JP2010189731A - プラズマ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導波路の少なくとも一部を、同軸ケーブル12およびこの同軸ケーブル12の両端に設けられた同軸導波管変換器11,13とする。これにより、導波路に用いる導波管を少なくすることができるので、組み立てたり分解したりする際に、従来のように多数のボルトとナットの取り付けや取り外しが不要となり、結果として、より容易に組み立てや分解を行うことができる。また、同軸ケーブル12がフレキシブルなので、従来のような歪みの問題を解消することができ、より容易に組み立てを行うことができる。
【選択図】 図1
Description
以下、図面を参照して、本発明の第1の実施の形態について詳細に説明する。
次に、本発明に係る第2の実施の形態について説明する。なお、本実施の形態は、図11を参照して説明した分岐結合型のECRスパッタ装置200の第1ブランチ部202,第2ブランチ部203の一部を、同軸ケーブルおよび同軸導波管変換器に置き換えたものである。したがって、本実施の形態において、図11に示したECRスパッタ装置200と同等の構成要素については、同じ名称および符号を付し、適宜説明を省略する。
Claims (3)
- マイクロ波発生源と、
このマイクロ波発生源で発生させたマイクロ波を伝送する導波路と、
この導波路により伝送されたマイクロ波が石英窓を介して導入されるプラズマ室と
を備えたプラズマ装置であって、
前記導波路は、少なくとも一部が、同軸ケーブルおよびこの同軸ケーブルの両端に設けられ前記マイクロ波の伝播モードを変換する変換器から構成される
ことを特徴とするプラズマ装置。 - 前記導波路は、
途中で2つの第1,第2の導波路に分岐し、この第1,第2の導波路が前記プラズマ室に接続される分岐結合型の形状を有し、
前記第1,第2の導波路は、少なくとも一部が同軸ケーブルおよびこの同軸ケーブルの両端に設けられた変換器から構成される
ことを特徴とする請求項1記載のプラズマ装置。 - 前記石英窓から前記変換器、および、前記分岐から前記変換器までの導波路の実効的な電気長は、前記マイクロ波の半波長の整数倍である
ことを特徴とする請求項2記載のプラズマ装置。
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