JP2010190350A - 静圧気体軸受装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】回転軸と軸受が接触しても軸受の摩耗を最小限に抑えることができる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受装置10は、回転軸2の外周面と対向するラジアル軸受面13A、13Bを有する軸受ブロック11と、回転軸2と軸受ブロック11との間の軸受隙間に加圧気体と液体潤滑剤のミストとを混合した潤滑混合気を供給する潤滑流体供給装置23とを備える。
【選択図】図2
【解決手段】静圧気体軸受装置10は、回転軸2の外周面と対向するラジアル軸受面13A、13Bを有する軸受ブロック11と、回転軸2と軸受ブロック11との間の軸受隙間に加圧気体と液体潤滑剤のミストとを混合した潤滑混合気を供給する潤滑流体供給装置23とを備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、回転軸を気体潤滑膜で支持する静圧気体軸受装置に関し、特に回転軸との接触による摩耗を最小限に抑制できる静圧気体軸受装置に関する。
従来、回転軸を有するロータの回転アンバランスを測定するため、ロータを軸受で支持して高速回転させ、その振動からロータ上のアンバランス量とその方位を算出する釣合い試験装置が用いられる。回転軸とインペラが結合した形態のロータの場合、ロータを上下に抜き差しすることよって簡単にロータの設置・取り外しができるようになった縦型釣合い試験装置が用いられることがある。
このような釣合い試験装置において、ロータを支持する軸受として、気体潤滑膜によって軸受剛性を得る静圧気体軸受が好適に用いられる。静圧気体軸受は、空転トルクが少なくかつ低振動で回転するため計測精度が高く、また、潤滑流体が気体であるため計測完了後のロータに付着物がなく、後処理が容易であるからである。
図1は、静圧気体軸受を用いた従来の縦型釣合い試験装置30の一例を示す模式構成図である。図1において、マウント34に固定された静圧気体軸受33によって、回転軸32を有するロータ31が軸心を上下に向けて支持されている。図1では省略しているが、静圧気体軸受33は中空円筒型の軸受ブロックを有し、その中心穴にロータ31の回転軸32が挿入されている。回転軸32の外周面と、軸受ブロックの内周面との間に、加圧された空気が導入され気体潤滑膜が形成される。マウント34は支持ばね部材35を介してベース部36に取り付けられている。また、釣合い試験装置30は、マウント34の振動、ロータ31の回転位置を計測するための図示しない各種センサと、各センサからの検出データに基づいてアンバランス量とその方位を算出する図示しない演算部とを備えている。
なお、静圧気体軸受の従来例を開示する先行技術文献としては、例えば下記特許文献1がある。また、縦型釣合い試験装置の従来例を開示する先行技術文献としては、例えば下記特許文献2がある。
従来の静圧気体軸受において、ロータに大きなアンバランスがあると、軸受ブロックと回転軸の外周面が接触し、これによって回転数の低下と軸受ブロックの摩耗を生じる。このような軸受ブロックの摩耗は、軸受剛性を低下させ、計測精度を低下させる要因となる。
また、摩耗を抑制するために耐摩耗性に優れるセラミック材を用いる場合でも、多くのアンバランス試験を実施する生産現場では摩耗を抑制しきれないため、数か月で軸受ブロックを交換する必要がある。そのため、ランニングコストが高く、かつバランス計測精度が徐々に変化するため、品質管理が複雑になる。
また、摩耗を抑制するために耐摩耗性に優れるセラミック材を用いる場合でも、多くのアンバランス試験を実施する生産現場では摩耗を抑制しきれないため、数か月で軸受ブロックを交換する必要がある。そのため、ランニングコストが高く、かつバランス計測精度が徐々に変化するため、品質管理が複雑になる。
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、回転軸と軸受が接触しても軸受の摩耗を最小限に抑えることができる静圧気体軸受装置を提供することを課題とする。
上記の問題を解決するため、本発明の静圧気体軸受装置は、以下の技術的手段を採用する。
(1)本発明は、加圧された気体を軸受隙間に供給することで回転軸を気体潤滑膜で支持する静圧気体軸受装置であって、前記回転軸の外周面と対向するラジアル軸受面を有する軸受ブロックと、前記回転軸と前記軸受ブロックとの間の軸受隙間に、加圧気体と液体潤滑剤のミストとを混合した潤滑混合気を供給する潤滑流体供給装置とを備える、ことを特徴とする。
(1)本発明は、加圧された気体を軸受隙間に供給することで回転軸を気体潤滑膜で支持する静圧気体軸受装置であって、前記回転軸の外周面と対向するラジアル軸受面を有する軸受ブロックと、前記回転軸と前記軸受ブロックとの間の軸受隙間に、加圧気体と液体潤滑剤のミストとを混合した潤滑混合気を供給する潤滑流体供給装置とを備える、ことを特徴とする。
上記の本発明の構成によれば、軸受隙間に供給する加圧気体に液体潤滑剤のミストが混入されているので、回転軸が軸受ブロックに接触しても、液体潤滑剤によって接触面が潤滑されることで軸受ブロックの摩耗を最小限に抑えることができる。
また、軸受の潤滑流体として液体を用いる静圧液体軸受ではアンバランス測定完了後において回転軸に大量に付着した液体の除去が問題となるが、本発明では液体潤滑剤がミスト状であり、付着量が微量であるため、除去処理が不要であるか、あるいは、除去処理する場合であっても簡単な拭き取り作業で済むため問題は少ない。
また、軸受の潤滑流体として液体を用いる静圧液体軸受ではアンバランス測定完了後において回転軸に大量に付着した液体の除去が問題となるが、本発明では液体潤滑剤がミスト状であり、付着量が微量であるため、除去処理が不要であるか、あるいは、除去処理する場合であっても簡単な拭き取り作業で済むため問題は少ない。
(2)上記の静圧気体軸受装置において、前記回転軸は軸方向に離れた第1ジャーナル部と第2ジャーナル部を有し、回転軸を含むロータの重心が第1ジャーナル部と第2ジャーナル部の中間位置よりも第1ジャーナル側に寄った位置にあり、前記軸受ブロックは、第1ジャーナル部に対向する第1ラジアル軸受面と、該第1ラジアル軸受面に開口する第1給気孔と、第2ジャーナル部に対向する第2ラジアル軸受面と、該第2ラジアル軸受面に開口する第2給気孔とを有し、前記潤滑流体供給装置は、前記第1給気孔に前記潤滑混合気を供給する。
ロータの重心が第1ジャーナル部寄りの位置にある場合、第2ジャーナル部側よりも第1ジャーナル部側でのアンバランス量・振動が大きくなり、第1ジャーナル部に対向する第1ラジアル軸受面のほうが、第2ラジアル軸受面よりも相対的に、回転軸と接触したときの衝撃、接触圧が大きくなる。
上記(2)の構成によれば、第1ラジアル軸受面に開口する第1給気孔に潤滑混合気を供給するので、回転軸の第1ジャーナル部が軸受ブロックの第1ラジアル軸受面に接触したときの摩擦係数を低減し、第1ラジアル軸受面における摩耗を効果的に抑制できる。
上記(2)の構成によれば、第1ラジアル軸受面に開口する第1給気孔に潤滑混合気を供給するので、回転軸の第1ジャーナル部が軸受ブロックの第1ラジアル軸受面に接触したときの摩擦係数を低減し、第1ラジアル軸受面における摩耗を効果的に抑制できる。
(3)上記の静圧気体軸受装置において、前記潤滑流体供給装置は、さらに前記第2給気孔に前記潤滑混合気を供給する。
上記の構成によれば、第2給気孔にも潤滑混合気を供給することで、軸受ブロックの第2ラジアル軸受面も液体潤滑剤のミストによって潤滑されるので、より効果的に軸受ブロックの摩耗を抑制できる。
(4)上記の静圧気体軸受装置において、前記軸受ブロックは、前記ロータに対向するスラスト軸受面と、該スラスト軸受面に開口する第3給気孔を有し、前記潤滑流体供給装置は、さらに前記第3給気孔に前記潤滑混合気を供給する。
上記の構成によれば、第3給気孔にも潤滑混合気を供給することで、軸受ブロックのスラスト軸受面も液体潤滑剤のミストによって潤滑されるので、より効果的に軸受ブロックの摩耗を抑制できる。
本発明の静圧気体軸受によれば、回転軸と軸受が接触しても軸受の摩耗を最小限に抑えることができる。
以下、本発明の好ましい実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
図2は、本発明の実施形態に係る静圧気体軸受装置10とこれを備えた釣合い試験装置6の概略構成を示す図である。
図2において、静圧気体軸受装置10によって、回転軸2を有するロータ1が軸心を上下に向けて支持されている。ロータ1はアンバランス計測の対象となる回転体である。図示例のロータ1は、回転軸2の一端側に、回転軸2の直径よりも大きい大径回転部3を有しており、大径回転部3が上部に位置する格好で、静圧気体軸受装置10に設置されている。過給機ロータ1を例にすると、タービン軸が回転軸2に相当し、タービンインペラが大径回転部3に相当する。
回転軸2は、軸受によって支持される部位である第1ジャーナル部2aと第2ジャーナル部2bとを軸方向に離れた位置に有している。本実施形態では、大径回転部3に近いほうが第1ジャーナル部2a、遠いほうが第2ジャーナル部2bであるとする。
静圧気体軸受装置10は、マウント17に固定されている。マウント17は支持ばね部材18を介してベース部19に取り付けられている。また、釣合い試験装置6は、マウント17の振動を計測するための振動センサ20と、ロータ1の回転位置を計測するための回転センサ21と、各センサからの検出データに基づいてロータ1のアンバランス量とその方位を算出する演算部22とを備えている。
上記の振動センサ20は、振動を計測するのに必要なデータを検出できるものであれば、特定の種類に限定されず、位置センサや速度センサや加速度センサなどを適用できる。
上記の回転センサ21は、ロータ1の回転(位置・速度)を検出できるものであれば、特定の種類に限定されず、磁気式や光学式などを適用できる。
上記の回転センサ21は、ロータ1の回転(位置・速度)を検出できるものであれば、特定の種類に限定されず、磁気式や光学式などを適用できる。
静圧気体軸受装置10は、軸受ブロック11と、潤滑流体供給装置23とを備える。
軸受ブロック11は、軸方向に貫通する中心穴12が形成された中空円筒型の部品であり、その内面に回転軸2の外周面と対向するラジアル軸受面を有する。具体的には、軸受ブロック11は、第1ジャーナル部2aに対向する第1ラジアル軸受面13Aと、第2ジャーナル部2bに対向する第2ラジアル軸受面13Bとを有する。
軸受ブロック11は、軸方向に貫通する中心穴12が形成された中空円筒型の部品であり、その内面に回転軸2の外周面と対向するラジアル軸受面を有する。具体的には、軸受ブロック11は、第1ジャーナル部2aに対向する第1ラジアル軸受面13Aと、第2ジャーナル部2bに対向する第2ラジアル軸受面13Bとを有する。
軸受ブロック11は、さらに、ロータ1における軸方向に垂直な面に対向するスラスト軸受面13Cを有する。図示例において、スラスト軸受面13Cは、第1ジャーナル部2aの大径回転部3側の端部に連結された、第1ジャーナル部2aよりも直径が大きい拡径部4の端面に対向している。
軸受ブロック11は、さらに、第1ラジアル軸受面13Aに開口する第1給気孔14Aと、第2ラジアル軸受面13Bに開口する第2給気孔14Bと、スラスト軸受面13Cに開口する第3給気孔14Cと、第1給気孔14Aと第2給気孔14Bの間に形成された第1排気孔15Aと、第1給気孔14Aと第3給気孔14Cの間に形成された第2排気孔15Bとを有する。軸受ブロック11において、各孔14A〜14C、15A、15Bは、周方向に間隔をおいて複数設けられている。
図示例の軸受ブロック11は、軸受ブロック11の外周面形状に適合する中空円筒面を有する固定ブロック16によって支持・固定されている。固定ブロック16は、軸受ブロック11を内周面で支持し、潤滑流体供給装置23からの加圧空気を第1給気孔14A、第2給気孔14Bおよび第3給気孔14Cに導くための流路を有している。
潤滑流体供給装置23は、回転軸2と軸受ブロック11との間の軸受隙間に、加圧された気体(例えば空気)と液体潤滑剤のミストとを混合した潤滑混合気を供給する装置である。液体潤滑剤としては、潤滑油やグリセリンを適用できる。
図示例の潤滑流体供給装置23は、第1給気孔14A、第2給気孔14B、第3給気孔14Cに対応した供給装置23A〜23Cを有し、それぞれ独立した系統で加圧気体を供給するようになっている。潤滑流体供給装置23によって第1給気孔14A、第2給気孔14Bおよび第3給気孔14Cに加圧空気が導入されると、第1ジャーナル部2aと第1ラジアル軸受面13Aとの間、第2ジャーナル部2bと第2ラジアル軸受面13Bとの間、および拡径部4とスラスト軸受面13Cとの間に加圧空気が供給され、各隙間において空気の流体潤滑膜が形成され、これによりロータ1が回転可能に支持される。
供給装置23Aは、例えば図3に示すような構成を採用できる。他の供給装置23B、23Cについても、同様の構成を採用できる。
図3において、供給装置23Aは、加圧された空気を送出するポンプ25と、ポンプ25を軸受ブロック11へ導く給気ライン24と、給気ライン24に液体潤滑剤のミストを混入する潤滑ミスト供給装置26とを備える。潤滑ミスト供給装置26は、例えばルブリケータを用いることができる。ルブリケータとしては、潤滑油をオリフィス等からエア供給経路内に滴下することによって潤滑油をエア流に混入させるものや、モールと呼ばれる導油部材の毛細管作用により、潤滑油容器内からエア供給経路へ導くことによって、エア流に潤滑油を含ませるようにするもの等がある。
図3において、供給装置23Aは、加圧された空気を送出するポンプ25と、ポンプ25を軸受ブロック11へ導く給気ライン24と、給気ライン24に液体潤滑剤のミストを混入する潤滑ミスト供給装置26とを備える。潤滑ミスト供給装置26は、例えばルブリケータを用いることができる。ルブリケータとしては、潤滑油をオリフィス等からエア供給経路内に滴下することによって潤滑油をエア流に混入させるものや、モールと呼ばれる導油部材の毛細管作用により、潤滑油容器内からエア供給経路へ導くことによって、エア流に潤滑油を含ませるようにするもの等がある。
上記のように構成された静圧気体軸受装置10によれば、軸受隙間に供給する加圧気体に液体潤滑剤のミストが混入されているので、回転軸2が軸受ブロック11に接触しても、液体潤滑剤によって接触面が潤滑されることで軸受ブロック11の摩耗を最小限に抑えることができる。
また、軸受の潤滑流体として液体を用いる静圧液体軸受ではアンバランス測定完了後において回転軸2に大量に付着した液体の除去が問題となるが、本発明では液体潤滑剤がミスト状であり、付着量が微量であるため、除去処理が不要であるか、あるいは、除去処理する場合であっても簡単な拭き取り作業で済むため問題は少ない。
潤滑流体供給装置23において、液体潤滑剤のミストを混入した加圧空気を供給する給気孔は、第1給気孔14A、第2給気孔14B、第3給気孔14Cのすべてに対してでなくてもよく、ロータ1の形態・種類に合わせて、液体潤滑剤のミストを混合した加圧空気を供給する給気孔を限定してもよい。例えば、第1給気孔14Aと第2給気孔14Bに液体潤滑剤のミストを混合した加圧空気を供給し、第3給気孔14Cには液体潤滑剤のミストが混合されていない加圧空気を供給してもよく、あるいは、第1給気孔14Aまたは第2給気孔14Bの一方にのみ液体潤滑剤のミストを混合した加圧空気を供給し、残りの給気孔には液体潤滑剤のミストが混合されていない加圧空気を供給してもよい。
図2に示す構成例のように、縦型の釣合い試験装置6として構成され、かつ上部に重心が寄っているロータ1を計測対象とする場合、少なくとも第1給気孔14Aについては、液体潤滑剤のミストを混入させた加圧空気を供給するのがよい。
ロータ1の重心が第1ジャーナル部2a寄りの位置にある場合、第2ジャーナル部2b側よりも第1ジャーナル部2a側でのアンバランス量・振動が大きくなり、第1ジャーナル部2aに対向する第1ラジアル軸受面13Aのほうが、第2ラジアル軸受面13Bよりも相対的に、回転軸2と接触したときの衝撃、接触圧が大きくなる。
したがって、図2に示す構成例の場合、少なくとも第1給気孔14Aに液体潤滑剤のミストを混入させた加圧空気を供給することで、第1ジャーナル部2aが第1ラジアル軸受面13Aに接触したときの摩擦係数を低減し、第1ラジアル軸受面13Aにおける摩耗を効果的に抑制できる。
ロータ1の重心が第1ジャーナル部2a寄りの位置にある場合、第2ジャーナル部2b側よりも第1ジャーナル部2a側でのアンバランス量・振動が大きくなり、第1ジャーナル部2aに対向する第1ラジアル軸受面13Aのほうが、第2ラジアル軸受面13Bよりも相対的に、回転軸2と接触したときの衝撃、接触圧が大きくなる。
したがって、図2に示す構成例の場合、少なくとも第1給気孔14Aに液体潤滑剤のミストを混入させた加圧空気を供給することで、第1ジャーナル部2aが第1ラジアル軸受面13Aに接触したときの摩擦係数を低減し、第1ラジアル軸受面13Aにおける摩耗を効果的に抑制できる。
また、図2に示す構成例の場合、第1給気孔14Aだけでなく、第2給気孔14Bにも液体潤滑剤のミストを混入させた加圧空気を供給する構成とすれば、軸受ブロック11の第2ラジアル軸受面13Bも液体潤滑剤のミストによって潤滑されるので、より効果的に軸受ブロック11の摩耗を抑制できる。
さらに、図2に示す構成例の場合、第3給気孔14Cにも液体潤滑剤のミストを混入させた加圧空気を供給する構成とすれば、軸受ブロック11のスラスト軸受面13Cも液体潤滑剤のミストによって潤滑されるので、より効果的に軸受ブロック11の摩耗を抑制できる。
さらに、図2に示す構成例の場合、第3給気孔14Cにも液体潤滑剤のミストを混入させた加圧空気を供給する構成とすれば、軸受ブロック11のスラスト軸受面13Cも液体潤滑剤のミストによって潤滑されるので、より効果的に軸受ブロック11の摩耗を抑制できる。
図2の構成例では、供給装置23A〜23Cにより第1〜第3の給気孔14A〜14Cに対してそれぞれ独立した系統で加圧気体を供給するように構成されているが、加圧気体の供給系統を一部または全部において供用して、供給装置の数を削減してもよい。例えば、一つの供給装置を第1給気孔14Aと第2給気孔14Bとで供用する構成や、一つの供給装置を第1〜第3の給気孔14A〜14Cで供用する構成であってもよい。
図2の構成例では、ロータ1の軸心が上下を向く‘縦型’の釣合い試験装置に適用した静圧空気軸受装置を示したが、本発明はこれに限定されず、ロータ1の軸心が水平を向く‘横型’の釣合い試験装置にも適用可能である。
上記において、本発明の実施形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら発明の実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
1 ロータ
2 回転軸
2a 第1ジャーナル部
2b 第2ジャーナル部
3 大径回転部
4 拡径部
6 釣合い試験装置
10 静圧気体軸受装置
11 軸受ブロック
12 中心穴
13A 第1ラジアル軸受面
13B 第2ラジアル軸受面
13C スラスト軸受面
14A 第1給気孔
14B 第2給気孔
14C 第3給気孔
15A 第1排気孔
15B 第2排気孔
16 固定ブロック
17 マウント
18 支持ばね部材
19 ベース部
20 振動センサ
21 回転センサ
22 演算部
23 潤滑流体供給装置
23A〜23C 供給装置
24 給気ライン
25 ポンプ
26 潤滑ミスト供給装置
2 回転軸
2a 第1ジャーナル部
2b 第2ジャーナル部
3 大径回転部
4 拡径部
6 釣合い試験装置
10 静圧気体軸受装置
11 軸受ブロック
12 中心穴
13A 第1ラジアル軸受面
13B 第2ラジアル軸受面
13C スラスト軸受面
14A 第1給気孔
14B 第2給気孔
14C 第3給気孔
15A 第1排気孔
15B 第2排気孔
16 固定ブロック
17 マウント
18 支持ばね部材
19 ベース部
20 振動センサ
21 回転センサ
22 演算部
23 潤滑流体供給装置
23A〜23C 供給装置
24 給気ライン
25 ポンプ
26 潤滑ミスト供給装置
Claims (4)
- 加圧された気体を軸受隙間に供給することで回転軸を気体潤滑膜で支持する静圧気体軸受装置であって、
前記回転軸の外周面と対向するラジアル軸受面を有する軸受ブロックと、
前記回転軸と前記軸受ブロックとの間の軸受隙間に、加圧気体と液体潤滑剤のミストとを混合した潤滑混合気を供給する潤滑流体供給装置とを備える、ことを特徴とする静圧気体軸受装置。 - 前記回転軸は軸方向に離れた第1ジャーナル部と第2ジャーナル部を有し、回転軸を含むロータの重心が第1ジャーナル部と第2ジャーナル部の中間位置よりも第1ジャーナル側に寄った位置にあり、
前記軸受ブロックは、第1ジャーナル部に対向する第1ラジアル軸受面と、該第1ラジアル軸受面に開口する第1給気孔と、第2ジャーナル部に対向する第2ラジアル軸受面と、該第2ラジアル軸受面に開口する第2給気孔とを有し、
前記潤滑流体供給装置は、前記第1給気孔に前記潤滑混合気を供給する、請求項1記載の静圧気体軸受装置。 - 前記潤滑流体供給装置は、さらに前記第2給気孔に前記潤滑混合気を供給する、請求項2記載の静圧気体軸受装置。
- 前記軸受ブロックは、前記ロータに対向するスラスト軸受面と、該スラスト軸受面に開口する第3給気孔を有し、
前記潤滑流体供給装置は、さらに前記第3給気孔に前記潤滑混合気を供給する、請求項2又は3記載の静圧気体軸受装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016166985A1 (en) * | 2015-04-17 | 2016-10-20 | Seiko Epson Corporation | Gear pump and printing apparatus provided with same |
CN107076199A (zh) * | 2014-05-21 | 2017-08-18 | 诺万达科技英国有限公司 | 气体轴承心轴 |
WO2018029795A1 (ja) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 国際計測器株式会社 | 動釣合い試験機 |
CN110701189A (zh) * | 2019-09-23 | 2020-01-17 | 浙江大学 | 采用轴向非均匀排布的气体润滑方法及应用 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5786731U (ja) * | 1980-11-12 | 1982-05-28 | ||
JP2003301841A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Ntn Corp | 静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置 |
JP2006062043A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Nippei Toyama Corp | 工作機械の主軸装置 |
-
2009
- 2009-02-19 JP JP2009036844A patent/JP2010190350A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5786731U (ja) * | 1980-11-12 | 1982-05-28 | ||
JP2003301841A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Ntn Corp | 静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置 |
JP2006062043A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Nippei Toyama Corp | 工作機械の主軸装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107076199A (zh) * | 2014-05-21 | 2017-08-18 | 诺万达科技英国有限公司 | 气体轴承心轴 |
CN107076199B (zh) * | 2014-05-21 | 2020-06-30 | 诺万达科技英国有限公司 | 气体轴承心轴 |
WO2016166985A1 (en) * | 2015-04-17 | 2016-10-20 | Seiko Epson Corporation | Gear pump and printing apparatus provided with same |
WO2018029795A1 (ja) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 国際計測器株式会社 | 動釣合い試験機 |
US10837856B2 (en) | 2016-08-10 | 2020-11-17 | Kokusai Keisokuki Kabushiki Kaisha | Dynamic balance testing device |
CN112179563A (zh) * | 2016-08-10 | 2021-01-05 | 国际计测器株式会社 | 动平衡测试机 |
CN113176037A (zh) * | 2016-08-10 | 2021-07-27 | 国际计测器株式会社 | 动平衡测试机 |
US11549857B2 (en) | 2016-08-10 | 2023-01-10 | Kokusai Keisokuki Kabushiki Kaisha | Dynamic balance testing device |
CN112179563B (zh) * | 2016-08-10 | 2023-03-14 | 国际计测器株式会社 | 动平衡测试机 |
CN110701189A (zh) * | 2019-09-23 | 2020-01-17 | 浙江大学 | 采用轴向非均匀排布的气体润滑方法及应用 |
CN110701189B (zh) * | 2019-09-23 | 2024-04-26 | 浙江大学 | 采用轴向非均匀排布的气体润滑方法及应用 |
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