JP2010216960A - Manufacturing method of vibration sensor - Google Patents

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Soichi Kobayashi
壮一 小林
Yusuke Fujii
雄介 藤井
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration sensor manufacturing method which enables the easy manufacture of vibration sensors using optical fibers without having to require precise adjustments of the interval and arrangement of the faces of two optical fibers facing each other. <P>SOLUTION: In the manufacturing method of vibrations sensors, the need for precise adjustments of the interval and arrangement of the faces of two optical fibers facing each other in the manufacturing method of making the faces of two optical fibers face each other, which has been required before, is eliminated by dividing one fixed optical fiber into the two optical fibers. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、端面を向き合わせた２本の光ファイバを用いた振動センサーの作製方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing a vibration sensor using two optical fibers having end faces facing each other.

従来、光ファイバを用いた振動センサーの作製方法として、２本の光ファイバの端面を向き合わせる作製方法があった（例えば、特許文献１参照。）。この作製方法を用いた振動センサーは、振動を光ファイバ中を伝搬する光の強度の変化として検出するものである。   Conventionally, as a method of manufacturing a vibration sensor using an optical fiber, there has been a manufacturing method in which end faces of two optical fibers are faced (see, for example, Patent Document 1). A vibration sensor using this manufacturing method detects vibration as a change in the intensity of light propagating in an optical fiber.

特開平１１−０６３９３９号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-063939

特許文献１に記載の２本の光ファイバの端面を向き合わせた構成の振動センサーは、向き合わせた２本の光ファイバの端面の間隔及び配置を精密に調整する必要があった。前記課題を解決するために、本発明は、振動センサーの作製方法において、向き合わせた２本の光ファイバの端面の間隔及び配置の精密な調整を必要とせず、容易に光ファイバを用いた振動センサーを作製できる振動センサー作製方法を提供することを目的とする。   The vibration sensor having a configuration in which the end faces of the two optical fibers described in Patent Document 1 face each other needs to be precisely adjusted in the interval and arrangement of the end faces of the two optical fibers facing each other. In order to solve the above-described problems, the present invention provides a vibration sensor manufacturing method that does not require precise adjustment of the distance and arrangement of the end faces of two optical fibers facing each other, and easily vibrates using an optical fiber. An object of the present invention is to provide a vibration sensor manufacturing method capable of manufacturing a sensor.

上記目的を達成するために、本願発明の振動センサー作製方法は、固定された１本の光ファイバを分断して２本の光ファイバとすることで、向き合わせた２本の光ファイバの端面の間隔及び配置の調整を不要とした。   In order to achieve the above object, the vibration sensor manufacturing method according to the present invention divides one fixed optical fiber into two optical fibers, so that the end faces of the two optical fibers facing each other can be obtained. No adjustment of spacing and placement was required.

具体的には、本願発明の振動センサー作製方法は、光ファイバを用いた振動センサーの作製方法であって、前記光ファイバの２点を基台面に設けられた二ヶ所の台部にそれぞれ固定する固定工程と、前記光ファイバを前記２点間で半径方向に２つに分断する分断工程と、を順に有する。   Specifically, the vibration sensor manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing a vibration sensor using an optical fiber, and fixes two points of the optical fiber to two base portions provided on a base surface, respectively. A fixing step and a dividing step of dividing the optical fiber into two in the radial direction between the two points are sequentially provided.

この方法によれば、固定された１本の光ファイバを分断して２本の光ファイバとするため、向き合わせた２本の光ファイバの端面の間隔及び配置の精密な調整を不要とすることができる。   According to this method, since one fixed optical fiber is divided into two optical fibers, it is not necessary to precisely adjust the spacing and arrangement of the end faces of the two optical fibers facing each other. Can do.

また、本願発明の振動センサー作製方法は、前記分断した側の光ファイバの端面を凸形状に加工する加工工程を、前記分断工程の後のいずれかに有する。   Moreover, the vibration sensor manufacturing method of this invention has the process process which processes the end surface of the said optical fiber by the side of the division | segmentation in the convex shape in any one after the said division | segmentation process.

この方法によれば、分断した側の光ファイバの端面と反対側の分断した光ファイバの端面との間が狭い場合は、分断した側の光ファイバの端面を凸形状に加工することで、隙間を持たせることができ、また、分断した側の光ファイバの端面にレンズ効果を持たせることができる。   According to this method, when the gap between the end face of the divided optical fiber and the end face of the separated optical fiber is narrow, the end face of the divided optical fiber is processed into a convex shape by processing the end face of the divided optical fiber into a convex shape. In addition, a lens effect can be given to the end face of the optical fiber on the divided side.

また、本願発明の振動センサー作製方法は、前記分断する箇所に半径方向に傷を入れる傷入れ工程を、前記分断工程の前のいずれかに有し、前記分断工程において、前記光ファイバを、前記傷に半径方向の荷重を加えて折ることで分断する。   Further, the vibration sensor manufacturing method of the present invention has a scratching step for scratching the portion to be split in a radial direction before any of the splitting steps, and in the splitting step, the optical fiber, Divide the wound by applying a radial load and folding it.

この方法によれば、容易に光ファイバを分断できるため、分断工程を省力化することできる。   According to this method, since the optical fiber can be easily cut, the cutting process can be saved.

また、本願発明の振動センサー作製方法は、前記２点間の少なくとも分断する箇所をワックスで凝固させる凝固工程を、前記固定工程と前記分断工程との間に有し、前記ワックスを溶融して排出する排出工程を、前記分断工程の後いずれかに有し、前記分断工程において、前記光ファイバの分断する箇所をダイシングソーで切断することで分断する。   Further, the vibration sensor manufacturing method of the present invention includes a solidification step in which at least a portion to be divided between the two points is solidified with wax between the fixing step and the division step, and the wax is melted and discharged. A discharging step to be performed is provided either after the dividing step, and in the dividing step, the optical fiber is divided by cutting a portion to be divided with a dicing saw.

この方法によれば、光ファイバの分断する箇所をダイシングソーで切断するため、正確に分断する位置で光ファイバを分断できる。   According to this method, since the portion of the optical fiber to be cut is cut with a dicing saw, the optical fiber can be cut at a position to be cut accurately.

なお、上記各方法は、可能な限り組み合わせることができる。   The above methods can be combined as much as possible.

本発明によれば、振動センサーの作製方法において、向き合わせた２本の光ファイバの端面の間隔及び配置の精密な調整を必要とせず、容易に光ファイバを用いた振動センサーを作製できる振動センサー作製方法を提供できる。   According to the present invention, in the method for manufacturing a vibration sensor, it is possible to easily manufacture a vibration sensor using an optical fiber without requiring precise adjustment of the interval and arrangement of the end faces of the two optical fibers facing each other. A manufacturing method can be provided.

振動センサー作製方法の基本形態を示す図である。It is a figure which shows the basic form of a vibration sensor manufacturing method. 振動センサー作製方法の光ファイバの端面の加工例を示す図である。It is a figure which shows the example of a process of the end surface of the optical fiber of a vibration sensor manufacturing method. 振動センサー作製方法の実施形態を示す図である。It is a figure which shows embodiment of the vibration sensor production method. 振動センサー作製方法の実施形態の詳細図である。It is detail drawing of embodiment of a vibration sensor production method. 振動センサー作製方法の他の実施形態を示す図である。It is a figure which shows other embodiment of the vibration sensor production method. 振動センサー作製方法の他の実施形態の詳細図である。It is detail drawing of other embodiment of the vibration sensor manufacturing method. 本発明に係る振動センサー作製方法により作製した振動センサーの実施形態を示す図である。It is a figure which shows embodiment of the vibration sensor produced with the vibration sensor production method concerning this invention.

添付の図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下に説明する実施形態は本発明の実施例であり、本発明は、以下の実施形態に制限されるものではない。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below are examples of the present invention, and the present invention is not limited to the following embodiments. In the present specification and drawings, the same reference numerals denote the same components.

本発明に係る振動センサー作製方法は、光ファイバを用いた振動センサーの作製方法であって、光ファイバの２点を基台面に設けられた二ヶ所の台部にそれぞれ固定する固定工程と、光ファイバを２点間で半径方向に２つに分断する分断工程と、を順に有する。図１は振動センサー作製方法の基本形態を示す図である。   A vibration sensor manufacturing method according to the present invention is a method of manufacturing a vibration sensor using an optical fiber, the fixing step of fixing two points of the optical fiber to two base portions provided on the base surface, A splitting step of splitting the fiber into two in the radial direction between two points. FIG. 1 is a diagram showing a basic form of a vibration sensor manufacturing method.

図１において、１１は光ファイバ、１２は光ファイバ押さえ板、１３は溝、１４は固定台、１５は固定台１４の基台面、１６は台部、１７は分断された光ファイバの端面である。光ファイバ１１の材質は、石英ガラス、プラスティックが例示できる。光ファイバ押さえ板１２の材質は、ガラス、樹脂が例示できる。その他に、光ファイバ１１を押さえることができれば、材質は問わない。固定台１４は、基台面１５及び基台面１５に設けられた二ヶ所の台部１６を備え、二ヶ所の台部１６には光ファイバ１１を固定する溝１３が備えられている。固定台１４は光ファイバ押さえ板１２と同一の材質が好ましい。材質を同一とすることで、熱膨張による歪みを抑えることができる。基台面１５は、二つの台部１６を支える。台部１６は、分断された光ファイバ１１の振幅以上の高さを有する。光ファイバ１１を固定するための溝１３を備える。溝１３は、Ｕ字又はＶ字の断面形状を有する。なお、溝１３は無くてもよい。溝１３が無い場合は、光ファイバ１１の弾性を利用して直接配置する。分断された光ファイバの端面１７は、反対側の分断された光ファイバの端面１７と同軸の位置にある。   In FIG. 1, 11 is an optical fiber, 12 is an optical fiber holding plate, 13 is a groove, 14 is a fixing base, 15 is a base surface of the fixing base 14, 16 is a base portion, and 17 is an end face of the divided optical fiber. . Examples of the material of the optical fiber 11 include quartz glass and plastic. Examples of the material of the optical fiber pressing plate 12 include glass and resin. In addition, the material is not limited as long as the optical fiber 11 can be pressed. The fixing base 14 includes a base surface 15 and two base portions 16 provided on the base surface 15, and the base portions 16 are provided with grooves 13 for fixing the optical fiber 11. The fixing base 14 is preferably made of the same material as that of the optical fiber holding plate 12. By using the same material, distortion due to thermal expansion can be suppressed. The base surface 15 supports the two base parts 16. The base part 16 has a height equal to or higher than the amplitude of the divided optical fiber 11. A groove 13 for fixing the optical fiber 11 is provided. The groove 13 has a U-shaped or V-shaped cross-sectional shape. The groove 13 may not be provided. When there is no groove 13, it arranges directly using the elasticity of the optical fiber 11. The end face 17 of the divided optical fiber is in a position coaxial with the end face 17 of the opposite divided optical fiber.

以下、図１（ａ）〜図１（ｄ）を参照して、本発明に係る振動センサー作製方法の基本形態を説明する。まず、固定工程において、光ファイバ１１を、固定台１４の基台面１５に備えられた二ヶ所の台部１６に設けられた溝１３に、延伸させた光ファイバ１１を接着する。さらに、光ファイバ押さえ板１２で押圧して固定する（図１（ａ））。次に、分断工程において、光ファイバ１１を分断する（図１（ｂ））。中央で分断すると、分断された光ファイバの端面１７は、反対側の分断された光ファイバの端面１７と等しい固有振動数で振動する。光ファイバ１１を分断する箇所を中央から一方の台部１６へ片寄らせると、光ファイバ１１の固有振動数が変化する。よって、振動センサー３０の固有振動数を光ファイバ１１を分断する箇所によって決定できる。以上の工程を経て、分断された光ファイバを用いた振動センサー３０が完成する（図１（ｄ））。   Hereinafter, a basic form of the vibration sensor manufacturing method according to the present invention will be described with reference to FIGS. First, in the fixing step, the optical fiber 11 is bonded to the grooves 13 provided in the two base portions 16 provided on the base surface 15 of the fixing base 14. Further, the optical fiber pressing plate 12 is pressed and fixed (FIG. 1A). Next, in the dividing step, the optical fiber 11 is divided (FIG. 1B). When split at the center, the end face 17 of the split optical fiber vibrates at the same natural frequency as the end face 17 of the split optical fiber on the opposite side. If the part which divides | segments the optical fiber 11 is shifted from the center to the one base part 16, the natural frequency of the optical fiber 11 will change. Therefore, the natural frequency of the vibration sensor 30 can be determined by the location where the optical fiber 11 is cut. Through the above steps, the vibration sensor 30 using the divided optical fiber is completed (FIG. 1D).

この方法によれば、１本の光ファイバ１１を分断して２本の光ファイバ１１とするため、分断された光ファイバの端面１７は、反対側の分断された光ファイバの端面１７と同軸の位置にあり、軸心は変化しない。よって、光ファイバの配置の調整をする必要はない。   According to this method, since one optical fiber 11 is divided into two optical fibers 11, the end face 17 of the split optical fiber is coaxial with the end face 17 of the opposite split optical fiber. In position and the axis does not change. Therefore, there is no need to adjust the arrangement of the optical fibers.

また、本願発明の振動センサー作製方法は、前記分断した側の光ファイバの端面を凸形状に加工する加工工程を、前記分断工程の後に有する（図１（ｃ））。   In addition, the vibration sensor manufacturing method of the present invention has a processing step of processing the end surface of the divided optical fiber into a convex shape after the dividing step (FIG. 1C).

この方法によれば、分断した側の光ファイバの端面と反対側の分断した光ファイバの端面との間が狭い場合は、分断した側の光ファイバの端面を凸形状に加工することで、隙間を持たせることができ、また、分断した側の光ファイバの端面にレンズ効果を持たせることができる。   According to this method, when the gap between the end face of the divided optical fiber and the end face of the separated optical fiber is narrow, the end face of the divided optical fiber is processed into a convex shape by processing the end face of the divided optical fiber into a convex shape. In addition, a lens effect can be given to the end face of the optical fiber on the divided side.

例として、図２において、（ａ）は加工前の分断した側の光ファイバの端面、（ｂ）は半球凸形状に加工した光ファイバの端面を示す。これらの加工では、例えばフッ化水素酸、レーザー又はアーク放電を用いて、分断した光ファイバの端面１７を溶融し、表面張力により半球凸形状を得る。   As an example, in FIG. 2, (a) shows the end face of the optical fiber on the divided side before processing, and (b) shows the end face of the optical fiber processed into a hemispherical convex shape. In these processes, for example, hydrofluoric acid, laser, or arc discharge is used to melt the cut end face 17 of the optical fiber and obtain a hemispherical convex shape by surface tension.

また、本発明に係る振動センサー作製方法において分断する箇所に半径方向に傷を入れる傷入れ工程を、分断工程の前のいずれかに有し、分断工程において、光ファイバ１１を、傷に半径方向の荷重を加えて折ることで分断する実施形態を図３に示す。   In addition, the method for manufacturing a vibration sensor according to the present invention has a scratching step for scratching a portion to be split in a radial direction before the splitting step, and in the splitting step, the optical fiber 11 is formed in the radial direction at the scratch. FIG. 3 shows an embodiment in which the load is divided by applying a load of 2 and folded.

図３において、１８は、光ファイバ１１に傷を入れるための工具、１９は、傷を入れた光ファイバ１１を折るための工具、２０は、傷である。光ファイバ１１に傷２０を入れるための工具１８は、光ファイバ１１に半径方向に傷２０を入れられれば形状を問わない。光ファイバ１１に傷２０を入れるための工具１８の材質は、ダイヤモンド又は鋼が好ましい。傷２０を入れた光ファイバ１１を折るための工具１９は、光ファイバ１１の傷２０を拡げて破断させることができれば形状を問わない。例えば、傷２０の真下から半径方向に押し上げるように荷重を加えることができる棒である。傷２０は、光ファイバ１１を分断する位置に半径方向に付加される。なお、図１と共通の構成要素は説明を省略する。   In FIG. 3, 18 is a tool for scratching the optical fiber 11, 19 is a tool for folding the damaged optical fiber 11, and 20 is a scratch. The shape of the tool 18 for making the flaw 20 in the optical fiber 11 is not limited as long as the flaw 20 can be put in the optical fiber 11 in the radial direction. The material of the tool 18 for making a flaw 20 in the optical fiber 11 is preferably diamond or steel. The tool 19 for folding the optical fiber 11 with the flaw 20 may have any shape as long as the flaw 20 of the optical fiber 11 can be expanded and broken. For example, it is a bar to which a load can be applied so as to push up in the radial direction from directly below the wound 20. The flaw 20 is added in a radial direction at a position where the optical fiber 11 is divided. Note that description of components common to those in FIG. 1 is omitted.

以下、図３（ａ）〜図３（ｃ）及び図４を参照して、本発明に係る振動センサー作製方法の実施形態の手順を説明する。まず、図１で説明した分断工程の前において、光ファイバに傷を入れるための工具１８を用いて（図３（ａ））半径方向に傷２０を入れる（図３（ｂ））。次に、傷を入れた光ファイバを折るための工具１９を用いて、光ファイバ１１に入れられた傷２０の位置で分断する（図３（ｃ））。傷を入れた光ファイバを折るための工具１９は、例えば図４に示されるように、テーパーが付いた棒であり、傷２０に対して、傷を入れた光ファイバを折るための工具１９を、てこの要領で光ファイバ１１に付加された傷２０の真下から半径方向に押し上げるように荷重を加えることで、光ファイバ１１を折って分断する。以降の工程は、図１（ｃ）〜図１（ｄ）と同様である。   Hereinafter, the procedure of the embodiment of the vibration sensor manufacturing method according to the present invention will be described with reference to FIGS. First, before the cutting step described with reference to FIG. 1, the tool 18 for scratching the optical fiber is used (FIG. 3A), and the scratch 20 is made in the radial direction (FIG. 3B). Next, the tool 19 for folding the scratched optical fiber is used to divide at the position of the scratch 20 inserted in the optical fiber 11 (FIG. 3C). The tool 19 for folding the damaged optical fiber is, for example, a tapered bar as shown in FIG. 4. The tool 19 for folding the damaged optical fiber is applied to the wound 20. Then, the optical fiber 11 is folded and divided by applying a load so as to push up in the radial direction from directly below the scratch 20 added to the optical fiber 11 in the manner of the lever. The subsequent steps are the same as those in FIGS. 1C to 1D.

この方法によれば、１本の光ファイバを、傷を入れた光ファイバを折るための工具１９を用いて折って分断するため、分断工程の省力化が可能となる。また、光ファイバ１１を用いた振動センサー３０の固有振動数は、光ファイバ１１を分断する位置によって決定するため、正確に分断することで、より正確な固有振動数を得ることができる。   According to this method, since one optical fiber is cut and broken using the tool 19 for breaking a damaged optical fiber, it is possible to save labor in the cutting process. Further, since the natural frequency of the vibration sensor 30 using the optical fiber 11 is determined by the position where the optical fiber 11 is divided, it is possible to obtain a more accurate natural frequency by dividing the optical fiber 11 accurately.

また、本発明に係る振動センサー作製方法において２点間の少なくとも分断する箇所をワックスで凝固させる凝固工程を、固定工程と分断工程との間に有し、ワックスを溶融して排出する排出工程を、前記分断工程の後いずれかに有し、分断工程において、光ファイバ１１の分断する箇所でダイシングソーで切断することで分断してもよい。図５は振動センサー作製方法の他の実施形態を示す図である   Further, in the vibration sensor manufacturing method according to the present invention, a solidification step of solidifying at least a portion between two points with wax is provided between the fixing step and the separation step, and a discharge step of melting and discharging the wax In the dividing step, the optical fiber 11 may be divided by cutting with a dicing saw at the portion where the optical fiber 11 is divided. FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of a method for manufacturing a vibration sensor.

図５において、２１はワックス、２２はダイシングソーである。ワックス２１は、室温では滑らかな固体で、水の沸点より低い融点を有し、加熱すると比較的低い温度で融解する。ダイシングソー２２は、半導体の生産工程で使われる切断工具であり、樹脂に工業用ダイヤモンドを埋没させた構造である。なお、図１及び図３と共通の構成要素は説明を省略する。   In FIG. 5, 21 is a wax and 22 is a dicing saw. The wax 21 is a smooth solid at room temperature, has a melting point lower than the boiling point of water, and melts at a relatively low temperature when heated. The dicing saw 22 is a cutting tool used in a semiconductor production process, and has a structure in which industrial diamond is buried in a resin. Note that description of components common to those in FIGS. 1 and 3 is omitted.

以下、図５（ａ）〜図５（ｄ）及び図６を参照して、本発明に係る振動センサー作製方法の他の実施形態の手順を説明する。まず、図１で説明した固定工程と分断工程との間に凝固工程を設ける。凝固工程では、光ファイバ１１をワックス２１により凝固させる（図５（ｂ））。凝固させる箇所は少なくとも分断する箇所である。次に、ダイシングソー２２を用いて、光ファイバ１１を分断する箇所を直接切断して分断する（図５（ｃ）、図６）。そして、図１で説明した分断工程の後に排出工程を設ける。排出工程では、ワックス２１を溶融して排出する（図５（ｄ））。以降の工程は、図１（ｃ）〜図１（ｄ）と同様である。   Hereinafter, the procedure of another embodiment of the vibration sensor manufacturing method according to the present invention will be described with reference to FIGS. First, a solidification step is provided between the fixing step and the dividing step described with reference to FIG. In the coagulation step, the optical fiber 11 is coagulated with the wax 21 (FIG. 5B). The portion to be solidified is at least a portion to be divided. Next, the dicing saw 22 is used to directly cut and divide the portion where the optical fiber 11 is cut (FIGS. 5C and 6). And a discharge process is provided after the cutting process demonstrated in FIG. In the discharging step, the wax 21 is melted and discharged (FIG. 5D). The subsequent steps are the same as those in FIGS. 1C to 1D.

この方法によれば、光ファイバ１１を分断する際に、ワックス２１で光ファイバ１１を凝固させてから、箇所をダイシングソー２２で切断して分断するため、分断する位置で正確に分断することができる。また、光ファイバ１１を用いた振動センサー３０の固有振動数は、光ファイバ１１を分断する位置によって決定するため、正確に分断することで、より正確な固有振動数を得ることができる。   According to this method, when the optical fiber 11 is divided, the optical fiber 11 is solidified with the wax 21, and then the portion is cut with the dicing saw 22, so that it can be accurately cut at the position to be cut. it can. Further, since the natural frequency of the vibration sensor 30 using the optical fiber 11 is determined by the position where the optical fiber 11 is divided, it is possible to obtain a more accurate natural frequency by dividing the optical fiber 11 accurately.

次に、本発明に係る振動センサー作製方法を用いて作製された振動センサー３０の実施形態について説明する。図７は、本発明に係る振動センサー作製方法により作製した振動センサー３０の実施形態である基本システム５０を示す。４１はパワーメーター、４２はオシロスコープ、４３は光源である。なお、図１〜図２と同じ構成要素は説明を省略する。パワーメーター４１は、振動センサー３０に用いられた光ファイバ１１を伝搬する光の強度の変化を電気信号へ変換する。オシロスコープ４２は、パワーメーター４１により変換された電気信号の波形を表示する。光源４３の波長は任意であり、例えば、６５０ｎｍ、１３１０ｎｍ、１５５０ｎｍの波長において振動を検知できる。基本システム５０によって計測可能な振動の周波数範囲は、０．５Ｈｚ〜１０ｋＨｚである。   Next, an embodiment of a vibration sensor 30 manufactured using the vibration sensor manufacturing method according to the present invention will be described. FIG. 7 shows a basic system 50 which is an embodiment of the vibration sensor 30 manufactured by the vibration sensor manufacturing method according to the present invention. 41 is a power meter, 42 is an oscilloscope, and 43 is a light source. The description of the same components as those in FIGS. The power meter 41 converts a change in intensity of light propagating through the optical fiber 11 used in the vibration sensor 30 into an electric signal. The oscilloscope 42 displays the waveform of the electrical signal converted by the power meter 41. The wavelength of the light source 43 is arbitrary. For example, vibration can be detected at wavelengths of 650 nm, 1310 nm, and 1550 nm. The frequency range of vibration that can be measured by the basic system 50 is 0.5 Hz to 10 kHz.

本発明の振動センサー作製方法は、端面を向き合わせる２本の光ファイバを用いた振動センサーの作製に適用することができる。   The vibration sensor manufacturing method of the present invention can be applied to manufacturing of a vibration sensor using two optical fibers whose end faces are faced to each other.

１１：光ファイバ
１２：光ファイバ押さえ板
１３：溝
１４：固定台
１５：基台面
１６：台部
１７：分断された光ファイバの端面
１８：光ファイバに傷を入れる工具
１９：傷に荷重を加える工具
２０：傷
２１：ワックス
２２：ダイシングソー
３０：光ファイバを用いた振動センサー
４１：パワーメーター
４２：オシロスコープ
４３：光源
５０：基本システム 11: Optical fiber 12: Optical fiber holding plate 13: Groove 14: Fixing base 15: Base surface 16: Base portion 17: End surface of the divided optical fiber 18: Tool for scratching the optical fiber 19: Applying a load to the scratch Tool 20: Scratch 21: Wax 22: Dicing saw 30: Vibration sensor 41 using optical fiber: Power meter 42: Oscilloscope 43: Light source 50: Basic system

Claims (4)

光ファイバを用いた振動センサーの作製方法であって、
前記光ファイバの２点を基台面に設けられた二ヶ所の台部にそれぞれ固定する固定工程と、
前記光ファイバを前記２点間で半径方向に２つに分断する分断工程と、
を順に有する光ファイバを用いた振動センサー作製方法。 A method for producing a vibration sensor using an optical fiber,
A fixing step of fixing two points of the optical fiber to two base parts provided on a base surface,
A dividing step of dividing the optical fiber into two in the radial direction between the two points;
The vibration sensor production method using the optical fiber which has in order. 前記分断した側の光ファイバの端面を凸形状に加工する加工工程を、前記分断工程の後のいずれかに有する請求項１に記載の光ファイバを用いた振動センサー作製方法。   The vibration sensor manufacturing method using the optical fiber according to claim 1, further comprising a processing step of processing the end face of the optical fiber on the divided side into a convex shape after any of the dividing steps. 前記分断する箇所に半径方向に傷を入れる傷入れ工程を、前記分断工程の前のいずれかに有し、
前記分断工程において、前記光ファイバを、前記傷に半径方向の荷重を加えて折ることで分断することを特徴とする請求項１又は２に記載の光ファイバを用いた振動センサー作製方法。 Having a scratching step for scratching the portion to be split in the radial direction before any of the splitting steps,
3. The vibration sensor manufacturing method using an optical fiber according to claim 1, wherein in the dividing step, the optical fiber is divided by bending a radial load on the scratch. 4. 前記２点間の少なくとも分断する箇所をワックスで凝固させる凝固工程を、前記固定工程と前記分断工程との間に有し、
前記ワックスを溶融して排出する排出工程を、前記分断工程の後いずれかに有し、
前記分断工程において、前記光ファイバの分断する箇所をダイシングソーで切断することで分断することを特徴とする請求項１又は２に記載の光ファイバを用いた振動センサー作製方法。 A coagulation step in which at least a portion to be divided between the two points is solidified with wax, between the fixing step and the dividing step;
A discharge step of melting and discharging the wax, either after the dividing step;
3. The vibration sensor manufacturing method using an optical fiber according to claim 1, wherein in the dividing step, the optical fiber is divided by cutting a portion to be divided with a dicing saw.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016532108A (en) * 2013-07-30 2016-10-13 レイセオン カンパニー Optical fiber vibration detection

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