蓄積した帯電電圧を低減させる手段のことを意味し、帯電電圧をできるだけゼロに近づけることができるものがより好ましいが、この目的を達成できる限り特に制限されるものではない。本発明において用いることのできる帯電抑制手段としては、例えば、シート状物の傷や皺の発生防止の観点から、除電バーやイオナイザーのようにシート状物に非接触で帯電電圧を低減できるものが好ましい。また、帯電抑制手段は少なくとも片面に設置すればよく、これによりシート状物の帯電電圧を±0.2kV以下に抑制することが好ましい。
According to the said structure, the sheet-
When foreign matter adheres to both surfaces of the sheet-
Further, in the present invention, the “charge suppression means” is installed on the upstream side in the production or processing line of the sheet-like material with respect to at least one surface of the sheet-like material, so It is also possible to support the separation and enhance the effect of removing adhered foreign substances. Here, the charging suppression means means means for reducing the charging voltage accumulated in the sheet-like material on the upstream side of the process, and it is more preferable that the charging voltage can be as close to zero as possible. There is no particular limitation as long as the above can be achieved. As the charge suppressing means that can be used in the present invention, for example, from the viewpoint of preventing the occurrence of scratches and wrinkles on the sheet-like material, a device that can reduce the charging voltage without contact with the sheet-like material, such as a static elimination bar or ionizer. preferable. Further, the charging suppression means may be installed on at least one side, and it is preferable to suppress the charging voltage of the sheet-like material to ± 0.2 kV or less.
前記粘着ロール3は材質に特に制限は無いが、ロール回転軸の外側は粘着性とゴム弾性を有する粘着性ゴムであることが好ましい。粘着ロールとしては、例えば金陽社のクリーンタックシリーズなどが使用可能である。
Although there is no restriction | limiting in particular in the material of the said
前記シート状物1と粘着ロール3の間隔は、5mm〜50mmの間で、シート状物の張力や吹き付けエアーの圧力に応じて適宜調整するのが好ましい。間隔が5mmよりも小さい場合は、エアーの吹きつけが無い状態でもシート状物の振動により容易に接触する可能性がある。また、間隔が50mm以上の場合は、シート状物1と粘着ロール3を接触させるために強力な吹き付けエアーが必要であり、シート状物の破断などのトラブルを誘致する可能性がある。また、シート状物1と粘着ロール3はエアー衝突位置での点接触に留まり、粘着ロール3を回転させるほどの摩擦力が発生しない可能性があるため、粘着ロール3は、シート状物1の走行速度と同速度でモーターによって軸部を回転させることが好ましい。更に、粘着ロール3はシート状物1の幅方向全域をカバーする長さのものを設置するのが好ましい。
The interval between the sheet-
前記エアー吹き付け手段は、エアー供給源に接続したエアーノズル4を含むものであればよく、更には除湿機構やクリーンフィルターを介したエアーを供給できるものであればより好ましい。エアーノズル4としては、たとえば株式会社いけうち製のフラット型エアーノズル(TAIFU−JET型)が使用可能である。
The air blowing means only needs to include an
ここで、シート状物1に吹き付けるエアーは特に限定されるものではないが、張力のかかったシート状物を湾曲させる程度の噴出速度が必要であるため、圧縮エアーが好ましい。ここで、エアーの噴出速度が大きすぎる場合、シート状物1が帯電して異物を逆に引き寄せる場合があり、更には皺や破断が発生しシート状物1そのものの品質に悪影響を及ぼす虞がある。そのため、シート状物1の張力や粘着ロール3との接触状況に合わせエアーの圧力を適宜調整する必要があり、好ましくは0.1MPa〜0.6MPaに設定し、さらには0.2MPa〜0.5MPaに設定するのがより好ましい。
Here, the air to be blown onto the sheet-
エアー吹き付け手段から供給されるエアーの角度、すなわちエアーノズル4から吐出されるエアーの延長線とシート状物1がなす角度θは10°以上であることが好ましい。θがゼロに近い場合には、吹き付けエアーがシート状物1とほぼ平行して流れるため、シート状物に衝突してもシート状物1が満足に湾曲しない傾向がある。また、吹き付けたエアーを吸引手段で捕集する場合、シート状物1に衝突したエアーの反射方向を一方向に制御する必要があるため、角度θは10°〜50°であることがより好ましい。
The angle of the air supplied from the air blowing means, that is, the angle θ formed between the extended line of the air discharged from the
また、図3中のエアーノズル4の先端とシート状物1の距離L1が大きいほど、エアーノズル4から噴出されたエアーが減衰・拡散するため、L1を可能な限り小さく設定する方が、シート状物の湾曲具合を緻密に調整できる傾向がある。しかしエアーノズル4の先端とシート状物1が接触するとシート状物1の破断や傷、皺の原因となりうる。従って、L1は50mm以下であることが好ましく、シート状物1が振動した場合でもエアーノズル4の先端と接触しない距離とすることが好ましい。
Also, as the distance L1 between the tip of the
更に、シート状物全面に亘って異物を除去できるように、エアー吹き付け手段はシート状物1の幅方向全域にエアーを吹き付けるように設置するのが好ましい。例えば、フラット型で長尺のエアーノズルを使用してもよく、複数のフラット型エアーノズルをシート状物1の幅方向に対して1列に設置してもよく、また、エアーノズル間のデッドゾーンをカバーするために複数のフラット型エアーノズルを千鳥配置で設置してもよい。
Furthermore, it is preferable that the air blowing means is installed so as to blow air over the entire width direction of the sheet-
前記吸引手段5において、吸引フードの形状および向きは、吹き付けたエアーの飛散方向に併せて適宜決定することができる。すなわち、吸引手段5の吸引フードは、シート状物1に吹き付けたエアーが反射する方向を考慮し、該方向全域を反対側から覆うように設置する。また、エアーで異物が吹き飛ばされた場合に 異物が吸引手段内に飛散する確率を向上させるため、吸引手段5の開口部とシート状物1の距離L2は可能な限り小さくするのが好ましい。しかし、吸引フードがシート状物1に接触するとシート状物1の破断や傷、皺などの原因となるため、L2はシート状物1が振動しても接触しない程度の距離に留める必要がある。従って、例えば、吸引フードはL2が50mm以下になるよう設置することが好ましく、更に好ましくは30mm以下になるよう設置する。
前記吸引手段5は、吸引力が必ずしも強力である必要は無いが、吸引フード内において開口からホース接続部へ向かうエアーの流れが生じている必要がある。従って、吸引手段5の吸引フード開口位置において、フード内部へ向かう風量は3m3/min以上であることが好ましく、また吸引フードの開口面積は吸引ホース接続部の断面積の少なくとも2倍以上の面積を有し、吸引ホース接続部における風速を吸引フードの開口における風速よりも大きくなるよう設定するのが好ましい。一方、風速の上限値としては、本発明の効果を奏する範囲において限定されるものではないが、一般的には10m3/minであればよい。
In the suction means 5, the shape and direction of the suction hood can be appropriately determined in accordance with the direction in which the sprayed air is scattered. That is, the suction hood of the suction means 5 is installed so as to cover the entire direction from the opposite side in consideration of the direction in which the air blown onto the sheet-
The suction means 5 does not necessarily have a strong suction force, but an air flow from the opening to the hose connection portion needs to be generated in the suction hood. Accordingly, the air volume toward the inside of the hood is preferably 3 m 3 / min or more at the suction hood opening position of the suction means 5, and the opening area of the suction hood is at least twice the cross-sectional area of the suction hose connection part It is preferable that the wind speed at the suction hose connection portion is set to be larger than the wind speed at the opening of the suction hood. On the other hand, the upper limit value of the wind speed is not limited within the range where the effects of the present invention are exhibited, but generally it may be 10 m 3 / min.
シート状物の生産工程に於いて、シート状物を乾燥させながら搬送する機構を備えている場合には、塵や埃、繊維、シート状物片等の異物が、乾燥完了前にシート状物に付着し、乾燥を経て異物の一部がシート状物に固着する場合がある。該異物はエアーなど非接触での除去は困難であるため、本発明はこの種の異物に対しても効果を奏することができる。例えば、シート状物がポリイミドフィルムである場合は、テンターを用いて原反に残った溶剤を揮発・乾燥することが一般的に行なわれているが、溶剤が残った状態のポリイミドフィルムは固着した異物が発生しやすいため、本発明はシート状物としてポリイミドフィルムを生産する場合の異物の除去に適している。 In the production process of sheet-like material, if a mechanism is provided to transport the sheet-like material while drying, foreign matter such as dust, dirt, fibers, and sheet-like material particles are removed before drying is completed. In some cases, a part of the foreign matter adheres to the sheet-like material after drying. Since the foreign matter is difficult to remove in a non-contact manner such as air, the present invention can also be effective for this type of foreign matter. For example, when the sheet-like material is a polyimide film, the solvent remaining in the original fabric is generally volatilized and dried using a tenter, but the polyimide film with the solvent remaining adhered. Since foreign matters are easily generated, the present invention is suitable for removing foreign matters when a polyimide film is produced as a sheet-like material.
以上に述べた様に、シート状物の製造又は加工ラインにおける走行経路上において、シート状物の少なくとも一方の面に対して設置され、前記シート状物に対してエアーを吹き付け可能なエアー吹き付け手段と、エアー吹き付け手段から吹き付けられたエアーがシート状物表面で反射する方向を覆うように配置された吸引手段と、シート状物のエアー吹き付け手段設置面の反対面側に配置された粘着ロールとを有するシート状物表面の異物除去装置であって、前記粘着ロールはシート状物と間隔を空けて設置され、前記エアー吹き付け手段からエアーが吹き付けられてシート状物が粘着ロール設置側に湾曲することにより、シート状物と粘着ロールが接触することを特徴とするシート状物表面の異物除去装置を用いることによって、シート状物に打痕や傷を残さず確度の高い異物除去が可能となり、異物が効果的に除去されたシート状物を得ることが可能になる。 As described above, the air blowing means is installed on at least one surface of the sheet-like material on the travel path in the production or processing line of the sheet-like material, and is capable of blowing air to the sheet-like material. And suction means arranged so as to cover the direction in which the air blown from the air blowing means reflects on the surface of the sheet-like material, and an adhesive roll arranged on the opposite side of the air-blasting device installation surface of the sheet-like material, The apparatus for removing foreign matter on the surface of a sheet-like material, wherein the adhesive roll is installed at a distance from the sheet-like material, and air is blown from the air blowing means so that the sheet-like material is curved toward the adhesive roll installation side. By using a foreign matter removing device on the surface of the sheet-like material, the sheet-like material and the adhesive roll are in contact with each other. To enables accurate high foreign substance removal without leaving a dent or scratch, it is possible to obtain a sheet which foreign matter is effectively removed.
1 シート状物
2 ガイドロール
2A ガイドロール
2B ガイドロール
3 粘着ロール
4 エアーノズル(エアー吹き付け手段)
5 吸引手段
DESCRIPTION OF
5 suction means
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