JP2010135443A - 真空吸着パッドおよび真空吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】その表面で被処理物Wを吸着保持しその裏面で真空源に通じる多孔質カーボンから成る真空吸着パッド2の表面をフッ素樹脂で被覆するようにして、被処理物をフッ素樹脂の被膜F’を介して真空吸着パッドに吸着させる。また、フッ素樹脂を導電性フッ素樹脂にして、真空吸着パッドがカーボン材料本来の導電性を失うおそれをなくす。
【選択図】図3
Description
2 真空吸着パッド
3 保持具(ホルダー)
F,F’ 被膜
Claims (3)
- その表面で被処理物を吸着保持しその裏面で真空源に通じる多孔質カーボンから成る真空吸着パッドであって、
前記真空吸着パッドの表面が、フッ素樹脂で被覆されていることを特徴とする真空吸着パッド。 - 前記フッ素樹脂が、導電性フッ素樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の真空吸着パッド。
- 請求項1または請求項2に記載の真空吸着パッドと、その真空吸着パッドを保持する保持具とを有して成ることを特徴とする真空吸着装置。
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