JP2010139298A - Gas sensor - Google Patents

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Murahito Imanari
祐人 今成
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a miniaturizable gas sensor capable of detecting gas quickly, while suppressing loss of a light quantity of an infrared light source. <P>SOLUTION: The gas sensor includes the infrared light source 2 including a plurality of filaments 11 arrayed longitudinally and laterally, an infrared detector 3, an optical filter 4, and a casing 5 passable by gas through the inside and the outside. Each filament 11 is provided respectively with a guide means 12 for guiding an infrared ray to the direction of the infrared detector 3, and a light receiving surface of the infrared detector 3 receives an infrared ray having directivity by the guide means 12, which is radiated from the surface of a substrate performing surface emission by longitudinal and lateral array of the filaments 11, and in the casing 5, a member 8 enclosing a space between the infrared light source and the infrared detector is constituted of a permeable member. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、ガスセンサに関する。   The present invention relates to a gas sensor.

ガスを検出するガスセンサには、様々な原理のものが存在する。例えば、二酸化炭素のガスを検出するガスセンサには、ＮＤＩＲ（Non Dispersive Infrared Gas Analyzer）方式、固体電解質方式、光音響方式などがある。このうち、ＮＤＩＲ方式は、赤外線を照射された分子が吸収するエネルギースペクトルが、分子の化学構造によって異なることを利用した検出方式であり、他の方式に比べて感度が優れる（例えば、特許文献１〜４を参照）。   There are various principles of gas sensors that detect gas. For example, gas sensors that detect carbon dioxide gas include NDIR (Non Dispersive Infrared Gas Analyzer) method, solid electrolyte method, and photoacoustic method. Among these, the NDIR method is a detection method that utilizes the fact that the energy spectrum absorbed by the molecule irradiated with infrared rays varies depending on the chemical structure of the molecule, and has higher sensitivity than other methods (for example, Patent Document 1). ~ 4).

ガスに照射する赤外線の光源としては、フィラメントによるもの（例えば、特許文献５〜７）やレーザによるもの（例えば、特許文献８を参照）がある。このうち、レーザ光源は、一般的に測定波長域が狭く、製品毎の特性のバラつきが大きい。一方、フィラメント光源は、測定波長域が広く、製品毎の特性のバラつきも小さい。
特開平７−７２０７８号公報 特開平１０−３３２５８５号公報 特開２００６−１０４２３号公報 特開２００６−２７５６４１号公報 特開２００１−２２１７３７号公報 特開平１０−２９４０９２号公報 特開２００５−２０７８９１号公報 特開２００７−４０９９５号公報 Examples of the infrared light source that irradiates the gas include a filament (for example, Patent Documents 5 to 7) and a laser (for example, see Patent Document 8). Of these, laser light sources generally have a narrow measurement wavelength range and large variations in characteristics from product to product. On the other hand, the filament light source has a wide measurement wavelength range and a small variation in characteristics between products.
JP-A-7-72078 JP-A-10-332585 JP 2006-10423 A JP 2006-275641 A JP 2001-221737 A JP-A-10-294092 JP 2005-207891 A JP 2007-40995 A

赤外線光源としてフィラメントを用いる場合、赤外線が放射状に放出される。このため、赤外線センサの方へ光を集める反射板やレンズ、光の拡散を抑える光導管等が用いられる。しかし、赤外線光源の周囲にこのような部材を設けることは、ガスセンサの大型化に繋がる。特に、光導管を用いる場合は、管内のガスを置換する通気口を十分な大きさにすることができないため、ガスが置換されるのに時間が掛かる。   When using a filament as an infrared light source, infrared rays are emitted radially. For this reason, a reflector or lens that collects light toward the infrared sensor, an optical conduit that suppresses light diffusion, or the like is used. However, providing such a member around the infrared light source leads to an increase in the size of the gas sensor. In particular, when an optical conduit is used, it takes time for the gas to be replaced because the vent for replacing the gas in the tube cannot be made sufficiently large.

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、赤外線光源の光量の損失を抑制しつつも小型化を実現すると共に、ガスを速やかに検出可能にするガスセンサを提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of such problems, and it is an object of the present invention to provide a gas sensor that realizes downsizing while suppressing loss of light amount of an infrared light source and enables gas to be detected quickly. And

本発明は、上記課題を解決するため、指向性の赤外線を面発光する赤外線光源を筐体に収容し、筐体を構成する部材のうち少なくとも赤外線光源と赤外線検出器との間の空間を囲む部材を通気性の部材で構成する。   In order to solve the above problems, the present invention accommodates an infrared light source that emits directional infrared light in a housing, and surrounds at least a space between the infrared light source and the infrared detector among members constituting the housing. The member is composed of a breathable member.

詳細には、特定のガスの有無を検出するガスセンサであって、基材と、該基材の表面に縦横に配列された複数のフィラメントとを有する赤外線光源と、赤外線を受光する受光面を有し、該受光面が前記基材の表面と対峙する赤外線検出器と、前記赤外線検出器の前記受光面を覆う光学フィルタであって、該光学フィルタが透過可能な赤外線の波長が、検出対象とするガスが吸収する赤外線の波長になるように設定される光学フィルタと、前記赤外線光源と前記赤外線検出器と前記光学フィルタとを収容する筐体であって、該筐体の内
外でガスが流通可能な筐体と、を備え、前記各フィラメントには、赤外線を前記赤外線検出器の方向へ案内する案内手段がそれぞれ設けられており、前記赤外線検出器の受光面は、フィラメントが縦横に配列されることで面発光する前記基材の表面から放射される、前記案内手段により指向性を有する赤外線を受光し、前記筐体は、該筐体を構成する部材のうち少なくとも前記赤外線光源と前記赤外線検出器との間の空間を囲む部材が、該筐体の内外でガスを流通可能な通気性の部材で構成される。 Specifically, it is a gas sensor that detects the presence or absence of a specific gas, and includes an infrared light source having a base material and a plurality of filaments arranged vertically and horizontally on the surface of the base material, and a light receiving surface that receives infrared light. An infrared detector whose light-receiving surface faces the surface of the substrate; and an optical filter that covers the light-receiving surface of the infrared detector, and the wavelength of infrared light that can be transmitted by the optical filter is a detection target. An optical filter that is set to have an infrared wavelength that is absorbed by the gas to be absorbed, and a housing that houses the infrared light source, the infrared detector, and the optical filter, and the gas flows inside and outside the housing. Each of the filaments is provided with guide means for guiding infrared rays toward the infrared detector, and the light receiving surface of the infrared detector has the filaments arranged vertically and horizontally. The guide means emits infrared light having a directivity emitted from the surface of the base material that emits surface light, and the housing includes at least the infrared light source and the infrared light among members constituting the housing. A member that surrounds the space between the detector and the detector is a gas-permeable member that can circulate gas inside and outside the casing.

上記ガスセンサは、任意に定められた特定のガスの有無を検出するものであり、検出対象とするガスの種類は光学フィルタの種類に応じて決定される。すなわち、検出対象とするガスがエネルギーを吸収する波長の赤外線を透過可能とし、その他の波長の赤外線を透過しない光学フィルタを用いることで、特定のガスの検出を可能とする。   The gas sensor detects the presence or absence of a specific gas that is arbitrarily determined, and the type of gas to be detected is determined according to the type of optical filter. That is, the detection target gas can be detected by using an optical filter that can transmit infrared rays having a wavelength that absorbs energy and that does not transmit infrared rays having other wavelengths.

ここで、上記赤外線光源は、基材の表面に縦横に配列された複数のフィラメントを有し、各フィラメントへの通電による発熱で赤外線を放射する。赤外線光源は、フィラメントがこのように配列されることで面状に発光する。赤外線検出器は、この赤外線光源の発光面と対峙することにより、各フィラメントから放射される赤外線を受光する。各フィラメントには、フィラメントから放射状に放たれる赤外線を赤外線検出器の方向へ案内する案内手段が設けられている。これにより、面発光する赤外線光源から放射された赤外線は赤外線検出器へ向けられることになる。従って、赤外線光源から赤外線検出器まで赤外線を案内する反射板等が不要であるためにセンサ全体が小型化可能であり、赤外線光源と赤外線検出器との間の空間を囲む部材を、ガスを流通可能な通気性の部材で構成することが可能となる。通気性の部材を用いているためにガスが筐体の内外で流通しやすく、センサ周辺のガスを速やかに検出できる。なお、ガスを流通可能な通気性の部材としては、例えば、網目状の部材を挙げることができる。   Here, the infrared light source has a plurality of filaments arranged vertically and horizontally on the surface of the base material, and emits infrared rays by heat generated by energizing each filament. The infrared light source emits light in a planar shape by arranging the filaments in this way. The infrared detector receives the infrared rays emitted from each filament by facing the light emitting surface of the infrared light source. Each filament is provided with guide means for guiding the infrared rays emitted radially from the filament toward the infrared detector. Thereby, the infrared rays radiated from the surface emitting infrared light source are directed to the infrared detector. Therefore, since a reflector for guiding infrared rays from the infrared light source to the infrared detector is not required, the entire sensor can be miniaturized, and gas is circulated through the member surrounding the space between the infrared light source and the infrared detector. It is possible to configure with possible breathable members. Since a gas-permeable member is used, the gas easily circulates inside and outside the casing, and the gas around the sensor can be detected quickly. In addition, as a breathable member which can distribute | circulate gas, a mesh-shaped member can be mentioned, for example.

なお、上記ガスセンサは、前記赤外線検出器と前記光学フィルタとを組み合わせた赤外線受光部を複数備えるものであってもよい。赤外線光源が面発光するため、赤外線検出器と光学フィルタを組み合わせた赤外線受光部をこの発光面と平行するように複数設けてもセンサ全体を小型化できる。特に、一点から放射状に放たれる赤外線を使う場合に比べて大幅な小型化が可能である。なお、このように面発光する赤外線光源からの赤外線を複数の赤外線受光部で受光する構成を採用する場合、前記各赤外線受光部は、互いに異なるガスを検出対象とするものであってもよい。これによれば、複数の種類のガスを検出することが可能である。   Note that the gas sensor may include a plurality of infrared light receiving units in which the infrared detector and the optical filter are combined. Since the infrared light source emits light from the surface, the entire sensor can be downsized even if a plurality of infrared light receiving portions combining an infrared detector and an optical filter are provided in parallel with the light emitting surface. In particular, the size can be greatly reduced as compared with the case where infrared rays emitted radially from one point are used. In addition, when employ | adopting the structure which receives the infrared rays from the infrared light source which carries out surface emission in this way with a several infrared light-receiving part, each said infrared light-receiving part may make a different gas into a detection object. According to this, it is possible to detect a plurality of types of gases.

また、前記案内手段は、フィラメントを囲んで該フィラメントからの赤外線を前記赤外線検出器の方向へ案内するリフレクタであってもよい。このように構成される赤外線光源であれば、各フィラメントから放射状に放たれた赤外線が赤外線検出器の方へ反射されるため、赤外線光源から放射される赤外線をガスの検出に有効に使うことができる。   The guide means may be a reflector that surrounds the filament and guides infrared rays from the filament toward the infrared detector. In the case of the infrared light source configured in this way, since the infrared radiation emitted from each filament is reflected toward the infrared detector, the infrared radiation emitted from the infrared light source can be effectively used for gas detection. it can.

赤外線光源の光量の損失を抑制しつつも小型化を実現すると共に、ガスを速やかに検出可能にするガスセンサを提供することが可能となる。   It is possible to provide a gas sensor that realizes downsizing while suppressing loss of light amount of the infrared light source and that can detect gas quickly.

以下、本発明の第一実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るガスセンサ１の構成図である。ガスセンサ１は、図１に示すように、赤外線光源２、赤外線検出器３、光学フィルタ４、及びこれらを収容する筐体５を備えている。   Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a configuration diagram of a gas sensor 1 according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, the gas sensor 1 includes an infrared light source 2, an infrared detector 3, an optical filter 4, and a housing 5 that accommodates these.

赤外線検出器３は、赤外線光源２から放射される赤外線を検出して電気出力する検出器である。赤外線検出器３は、ケーブル６を介して図示しない電気回路と繋がれており、赤
外線検出器３からの出力に増幅処理等が施される。検出器としては、赤外線を受光した際の素子の温度上昇によって赤外線を検出する熱型のものや、赤外線の光子が入射した際に励起される電子に基づいて赤外線を検出する量子型のものを適用できる。 The infrared detector 3 is a detector that detects and electrically outputs infrared rays emitted from the infrared light source 2. The infrared detector 3 is connected to an electric circuit (not shown) via a cable 6, and amplification processing or the like is performed on the output from the infrared detector 3. As a detector, a thermal type that detects infrared rays by the temperature rise of the element when receiving infrared rays, or a quantum type that detects infrared rays based on electrons excited when infrared photons are incident. Applicable.

光学フィルタ４は、赤外線光源２から放射される赤外線のうち、検出対象とするガスが吸収する特定の波長の赤外線を選択的に透過可能にする光学フィルタである。従って、光学フィルタ４が透過可能な赤外線の波長は、検出対象とするガスの成分に応じて適宜選定される。例えば、二酸化炭素のガスを検出対象とする場合、二酸化炭素のガスは約４．３μｍの波長の赤外線を吸収する性質を有するため、この波長の赤外線を選択的に透過する光学フィルタを選定する。   The optical filter 4 is an optical filter that can selectively transmit infrared light having a specific wavelength that is absorbed by a gas to be detected among infrared light emitted from the infrared light source 2. Accordingly, the wavelength of infrared rays that can be transmitted through the optical filter 4 is appropriately selected according to the component of the gas to be detected. For example, when carbon dioxide gas is a detection target, the carbon dioxide gas has a property of absorbing infrared light having a wavelength of about 4.3 μm, and therefore an optical filter that selectively transmits infrared light having this wavelength is selected.

筐体５は、赤外線光源２や赤外線検出器３、光学フィルタ４を収容する。筐体５は、赤外線光源２の表面（後述するフィラメントが縦横に配列されていることにより発光する面）と赤外線検出器の受光面とが対峙するように、これらを筐体５内の内壁に固定している。従って、筐体５内の空間は、赤外線光源２と赤外線検出器３とによって挟まれていることになる。筐体５は、赤外線光源２と赤外線検出器３を固定している部材７が赤外線を遮る部材で構成されており、赤外線光源２と赤外線検出器３との間の空間を囲む部材８が網目状の部材で構成されている。従って、筐体５の周囲に存在するガスは、筐体５の内外を自由に流通する。なお、赤外線光源２と赤外線検出器３との間は、約１０ｍｍ程度の距離がある。   The housing 5 accommodates the infrared light source 2, the infrared detector 3, and the optical filter 4. The housing 5 is placed on the inner wall of the housing 5 so that the surface of the infrared light source 2 (the surface that emits light when the filaments described later are arranged vertically and horizontally) and the light receiving surface of the infrared detector face each other. It is fixed. Therefore, the space in the housing 5 is sandwiched between the infrared light source 2 and the infrared detector 3. The casing 5 is configured by a member 7 that fixes the infrared light source 2 and the infrared detector 3 to block infrared rays, and a member 8 that surrounds the space between the infrared light source 2 and the infrared detector 3 is a mesh. It is comprised by the shape-shaped member. Accordingly, the gas present around the housing 5 freely circulates inside and outside the housing 5. There is a distance of about 10 mm between the infrared light source 2 and the infrared detector 3.

赤外線光源２は、放射する赤外線の波長域が広いフィラメント式の光源である。図２は、赤外線光源２が放射する赤外線の方向を示した図である。赤外線光源２は、指向性の光源であり、図２に示すように赤外線検出器３の方向に赤外線を放射する。図３は、赤外線検出器３の要部を拡大した断面図であり、詳細には図２の符号Ａで示す部分を拡大した図である。赤外線光源２は、図３に示すように、シリコン基板９に設けられた堀１０の上を跨ぐマイクロブリッジ状のフィラメント１１が縦横に多数配列された光源であり、フィラメント１１がこのように配列されることで面発光する。各フィラメント１１には、赤外線光源２から放射される赤外線を赤外線検出器３の方向へ案内する微小なリフレクタ１２がそれぞれ取り付けられている。なお、各フィラメント１１は、シリコン基板９をフィラメント１１だけ残して堀１０が形成されるように異方性エッチング処理することにより形成される。ガスの検出を行う際は、ケーブル６を介して各フィラメント１１を通電する。これにより、各フィラメント１１が発熱し、赤外線を放つ。各フィラメント１１から放射された赤外線は、光学フィルタ４を介して赤外線検出器３に入力される。検出対象のガスが筐体５の中に存在する場合は赤外線検出器３で検出される赤外線のエネルギーが弱くなり、存在しない場合は赤外線検出器３で検出される赤外線のエネルギーが強くなる。   The infrared light source 2 is a filament-type light source having a wide wavelength range of emitted infrared light. FIG. 2 is a diagram showing the direction of infrared rays emitted from the infrared light source 2. The infrared light source 2 is a directional light source, and emits infrared rays in the direction of the infrared detector 3 as shown in FIG. FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the infrared detector 3, and is an enlarged view of a portion indicated by reference numeral A in FIG. As shown in FIG. 3, the infrared light source 2 is a light source in which a large number of microbridge-like filaments 11 straddling the moat 10 provided on the silicon substrate 9 are arranged vertically and horizontally, and the filaments 11 are arranged in this way. To emit surface light. Each filament 11 is provided with a minute reflector 12 that guides infrared rays emitted from the infrared light source 2 toward the infrared detector 3. Each filament 11 is formed by performing an anisotropic etching process so that the trench 10 is formed leaving only the filament 11 in the silicon substrate 9. When performing gas detection, each filament 11 is energized via the cable 6. As a result, each filament 11 generates heat and emits infrared rays. Infrared rays emitted from each filament 11 are input to the infrared detector 3 through the optical filter 4. When the gas to be detected is present in the housing 5, the infrared energy detected by the infrared detector 3 is weak, and when it is not present, the infrared energy detected by the infrared detector 3 is strong.

上記のように構成されるガスセンサ１は、平面に縦横に配列された多数のフィラメント１１が赤外線を放射することにより赤外線光源２が平面的に発光する。このため、赤外線が一点で発光する場合に必要となるレンズや導光管、上記リフレクタ１２よりも遥かに大きいリフレクタ等（例えば、図４を参照）が不要である。よって、ガスセンサの小型化することができる。また、赤外線光源２から放射される赤外線が指向性を有し、赤外線検出器３に向けて照射されるため、導光管が不要である。よって、筐体５を網目状の部材等、通気性の部材で構成することが可能である。筐体５を通気性の部材で構成すれば、筐体の一部に通気口を設けた部材で構成する場合に比べて、筐体内のガスを迅速に置換することができるため、ガスを速やかに検出することができる。   In the gas sensor 1 configured as described above, the infrared light source 2 emits light in a planar manner when a large number of filaments 11 arranged vertically and horizontally on a plane emit infrared rays. For this reason, a lens, a light guide tube, a reflector much larger than the reflector 12, etc. (for example, see FIG. 4) required when infrared rays emit light at one point are unnecessary. Therefore, the gas sensor can be downsized. Moreover, since the infrared rays emitted from the infrared light source 2 have directivity and are emitted toward the infrared detector 3, a light guide tube is unnecessary. Therefore, the housing 5 can be formed of a breathable member such as a mesh member. If the casing 5 is made of a breathable member, the gas in the casing can be replaced more quickly than when the casing 5 is made of a member provided with a vent in a part of the casing. Can be detected.

また、上記実施形態は、次のように変形してもよい。図５は、本変形例に係るガスセンサ２１の構成図である。本変形例に係るガスセンサ２１は、図４に示すように、筐体５の内部に光学フィルタ４と赤外線検出器３とをそれぞれ二つずつ備えている。光学フィルタ
４と赤外線検出器３とを組み合わせた赤外線受光部２２は、他の赤外線受光部２２と異なるガスを検出するように構成される。具体的には、各光学フィルタ４が、互いに異なる波長の赤外線を選択的に透過可能となっている。例えば、２つある赤外線受光部２２のうち、何れか一方の赤外線受光部２２の光学フィルタ４を、二酸化炭素に最も吸収される４．３μｍの波長の赤外線を選択的に透過するフィルタとする。また、何れか他方の赤外線受光部２２の光学フィルタ４を、一酸化炭素に最も吸収される４．７μｍの波長の赤外線を選択的に透過するフィルタとする。２つの赤外線受光部２２をそれぞれこのように構成することで、一つの赤外線光源２で２種類のガスを検出可能なガスセンサとすることができる。なお、本変形例に係るガスセンサ１は、２つの赤外線受光部２２で構成されるもののみならず、３つ以上の赤外線受光部２２で構成してもよい。 Moreover, you may deform | transform the said embodiment as follows. FIG. 5 is a configuration diagram of the gas sensor 21 according to this modification. As shown in FIG. 4, the gas sensor 21 according to this modification includes two optical filters 4 and two infrared detectors 3 in the housing 5. The infrared light receiving unit 22 that combines the optical filter 4 and the infrared detector 3 is configured to detect a gas different from the other infrared light receiving units 22. Specifically, each optical filter 4 can selectively transmit infrared rays having different wavelengths. For example, the optical filter 4 of one of the two infrared light receiving units 22 is a filter that selectively transmits infrared light having a wavelength of 4.3 μm that is most absorbed by carbon dioxide. In addition, the optical filter 4 of the other infrared light receiving unit 22 is a filter that selectively transmits infrared light having a wavelength of 4.7 μm that is most absorbed by carbon monoxide. By configuring the two infrared light receiving units 22 in this way, a gas sensor capable of detecting two kinds of gases with one infrared light source 2 can be obtained. Note that the gas sensor 1 according to this modification may be configured with not only two infrared light receiving units 22 but also three or more infrared light receiving units 22.

実施形態に係るガスセンサの構成図。The block diagram of the gas sensor which concerns on embodiment. 赤外線光源が放射する赤外線の方向を示した図。The figure which showed the direction of the infrared rays which an infrared light source radiates | emits. 赤外線検出器の要部を拡大した断面図。Sectional drawing which expanded the principal part of the infrared detector. 従来例に係るガスセンサの構成図。The block diagram of the gas sensor which concerns on a prior art example. 変形例に係るガスセンサの構成図。The block diagram of the gas sensor which concerns on a modification.

符号の説明Explanation of symbols

１ ２１ ガスセンサ
２ 赤外線光源
３ 赤外線検出器
４ 光学フィルタ
５ 筐体
６ ケーブル
７ 部材
８ 部材
９ シリコン基板
１０ 堀
１１ フィラメント
１２ リフレクタ
２２ 赤外線受光部 1 21 Gas sensor 2 Infrared light source 3 Infrared detector 4 Optical filter 5 Housing 6 Cable 7 Member 8 Member 9 Silicon substrate 10 Moat 11 Filament 12 Reflector 22 Infrared light receiver

Claims (5)

特定のガスの有無を検出するガスセンサであって、
基材と、該基材の表面に縦横に配列された複数のフィラメントとを有する赤外線光源と、
赤外線を受光する受光面を有し、該受光面が前記基材の表面と対峙する赤外線検出器と、
前記赤外線検出器の前記受光面を覆う光学フィルタであって、該光学フィルタが透過可能な赤外線の波長が、検出対象とするガスが吸収する赤外線の波長になるように設定される光学フィルタと、
前記赤外線光源と前記赤外線検出器と前記光学フィルタとを収容する筐体であって、該筐体の内外でガスが流通可能な筐体と、を備え、
前記各フィラメントには、赤外線を前記赤外線検出器の方向へ案内する案内手段がそれぞれ設けられており、
前記赤外線検出器の受光面は、フィラメントが縦横に配列されることで面発光する前記基材の表面から放射される、前記案内手段により指向性を有する赤外線を受光し、
前記筐体は、該筐体を構成する部材のうち少なくとも前記赤外線光源と前記赤外線検出器との間の空間を囲む部材が、該筐体の内外でガスを流通可能な通気性の部材で構成される、
ガスセンサ。 A gas sensor for detecting the presence or absence of a specific gas,
An infrared light source having a substrate and a plurality of filaments arranged vertically and horizontally on the surface of the substrate;
An infrared detector having a light receiving surface for receiving infrared light, the light receiving surface facing the surface of the substrate;
An optical filter that covers the light receiving surface of the infrared detector, and an optical filter that is set so that an infrared wavelength that can be transmitted by the optical filter is an infrared wavelength that is absorbed by a gas to be detected;
A housing that houses the infrared light source, the infrared detector, and the optical filter, and a housing that allows gas to flow inside and outside the housing;
Each filament is provided with guide means for guiding infrared rays toward the infrared detector,
The light receiving surface of the infrared detector receives radiation having directivity by the guiding means, which is emitted from the surface of the base material that emits light by arranging the filaments vertically and horizontally,
The case is configured such that at least a member surrounding the space between the infrared light source and the infrared detector among members constituting the case is a gas-permeable member capable of circulating gas inside and outside the case. To be
Gas sensor. 前記赤外線検出器と前記光学フィルタとを組み合わせた赤外線受光部を複数備える、
請求項１に記載のガスセンサ。 Provided with a plurality of infrared light receiving parts combining the infrared detector and the optical filter,
The gas sensor according to claim 1. 前記各赤外線受光部は、互いに異なるガスを検出対象とする、
請求項２に記載のガスセンサ。 Each of the infrared light receiving parts is a detection target gas different from each other,
The gas sensor according to claim 2. 前記筐体は、前記通気性の部材が網目状の部材で構成されている、
請求項１から３の何れか一項に記載のガスセンサ。 In the case, the air-permeable member is constituted by a mesh-like member.
The gas sensor according to any one of claims 1 to 3. 前記案内手段は、フィラメントを囲んで該フィラメントからの赤外線を前記赤外線検出器の方向へ案内するリフレクタである、
請求項１から４の何れか一項に記載のガスセンサ。 The guide means is a reflector that surrounds a filament and guides infrared rays from the filament toward the infrared detector.
The gas sensor according to any one of claims 1 to 4.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101907567A (en) * 2010-06-25 2010-12-08 中国科学院合肥物质科学研究院 Infrared gas detection method based on vacuum tunnel current detection and detection device thereof
JP2018072341A (en) * 2016-10-28 2018-05-10 ドレーゲルヴェルク アクチェンゲゼルシャフト ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト アウフ アクチェンＤｒａｅｇｅｒｗｅｒｋ ＡＧ ＆ Ｃｏ．ＫＧａＡ Device for identifying concentration of at least one gas component in breathing gas mixture
JP2018077222A (en) * 2016-10-28 2018-05-17 ドレーゲルヴェルク アクチェンゲゼルシャフト ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト アウフ アクチェンＤｒａｅｇｅｒｗｅｒｋ ＡＧ ＆ Ｃｏ．ＫＧａＡ Device for specifying concentration of at least one gas component in respiratory gas air-fuel mixture

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