JP2010181312A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の角速度センサは、第1のセンス電極34および第2のセンス電極35から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するΣΔ型AD変換器66と、このΣΔ型AD変換器66からの出力信号を補正する補正演算手段71とを備えるとともに、さらに前記補正演算手段71の後段にΣΔ型DA変換器75を設けたものである。
【選択図】図1
Description
この構成によれば、演算手段として、前記比較手段から出力される少なくとも2つの比較信号の差を演算する差分演算手段を設けているため、電源電圧変化や温度変化の影響により、入力切替手段、DA変換手段、積分手段、比較手段およびDA切替手段からの出力信号が、演算手段に対する少なくとも2つの入力信号に対し同様に加わることになり、これにより、演算手段が有する差分演算手段により、少なくとも2つの入力信号の信号処理結果の差を演算することによって、入力切替手段、DA変換手段、積分手段、比較手段およびDA切替手段からの出力信号における基準電圧変動等の影響をキャンセルできるという作用効果を有するものである。
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1,2,3に記載の発明について、図面を参照しながら説明する。
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項4および請求項5に記載の発明について説明する。
32 駆動電極
33 モニタ電極
34,35 センス電極
40 ドライブ回路
44 入力切替手段
47 DA切替手段
48 DA変換手段
62 積分手段
63 比較手段
66 ΣΔ型AD変換器
70 差分演算手段
71 補正演算手段
75 ΣΔ型DA変換器
81 温度センサ
82 スイッチ
83 SPIバス
Claims (5)
- 駆動電極とセンス電極とモニタ電極を有するセンサ素子と、このセンサ素子を所定の駆動周波数で駆動させるドライブ回路と、前記センス電極から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するAD変換器と、このAD変換器からの出力信号を補正する補正演算手段とを備えるとともに、さらに前記補正演算手段の後段にDA変換器を設けた角速度センサ。
- AD変換器を、少なくとも2つの入力信号を切り替える入力切替手段と、少なくとも2つのレベルの電荷量を出力するDA変換手段と、前記入力切替手段とDA変換手段とから出力される電荷を積分しその少なくとも2つの積分値を保持する積分手段と、この積分手段から出力される少なくとも2つの積分値を所定の値と比較する比較手段と、この比較手段の少なくとも2つの出力に応じて前記DA変換手段の出力を切り替えるDA切替手段と、前記比較手段から出力される少なくとも2つの比較信号の差を演算する差分演算手段とからなるΣΔ型AD変換器で構成した請求項1記載の角速度センサ。
- DA変換器をΣΔ型DA変換器で構成した請求項1または2記載の角速度センサ。
- 補正演算手段の後段にDA変換器と並列にSPIバスを設け、このSPIバスによりデジタル信号からなる出力信号を外部に出力するように構成した請求項1記載の角速度センサ。
- 温度センサを設けるとともに、補正演算手段とDA変換器との間にスイッチを設け、前記温度センサからの出力信号をスイッチに入力し、SPIバスからの指令により、DA変換器から温度情報を出力するように構成した請求項4記載の角速度センサ。
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2009
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