JP2010135171A - マイクロ波放電ランプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】長尺の放電管40を備えたマイクロ波放電ランプにおいて、マイクロ波を発振する2つのマグネトロン12A、12Bを放電管40の両端部40A、40Bと同軸結合させ、放電管40を管軸方向に沿って囲むように導体管30を配置する。そして、マグネトロン12A、12Bによって同軸モードのマイクロ波を放電管40の端部40A、40Bへ供給する。
【選択図】図3
Description
12A、12B、220 マグネトロン(マイクロ波発振器)
20 放電発光部
30、130 導体管(管状導体)
40、240 放電管
242 アルミ蒸着膜(管状導体)
40A、40B 放電管の端部
50A、50B 内側導体部(中継導体部)
52A、52B インピーダンス整合治具
Claims (20)
- マイクロ波を発振する少なくとも1つのマイクロ波発振器と、
放電ガスが封入され、マイクロ波が端部に供給される放電管と、
前記放電管を管軸方向に沿って囲む管状導体とを備え、
前記放電管内に生じるプラズマと前記管状導体が、それぞれ同軸線路の内側導体、外側導体として機能することにより、マイクロ波が管軸方向に伝搬し、マイクロ波の伝搬とともにプラズマが管軸方向に延伸することを特徴とするマイクロ波放電ランプ。 - 前記放電管の他方の端部付近までプラズマが延伸する電力をもつマイクロ波が、前記放電管の端部に供給されることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記放電管の端部が、前記マイクロ波発振器の出力部と同軸接続することを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記マイクロ波発振器の出力部と前記放電管の端部を連結し、同軸線路の内側導体として機能する中継導体部をさらに有することを特徴とする請求項3に記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記中継導体部から管軸方向に沿って延出し、管軸方向長さがマイクロ波の1/4波長であるインピーダンス整合治具をさらに有することを特徴とする請求項4に記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記マイクロ波発振器からのマイクロ波を伝送する導波管をさらに有し、
前記放電管の端部が前記導波管内に挿入されていることを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載のマイクロ波放電ランプ。 - 前記管状導体が、光を通過させる光通過部を部分的に有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記管状導体が、空間を間に設けて前記放電管を囲む導体管を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記管状導体が、管軸方向に沿って光を通過させるスリットを有することを特徴とする請求項8に記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記導体管が楕円断面形状を有し、一方の楕円焦点付近に前記放電管が配置され、他方の楕円焦点近くに前記スリットが形成されることを特徴とする請求項9に記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記導体管の内表面に光反射膜が形成されていることを特徴とする請求項9乃至10のいずれかに記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記導体管が、ガスを取り込むための注入穴が形成されていることを特徴とする請求項8乃至11のいずれかに記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記管状導体が、前記放電管の外表面上に形成されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のマイクロ波放電ランプ。
- 2つのマイクロ波発振器が、前記放電管の両端部にそれぞれマイクロ波を供給することを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記2つのマイクロ波発振器が交互に断続動作し、前記放電管の両端部へマイクロ波を交互に供給することを特徴とする請求項14に記載のマイクロ波放電ランプ。
- 前記2つのマイクロ波発振器の電源がそれぞれ半波整流回路を有し、互いに位相がずれていることを特徴とする請求項15に記載のマイクロ波放電ランプ。
- COとXeの混合ガスが前記放電管内に封入されることを特徴とする請求項1乃至16のいずれかに記載のマイクロ波放電ランプ。
- 放電ガスが封入される放電管と、
前記放電管を管軸方向に沿って囲む導体と、
前記放電管内に生じるプラズマと前記導体がそれぞれ内側導体、外側導体として構成される同軸線路の端部にマイクロ波を供給するマイクロ波供給手段と
を備えたことを特徴とするマイクロ波放電ランプ。 - 前記マイクロ波供給手段が、前記放電管の端部に同軸接続可能であって、マイクロ波を同軸出力することを特徴とする請求項18に記載のマイクロ波放電ランプ。
- 放電ガスが封入される放電管と、
前記放電管を管軸方向に沿って囲む導体とを備え、
マイクロ波が前記放電管の端部に供給され、
放電中、前記放電管内に生じるプラズマと前記導体がそれぞれ同軸線路の内側導体、外側導体として構成されることを特徴とするマイクロ波放電発光部。
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