JP2010210509A - 圧力センサ用容器、および圧力センサ - Google Patents
圧力センサ用容器、および圧力センサ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】圧力センサ用容器は、セラミックスからなる基体1と、セラミックスからなり、圧力が作用することによって変位するダイアフラム2と、基体1とダイアフラム2との間に設けられた感圧室1aとを備え、基体1とダイアフラム2とは、感圧室1aの周囲において、基体1およびダイアフラム2の少なくとも1つから溶出されたガラス質成分3a(接合部3)を介して全周にわたって連続的に接合されている。
【選択図】図1
Description
図1(a)は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す平面図である。図1(b)は、図1(a)中に示した切断線X−X´に沿って切断した断面図である。図1(c)は、図1(b)に示す圧力センサ用容器および圧力センサの一部を拡大した断面図である。
図3は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図3において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図4は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図4において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図5は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図5において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図6は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図6において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図7は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図7において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図8は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサにおけるダイアフラム2の一例を示す断面図である。すなわち、本実施形態に係るダイアフラム2は、図8(a)に示すように、外周部が肉厚で、中央部が薄肉部2aとなっている。すなわち、本実施形態に係るダイアフラム2は、外周部から中央部に向かうに従って厚みが薄くなっている。この構成により、ダイアフラム2に圧力が作用した際にダイアフラム2の略中央部の応力が分散し、かつ弾性変形し易くなる。このため、ダイアフラム2に大きな圧力が作用した場合であっても、ダイアフラム2が破損するのを抑制できる。
図9は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図9において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図10は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図10において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
1a 感圧室
1b 傾斜面
1c スペーサ
1d 圧力調整用孔
1h 底面
1j 底板
2 ダイアフラム
3 接合部
3a ガラス質成分
4 電子部品
11 第1電極
12 基体のセラミック粒子
13 基体の粒界層
21 第2電極
22 ダイアフラムのセラミック粒子
23 ダイアフラムの粒界層
Claims (11)
- セラミックスからなる基体と、
セラミックスからなり、圧力が作用することによって変位するダイアフラムと、
前記基体と前記ダイアフラムとの間に設けられた感圧室とを備え、
前記基体と前記ダイアフラムとは、前記感圧室の周囲において、前記基体および前記ダイアフラムの少なくとも1つから溶出されたガラス質成分を介して全周にわたって連続的に接合されていることを特徴とする圧力センサ用容器。 - 前記基体と前記ダイアフラムとは、前記基体中のセラミック粒子と、前記ダイアフラム中の粒界層とが、前記ダイアフラム中の粒界層から溶出されたガラス質成分を介して接合されている、請求項1に記載の圧力センサ用容器。
- 前記基体と前記ダイアフラムとは、前記基体中の粒界層と、前記ダイアフラム中のセラミック粒子とが、前記基体中の粒界層から溶出されたガラス質成分を介して接合されている、請求項1に記載の圧力センサ用容器。
- 前記基体と前記ダイアフラムとは、前記基体中の粒界層と、前記ダイアフラム中の粒界層とが、前記基体中の粒界層および前記ダイアフラム中の粒界層から溶出されたガラス質成分を介して接合されている、請求項1に記載の圧力センサ用容器。
- 前記基体は、前記感圧室の底面となる底板と、前記感圧室の側壁となるスペーサとが接合されることによって形成される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の圧力センサ用容器。
- 平面視において前記感圧室の形状が略円形状である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧力センサ用容器。
- 前記感圧室の側壁の内周部側面が、前記感圧室の底面に向かうに従って前記側壁の厚みが大きくなるように傾斜している傾斜面である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の圧力センサ用容器。
- 前記感圧室の底面に第1電極が形成されており、前記ダイアフラムの下面に第2電極が形成されており、かつ前記第1電極と前記第2電極とが対向するようにして配置されており、
前記第1電極または前記第2電極には、前記第2電極または前記第1電極と対向する部位の一部に非形成部が設けられている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の圧力センサ用容器。 - 前記ダイアフラムは、外周部から中央部に向かうに従って厚みが薄くなっている、請求項1〜8のいずれか一項に記載の圧力センサ用容器。
- 前記基体には、前記感圧室と外部とが連通される圧力調整用孔が設けられている、請求項1〜9のいずれか一項に記載の圧力センサ用容器。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の圧力センサ用容器と、
圧力を検出するための電子部品とを備えた、圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009058450A JP5361464B2 (ja) | 2009-03-11 | 2009-03-11 | 圧力センサ用容器の製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2010210509A true JP2010210509A (ja) | 2010-09-24 |
JP5361464B2 JP5361464B2 (ja) | 2013-12-04 |
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JP (1) | JP5361464B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016514254A (ja) * | 2013-02-21 | 2016-05-19 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | 圧力センサシステム |
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