JP2010203882A - Target and target device equipped with the same - Google Patents

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JP2010203882A JP2009049003A JP2009049003A JP2010203882A JP 2010203882 A JP2010203882 A JP 2010203882A JP 2009049003 A JP2009049003 A JP 2009049003A JP 2009049003 A JP2009049003 A JP 2009049003A JP 2010203882 A JP2010203882 A JP 2010203882A
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cooling
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Akira Yajima
暁 矢島
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Sumitomo Heavy Industries Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a target where blistering hardly occurs and which has sufficient strength even if it is thick, and also to provide a target device with the target. <P>SOLUTION: The target device 5 is equipped with: a solid and plate target 10 made of a substance which emits neutrons by being irradiated with a proton beam L; a short pipe 13 with a flange forming a vacuum domain passed by the proton beam L; and a cooling plate 15 located on the other side of the short pipe 13 with the flange to the target 10 and put in contact with the target 10. The periphery 10a of the target 10 is sandwiched by the short pipe 13 with the flange and the cooling plate 15. The target 10 has a section 10b protruding toward the irradiation side of the proton beam L inside the periphery 10a of the target 10. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、陽子などの加速粒子の照射を受けて中性子を発生するターゲット及びそれを備えるターゲット装置に関する。   The present invention relates to a target that generates neutrons upon irradiation with accelerated particles such as protons, and a target device including the target.

がん治療等において、放射線治療は高い評価を受けている。特に、中性子捕捉療法（ＮＣＴ：Neutron Capture Therapy）は、原理的に細胞レベルの選択的な治療の可能性があり、注目されている。ＮＣＴでは、中性子を照射したときに飛程が短く高ＬＥＴ（Linear Energy Transfer）の重荷電粒子などを発生する安定同位元素を、あらかじめ治療すべきがん細胞に取り込ませておく。その後、中性子を照射し、重荷電粒子の飛散によってがん細胞だけを選択的に破壊する。ＮＣＴに用いられる安定同位元素は、中性子と反応して高ＬＥＴの重荷電粒子を発生する１０Ｂや６Ｌｉなどであり、中性子はこれらに対して大きな反応断面積を持つ低エネルギー中性子である。現在では、ＮＣＴとして、１０Ｂ及び熱中性子や熱外中性子が用いられており硼素中性子捕捉療法（ＢＮＣＴ：Boron NCT）と呼ばれることもある。 In cancer treatment, etc., radiation therapy is highly evaluated. In particular, neutron capture therapy (NCT) has been attracting attention because of its potential for selective treatment at the cellular level in principle. In NCT, stable isotopes that generate heavy charged particles with a short range and high LET (Linear Energy Transfer) when irradiated with neutrons are incorporated into cancer cells to be treated in advance. Then, neutrons are irradiated to selectively destroy only cancer cells by scattering of heavy charged particles. The stable isotopes used for NCT are 10 B, 6 Li, etc., which react with neutrons to generate highly charged particles of high LET, and neutrons are low energy neutrons having a large reaction cross section. At present, 10 B, thermal neutrons, and epithermal neutrons are used as NCTs and are sometimes called boron neutron capture therapy (BNCT: Boron NCT).

非特許文献１には、ＮＣＴなどに用いられる中性子を発生させる装置が開示されている。この装置では、タングステン製の基板上にリチウムなどからなるフィルム状のターゲットを形成し、そのターゲットに加速粒子を照射して中性子を発生させている。中性子を発生させる際に、ターゲット及び基板では、非常に大きいエネルギーレベルの加速粒子の照射を受けるため、温度の上昇を抑える必要がある。そのため、この装置では、基板に冷却水の流路（channels for cooling）となる溝を形成し、その溝内を流動する冷却水によってターゲットの冷却を行っていた。   Non-Patent Document 1 discloses a device for generating neutrons used for NCT and the like. In this apparatus, a film-like target made of lithium or the like is formed on a tungsten substrate, and neutrons are generated by irradiating the target with accelerated particles. When generating neutrons, the target and the substrate are irradiated with accelerated particles having a very large energy level, and thus it is necessary to suppress an increase in temperature. For this reason, in this apparatus, grooves serving as channels for cooling are formed in the substrate, and the target is cooled by the cooling water flowing in the grooves.

“Journal of Physics: Conference Series”, Institute ofPhysics Publishing, 2006, Vol.41, pp.460-465.“Journal of Physics: Conference Series”, Institute ofPhysics Publishing, 2006, Vol.41, pp.460-465.

基板の溝（冷却水の流路）をターゲットで塞ぎ、冷却水をターゲットに接するように流すと、ターゲットの排熱効果を高めることができる。しかしながら、ターゲットのうち加速粒子の照射を受ける側の面と、冷却水に接する側の面との間の温度差が非常に大きくなる。すなわち、ターゲットのうち加速粒子の照射を受ける側の面は加熱により膨張し、ターゲットのうち冷却水に接する側の面は冷却により収縮する。そのため、加速粒子の照射後、ターゲットに熱歪みが発生してしまう。   When the groove (cooling water flow path) of the substrate is closed with the target and the cooling water is caused to flow in contact with the target, the heat exhaust effect of the target can be enhanced. However, the temperature difference between the surface of the target that is irradiated with the accelerated particles and the surface that is in contact with the cooling water becomes very large. That is, the surface of the target that is irradiated with the accelerated particles is expanded by heating, and the surface of the target that is in contact with the cooling water is contracted by cooling. Therefore, thermal distortion occurs in the target after irradiation with accelerated particles.

このように、ターゲットの排熱効果を高めるために冷却水をターゲットに接するように流した場合、ターゲットに温度差による熱歪みが発生し、ターゲットの強度が低下してしまう。そのため、ターゲットの強度の更なる向上が望まれていた。   As described above, when cooling water is allowed to flow in contact with the target in order to enhance the exhaust heat effect of the target, thermal distortion due to a temperature difference occurs in the target, and the strength of the target is reduced. Therefore, further improvement in the strength of the target has been desired.

そこで、本発明は、熱歪みによる強度低下が生じ難いターゲット及びそれを備えるターゲット装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a target that is less likely to cause a strength reduction due to thermal strain and a target device including the target.

本発明に係るターゲット装置は、加速粒子の照射を受けて中性子を発生する物質からなる、板状のターゲットと、ターゲットに対して加速粒子の照射側とは反対側に位置する、ターゲットの冷却部とを備え、ターゲットは、周辺部よりも内側において、加速粒子の照射側に向けて突出した部分を有していることを特徴とする。   A target device according to the present invention includes a plate-like target made of a substance that generates neutrons when irradiated with accelerated particles, and a target cooling unit located on the opposite side of the target from the accelerated particle irradiation side. The target has a portion protruding toward the irradiation side of the accelerated particles inside the peripheral portion.

本発明に係るターゲット装置が備えるターゲットは、周辺部よりも内側において、加速粒子の照射側に向けて突出した部分を有している。つまり、ターゲットが、温度差による熱歪みによる変形量を予め考慮した形状とされている。そのため、ターゲットが、温度差による熱歪みの影響を受けたとしても、その熱歪みによる強度低下が生じ難い構造（応力緩和が図られた構造）となっている。その結果、熱歪みによる強度低下が生じ難いターゲットを得ることが可能となる。   The target included in the target device according to the present invention has a portion protruding toward the irradiation side of the accelerated particles inside the peripheral portion. That is, the target has a shape that takes into account the amount of deformation due to thermal strain due to temperature difference in advance. For this reason, even if the target is affected by thermal strain due to a temperature difference, the target has a structure in which strength reduction due to the thermal strain hardly occurs (a structure in which stress relaxation is achieved). As a result, it is possible to obtain a target in which strength reduction due to thermal strain hardly occurs.

好ましくは、突出した部分は、周辺部よりも薄肉である。このようにすると、周辺部及びその近傍が相対的に（突出した部分と比較して）厚肉となることから、ターゲットをターゲット装置に取り付けるにあたり周辺部を利用することで、ターゲットをターゲット装置に対して強固に保持することができ、ターゲットの全体としての強度が高められる。   Preferably, the protruding portion is thinner than the peripheral portion. In this case, since the peripheral portion and the vicinity thereof are relatively thick (compared to the protruding portion), the target is attached to the target device by using the peripheral portion when attaching the target to the target device. On the other hand, it can hold | maintain firmly and the intensity | strength as the whole of a target is raised.

好ましくは、突出した部分は、断面弧状である。このようにすると、熱歪みによるターゲットの強度低下が一層抑制される。   Preferably, the protruding portion is arc-shaped in cross section. In this way, the strength reduction of the target due to thermal strain is further suppressed.

好ましくは、ターゲットは、周辺部よりも内側において、突出した部分の頂部よりも加速粒子の照射側とは反対側に向けて突出した、前記ターゲットを冷却部に対して固定するための固定部を有している。このようにすると、固定部を利用することにより、ターゲットを冷却部に対して固定することができる。そのため、ターゲットをターゲット装置に対して強固に保持することができ、ターゲットの全体としての強度が高められる。   Preferably, the target has a fixing portion for fixing the target to the cooling portion, which protrudes toward the opposite side of the irradiation side of the accelerated particles from the top of the protruding portion inside the peripheral portion. Have. If it does in this way, a target can be fixed to a cooling part by using a fixed part. Therefore, the target can be firmly held with respect to the target device, and the strength of the target as a whole is increased.

好ましくは、周辺部は平板状部分を有し、当該平板状部分が前記冷却部に対して固定されている。このようにすると、ターゲットの周辺部をターゲット装置に取り付けやすくなる。   Preferably, the peripheral part has a flat part, and the flat part is fixed to the cooling part. If it does in this way, it will become easy to attach the peripheral part of a target to a target device.

一方、本発明に係るターゲットは、板状のターゲットであって、周辺部よりも内側において、厚み方向のうち一方の方向に突出した部分を有していることを特徴とする。   On the other hand, the target according to the present invention is a plate-like target and has a portion protruding in one direction in the thickness direction inside the peripheral portion.

本発明に係るターゲットは、周辺部よりも内側において、厚み方向のうち一方の方向に突出した部分を有していることから、ターゲットが、温度差による熱歪みによる変形量を予め考慮した形状とされている。そのため、ターゲットが、温度差による熱歪みの影響を受けたとしても、その熱歪みによる強度低下が生じ難い構造（応力緩和が図られた構造）となっている。その結果、熱歪みによる強度低下が生じ難いターゲットを得ることが可能となる。   Since the target according to the present invention has a portion protruding in one direction of the thickness direction inside the peripheral portion, the target has a shape that takes into account the amount of deformation due to thermal strain due to a temperature difference in advance. Has been. For this reason, even if the target is affected by thermal strain due to a temperature difference, the target has a structure in which strength reduction due to the thermal strain hardly occurs (a structure in which stress relaxation is achieved). As a result, it is possible to obtain a target in which strength reduction due to thermal strain hardly occurs.

好ましくは、突出した部分は、周辺部よりも薄肉である。このようにすると、周辺部及びその近傍が相対的に（突出した部分と比較して）厚肉となることから、ターゲットをターゲット装置に取り付けるにあたり周辺部を利用することで、ターゲットをターゲット装置に対して強固に保持することができ、ターゲットの全体としての強度が高められる。   Preferably, the protruding portion is thinner than the peripheral portion. In this case, since the peripheral portion and the vicinity thereof are relatively thick (compared to the protruding portion), the target is attached to the target device by using the peripheral portion when attaching the target to the target device. On the other hand, it can hold | maintain firmly and the intensity | strength as the whole of a target is raised.

好ましくは、突出した部分は、断面弧状である。このようにすると、熱歪みによるターゲットの強度低下が一層抑制される。   Preferably, the protruding portion is arc-shaped in cross section. In this way, the strength reduction of the target due to thermal strain is further suppressed.

好ましくは、周辺部よりも内側において、突出した部分の頂部よりも厚み方向のうち他方の方向に向けて突出した、他の部材に対して固定するための固定部を有している。このようにすると、固定部を利用することにより、ターゲットを、他の部材であるターゲット装置に対して固定することができる。そのため、ターゲットをターゲット装置に対して強固に保持することができ、ターゲットの全体としての強度が高められる。   Preferably, it has a fixing portion for fixing to another member protruding in the other direction of the thickness direction from the top portion of the protruding portion inside the peripheral portion. If it does in this way, a target can be fixed to a target device which is other members by using a fixed part. Therefore, the target can be firmly held with respect to the target device, and the strength of the target as a whole is increased.

好ましくは、周辺部は平板状である。このようにすると、ターゲットの周辺部をターゲット装置に取り付けやすくなる。   Preferably, the peripheral part has a flat plate shape. If it does in this way, it will become easy to attach the peripheral part of a target to a target device.

本発明によれば、十分な強度を有するターゲット及びそれを備えるターゲット装置を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the target which has sufficient intensity | strength, and a target apparatus provided with the same can be provided.

図１は、本実施形態に係るターゲット装置を装着したＢＮＣＴ装置を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing a BNCT apparatus equipped with a target apparatus according to the present embodiment. 図２は、本実施形態に係るターゲット装置を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing the target device according to the present embodiment. 図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 図４は、図２のＩＶ−ＩＶ線断面図である。4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 図５は、ターゲット装置に取り付けられたターゲットの上部を拡大して示す断面図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the upper part of the target attached to the target device. 図６は、図２のターゲットを背面側から見たときの斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of the target shown in FIG. 2 when viewed from the back side. 図７は、本実施形態に係るターゲット装置の他の例を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing another example of the target device according to the present embodiment. 図８は、図７のターゲットを背面側から見たときの斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of the target shown in FIG. 7 when viewed from the back side.

本発明に係るターゲット装置の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。   A preferred embodiment of a target device according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and a duplicate description is omitted.

図１に示されるように、ＢＮＣＴ装置１は、中性子捕捉療法（ＮＣＴ：Neutron Capture Therapy）によってがん治療等を行うための装置である。ＢＮＣＴ装置１は、患者が治療を受けるために座る治療台３と、サイクロトロンでつくられる高速の陽子（以下、「陽子線」という）Ｌ（図２参照）を受けて中性子を発生させるターゲット装置５と、ターゲット装置５で発生した中性子Ｎを減速させ、低エネルギーの中性子として患者に照射する中性子減速装置（「モデレータ」ともいう）７と、を備えている。陽子線Ｌは、加速粒子に相当する。   As shown in FIG. 1, the BNCT apparatus 1 is an apparatus for performing cancer treatment or the like by neutron capture therapy (NCT). The BNCT apparatus 1 includes a treatment table 3 on which a patient sits for treatment, and a target apparatus 5 that receives high-speed protons (hereinafter referred to as “proton rays”) L (see FIG. 2) generated by a cyclotron and generates neutrons. And a neutron moderator (also referred to as a “moderator”) 7 that decelerates neutrons N generated in the target device 5 and irradiates the patient as low-energy neutrons. The proton beam L corresponds to accelerated particles.

図２〜図５に示されるように、ターゲット装置５は、サイクロトロンに繋がるように敷設されたビームダクト９の端部に、着脱自在に取り付けられている。ターゲット装置５は、陽子線Ｌの照射を受けて中性子Ｎを発生するターゲット１０と、ターゲット１０を保持するターゲットホルダー１１とからなる。ターゲット１０は、円板状に成形されており、ターゲットホルダー１１は、ターゲット１０を挟み付けて保持するフランジ付き短管１３と冷却板（冷却部）１５とを有する。   As shown in FIGS. 2 to 5, the target device 5 is detachably attached to the end portion of the beam duct 9 laid so as to be connected to the cyclotron. The target device 5 includes a target 10 that generates a neutron N when irradiated with a proton beam L, and a target holder 11 that holds the target 10. The target 10 is formed in a disc shape, and the target holder 11 includes a flanged short tube 13 that sandwiches and holds the target 10 and a cooling plate (cooling unit) 15.

フランジ付き短管１３はビームダクト９に固定されている。フランジ付き短管１３を通過した陽子線Ｌはターゲット１０の一方の端面Ｓ１に照射される。ターゲット１０は、陽子線Ｌの照射を受けると中性子を発生し、その中性子は、ターゲット１０の背面Ｓ２、すなわち冷却板１５に接する他方の端面側から放出される。ターゲット１０の背面Ｓ２には、防蝕のための陽極酸化処理が施されている。   The flanged short tube 13 is fixed to the beam duct 9. The proton beam L that has passed through the flanged short tube 13 is irradiated to one end face S1 of the target 10. When the target 10 is irradiated with the proton beam L, the target 10 generates neutrons, and the neutrons are emitted from the back surface S2 of the target 10, that is, the other end face in contact with the cooling plate 15. The back surface S2 of the target 10 is subjected to an anodic oxidation treatment for corrosion prevention.

冷却板１５は銅（Ｃｕ）、アルミニウム合金またはグラファイトによって形成される。冷却板１５には、ターゲット１０に接する一方の端面１５ａ側に冷却水Ｗが通過する複数の螺旋溝１７（図４参照）が形成されている。さらに、冷却板１５には、一方の端面１５ａの裏側、すなわち他方の端面１５ｂ側に、冷却水Ｗ（図５参照）を導入するための導入孔１９と冷却水を排出するための排出孔２１とが形成されている。   The cooling plate 15 is made of copper (Cu), an aluminum alloy, or graphite. A plurality of spiral grooves 17 (see FIG. 4) through which the cooling water W passes are formed on the cooling plate 15 on the side of the one end face 15a in contact with the target 10. Further, the cooling plate 15 has an introduction hole 19 for introducing the cooling water W (see FIG. 5) and a discharge hole 21 for discharging the cooling water on the back side of one end face 15a, that is, on the other end face 15b side. And are formed.

螺旋溝１７は、冷却板１５の中央から外側に向けて螺旋（「平面曲線」、（「渦巻き線」ともいう）を描くように形成されている。螺旋溝１７は、流路断面が略一様である。また、複数の螺旋溝１７は、互いに交差することなく冷却板１５の略中央で一つにまとまり、中央孔２３を介して裏側の導入孔１９に連通している。また、螺旋溝１７の外側の端部は、貫通孔２５を介して裏側の排出孔２１に連通している。冷却水Ｗは、導入孔１９内を通り、中央孔２３を抜けて四本の螺旋溝１７それぞれに分かれる。さらに、冷却水Ｗは、螺旋溝１７の外側の端部から貫通孔２５を通って合流し、裏側の排出孔２１を通って排出される。   The spiral groove 17 is formed so as to draw a spiral (“plane curve”, also referred to as “spiral line”) from the center of the cooling plate 15 to the outside. In addition, the plurality of spiral grooves 17 are gathered together at substantially the center of the cooling plate 15 without crossing each other, and communicated with the introduction hole 19 on the back side via the center hole 23. The outer end portion of the groove 17 communicates with the back-side discharge hole 21 through the through hole 25. The cooling water W passes through the introduction hole 19, passes through the central hole 23, and the four spiral grooves 17 pass. Further, the cooling water W joins from the outer end of the spiral groove 17 through the through hole 25 and is discharged through the discharge hole 21 on the back side.

隣接する一対の螺旋溝１７は、カーブを描くように並んでいる。複数の螺旋溝１７によって冷却溝２６は形成され、各螺旋溝１７は並行部に相当する。なお、本実施形態では、冷却溝２６を複数の螺旋溝１７によって形成するが、例えば、何重にも巻く一本の螺旋溝を冷却溝として形成してもよい。この場合、一本の螺旋溝の中で、内外に隣接して並んだ流路領域が、隣接する一対の並行部となる。また、冷却溝として左右に蛇行する一本の蛇行溝を形成してもよい。この場合、一本の蛇行溝の中で、隣接して並んだ上流側及び下流側の流路領域が、隣接する一対の並行部となる。   A pair of adjacent spiral grooves 17 are arranged so as to draw a curve. The cooling grooves 26 are formed by the plurality of spiral grooves 17, and each spiral groove 17 corresponds to a parallel portion. In the present embodiment, the cooling groove 26 is formed by the plurality of spiral grooves 17, but, for example, a single spiral groove wound in multiple layers may be formed as the cooling groove. In this case, in one spiral groove, the flow channel regions arranged adjacent to each other inside and outside become a pair of adjacent parallel portions. Moreover, you may form one meandering groove meandering right and left as a cooling groove. In this case, in one serpentine groove, adjacent upstream and downstream flow channel regions form a pair of adjacent parallel portions.

冷却板１５は、ターゲット１０の形状に対応した略円形の本体部２７と、本体部２７を挟むようにして上下の対向位置に設けられた張出し部２８，２９とを有する。本体部２７には、前述の螺旋溝１７が形成されている。一対の張出し部２８，２９のうち、下側の張出し部２８には、導入孔１９に連通する導入孔３１が形成されている。さらに、張出し部２８は、両フランジ管３２を介して、冷却水Ｗの導入のために敷設された上流管３３に接続されている。また、上側の張出し部２９には、排出孔２１に連通する排出孔３５が形成されている。張出し部２９は、両フランジ管３６を介して、冷却水Ｗの排出のために敷設された下流管３７に接続されている。   The cooling plate 15 includes a substantially circular main body portion 27 corresponding to the shape of the target 10, and overhang portions 28 and 29 provided at upper and lower opposing positions so as to sandwich the main body portion 27. The main body 27 is formed with the spiral groove 17 described above. Of the pair of overhang portions 28, 29, the lower overhang portion 28 is formed with an introduction hole 31 communicating with the introduction hole 19. Further, the overhang portion 28 is connected to an upstream pipe 33 laid for introducing the cooling water W via both flange pipes 32. Further, a discharge hole 35 communicating with the discharge hole 21 is formed in the upper overhang portion 29. The overhang portion 29 is connected to a downstream pipe 37 laid for discharging the cooling water W through both flange pipes 36.

冷却板１５の背面には、冷却板１５の本体部２７及び両張出し部２８，２９の形状に対応する形状の蓋部３９がボルト留めされている。蓋部３９は、導入孔１９及び排出孔２１を塞ぐように取り付けられており、導入孔１９内に冷却水Ｗの導入路を形成し、排出孔２１内に冷却水Ｗの排出路を形成する。なお、冷却板１５と蓋部３９とを一体成形するようにしてもよい。   On the back surface of the cooling plate 15, a lid portion 39 having a shape corresponding to the shape of the main body portion 27 and the two overhang portions 28 and 29 of the cooling plate 15 is bolted. The lid portion 39 is attached so as to close the introduction hole 19 and the discharge hole 21, forms an introduction path for the cooling water W in the introduction hole 19, and forms a discharge path for the cooling water W in the discharge hole 21. . The cooling plate 15 and the lid portion 39 may be integrally formed.

ターゲット１０の周辺部１０ａは、平板状を呈しており、フランジ付き短管１３と冷却板１５とに挟まれている。一方、ターゲットの周辺部１０ａよりも内側の部分１０ｂは、陽子線Ｌの照射側に向けて突出している（図２及び図６参照）。この内側の部分１０ｂ（突出した部分）は、その断面が弧状となっている。そのため、ターゲット１０は、全体として板状体であるといえる。   The peripheral portion 10 a of the target 10 has a flat plate shape and is sandwiched between the flanged short tube 13 and the cooling plate 15. On the other hand, the part 10b inside the peripheral part 10a of the target protrudes toward the irradiation side of the proton beam L (see FIGS. 2 and 6). The inner portion 10b (protruded portion) has an arcuate cross section. Therefore, it can be said that the target 10 is a plate-like body as a whole.

本実施形態では、ターゲット１０の背面Ｓ２側における内側の部分１０ｂの頂部と背面Ｓ２との距離Ｈ（図２参照）を０．５ｍｍに設定している。そのため、厳密には、冷却板１５の一方の端面１５ａとターゲット１０との間に、僅かに隙間が生じることとなる（ただし、図面上では隙間を誇張して描いているため、図示された隙間と実際の寸法とは必ずしも一致していない。）。そして、この隙間を通じて、冷却水Ｗが異なる螺旋溝１７に移ることも想定される。しかしながら、隙間を流れる冷却水Ｗの水量は螺旋溝１７に沿って流れる冷却水Ｗの水量と比較してごく少量であるので、全ての螺旋溝１７がターゲット１０によって実質的に塞がれているといって差し支えない。   In the present embodiment, the distance H (see FIG. 2) between the top of the inner portion 10b on the back surface S2 side of the target 10 and the back surface S2 is set to 0.5 mm. Therefore, strictly speaking, a slight gap is generated between one end face 15a of the cooling plate 15 and the target 10 (however, since the gap is exaggerated in the drawing, the illustrated gap And the actual dimensions do not necessarily match.) And it is assumed that the cooling water W moves to a different spiral groove 17 through this gap. However, since the amount of the cooling water W flowing through the gap is very small compared to the amount of the cooling water W flowing along the spiral groove 17, all the spiral grooves 17 are substantially blocked by the target 10. I don't mind.

図５に示されるように、ターゲット１０の縁部には、外周に沿って等間隔になるように、複数の遊嵌孔（「クリアランスホール」、「貫通孔」または「挿通孔」ともいう）１０ｃが形成されている。遊嵌孔１０ｃは、ボルト（ボルト部）４３の径よりも大きな内径を有する穴（挿通穴）であり、ボルト４３が挿通可能であれば足りる。   As shown in FIG. 5, a plurality of loose insertion holes (also referred to as “clearance holes”, “through holes”, or “insertion holes”) are formed at the edge of the target 10 at equal intervals along the outer periphery. 10c is formed. The loose fitting hole 10 c is a hole (insertion hole) having an inner diameter larger than the diameter of the bolt (bolt portion) 43, and it is sufficient if the bolt 43 can be inserted.

フランジ付き短管１３の両端にはフランジ部４１があり、一方のフランジ部４１には、ターゲット１０の遊嵌孔１０ｃに対応して複数の遊嵌孔４１ａが形成されている。また、冷却板１５には、ターゲット１０の遊嵌孔１０ｃに対応して複数のねじ穴１５ｄが形成されている。フランジ部４１の遊嵌孔４１ａから差し込まれたボルト４３は、ターゲット１０の遊嵌孔１０ｃを挿通し、冷却板１５のねじ穴１５ｄに螺合する。複数のボルト４３の締め付けにより、フランジ部４１はターゲット１０を冷却板１５側に押圧し、ターゲット１０は、フランジ部４１と冷却板１５との間で、挟み付けられた状態で固定される。ボルト４３及びねじ穴１５ｄによって締結部４４が構成される。なお、フランジ部４１には、フランジ付き短管１３内を気密するシール材４５を装着するための環状溝４７が形成されている。また、冷却板１５には、冷却水Ｗの漏洩を防止するために気密するシール材４９を装着するための環状溝５１が形成されている。   There are flange portions 41 at both ends of the flanged short tube 13, and one flange portion 41 has a plurality of loose fitting holes 41 a corresponding to the loose fitting holes 10 c of the target 10. The cooling plate 15 has a plurality of screw holes 15 d corresponding to the loose fitting holes 10 c of the target 10. The bolt 43 inserted from the loose fitting hole 41 a of the flange portion 41 is inserted into the loose fitting hole 10 c of the target 10 and screwed into the screw hole 15 d of the cooling plate 15. By tightening the plurality of bolts 43, the flange portion 41 presses the target 10 toward the cooling plate 15, and the target 10 is fixed while being sandwiched between the flange portion 41 and the cooling plate 15. The fastening portion 44 is configured by the bolt 43 and the screw hole 15d. The flange portion 41 is formed with an annular groove 47 for mounting a sealing material 45 that hermetically seals the inside of the flanged short tube 13. The cooling plate 15 is formed with an annular groove 51 for mounting an airtight seal member 49 to prevent the cooling water W from leaking.

ターゲット１０はベリリウム（Ｂｅ）からなり、２（ｍＡ）、３０（ＭｅＶ）の陽子線Ｌの照射を受けると６０ｋＷ程度の排熱が必要となり、効率よく排熱できなければ溶けてしまう虞がある。本実施形態に係るターゲット１０は、冷却板１５のすべての螺旋溝１７を実質的に塞ぐように配置され、螺旋溝１７内に冷却水Ｗの流路を形成するようになっているので、ターゲット１０に接するように冷却水Ｗの流路が形成される。その結果として、ターゲット１０を冷却水Ｗによって直接冷却できるようになり、ターゲット１０の排熱効率を向上できる。   The target 10 is made of beryllium (Be), and when irradiated with a proton beam L of 2 (mA) or 30 (MeV), exhaust heat of about 60 kW is required. . The target 10 according to the present embodiment is disposed so as to substantially block all the spiral grooves 17 of the cooling plate 15 and forms a flow path of the cooling water W in the spiral groove 17. A flow path for the cooling water W is formed so as to be in contact with 10. As a result, the target 10 can be directly cooled by the cooling water W, and the exhaust heat efficiency of the target 10 can be improved.

陽子線Ｌをターゲット１０に照射する際には、予めビームダクト９及びフランジ付き短管１３内の空気は除去され、真空領域Ｖ（図２参照）が形成される。本実施形態では、フランジ付き短管１３と冷却板１５とは、ターゲット１０を挟むようにして配置されているため、フランジ付き短管１３内の真空領域Ｖと冷却板１５に形成された冷却水Ｗの流路とはターゲット１０によって完全に縁切りされている。従って、フランジ付き短管１３内に冷却水Ｗが漏れてしまうことはなく、真空領域Ｖでの真空度の低下を防止できる。   When the target 10 is irradiated with the proton beam L, the air in the beam duct 9 and the flanged short tube 13 is removed in advance, and a vacuum region V (see FIG. 2) is formed. In this embodiment, since the flanged short tube 13 and the cooling plate 15 are arranged so as to sandwich the target 10, the vacuum region V in the flanged short tube 13 and the cooling water W formed in the cooling plate 15 are arranged. The flow path is completely cut off by the target 10. Therefore, the cooling water W does not leak into the flanged short tube 13, and a reduction in the degree of vacuum in the vacuum region V can be prevented.

また、ターゲット１０は、陽子線Ｌの照射によって高温になるため熱膨張する。特にターゲット１０は板状であるため、広がる方向への膨張の方が、ターゲット１０の板厚が厚くなる方向への膨張よりも大きい。本実施形態では、ボルト４３の締め付けによってターゲット１０を固定しているが、ボルト４３はターゲット１０の遊嵌孔１０ｃに通されているだけであり、ボルト４３と遊嵌孔１０ｃの内面との間には僅かな隙間（クリアランス）がある。そして、ターゲット１０が熱膨張によって広がっても、この隙間で吸収されてしまうため、ターゲット１０のズレに伴う真空度の低下や冷却水Ｗの漏れを防止できる。   Moreover, since the target 10 becomes high temperature by irradiation of the proton beam L, it expands thermally. In particular, since the target 10 has a plate shape, the expansion in the expanding direction is larger than the expansion in the direction in which the plate thickness of the target 10 increases. In this embodiment, the target 10 is fixed by tightening the bolt 43, but the bolt 43 is only passed through the loose fitting hole 10c of the target 10, and between the bolt 43 and the inner surface of the loose fitting hole 10c. There is a slight gap (clearance). And even if the target 10 spreads due to thermal expansion, it is absorbed in this gap, so that the degree of vacuum and the cooling water W leakage due to the deviation of the target 10 can be prevented.

また、陽子線Ｌの照射によって、ターゲット１０のうち陽子線Ｌの照射を受ける側の面（端面Ｓ１）は加熱により膨張し、ターゲット１０のうち冷却水Ｗに接する側の面（背面Ｓ２）は冷却により収縮する。そのため、陽子線Ｌの照射後、ターゲット１０に熱歪みが発生する。さらに、冷却水Ｗの沸騰を防止するために、冷却水Ｗは７ｋＰａ程度の高圧状態（すなわち、沸点が上昇された状態）で流路内を循環する。そのため、ターゲット１０には、冷却側（背面Ｓ２側）から陽子線Ｌの照射側（端面Ｓ１側）に向けて大きな圧力（水圧）がかかっている。   Moreover, by irradiation of the proton beam L, the surface (end surface S1) on the side of the target 10 that receives the irradiation of the proton beam L expands by heating, and the surface of the target 10 that contacts the cooling water W (rear surface S2) Shrinks on cooling. Therefore, after the irradiation with the proton beam L, thermal distortion occurs in the target 10. Further, in order to prevent the cooling water W from boiling, the cooling water W circulates in the flow path in a high pressure state of about 7 kPa (that is, a state where the boiling point is raised). Therefore, a large pressure (water pressure) is applied to the target 10 from the cooling side (back surface S2 side) toward the proton beam L irradiation side (end surface S1 side).

ここで、本実施形態においては、ターゲット１０の内側の部分１０ｂが陽子線Ｌの照射側に向けて突出している。つまり、ターゲット１０が、予め、（ｉ）温度差による熱歪み及び（ｉｉ）水圧による荷重による変形量を考慮した形となっている。そのため、ターゲット１０が温度差による熱歪みの影響を受けたとしても、その熱歪みによる強度低下が生じ難い構造（応力緩和が図られた構造）となっている。また、平板状のターゲットと比較して、ターゲット１０が、冷却水の水圧に対する耐圧性に優れた構造となっている。その結果、ターゲット１０を厚肉とせずとも十分な強度を得ることが可能となり、それに伴い、加速粒子がターゲット１０内に留まり、ターゲット１０内で水素を生じるブリスタリング（blistering：気泡形成）と呼ばれる現象も発生し難くなっている。   Here, in this embodiment, the part 10b inside the target 10 protrudes toward the irradiation side of the proton beam L. That is, the target 10 has a shape in which (i) thermal strain due to temperature difference and (ii) deformation due to load due to water pressure are taken into consideration in advance. Therefore, even if the target 10 is affected by the thermal strain due to the temperature difference, it has a structure in which the strength is not easily lowered by the thermal strain (a structure in which stress relaxation is achieved). Moreover, compared with a flat target, the target 10 has a structure excellent in pressure resistance against the water pressure of cooling water. As a result, it is possible to obtain a sufficient strength without making the target 10 thick, and accordingly, accelerated particles stay in the target 10 and are called blistering (bubble formation) in which hydrogen is generated in the target 10. The phenomenon is also less likely to occur.

図１に示されるように、中性子減速装置７には、ターゲット装置５を受け入れるために開放された円筒状のターゲット収容部７ａが設けられている。中性子減速装置７は、前後方向に移動可能であり、ビームダクト９に固定されたターゲット装置５をターゲット収容部７ａ内に収容する。中性子減速装置７は、ターゲット装置５を冷却板１５側から受け入れる。冷却板１５の螺旋溝１７に冷却水Ｗを導入、排出するための流路は、冷却板１５に形成された導入孔１９及び排出孔２１によって形成されている。従って、冷却板１５の周りには、冷却水Ｗの導入用または排出用の配管は無く、障害物は少ない。中性子減速装置７が移動してターゲット装置５をターゲット収容部７ａ内に受け入れる際には、障害物が無い分、ターゲット１０を中性子減速装置７に近づけることができる。その結果として、ターゲット１０から発生した中性子を中性子減速装置７で減速させて低エネルギーの中性子として患者に照射する際のロスが低減する。   As shown in FIG. 1, the neutron moderator 7 is provided with a cylindrical target accommodating portion 7 a that is opened to receive the target device 5. The neutron decelerator 7 is movable in the front-rear direction, and accommodates the target device 5 fixed to the beam duct 9 in the target accommodating portion 7a. The neutron moderator 7 receives the target device 5 from the cooling plate 15 side. A flow path for introducing and discharging the cooling water W to and from the spiral groove 17 of the cooling plate 15 is formed by an introduction hole 19 and a discharge hole 21 formed in the cooling plate 15. Accordingly, there is no piping for introducing or discharging the cooling water W around the cooling plate 15 and there are few obstacles. When the neutron decelerator 7 moves and receives the target device 5 in the target accommodating portion 7a, the target 10 can be brought closer to the neutron decelerator 7 because there is no obstacle. As a result, the neutron generated from the target 10 is decelerated by the neutron moderator 7 and the loss when irradiating the patient as a low energy neutron is reduced.

ターゲット１０に照射する陽子線Ｌは３０（ＭｅＶ）程度のエネルギーレベルである。陽子線Ｌは、ターゲット１０内に留まると、水素（Ｈ２）ガスに変換され、ブリスタリングという現象を引き起こす。しかしながら、ターゲット１０の板厚Ｄは、必要な中性子発生量を損なうことなく陽子線Ｌが透過可能な厚さであるため、ターゲット１０内でのブリスタリングの発生は抑えられる。陽子線Ｌが透過可能な厚さは、ターゲット１０の材質、照射される陽子線Ｌのエネルギーレベルによって異なるが、本実施形態での陽子線Ｌは、その飛程距離である５．８（ｍｍ）以下の板厚であれば透過可能である。飛程距離は、±０．３ｍｍ程度のばらつきがあるため、このばらつきを考慮すると、本実施形態での陽子線Ｌの透過可能な厚さは、ばらつき範囲内の下限値以下、すなわち、５．８−０．３＝５．５（ｍｍ）以下となる。一方で、ターゲット１０の板厚Ｄが薄くなればなるほど、中性子発生に伴うエネルギーロスが大きくなる。そこで、本実施形態では、ターゲット１０の板厚Ｄとして５．５ｍｍを採用した。ターゲット１０の板厚Ｄを５．５ｍｍとすることで、３％程度のロスが生じる。これは、例えば、２０分程度の正規の治療時間に対して３％程度のロス、すなわち０．６分程度の僅かな治療時間の延長に相当し、微差であると判断できる。 The proton beam L irradiated to the target 10 has an energy level of about 30 (MeV). When the proton beam L stays in the target 10, it is converted into hydrogen (H 2 ) gas, causing a phenomenon of blistering. However, since the plate thickness D of the target 10 is a thickness that allows the proton beam L to pass through without impairing the necessary amount of neutron generation, the occurrence of blistering in the target 10 can be suppressed. The thickness through which the proton beam L can be transmitted differs depending on the material of the target 10 and the energy level of the irradiated proton beam L, but the proton beam L in the present embodiment has a range of 5.8 mm. ) Transmission is possible with the following plate thickness. Since the range of the range has a variation of about ± 0.3 mm, in consideration of this variation, the transmissive thickness of the proton beam L in this embodiment is equal to or less than the lower limit within the variation range, that is, 5. 8-0.3 = 5.5 (mm) or less. On the other hand, the thinner the plate thickness D of the target 10, the greater the energy loss associated with neutron generation. Therefore, in the present embodiment, 5.5 mm is adopted as the plate thickness D of the target 10. By setting the plate thickness D of the target 10 to 5.5 mm, a loss of about 3% occurs. This corresponds to, for example, a loss of about 3% with respect to a regular treatment time of about 20 minutes, that is, a slight extension of the treatment time of about 0.6 minutes, and can be determined to be a slight difference.

ターゲット１０を透過した陽子は、主として螺旋溝１７内を通過する冷却水Ｗによって捕捉される。冷却水Ｗに陽子線Ｌが捕捉されても、ブリスタリングという現象は生じない。従って、ターゲット１０を透過した陽子線Ｌが、今度は他の金属部材などにブリスタリングを生じさせるという問題も引き起こし難い。その結果として、ターゲット１０を陽子の透過可能な厚さ以下に抑え易くなり、ターゲット１０内のブリスタリングの発生を低減できる。   Protons that have passed through the target 10 are captured mainly by the cooling water W that passes through the spiral groove 17. Even if the proton beam L is captured by the cooling water W, the phenomenon of blistering does not occur. Therefore, it is difficult to cause a problem that the proton beam L that has passed through the target 10 causes blistering in other metal members. As a result, the target 10 can be easily suppressed to a thickness that allows protons to pass through, and the occurrence of blistering in the target 10 can be reduced.

以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。   As mentioned above, although this invention was concretely demonstrated based on the embodiment, this invention is not limited to the said embodiment.

ターゲット１０としてはベリリウム（Ｂｅ）に限定されず、タンタル（Ｔａ）などを用いることもできる。また、ターゲット１０の透過可能な厚さは、ターゲット１０に用いる材質や照射する加速粒子のエネルギーによって異なり、適宜に選択することができる。例えば、タンタル（Ｔａ）からなるターゲット１０の場合には、３０（ＭｅＶ）程度のエネルギーレベルの陽子線Ｌを照射する場合には、透過可能な厚さは１．２（ｍｍ）となる。   The target 10 is not limited to beryllium (Be), and tantalum (Ta) or the like can also be used. Further, the transmissive thickness of the target 10 varies depending on the material used for the target 10 and the energy of the accelerated particles to be irradiated, and can be selected as appropriate. For example, in the case of the target 10 made of tantalum (Ta), when the proton beam L having an energy level of about 30 (MeV) is irradiated, the transmissive thickness is 1.2 (mm).

また、ターゲット１０の内側の部分１０ｂの頂部及びその近傍の厚みを、周辺部１０ａよりも薄くしてもよい。この場合、頂部及びその近傍は相対的に（周辺部１０ａと比較して）薄肉となることから、ターゲット１０の排熱効果が高められると共に、ブリスタリングが発生し難くなる。一方、周辺部１０ａ及びその近傍は相対的に（頂部と比較して）厚肉となることから、フランジ付き短管１３と冷却板１５とによって強固に保持でき、ターゲット１０の全体としての強度が高められる。   Moreover, you may make thickness of the top part of the part 10b inside the target 10 and its vicinity thinner than the peripheral part 10a. In this case, the top portion and the vicinity thereof are relatively thin (compared to the peripheral portion 10a), so that the heat exhaust effect of the target 10 is enhanced and blistering is difficult to occur. On the other hand, since the peripheral portion 10a and the vicinity thereof are relatively thick (compared to the top portion), they can be firmly held by the flanged short tube 13 and the cooling plate 15, and the overall strength of the target 10 is increased. Enhanced.

また、本実施形態ではターゲット１０の内側の部分１０ｂを、断面弧状としたが、ターゲット１０は温度差による熱歪みを予め考慮した形状であればよく、ターゲット１０に温度差が作用した場合にターゲット１０の材料の降伏点以下となるような形状であればよい。なお、ターゲット１０を、水圧の荷重による変形量をも予め考慮した形状としてもよい。   In the present embodiment, the inner portion 10b of the target 10 has an arc shape in cross section. However, the target 10 may have a shape that takes into account thermal distortion due to a temperature difference in advance, and when the temperature difference acts on the target 10, the target 10 Any shape can be used as long as it is below the yield point of 10 materials. The target 10 may have a shape that also takes into account the amount of deformation caused by the load of water pressure.

また、ターゲット１０を、図７及び図８に示されるような形状とすることもできる。具体的には、図７及び図８に示されるターゲット１０は、図２及び図６に示されるターゲット１０の頂部を背面Ｓ２側に向けて押し出した形状となっている。すなわち、このターゲット１０は、周辺部１０ａよりも内側の部分１０ｂが上面から見て円形であり、側面から見ると２つの頂点をもって陽子線Ｌの照射側に向けて突出している。また、内側の部分１０ｂの中心部Ｃ１においても、冷却板１５に固定される構造になっている。すなわち、このターゲット１０は２つの断面弧状を呈しており、周辺部１０ａと、周辺部１０ａに囲まれた部分Ｃ１（陽子線Ｌの照射側とは反対側に向けて突出した部分）とによって冷却板１５に固定されている。   Further, the target 10 may be shaped as shown in FIGS. Specifically, the target 10 shown in FIGS. 7 and 8 has a shape in which the top of the target 10 shown in FIGS. 2 and 6 is pushed out toward the back surface S2. That is, this target 10 has a circular portion 10b when viewed from the upper surface with respect to the peripheral portion 10a, and protrudes toward the irradiation side of the proton beam L with two vertices when viewed from the side surface. Further, the central portion C1 of the inner portion 10b is also fixed to the cooling plate 15. That is, the target 10 has two arcs in cross section, and is cooled by the peripheral portion 10a and a portion C1 surrounded by the peripheral portion 10a (a portion protruding toward the side opposite to the irradiation side of the proton beam L). It is fixed to the plate 15.

このようにすると、中心部Ｃ１が冷却板１５に近接することとなるので、中心部Ｃ１と冷却板１５とを接続（例えば、ボルト等の機械的手段にて固定）することによって、ターゲット１０を冷却板１５に対して確実に取り付けることができるようになる。つまり、中心部Ｃ１が、ターゲット１０を冷却板１５に対して固定するための固定部となる。そのため、ターゲット１０をターゲット装置１に対して強固に保持することができ、ターゲット１０の全体としての強度を高めることができる。なお、図７及び図８においては、ターゲット１０は厚み方向から見て円形であったが、ターゲット１０が取り付けられるターゲット装置１に応じて、円形以外の他の形状としてもよい。また、固定部は、周辺部１０ａよりも内側において、陽子線Ｌの照射側に向けて突出している部分の頂部よりもその反対側に向けて突出していればよい。そのため、図７及び図８のように、固定部がターゲット１０の中心に位置している必要はなく、数箇所に固定部を設けたり、直線状に固定部を形成してもよい。   In this way, since the central portion C1 is close to the cooling plate 15, the target portion 10 is fixed by connecting the central portion C1 and the cooling plate 15 (for example, fixed by mechanical means such as bolts). It becomes possible to securely attach to the cooling plate 15. That is, the center portion C <b> 1 is a fixing portion for fixing the target 10 to the cooling plate 15. Therefore, the target 10 can be firmly held with respect to the target device 1, and the strength of the target 10 as a whole can be increased. 7 and 8, the target 10 is circular as viewed from the thickness direction, but may have a shape other than circular depending on the target device 1 to which the target 10 is attached. Moreover, the fixing | fixed part should just protrude toward the other side rather than the top part of the part which protrudes toward the irradiation side of the proton beam L inside the peripheral part 10a. Therefore, as shown in FIGS. 7 and 8, the fixing portion does not need to be located at the center of the target 10, and the fixing portions may be provided at several places or may be formed linearly.

また、本実施形態では、円板状のターゲット１０を用いたが、板状であれば、ターゲット１０を四角形状等の他の形状としてもよい。   Further, in the present embodiment, the disk-shaped target 10 is used. However, the target 10 may have another shape such as a quadrangular shape as long as it is plate-shaped.

１０…ターゲット、１０ａ…周辺部、１０ｂ…内側の部分、１０ｃ…ターゲットに形成された遊嵌孔、１５…冷却板（冷却部）、１５ｄ…冷却板に形成されたねじ穴、１７…螺旋溝、１９…導入孔、２１…排出孔、３９…蓋部、４３…ボルト（ボルト部）、４４…締結部、Ｌ…陽子線（加速粒子）、Ｄ…ターゲットの板厚、Ｖ…真空領域、Ｗ…冷却水。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Target, 10a ... Peripheral part, 10b ... Inner part, 10c ... Free fitting hole formed in target, 15 ... Cooling plate (cooling part), 15d ... Screw hole formed in cooling plate, 17 ... Spiral groove , 19 ... introduction hole, 21 ... discharge hole, 39 ... lid part, 43 ... bolt (bolt part), 44 ... fastening part, L ... proton beam (acceleration particles), D ... target plate thickness, V ... vacuum region, W: Cooling water.

Claims (10)

加速粒子の照射を受けて中性子を発生する物質からなる、板状のターゲットと、
前記ターゲットに対して前記加速粒子の照射側とは反対側に位置する、前記ターゲットの冷却部とを備え、
前記ターゲットは、周辺部よりも内側において、前記加速粒子の照射側に向けて突出した部分を有していることを特徴とするターゲット装置。 A plate-like target made of a substance that generates neutrons when irradiated with accelerated particles;
A cooling unit for the target, located on the opposite side of the target from the irradiation side of the accelerated particles,
The target device has a portion protruding toward the irradiation side of the accelerated particles inside the peripheral portion. 前記突出した部分は、前記周辺部よりも薄肉であることを特徴とする、請求項１に記載されたターゲット装置。   The target device according to claim 1, wherein the protruding portion is thinner than the peripheral portion. 前記突出した部分は、断面弧状であることを特徴とする、請求項１又は２に記載されたターゲット装置。   The target device according to claim 1, wherein the protruding portion has a cross-sectional arc shape. 前記ターゲットは、前記周辺部よりも内側において、前記突出した部分の頂部よりも前記加速粒子の照射側とは反対側に向けて突出した、前記ターゲットを前記冷却部に対して固定するための固定部を有していることを特徴とする、請求項１又は２に記載されたターゲット装置。   The target protrudes toward the side opposite to the irradiation side of the accelerated particles from the top of the protruding part inside the peripheral part, and is fixed for fixing the target to the cooling part. The target device according to claim 1, wherein the target device has a section. 前記周辺部は平板状部分を有し、当該平板状部分が前記冷却部に対して固定されていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載されたターゲット装置。   The target device according to claim 1, wherein the peripheral portion has a flat plate portion, and the flat plate portion is fixed to the cooling unit. 板状のターゲットであって、
周辺部よりも内側において、厚み方向のうち一方の方向に突出した部分を有していることを特徴とするターゲット。 A plate-shaped target,
A target having a portion protruding in one of thickness directions inside the peripheral portion. 前記突出した部分は、前記周辺部よりも薄肉であることを特徴とする、請求項６に記載されたターゲット。   The target according to claim 6, wherein the protruding portion is thinner than the peripheral portion. 前記突出した部分は、断面弧状であることを特徴とする、請求項６又は７に記載されたターゲット。   The target according to claim 6 or 7, wherein the protruding portion has a cross-sectional arc shape. 前記周辺部よりも内側において、前記突出した部分の頂部よりも前記厚み方向のうち他方の方向に向けて突出した、他の部材に対して固定するための固定部を有していることを特徴とする、請求項６又は７に記載されたターゲット。   It has a fixing part for fixing to other members which protrudes in the other direction among the thickness directions from the top part of the protruding part inside the peripheral part. The target according to claim 6 or 7. 前記周辺部は平板状部分を有することを特徴とする、請求項６〜９のいずれか一項に記載されたターゲット。   The target according to claim 6, wherein the peripheral portion has a flat plate portion.
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