JP2010151795A - 熱式空気流量センサ - Google Patents
熱式空気流量センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010151795A JP2010151795A JP2009205651A JP2009205651A JP2010151795A JP 2010151795 A JP2010151795 A JP 2010151795A JP 2009205651 A JP2009205651 A JP 2009205651A JP 2009205651 A JP2009205651 A JP 2009205651A JP 2010151795 A JP2010151795 A JP 2010151795A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor element
- air flow
- passage
- flow sensor
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims abstract description 59
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 52
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 44
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 20
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 11
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 claims description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 18
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 4
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000029142 excretion Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
【解決手段】空気流量を計測するための流量センサ素子4と、空気流の少なくとも温度、圧力および湿度のいずれかを計測するための環境センサ素子5と、前記流量センサ素子4が配置された副通路7と、前記副通路7が構成され前記主空気流3中に配置されるハウジング15とを備え、流量センサ素子4が配置された副通路7よりも主空気流3中心側に、副通路7と隔離され且つ主空気流3と連通した環境センサ素子5を収納する計測室10を設けた。
【選択図】図1
Description
[実施例1]
図1は本発明の一実施例を示す環境センサを有する熱式空気流量センサの縦断面図で、図2は、図1のA−A’断面図である。自動車等の内燃機関の吸気通路(主通路)2内には、環境センサを有する熱式空気流量センサ1のモジュールハウジング15がモジュールフランジ12を介して取りつけられている。
上記の様に、連通穴16a、16bの大きさおよび連通穴の数を適切に設定することにより、連通穴における適切な負圧差が設定でき、計測室10内に流入する新規の主空気流3の方向および流量を制御することができる。
図5に、本発明の第二実施例である環境センサを有する熱式空気流量センサの共通支持基板6の断面図を示す。
図6には、本発明の第三実施例である環境センサを有する熱式空気流量センサの共通支持基板6の平面図を示す。
図7には、本発明の第四の実施例である環境センサを有する熱式空気流量センサの共通支持基板6の平面図を示す。
図8は、本発明の第五の実施例である環境センサを有する熱式空気流量センサの縦断面図で、図9は、図8のB−B’断面図である。
図10には、本発明の第六の実施例である環境センサを有する熱式空気流量センサの連通穴16aの詳細断面図を示す。
図11には、本発明の第七の実施例である環境センサを有する熱式空気流量センサの連通穴16aの詳細断面図を示す。
図12には、本発明の第八の実施例である環境センサを有する熱式空気流量センサの詳細断面図を示す。
2 吸気通路(主通路)
2a 通路壁
3 主空気流
4 流量センサ素子
5 環境センサ素子
6、6a、6b、6c 共通支持基板
7、7a、7b 副通路
8 入口
9 出口
10 計測室
11 信号処理回路
12 モジュールフランジ
13 コネクタ
14 コネクタ端子
15、15a、15b ハウジング
15c、15d ハウジング外壁面
16a、16b 連通穴(第1の連通穴)
16c 連通穴(第2の連通穴)
25 連通穴
17a、17b 接続端子
18a、18b 金線
19、21 凹部
20 配線部
22 半導体基板
23 塵埃等の異物
24 窪み部
26 開口手段
Claims (12)
- 主通路内に配置されるハウジングと、
該ハウジング内に形成されて前記主通路内を流れる空気の一部が通過する副通路と、
前記ハウジング内に形成されて前記主通路と前記副通路の少なくとも一方に連通する計測室と、
前記副通路内に配置されて該副通路内を通過する空気の空気流量を計測する流量センサ素子と、
前記計測室内に収納されて前記計測室内の空気の温度、圧力、湿度の少なくとも一つを計測する環境センサ素子と、を有する熱式空気流量センサであって、
前記計測室が前記副通路よりも前記主通路の通路壁から離反した通路中央側に配置されていることを特徴とする熱式空気流量センサ。 - 前記ハウジングには、前記主通路と前記計測室との間を連通する第1の連通穴が形成されており、
前記第1の連通穴は、前記主通路内で該主通路内を通過する空気の流れ方向に沿って延在する前記ハウジングのハウジング外壁面に開口することを特徴とする請求項1に記載の熱式空気流量センサ。 - 前記第1の連通穴は、前記ハウジング外壁面に凹設された窪み部内に開口することを特徴とする請求項2に記載の熱式空気流量センサ。
- 前記第1の連通穴は、前記主通路の下流側に向かって開口することを特徴とする請求項3に記載の熱式空気流量センサ。
- 前記第1の連通穴は、前記ハウジングの前記計測室を形成する互いに対向配置された一対の壁部にそれぞれ穿設されて形成されていることを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか一項に記載の熱式空気流量センサ。
- 前記ハウジングには、前記副通路と前記計測室との間を連通する第2の連通穴が形成されていることを特徴とする請求項2から請求項5のいずれか一項に記載の熱式空気流量センサ。
- 前記流量センサ素子と前記環境センサ素子が共通支持基板に搭載され一体化された構成であることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の熱式空気流量センサ。
- 前記共通支持基板には、前記流量センサ素子と前記環境センサ素子の他に、各センサ素子の出力信号を処理する信号処理回路が搭載され、且つ各センサ素子と前記信号処理回路を接続する電気配線層が配設されたことを特徴とする請求項7に記載の熱式空気流量センサ。
- 前記共通支持基板には、前記流量センサ素子を収納する凹部が設けられ、前記流量センサ素子の表面が前記共通支持基板の表面よりはみ出ないように前記凹部内に配置したことを特徴とする請求項7又は8に記載の熱式空気流量センサ。
- 前記環境センサ素子は、圧力センサ素子、湿度センサ素子、温度センサ素子の少なくとも一つを有することを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の熱式空気流量センサ。
- 前記流量センサ素子と前記環境センサ素子は、半導体基板上にマイクロマシニング技術によって形成されたセンサ素子であることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の熱式空気流量センサ。
- 前記流量センサ素子と前記環境センサ素子は、共通の半導体基板上にマイクロマシニング技術によって一体化して形成されたセンサ素子であることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか一項に記載の熱式空気流量センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009205651A JP5279667B2 (ja) | 2008-11-28 | 2009-09-07 | 熱式空気流量センサ |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008303375 | 2008-11-28 | ||
JP2008303375 | 2008-11-28 | ||
JP2009205651A JP5279667B2 (ja) | 2008-11-28 | 2009-09-07 | 熱式空気流量センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010151795A true JP2010151795A (ja) | 2010-07-08 |
JP5279667B2 JP5279667B2 (ja) | 2013-09-04 |
Family
ID=42571029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009205651A Active JP5279667B2 (ja) | 2008-11-28 | 2009-09-07 | 熱式空気流量センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5279667B2 (ja) |
Cited By (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013036892A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Denso Corp | 空気流量測定装置 |
WO2013051488A1 (ja) * | 2011-10-06 | 2013-04-11 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度検出装置 |
JP2014001975A (ja) * | 2012-06-15 | 2014-01-09 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 熱式流量計 |
WO2014203553A1 (ja) * | 2013-06-21 | 2014-12-24 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | ガスセンサ装置およびガスセンサ装置の取付け構造 |
WO2014203555A1 (ja) * | 2013-06-20 | 2014-12-24 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量測定装置 |
WO2015029460A1 (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-05 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | ガスセンサ装置 |
JP2015087254A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
WO2015064213A1 (ja) | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 空気流量測定装置 |
JP2015094647A (ja) * | 2013-11-12 | 2015-05-18 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式空気流量計 |
JP2015132632A (ja) * | 2015-04-27 | 2015-07-23 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量測定装置 |
JP2016011868A (ja) * | 2014-06-27 | 2016-01-21 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
WO2016017298A1 (ja) * | 2014-07-30 | 2016-02-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
WO2016017300A1 (ja) * | 2014-07-30 | 2016-02-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
JP2016031341A (ja) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
DE102015121298A1 (de) | 2014-12-09 | 2016-06-09 | Denso Corporation | Luftmengenmesser |
WO2016121179A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置および電子装置 |
JP2016186499A (ja) * | 2016-06-27 | 2016-10-27 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JP2016196857A (ja) * | 2015-04-03 | 2016-11-24 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
JP2017037093A (ja) * | 2016-10-26 | 2017-02-16 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置、および、空気流量測定装置の製造方法 |
DE102016114141A1 (de) | 2015-08-27 | 2017-03-02 | Denso Corporation | Luftströmungsraten-Messvorrichtung |
JP2017044712A (ja) * | 2016-12-09 | 2017-03-02 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量測定装置 |
JP2017075885A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 株式会社デンソー | 物理量センササブアセンブリおよび物理量測定装置 |
JP2018009889A (ja) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | 株式会社デンソー | 流量センサ |
DE102017114293A1 (de) | 2016-07-20 | 2018-01-25 | Denso Corporation | Ansaugluft-Strömungsraten-Messvorrichtung |
WO2018100887A1 (ja) * | 2016-12-02 | 2018-06-07 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置、異常検出装置、及び異常検出方法 |
JPWO2017056694A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2018-06-21 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
WO2018138967A1 (ja) * | 2017-01-26 | 2018-08-02 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
WO2018193764A1 (ja) * | 2017-04-19 | 2018-10-25 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置 |
US10203257B2 (en) | 2014-07-30 | 2019-02-12 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Physical-quantity detection device |
WO2019073771A1 (ja) * | 2017-10-10 | 2019-04-18 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度測定装置 |
JP2020008595A (ja) * | 2019-10-02 | 2020-01-16 | 株式会社デンソー | エアフロメータ |
JP2020041815A (ja) * | 2018-09-06 | 2020-03-19 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置 |
CN111148972A (zh) * | 2017-09-29 | 2020-05-12 | 日立汽车***株式会社 | 物理量检测装置 |
JP2020079810A (ja) * | 2020-03-06 | 2020-05-28 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置、及びセンサアッセンブリ |
DE102014224609B4 (de) * | 2014-05-19 | 2021-03-11 | Mitsubishi Electric Corporation | Flussmessvorrichtung |
WO2023100213A1 (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-08 | 日立Astemo株式会社 | 物理量検出装置 |
DE102015121295B4 (de) | 2014-12-09 | 2024-06-20 | Denso Corporation | Luftmengenmesser |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6090116B2 (ja) * | 2013-11-07 | 2017-03-08 | 株式会社デンソー | 流量測定装置 |
JP5826355B1 (ja) | 2014-10-03 | 2015-12-02 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
US10444175B2 (en) | 2015-04-03 | 2019-10-15 | Denso Corporation | Measurement device |
JP6641820B2 (ja) | 2015-09-16 | 2020-02-05 | 株式会社デンソー | 流量測定装置 |
JP6009640B1 (ja) | 2015-10-29 | 2016-10-19 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002010694A1 (fr) * | 2000-07-27 | 2002-02-07 | Hitachi, Ltd. | Debitmetre a air de type thermique |
JP3335860B2 (ja) * | 1997-01-16 | 2002-10-21 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量計用測定素子及び熱式空気流量計 |
JP2008157742A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Denso Corp | 半導体装置 |
-
2009
- 2009-09-07 JP JP2009205651A patent/JP5279667B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3335860B2 (ja) * | 1997-01-16 | 2002-10-21 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量計用測定素子及び熱式空気流量計 |
WO2002010694A1 (fr) * | 2000-07-27 | 2002-02-07 | Hitachi, Ltd. | Debitmetre a air de type thermique |
JP2008157742A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Denso Corp | 半導体装置 |
Cited By (75)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8701475B2 (en) | 2011-08-09 | 2014-04-22 | Denso Corporation | Air flow measuring device |
JP2013036892A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Denso Corp | 空気流量測定装置 |
DE112012004149B4 (de) | 2011-10-06 | 2021-08-12 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Feuchtigkeitsmessvorrichtung |
WO2013051488A1 (ja) * | 2011-10-06 | 2013-04-11 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度検出装置 |
JP2013083453A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 湿度検出装置 |
CN103842805A (zh) * | 2011-10-06 | 2014-06-04 | 日立汽车***株式会社 | 湿度检测装置 |
US9410908B2 (en) | 2011-10-06 | 2016-08-09 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Humidity measurement device |
JP2014001975A (ja) * | 2012-06-15 | 2014-01-09 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 熱式流量計 |
US9851234B2 (en) | 2013-06-20 | 2017-12-26 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Physical quantity measuring device |
WO2014203555A1 (ja) * | 2013-06-20 | 2014-12-24 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量測定装置 |
JP2015004556A (ja) * | 2013-06-20 | 2015-01-08 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量測定装置 |
US9976976B2 (en) | 2013-06-21 | 2018-05-22 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Gas sensor apparatus and installation structure of gas sensor apparatus |
JP2015004609A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | ガスセンサ装置およびガスセンサ装置の取付け構造 |
WO2014203553A1 (ja) * | 2013-06-21 | 2014-12-24 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | ガスセンサ装置およびガスセンサ装置の取付け構造 |
CN105393114A (zh) * | 2013-06-21 | 2016-03-09 | 日立汽车***株式会社 | 气体传感器装置以及气体传感器装置的安装结构 |
US20160139071A1 (en) * | 2013-06-21 | 2016-05-19 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Gas Sensor Apparatus and Installation Structure of Gas Sensor Apparatus |
JP2015045515A (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-12 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | ガスセンサ装置 |
US9958305B2 (en) | 2013-08-27 | 2018-05-01 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Gas sensor device |
WO2015029460A1 (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-05 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | ガスセンサ装置 |
CN105492898A (zh) * | 2013-08-27 | 2016-04-13 | 日立汽车***株式会社 | 气体传感器装置 |
JP2015087254A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
WO2015064213A1 (ja) | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 空気流量測定装置 |
JP2015094647A (ja) * | 2013-11-12 | 2015-05-18 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式空気流量計 |
DE102014224609B4 (de) * | 2014-05-19 | 2021-03-11 | Mitsubishi Electric Corporation | Flussmessvorrichtung |
US9927272B2 (en) | 2014-06-27 | 2018-03-27 | Denso Corporation | Air flow meter having a flow rate sensor and a physical quantity sensor |
JP2016011868A (ja) * | 2014-06-27 | 2016-01-21 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
US10190898B2 (en) | 2014-07-30 | 2019-01-29 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Physical-quantity detection device |
JP2016031341A (ja) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
US10655991B2 (en) | 2014-07-30 | 2020-05-19 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Physical-quantity detection device for intake air in an internal combustion engine |
US10203257B2 (en) | 2014-07-30 | 2019-02-12 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Physical-quantity detection device |
WO2016017300A1 (ja) * | 2014-07-30 | 2016-02-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
WO2016017298A1 (ja) * | 2014-07-30 | 2016-02-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
JPWO2016017300A1 (ja) * | 2014-07-30 | 2017-04-27 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
JP2016109623A (ja) * | 2014-12-09 | 2016-06-20 | 株式会社デンソー | エアフロメータ |
US9964422B2 (en) | 2014-12-09 | 2018-05-08 | Denso Corporation | Airflow meter |
DE102015121298A1 (de) | 2014-12-09 | 2016-06-09 | Denso Corporation | Luftmengenmesser |
DE102015121295B4 (de) | 2014-12-09 | 2024-06-20 | Denso Corporation | Luftmengenmesser |
JPWO2016121179A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2017-08-17 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置および電子装置 |
WO2016121179A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置および電子装置 |
US11079262B2 (en) | 2015-01-30 | 2021-08-03 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Physical quantity detection apparatus and electronic apparatus |
JP2016196857A (ja) * | 2015-04-03 | 2016-11-24 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
JP2015132632A (ja) * | 2015-04-27 | 2015-07-23 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量測定装置 |
DE102016114141A1 (de) | 2015-08-27 | 2017-03-02 | Denso Corporation | Luftströmungsraten-Messvorrichtung |
US10429223B2 (en) | 2015-08-27 | 2019-10-01 | Denso Corporation | Air flow rate measuring device with integrated sensor module |
US10584987B2 (en) | 2015-09-30 | 2020-03-10 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Physical quantity detection device |
JPWO2017056694A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2018-06-21 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
JP2017075885A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 株式会社デンソー | 物理量センササブアセンブリおよび物理量測定装置 |
WO2017064958A1 (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 株式会社デンソー | 物理量センササブアセンブリおよび物理量測定装置 |
JP2016186499A (ja) * | 2016-06-27 | 2016-10-27 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JP2018009889A (ja) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | 株式会社デンソー | 流量センサ |
DE102017114293B4 (de) | 2016-07-20 | 2022-08-11 | Denso Corporation | Ansaugluft-Strömungsraten-Messvorrichtung |
US10371076B2 (en) | 2016-07-20 | 2019-08-06 | Denso Corporation | Intake air flow rate measuring device |
US10989128B2 (en) | 2016-07-20 | 2021-04-27 | Denso Corporation | Intake air flow rate measuring device |
DE102017114293A1 (de) | 2016-07-20 | 2018-01-25 | Denso Corporation | Ansaugluft-Strömungsraten-Messvorrichtung |
JP2017037093A (ja) * | 2016-10-26 | 2017-02-16 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置、および、空気流量測定装置の製造方法 |
US11286893B2 (en) | 2016-12-02 | 2022-03-29 | Denso Corporation | Physical quantity measuring device, humidity detector abnormality detection device, and humidity detector abnormality detection method |
JP2018091726A (ja) * | 2016-12-02 | 2018-06-14 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置、異常検出装置、及び異常検出方法 |
WO2018100887A1 (ja) * | 2016-12-02 | 2018-06-07 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置、異常検出装置、及び異常検出方法 |
JP2017044712A (ja) * | 2016-12-09 | 2017-03-02 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量測定装置 |
WO2018138967A1 (ja) * | 2017-01-26 | 2018-08-02 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
DE112017006044B4 (de) | 2017-01-26 | 2023-06-15 | Hitachi Astemo, Ltd. | Thermischer Durchflussmengenmesser |
JPWO2018138967A1 (ja) * | 2017-01-26 | 2019-11-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
US11112286B2 (en) | 2017-01-26 | 2021-09-07 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal flowmeter |
WO2018193764A1 (ja) * | 2017-04-19 | 2018-10-25 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置 |
US11169012B2 (en) | 2017-04-19 | 2021-11-09 | Denso Corporation | Physical quantity measuring device |
JP2018179883A (ja) * | 2017-04-19 | 2018-11-15 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置 |
CN111148972B (zh) * | 2017-09-29 | 2021-04-23 | 日立汽车***株式会社 | 物理量检测装置 |
CN111148972A (zh) * | 2017-09-29 | 2020-05-12 | 日立汽车***株式会社 | 物理量检测装置 |
WO2019073771A1 (ja) * | 2017-10-10 | 2019-04-18 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度測定装置 |
JP7127441B2 (ja) | 2018-09-06 | 2022-08-30 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置及び流量計測装置 |
US11415444B2 (en) | 2018-09-06 | 2022-08-16 | Denso Corporation | Physical quantity measurement device |
JP2020041815A (ja) * | 2018-09-06 | 2020-03-19 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置 |
JP2020008595A (ja) * | 2019-10-02 | 2020-01-16 | 株式会社デンソー | エアフロメータ |
JP2020079810A (ja) * | 2020-03-06 | 2020-05-28 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置、及びセンサアッセンブリ |
WO2023100213A1 (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-08 | 日立Astemo株式会社 | 物理量検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5279667B2 (ja) | 2013-09-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5279667B2 (ja) | 熱式空気流量センサ | |
JP5271997B2 (ja) | 吸気温度センサ | |
US8549901B2 (en) | Sensor structure | |
JP5256264B2 (ja) | 熱式空気流量センサ | |
JP5445535B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP5743871B2 (ja) | 熱式流量計 | |
CN111033186B (zh) | 热式流量计 | |
JP2008058131A (ja) | 熱式ガス流量計 | |
US10444175B2 (en) | Measurement device | |
EP3358314B1 (en) | Physical quantity detection device | |
KR100546930B1 (ko) | 공기 유량 측정 장치 | |
JP6734939B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP5455848B2 (ja) | 熱式流量センサ | |
US11105292B2 (en) | Humidity measurement device | |
JP6855590B2 (ja) | 物理量検出装置 | |
JP6507804B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP6674917B2 (ja) | 熱式流量計 | |
EP3064906A1 (en) | Airflow measurement device | |
JP2008292268A (ja) | 圧力センサ | |
CN105319326B (zh) | 确定流过测量通道的流体介质的至少一个参数的传感器 | |
WO2020202721A1 (ja) | 物理量測定装置 | |
WO2022004098A1 (ja) | センサーユニットおよびその取り付け構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110701 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130521 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5279667 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |