JP2010211303A - 画像生成装置、異物検査システム、及び画像生成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ケラレと画像ノイズ成分とを除去することで、異物像のみが抽出された異物検査用画像フレームを生成する画像生成装置、異物検査システム、及び画像生成方法を提供する。
【解決手段】画像フレーム生成装置110が、異物検査対象物であるイメージセンサ4の原画像を取得し、前記原画像を出力するインタフェース111と、モルフォロジー処理によって前記原画像から輝度ムラを示す画像を生成し、前記原画像と、モルフォロジー処理後の画像と、から前記輝度ムラを除去し、異物像を抽出した異物像抽出画像を生成する画像処理部112と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】画像フレーム生成装置110が、異物検査対象物であるイメージセンサ4の原画像を取得し、前記原画像を出力するインタフェース111と、モルフォロジー処理によって前記原画像から輝度ムラを示す画像を生成し、前記原画像と、モルフォロジー処理後の画像と、から前記輝度ムラを除去し、異物像を抽出した異物像抽出画像を生成する画像処理部112と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、異物検査用の画像を生成する画像生成装置、異物検査システム、及び画像生成方法に関する。
撮像装置の組み立て工程において、イメージセンサを撮像装置に組み込んだ後に、そのイメージセンサの撮像面にゴミなどの異物の付着が見つかった場合、その異物を取り除くために、作業者はすでに組み立てが完了したその撮像装置を解体し、異物を取り除いてから再組み立てを行わなければならない。このような工程の手戻りによる歩留まりの低下や、不良損金の発生を抑えるため、例えば特許文献1に示された異物検査方法によって、イメージセンサに付着した異物数等の検査(以下、「異物検査」と称する)を撮像装置の組み立てが完了する前に正確に行うことを試みていた。
異物検査工程にかかる時間をさらに短縮するため、イメージセンサを撮像装置に組み込む前工程において、異物検査対象としたイメージセンサに光を照射し、その撮像面から出力される画素信号に基づく画像フレーム(以下、「異物検査用画像フレーム」と称する)に対して、解析装置(以下、「粒子解析装置」と称する)が、いわゆる粒子解析を実行し、正確に異物検査を行うことが試みられている。
しかしながら、異物検査対象としたイメージセンサに光を照射するためには、照射中にそのイメージセンサを保持しておく必要があるため、異物検査用画像フレームには、イメージセンサ保持部の影(以下、「ケラレ」と称する)が映り込むことが避けられない。このため、従来の異物検査用画像フレームデータを粒子解析装置に入力しても、ケラレと異物像とのコントラスト(輝度差)が低いために、原画像のままでは異物像が目立たないので、粒子解析装置は異物像を抽出することができず、正確な異物検査を行うことができないという問題があった。
さらに、異物像以外の画像ノイズ成分が含まれた異物検査用画像フレームデータを粒子解析装置に入力しても、異物像の輪郭が不明確であるため、粒子解析装置は異物像を抽出することができず、異物検査を正確に行うことができないという問題もあった。
本発明は、前記の諸点に鑑みてなされたものであり、ケラレと画像ノイズ成分とを除去することで、異物像のみが抽出された異物検査用画像フレームを生成する画像フレーム生成装置、検査システム、及び画像フレーム生成方法を提供することを目的とする。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、異物検査対象物の原画像を取得し、前記原画像を出力する画像取得部と、モルフォロジー処理によって前記原画像から輝度ムラを示す画像を生成し、前記原画像と、モルフォロジー処理後の画像と、から前記輝度ムラを除去し、異物像を抽出した異物像抽出画像を生成する画像処理部と、を備えることを特徴とする画像生成装置である。
また本発明は、異物検査対象物の原画像を取得し、前記原画像を出力する画像取得部と、モルフォロジー処理によって前記原画像から輝度ムラを示す画像を生成し、前記原画像と、モルフォロジー処理後の画像と、から前記輝度ムラを除去し、異物像を抽出した異物像抽出画像を生成する画像処理部と、前記異物像を粒子解析する解析装置と、を備えることを特徴とする異物検査システムである。
また本発明は、画像生成装置における画像生成方法であって、画像取得部が、異物検査対象物の原画像を取得し、前記原画像を出力するステップと、画像処理部が、モルフォロジー処理によって前記原画像から輝度ムラを示す画像を生成し、前記原画像と、モルフォロジー処理後の画像と、から前記輝度ムラを除去し、異物像を抽出した異物像抽出画像を生成するステップと、を含むことを特徴とする画像生成方法である。
本発明によれば、画像フレーム生成装置が、異物像のみが抽出された異物検査用画像フレームを生成するため、粒子解析装置は、その異物検査用画像フレームに基づいて、正確に異物検査を行うことができる。
本発明を実施するための一実施形態について説明する。図1は、本発明の一実施形態の異物検査システムとその周辺構成を示した図である。当該異物検査システムは、粒子解析装置120と、画像フレーム生成装置110と、を備える。
光源部1は、例えば面発光照明や同軸落射照明やリング照明などの光源であり、光拡散板2に光を照射する。光拡散板2は、光源部1から入射された光を拡散し、拡散光を光学系3に照射する。光学系3は、絞りとレンズを有し、照射された拡散光を集光して異物検査の対象であるイメージセンサ4の撮像面7に照射する。
イメージセンサ4は撮像面7を有する。撮像面7は、二次元配置された複数の画素(不図示)を有する。それらの画素(不図示)は、照射された光量に応じた画素信号を、画像フレーム生成装置110のインタフェース111に所定の周期で出力する。このため、画素(不図示)に異物が付着している場合、その画素信号から生成された画像フレームデータには異物像が含まれる。イメージセンサ保持部5及び6は、撮像面7に光学系3からの光が照射されるようイメージセンサ4を保持する。
画像フレーム生成装置110は、インタフェース111と、画像処理部112と、メモリ113と、出力部114と、を備える。インタフェース111は、イメージセンサ4の撮像面7に電力と同期信号を出力することで、撮像面7から画素信号を取得する。インタフェース111は、画素信号をAD変換し、画像処理部112に所定の周期で出力する。なおインタフェース111は、いわゆる相関二重サンプリング処理を行うとしてもよい。
画像処理部112は、AD変換後の画素信号に画像処理を実行し、原画像フレームを所定の周期で生成する。画像処理部112は、所定の周期で生成した複数の原画像フレームの平均輝度値を、例えば時間平均により算出することで、高周波成分を持つノイズ(輝度ムラ)を原画像フレームから除去する。画像処理部112は、このように輝度値が平均化された画像フレーム(以下、「平均化画像フレーム」と称する)を複製して、メモリ113に記憶させる。
画像処理部112は、メモリ113に記憶させた平均化画像フレームのうち、少なくとも1枚の平均化画像フレームを残し、それ以外の平均化画像フレームに対して輝度領域単位でグレイスケールモルフォロジー(Gray−Scale Morphology)処理を行う。
図2(A)は、グレイスケールモルフォロジー(以下、「モルフォロジー」と称する)処理における、膨張(Dilation)演算後の侵食(Erosion)演算を示した図である。図形600の輪郭をオペレータ700の中心でなぞるようにオペレータ700が移動した軌跡と、図形600と、の論理和を取ることで、図形600を膨張させる。これを「膨張演算」と称する。
次に、膨張した図形600の輪郭をオペレータ700の中心でなぞるようにオペレータ700が移動した軌跡によって、膨張した図形600が侵食され、図形600が収縮する。これを「侵食演算」と称する。以下、膨張演算後の侵食演算を「クローズ処理」と称する。画像処理部112は、このクローズ処理によって図形600から異物像601と異物像602を除去することができる。このため粒子解析装置は、図形600を1つの領域として認識することができる。
図2(B)は、モルフォロジー処理における、侵食演算後の膨張演算を示した図である。以下、侵食演算後の膨張演算を「オープン処理」と称する。画像処理部112は、オープン処理を実行することにより、図形610を画像フレームに残すことができる(図2(B)上段)。また画像処理部112は、このオープン処理によって図形610よりも領域が狭い(小さい)異物像620を画像フレームから除去することができる(図2(B)下段)。なお、オープン処理とクローズ処理における膨張演算と侵食演算は、それぞれ複数回繰り返されても良い。
画像処理部112は、モルフォロジー処理後の画像フレームの輝度値から反転輝度値を算出する。ここで、以下の説明を簡便にするため、例として、輝度値は最高値「255」と最低値「0」の範囲にあるものとし、「反転輝度値=(255−輝度値)」とする。
画像処理部112は、モルフォロジー処理前に複製した平均化画像フレームと、モルフォロジー処理後の画像フレームと、を用いてシェーディング処理を実行する。シェーディング処理については、図5と図6で後述する。画像処理部112は、シェーディング処理後の画像フレームを異物検査用画像フレームデータとして、出力部114に出力する。
出力部114は、粒子解析装置120と表示装置200に異物検査用画像フレームデータを出力する。表示装置200は表示部(不図示)を備え、異物検査用画像フレームデータに基づいて、画像フレームを表示する。粒子解析装置120は演算処理部(不図示)を備え、異物を数える等の粒子解析を異物検査用画像フレームについて実行し、異物検査を行う。
図3は、本発明の一実施形態における異物検査システムの動作ステップを示した図である。また図4は、図3のステップS1からステップS3において、原画像フレームから高周波画像ノイズ成分を除去する過程を、画像フレームと輝度値により示した図である。図4(A)の上段は、原画像フレームを示す。図4(B)の上段は、平均化画像フレームを示す。また図4の各下段は、それぞれの画像フレームの横断線(a−b)における輝度値のグラフである。
以下説明のため、原画像フレーム(図4(A))は、異物像200と、異物像300と、異物像400と、ケラレ500を、を含むものとする。また、異物像400は、ケラレ500と重なっているものとする。さらに、異物像300は、異物像200よりも大きい異物像であるものとする。
画像処理部112は、インタフェース111を介して、原画像フレームを取得する(図3ステップS1、図4(A))。画像処理部112は、所定枚数(例えば10枚)の原画像フレームを取得したか否かについて判定する。画像処理部112は、所定枚数の原画像フレームを生成するまで、ステップS1からステップS2までを繰り返す(図3ステップS2)。
次に画像処理部112は、原画像フレームの輝度値を例えば時間平均することで、その平均輝度値を算出し、平均化画像フレームを生成する(図3ステップS3、図4(B))。なお、ステップS1からステップS3は、いわゆる輝度ムラなどの高周波成分を持つノイズを原画像フレームから除去する処理であり、モルフォロジー処理の前処理として有効であるが必須ではない。
次に画像処理部112は、平均化画像フレーム(図4(B))を複製し、メモリ113に記憶させる(ステップS4)。図5と図6は、モルフォロジー処理と、シェーディング処理と、によって異物検査用画像フレームを生成する過程を、画像フレームと輝度値により示した図である。画像処理部112は、平均化画像フレーム(図4(B))に対してモルフォロジー処理を行うことで、図5(A)に示すモルフォロジー処理後の画像フレームを得たとする。ここで、図5(A)に示す平均化画像フレームには侵食された異物像300がまだ残っているので、画像処理部112は、オープン処理とクローズ処理を組み合わせて、さらにモルフォロジー処理を行い、図5(B)のように、異物像が除去され、ケラレ500(輝度ムラ(斑)を示す画像)のみが抽出された平均化画像フレームを得ることができる(図3ステップS5、図5(A)(B))。
次に画像処理部112は、図5(B)の平均化画像フレームの輝度値から反転輝度値を算出する(図3ステップS6、図6(C))。画像処理部112は、モルフォロジー処理前に記憶させた、平均化画像フレーム(図4(B))をメモリ113から取得する。画像処理部112は、モルフォロジー処理前の平均化画像フレーム(図4(B))と、モルフォロジー処理後に輝度値を反転させた平均化画像フレーム(図6(C))と、を加算(シェーディング処理)する。平均化画像フレーム(図4(B))から、ケラレ500と、低周波成分を持つノイズ(輝度ムラ)と、を除去する。このようにして画像処理部112は、各異物像の輪郭を明確にする(図3ステップS7、図6(D))。
次に画像処理部112は、異物検査用画像フレームデータとして、シェーディング処理後の画像フレーム(図6(D))を出力部114に出力する(図3ステップS8)。出力部114は、異物検査用画像フレームデータを、粒子解析装置120と、表示装置200と、に出力する。表示装置200は、異物検査用画像フレームデータに基づいて、画像フレームを表示する。粒子解析装置120は、異物検査用画像フレームデータを取得し、粒子解析を実行する。
以上、本発明の実施の形態により、画像フレーム生成装置が、輝度ムラ(斑)を含まない、異物像のみが抽出された異物検査用画像フレームを生成するため、粒子解析装置は、その異物検査用画像フレームに基づいて、正確に異物検査を行うことができる。
以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
例えば、異物検査対象としたイメージセンサの撮像面を外部から撮像し、その画像フレームデータを画像フレーム生成装置のインタフェースに入力するとしてもよい。
また、本発明に記載の画像取得部は、インタフェース111に対応し、画像処理部は、画像処理部112に対応し、解析装置は、粒子解析装置120に対応し、画像生成装置は、画像フレーム生成装置110に対応し、異物検査システムは、異物検査システム100に対応する。
また、図3に示す各ステップを実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより、通信端末の実行処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、OS(Operating System)や周辺機器等のハードウェアを含むものであってもよい。
また、「コンピュータシステム」は、WWWシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境(あるいは表示環境)も含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、フラッシュメモリ等の書き込み可能な不揮発性メモリ、CD−ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。
さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ(例えばDRAM(Dynamic Random Access Memory))のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク(通信網)や電話回線等の通信回線(通信線)のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。
また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。
さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル(差分プログラム)であっても良い。
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク(通信網)や電話回線等の通信回線(通信線)のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。
また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。
さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル(差分プログラム)であっても良い。
本発明は、異物検査用の画像を生成する画像生成装置、異物検査システム、及び画像生成方法に好適である。
1…光源部 2…光拡散板 3…光学系 4…イメージセンサ 5…イメージセンサ保持部 6…イメージセンサ保持部 7…撮像面 100…異物検査システム 110…画像フレーム生成装置 111…インタフェース 112…画像処理部 113…メモリ 114…出力部 120…粒子解析装置 200…表示装置 200…異物像 300…異物像 400…異物像 500…ケラレ 600…図形 601…異物像 602…図形610…図形 620…異物像 700…オペレータ
Claims (3)
- 異物検査対象物の原画像を取得し、前記原画像を出力する画像取得部と、
モルフォロジー処理によって前記原画像から輝度ムラを示す画像を生成し、前記原画像と、モルフォロジー処理後の画像と、から前記輝度ムラを除去し、異物像を抽出した異物像抽出画像を生成する画像処理部と、
を備えることを特徴とする画像生成装置。 - 異物検査対象物の原画像を取得し、前記原画像を出力する画像取得部と、
モルフォロジー処理によって前記原画像から輝度ムラを示す画像を生成し、前記原画像と、モルフォロジー処理後の画像と、から前記輝度ムラを除去し、異物像を抽出した異物像抽出画像を生成する画像処理部と、
前記異物像を粒子解析する解析装置と、
を備えることを特徴とする異物検査システム。 - 画像生成装置における画像生成方法であって、
画像取得部が、異物検査対象物の原画像を取得し、前記原画像を出力するステップと、
画像処理部が、モルフォロジー処理によって前記原画像から輝度ムラを示す画像を生成し、前記原画像と、モルフォロジー処理後の画像と、から前記輝度ムラを除去し、異物像を抽出した異物像抽出画像を生成するステップと、
を含むことを特徴とする画像生成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009053915A JP2010211303A (ja) | 2009-03-06 | 2009-03-06 | 画像生成装置、異物検査システム、及び画像生成方法 |
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Publications (1)
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JP2010211303A true JP2010211303A (ja) | 2010-09-24 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US11068062B2 (en) | 2012-06-26 | 2021-07-20 | Sony Corporation | Display device and method for cancelling a user selected feature on a graphical user interface according to a change in display device rotation |
JP2022050455A (ja) * | 2015-07-16 | 2022-03-30 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 試料除去領域選択方法 |
-
2009
- 2009-03-06 JP JP2009053915A patent/JP2010211303A/ja not_active Withdrawn
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