JP2010110889A - ジェットによる基板表面の仕上げ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面を研磨性液体スラリー14にて被覆する手段と、気体又は液体の何れかの流体ジェット31をスラリーに対して衝突させ、基板表面20に高せん断加工領域を形成し、これにより該表面の形状を所定の形状及び(又は)滑らかになるように変化させる手段とを備えている。該表面20は、該表面上を流動するスラリー層を滝状に流すか又はスラリーを加工領域に衝突させ又は基板20をスラリー内に浸漬させることにより、被覆することができる。ジェット流体を分配するノズル26は、仕上げるべき表面から所定の距離にて及びある角度を成して正確に配置される。ノズル先端26を基板表面20から第一の距離に配置することにより粗除去機能が提供され、ノズル26を基板表面20により近い位置に配置することにより、精密な除去機能が提供される。
【選択図】図1
Description
12 容器
14 研磨性スラリー
16 取り付け手段
17 垂直軸
18 基板
20 基板表面
22 液体上面
24 カバー
26 中空ノズル
27 軸
28 流体媒質供給源
30 管
31 平行化ジェット、流体ジェット
32 マニホルド
33 排出先端の直径
34 角度
35 排出先端、ノズル先端、ノズル直径
36 距離
37 ベル形状曲線
38 除去量の特性線、曲線
40 最大値
41 マイクロレンズの配列
42 マイクロレンズ
42a 第一のマイクロレンズ
42b 第二のマイクロレンズ
42c乃至42h マイクロレンズ
44a 第一の軸方向位置
44b 第二の位置
50 装置の第二の実施の形態
52 補助的ノズル
54 出口
56 再循環ポンプ
58、60 ホース
Claims (7)
- ジェット(31)による(jet−induced)基板(18)の表面(20)の仕上げ装置において、
a)該表面(20)を、研磨性粒子を含む研磨性液体スラリー(abrasive liquid slurry)(14)にて被覆する手段(14)と、
b)前記スラリー以外の流体ジェットを前記スラリーに対して衝突させる手段(26)であって、該流体は研磨性粒子を含んでいない気体であり、前記基板表面に隣接して前記スラリー内にせん断力を発生させ、これにより、前記基板(18)の部分が前記スラリーによって除去され、前記基板表面の形状を所定の形状に向けて変化させる前記気体衝突手段(26)とを備え、
前記気体衝突手段(26)が、ある直径(33)を有する出口先端(35)を備える気体衝突用ノズル(26)を含み、
前記ノズル(26)の先端(35)が、前記ノズル直径の約6倍以下の距離だけ前記基板表面(20)から隔てられ、前記ノズル(26)が前記基板表面(20)に対して0゜から90゜までの任意の所望の角度にて配置可能であり、且つ前記基板(18)及び該基板の取り付け手段(16)は軸線17の周りで回転可能である、ジェットによる基板表面の仕上げ装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記被覆手段が、プール(14)及び補助的ジェット(31)から成る群から選ばれる、装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記距離が、ノズル直径の約2倍以下である、装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記ノズル先端(35)が、前記スラリー中に浸漬される、装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記ノズル先端(35)が、前記スラリーの自由上面よりも上方にある、装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記気体が空気である、装置。 - ジェットにより基板(18)の表面(20)を仕上げる方法において、
a)該表面を研磨性液体スラリー(14)により被覆する工程と、
b)前記スラリー以外の流体ジェットを前記スラリーに対して衝突させる工程であって、該流体は研磨性粒子を含んでいない気体であり、前記基板表面に隣接する前記スラリー内にせん断応力を発生させ、これにより、前記基板の部分(18)が前記スラリーにより除去され、前記基板表面(20)の形状を所定の形状に向けて変化させる前記衝突させる工程と、
c)ある直径の出口先端(35)を有して、前記ジェットを衝突させる気体衝突用ノズル(26)を提供する工程と、
d)基板表面(20)からノズル直径の約6倍以下の距離に前記ノズル先端(35)を配置し、且つ前記ノズル(26)が前記基板表面(20)に対して0゜から90゜までの任意の所望の角度にて配置可能である工程と、
e)前記基板(18)及び該基板の取り付け手段(16)は軸線17の周りで回転可能である工程とを備える、ジェットにより基板表面を仕上げる方法。
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