JP2010182765A - 固体撮像装置および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導波路構造を有する画素が複数配置されてなるCMOSイメージセンサにおいて、導波路40の中心Oがマイクロレンズ42の中心Qを通る主光線(光軸R)に対して導波路40と受光センサ部32の領域とが重なる面積が大きくなる方向にずれた導波路構造とする。
【選択図】図3
Description
レンズと、
前記レンズを介して入射する光を電気信号に変換する光電変換部と、
前記レンズと前記光電変換部との間に設けられた導波路と
を有する複数の画素を備え、
前記導波路は少なくとも出射側の部位の中心が前記レンズの中心を通る主光線に対して当該導波路の出射側端部と前記光電変換部の領域とが重なる面積が大きくなる方向にずれて配置された
構成となっている。
1.本発明が適用される固体撮像装置(CMOSイメージセンサの例)
2.第1実施形態(導波路が1段の場合の例)
3.第2実施形態(導波路が多段の場合の例)
4.変形例
5.電子機器(撮像装置の例)
(システム構成)
図1は、本発明が適用される固体撮像装置、例えばX−Yアドレス型固体撮像装置の一種であるCMOSイメージセンサの構成の概略を示すシステム構成図である。ここで、CMOSイメージセンサとは、CMOSプロセスを応用して、または部分的に使用して作成されたイメージセンサである。
図2は、単位画素20の回路構成の一例を示す回路図である。図2に示すように、本回路例に係る単位画素20は、光電変換部である例えばフォトダイオード21に加えて、例えば転送トランジスタ22、リセットトランジスタ23、増幅トランジスタ24および選択トランジスタ25の4つのトランジスタを有する構成となっている。
上記構成のCMOSイメージセンサ10は、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等のカメラシステムや、携帯電話機などの撮像機能を有する電子機器に撮像デバイスとして搭載されて用いられる。そして、このような用途に当たって、一般的に、射出瞳距離の短い薄型のカメラ・レンズに対して、周辺減光を軽減する目的で、瞳補正と呼ばれる周知の技術が用いられる。
(画素構造)
図3は、本発明の第1実施形態に係る導波路構造を有する画素の断面構造を示す断面図である。ここでは、図面の簡素化のために、画素アレイ部11の中央部に位置するある1つの単位画素20についての導波路構造を示している。図4に、第1実施形態に係る導波路構造におけるマイクロレンズと導波路とフォトダイオードとの位置関係を示す。
続いて、上述した第1実施形態に係る導波路構造を有する画素についての製造方法の工程の一例について、図5の工程図を用いて説明する。図5において、図3と同等部分には同一符号を付して示している。
受光センサ部32が表層部に形成されたシリコン基板31上に下地絶縁膜33を成膜する。次に、下地絶縁膜33上に層間絶縁膜34を成膜し、次いで、この層間絶縁膜34の表面側に溝パターンを形成して当該溝パターンの内部に例えばメタルを埋め込むことによって配線35を形成する。そして、層間絶縁膜34の成膜と溝パターン内への配線35の形成とを繰り返し、最後に層間絶縁膜34を成膜することによって多層配線層36を形成する。
次に、例えばCG系ガスを用いたドライエッチングにより、レジストマスク51を使用して導波路用の孔37を多層配線層36に形成する。その際に、導波路用の孔37と受光センサ部32の領域とが重なる面積が大きくなるように当該孔37をレイアウトする。これにより、マイクロレンズ42の中心Q(光軸R)と異なる位置に導波路40の中心Oが位置することになる。このときのマイクロレンズ42の中心Qに対する導波路40の中心Oのシフト量としては、光量ロスを最小限に抑える上では、10〜200nm程度が望ましい。
次に、多層配線層36の上に、さらには導波路用の孔37の内部にその内壁に沿って、即ち多層配線層36の露出表面に沿って導波膜38を形成する。導波膜38の材料としては、従来の導波路構造などで用いられている周知の材料を用いることができる。
次に、導波路用の孔37の内部に、導波膜38を介して光透過性の材料を埋め込むことによって光透過性埋込み層39を形成する。このとき埋め込む光透過性の材料としては、従来の導波路構造などで用いられている周知の材料、即ち高屈折率材料を用いることができる。そして、導波膜38および光透過性埋込み層39によって導波路40が形成されることになる。
最後に、多層配線層36上に光透過性埋込み層39を介して各副画素に対応した色のカラーフィルタ41を画素単位で形成し、次いで、カラーフィルタ41上にマイクロレンズ42を画素単位で形成する。
以上説明したように、第1実施形態に係る導波路構造は、導波路40の中心Oがマイクロレンズ42の中心Qを通る主光線に対して導波路40と受光センサ部32の領域とが重なる面積が大きくなる方向にずれた構造となっている。そして、第1実施形態に係る導波路構造によれば、次のような作用効果を得ることができる。
(画素構造)
図10は、本発明の第2実施形態に係る導波路構造を有する画素の断面構造を示す断面図であり、図中、図3と同等部分には同一符号を付して示している。
続いて、上述した第2実施形態に係る導波路構造を有する画素についての製造方法の工程の一例について、図12および図13の工程図を用いて説明する。図12および図13において、図10と同等部分には同一符号を付して示している。
受光センサ部32が表層部に形成されたシリコン基板31上に下地絶縁膜33を成膜する。次いで、下地絶縁膜33上に多層配線層36における最下層の層間絶縁膜34を成膜する。
次に、例えばCG系ガスを用いたドライエッチングにより、レジストマスク51Bを使用して第2導波路40B用の孔37Bを最下層の層間絶縁膜34に形成する。その際に、第2導波路40B用の孔37Bを、受光センサ部32の領域と重なる面積が大きくなるようにレイアウトする。
次に、第2導波路40B用の孔37Bの内部に、CVD(Chemical Vapor Deposition;化学気相成長)法などにより、SiNなどの光透過性の材料を埋め込むことによって第2光透過性埋込み層(透明膜)39Bを形成する。そして、第2光透過性埋込み層39Bにより第2導波路40Bが形成される。この第2導波路40Bの出射側端部(下端部)は、受光センサ部32の受光領域に収まる大きさが望ましい。
次に、第2導波路40B用の孔37Bに埋め込んだ第2光透過性埋込み層39Bの表面を、CMP(Chemical Mechanical Polishing;化学的機械研磨)などにより研磨し、平坦化する。
次に、第2光透過性埋込み層39B上に層間絶縁膜34を成膜し、この層間絶縁膜34の表面側に溝パターンを形成して当該溝パターンの内部に例えばメタルを埋め込むことによって配線35を形成する。そして、層間絶縁膜34の成膜と溝パターン内への配線35の形成とを繰り返し、最後に層間絶縁膜34を成膜することによって多層配線層36を形成する。
次に、例えばCG系ガスを用いたドライエッチングにより、レジストマスク51Aを使用して第1導波路40A用の孔37Aを多層配線層36に形成する。その際、第1導波路40A用の孔37Aをその中心(第1導波路40Aの中心O1)が、マイクロレンズ42の中心Q(光軸R)と重なるようにレイアウトする。
次に、多層配線層36の上に、さらには第1導波路40A用の孔37Aの内部にその内壁に沿って、即ち多層配線層36の露出表面に沿って導波膜38を形成する。導波膜38の材料としては、従来の導波路構造などで用いられている周知の材料を用いることができる。
次に、第1導波路40A用の孔37Aの内部に、導波膜38を介して光透過性の材料を埋め込むことによって第1光透過性埋込み層39Aを形成する。そして、導波膜38および第1光透過性埋込み層39Aによって第1導波路40Aが形成される。
最後に、多層配線層36上に光透過性埋込み層39Aを介して各副画素に対応した色のカラーフィルタ41を画素単位で形成し、次いで、カラーフィルタ41上にマイクロレンズ42を画素単位で形成する。
以上説明したように、第2実施形態に係る導波路構造は、導波路40が例えば2段構成で、第2導波路40Bの中心O2がマイクロレンズ42の中心を通る主光線に対して導波路40と受光センサ部32の領域とが重なる面積が大きくなる方向にずれた構造となっている。そして、第2実施形態に係る導波路構造によれば、次のような作用効果を得ることができる。
上記各実施形態では、本発明が適用される固体撮像装置として、瞳補正の技術を採用したCMOSイメージセンサを示したが、本発明は、瞳補正の技術を採用したCMOSイメージセンサへの適用に限られるものではない。すなわち、瞳補正の技術を採用していないCMOSイメージセンサに対しても同様に、第1,第2実施形態に係る技術を適用することが可能である。
図15は、本発明による電子機器の一例である撮像装置の構成例を示すブロック図である。図15に示すように、本発明に係る撮像装置100は、レンズ群101等を含む光学系、撮像素子102、カメラ信号処理部であるDSP回路103、フレームメモリ104、表示装置105、記録装置106、操作系107および電源系108等を有している。そして、DSP回路103、フレームメモリ104、表示装置105、記録装置106、操作系107および電源系108がバスライン109を介して相互に接続された構成となっている。
Claims (10)
- レンズと、
前記レンズを介して入射する光を電気信号に変換する光電変換部と、
前記レンズと前記光電変換部との間に設けられた導波路と
を有する複数の画素を備え、
前記導波路は少なくとも出射側の部位の中心が前記レンズの中心を通る主光線に対して前記導波路の出射側端部と前記光電変換部の領域とが重なる面積が大きくなる方向にずれて配置されている
固体撮像装置。 - 前記導波路はその出射側端部の面積が前記光電変換部の領域面積よりも小さい
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記導波路はその出射側端部が前記光電変換部の受光面に接している
請求項2記載の固体撮像装置。 - 前記導波路は、前記レンズに近い側に位置する第1の導波路と、前記光電変換部に近い側に位置する第2の導波路との少なくとも2つの導波路からなり、
前記第1の導波路はその中心が前記レンズの中心を通る主光線と一致するように配置され、
前記第2の導波路はその中心が前記レンズの中心を通る主光線に対して当該導波路と前記光電変換部の領域とが重なる面積が大きくなる方向にずれて配置されている
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第2の導波路はその中心が前記光電変換部の領域重心と一致するように配置されている
請求項4記載の固体撮像装置。 - 前記第2の導波路はその出射側端部の面積が前記光電変換部の領域面積よりも小さく、当該出射側端部が前記光電変換部の受光面に接している
請求項5記載の固体撮像装置。 - 前記第1の導波路はその出射側端部が前記第2の導波路の入射側端部と接している
請求項4記載の固体撮像装置。 - 前記第1の導波路と前記第2の導波路とは単一の材料によって構成されている
請求項4記載の固体撮像装置。 - 前記第1の導波路の材料と前記第2の導波路の材料の屈折率が同じまたは近い値である
請求項4記載の固体撮像装置。 - レンズと、
前記レンズを介して入射する光を電気信号に変換する光電変換部と、
前記レンズと前記光電変換部との間に設けられた導波路と
を有する複数の画素を備え、
前記導波路の少なくとも出射側の部位の中心が前記レンズの中心を通る主光線に対して前記導波路の出射側端部と前記光電変換部の領域とが重なる面積が大きくなる方向にずれている
固体撮像装置を有する電子機器。
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