JP2010110863A - Vacuum suction device and molded article ejector with vacuum suction device - Google Patents
Vacuum suction device and molded article ejector with vacuum suction device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010110863A JP2010110863A JP2008285961A JP2008285961A JP2010110863A JP 2010110863 A JP2010110863 A JP 2010110863A JP 2008285961 A JP2008285961 A JP 2008285961A JP 2008285961 A JP2008285961 A JP 2008285961A JP 2010110863 A JP2010110863 A JP 2010110863A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- vacuum
- holding valve
- suction
- molded product
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
Description
本発明は、成形機で成形された成形品等のワークを吸着して移動させるために用いられる真空吸着装置、及び、この真空吸着装置を備えた成形品取出機に関するものである。 The present invention relates to a vacuum suction device used for sucking and moving a workpiece such as a molded product molded by a molding machine, and a molded product take-out machine including the vacuum suction device.
従来の成形品取出機としては、例えば、吸着部材を有する吸着ヘッドを成形機の金型から成形機外の開放位置まで移動させるアーム機構部と、前記吸着部材内を真空(負圧)にする真空吸着装置とを備えるものが知られている(例えば特許文献1参照)。 As a conventional molded product take-out machine, for example, an arm mechanism that moves a suction head having a suction member from a mold of the molding machine to an open position outside the molding machine, and a vacuum (negative pressure) inside the suction member. What is provided with a vacuum suction apparatus is known (for example, refer patent document 1).
この種の成形品取出機は、成形機に付設されており、アーム機構部を作動させて、吸着ヘッドを待機位置から成形機の金型内に進入させて吸着ヘッドにより成形品を吸着保持するようになっている。そして成形品取出機は、続いて、成形品を吸着したままの吸着ヘッドを成形機外の開放位置まで移動させ、開放位置で吸着ヘッドの成形品の吸着保持を解除し、その後、吸着ヘッドを元の待機位置に復帰移動させる動作を行う。 This type of molded product take-out machine is attached to the molding machine, operates the arm mechanism section, enters the suction head into the mold of the molding machine from the standby position, and sucks and holds the molded product by the suction head. It is like that. Then, the molded product take-out machine moves the suction head that has sucked the molded product to the open position outside the molding machine, releases the suction holding of the molded product of the suction head at the open position, and then removes the suction head. An operation of returning to the original standby position is performed.
一方、成形品取出機に備える真空吸着装置は、例えば、圧縮空気供給源と配管接続すると共に吸着ヘッドの吸着部材とも配管接続する真空発生器と、圧縮空気供給源と真空発生器との間の配管に設けられ、圧縮空気の真空発生器への流通を遮断可能とする切換弁とを備えるものがある。 On the other hand, the vacuum suction device provided in the molded product take-out machine is, for example, a vacuum generator that is connected to a compressed air supply source and connected to a suction member of the suction head, and a space between the compressed air supply source and the vacuum generator. Some are provided with a switching valve that is provided in the pipe and that can block the flow of compressed air to the vacuum generator.
このような真空吸着装置は、吸着ヘッドを金型内に進入させる所定タイミングで切換弁を開いて真空発生器を作動させ、吸着ヘッドの吸着部材を成形品に接触させることにより吸着部材内を真空状態にして、吸着部材により成形品を吸着するようになっている。 Such a vacuum suction device opens the switching valve at a predetermined timing for allowing the suction head to enter the mold and operates the vacuum generator to bring the suction member of the suction head into contact with the molded product, thereby vacuuming the suction member. In this state, the molded product is adsorbed by the adsorbing member.
そして、吸着部材で成形品を吸着したまま、即ち、吸着部材内を真空状態に維持したまま、アーム機構部を作動させることにより、吸着ヘッドで保持された成形品を開放位置まで移動させることができる。吸着ヘッドが開放位置まで移動すると、切換弁を閉じて真空発生器を停止することにより成形品の吸着が解除されて、成形品が吸着ヘッドから離れる。このようにして、吸着部材によって成形品を吸着保持したまま成形品を成形機の金型から成形機外の開放位置まで移動させることができる。 Then, the molded product held by the suction head can be moved to the open position by operating the arm mechanism section while the molded product is sucked by the suction member, that is, while the inside of the suction member is maintained in a vacuum state. it can. When the suction head moves to the open position, the suction of the molded product is released by closing the switching valve and stopping the vacuum generator, and the molded product is separated from the suction head. In this way, the molded product can be moved from the mold of the molding machine to an open position outside the molding machine while the molded product is sucked and held by the suction member.
また、特許文献1に開示されている成形品取出機では、真空発生器と吸着部材間の配管に、配管での空気の流通を遮断可能とする圧力保持弁を設けるとともに、この圧力保持弁と吸着部材間の配管内圧力を検出して吸着部材内の負圧を検出する圧力検出器を設けている。
Moreover, in the molded product take-out machine disclosed in
特許文献1の成形品取出機は、吸着部材に成形品が吸着されている状態のときに圧力検出器で検出される圧力が第1圧力設定値に達すると、圧力保持弁を閉状態にして吸着部材内の真空状態を保持させると共に、圧縮空気供給源と真空発生器との間の配管に設けた切換弁を閉状態にして真空発生器に対する圧縮空気の供給を遮断させるようになっている。
When the pressure detected by the pressure detector reaches the first pressure set value when the molded product is adsorbed on the adsorbing member, the molded product take-out machine of
また、特許文献1の成形品取出機は、圧力検出器で検出される圧力が第1圧力設定値よりも高い(真空度が低い)第2圧力設定値になったときには、圧力保持弁を開状態にすると共に切換弁を開状態にして真空発生器に圧縮空気を供給し、吸着部材内の真空度を上げて、吸着部材の吸着力を上げるようになっている。
Further, the molded product take-out machine of
このように、特許文献1に開示されている成形品取出機では、成形品の取出動作を行なうために、真空発生器により吸着部材内を真空引きして成形品を吸着する際に、切換弁及び圧力保持弁を断続的に閉状態にするようにしている。その結果、特許文献1の成形品取出機は、吸着部材内を真空状態に維持したまま、圧縮空気供給源から真空発生器への圧縮空気の供給を断続的に遮断することができるので、圧縮空気の消費量を低減して真空発生に要するエネルギー消費を低減することができる。
しかしながら、上述した成形品取出機は、切換弁及び圧力保持弁の開閉動作を行なうために、第1圧力設定値と第2圧力設定値を設定している。これら設定値は、吸着部材による成形品の吸着を確実にするために、作業者が成形品の形状・大きさ等に応じて成形品毎に設定を変更する必要があり、作業者による圧力設定の作業が煩雑となる。 However, the above-described molded product take-out machine sets the first pressure set value and the second pressure set value in order to open and close the switching valve and the pressure holding valve. These settings must be changed by the operator for each molded product according to the shape and size of the molded product in order to ensure that the molded product is attracted by the suction member. Work becomes complicated.
本発明は、前記事情に鑑みてなされたものであり、真空手段によるエネルギー消費量を軽減するために吸着部材によりワークを吸着した状態で真空手段を断続的に停止させる場合であっても、真空手段の作動及び停止を行なうための圧力設定をワークとなる成形品毎に行なうことなく、簡単な制御でワークに対して吸着状態を適切に検出してワークの落下を防止できる真空吸着装置及び真空吸着装置を備える成形品取出機を提供することを目的とする The present invention has been made in view of the above circumstances, and in order to reduce the energy consumption by the vacuum means, even when the vacuum means is intermittently stopped in a state where the work is adsorbed by the adsorption member, Vacuum suction device and vacuum that can appropriately detect the suction state with respect to the workpiece and prevent the workpiece from falling by simple control without setting the pressure for operating and stopping the means for each molded product as the workpiece The object is to provide a molded product take-out machine equipped with an adsorption device.
本発明に係る真空吸着装置は、ワークを吸着する吸着部材と、配管を介して前記吸着部材と接続され、前記吸着部材に真空圧を作用させる真空手段と、前記真空手段と前記吸着部材との間の配管に設けられ、前記真空手段と前記吸着部材との連通又は連通の遮断を行なう圧力保持弁と、前記圧力保持弁と前記吸着部材との間の前記配管内の圧力を検出する圧力検出器と、前記真空手段及び前記圧力保持弁の作動を制御する制御手段とを備えている。そして、本発明に係る真空吸着装置は、前記制御手段が、前記圧力保持弁を開き、前記真空手段を作動させている状態で、前記吸着部材により前記ワークを吸着しているときに、前記圧力検出器で検出した圧力が所定時間一定となった場合には、前記圧力保持弁を閉じると共に前記真空手段の作動を停止させ、前記圧力保持弁を閉じ、かつ、前記真空手段を停止させている状態で、前記吸着部材により前記ワークを吸着しているときに、前記圧力検出器で検出した圧力が前記圧力保持弁を開状態から閉状態としたときの圧力から一定幅低下した場合には、前記圧力保持弁を開くと共に前記真空手段を作動させる動作を繰り返すように構成されていることを特徴とする。 A vacuum suction device according to the present invention includes an adsorption member that adsorbs a workpiece, a vacuum unit that is connected to the adsorption member via a pipe and applies a vacuum pressure to the adsorption member, and the vacuum unit and the adsorption member. A pressure holding valve which is provided in a pipe between the vacuum means and the adsorbing member to communicate or block the communication; and a pressure detection which detects a pressure in the pipe between the pressure holding valve and the adsorbing member And a control means for controlling the operation of the vacuum means and the pressure holding valve. In the vacuum suction device according to the present invention, when the control means opens the pressure holding valve and operates the vacuum means, the pressure is absorbed by the suction member. When the pressure detected by the detector becomes constant for a predetermined time, the pressure holding valve is closed, the operation of the vacuum means is stopped, the pressure holding valve is closed, and the vacuum means is stopped. In the state, when the workpiece is adsorbed by the adsorption member, when the pressure detected by the pressure detector is reduced by a certain amount from the pressure when the pressure holding valve is changed from the open state to the closed state, The pressure holding valve is opened and the operation of operating the vacuum means is repeated.
本発明の真空吸着装置は、上記構成を有することにより、前記吸着部材でワークを確実に保持しながら、前記真空手段によりエネルギー消費量を軽減でき、しかも、前記吸着部材でワークを吸着している状態のときに、前記真空手段の断続的な作動制御及び前記圧力保持弁の断続的な開閉制御を作業者の負担なく簡単に行なうことができる。 The vacuum suction device of the present invention has the above-described configuration, so that the vacuum means can reduce energy consumption while the workpiece is securely held by the suction member, and the workpiece is sucked by the suction member. In this state, intermittent operation control of the vacuum means and intermittent opening / closing control of the pressure holding valve can be easily performed without burden on the operator.
本発明の真空吸着装置では、前記圧力保持弁を開いて前記真空手段を作動させているときに、前記圧力検出器で検出した圧力が所定時間一定となったときは、前記吸着部材内の真空状態が安定し、前記吸着部材によるワークの吸着が確実に行なわれていると判断できる。従って、本発明の真空吸着装置は、前記真空手段の作動を停止させ、かつ、前記圧力保持弁を閉じるタイミングを前記圧力検出器で検出した圧力が所定時間一定となったときとしている。そして、ワークの形状等によって前記吸着部材による安定した吸着力は異なるが、本発明の真空吸着装置は、前記吸着部材内の圧力が所定時間一定になったときを吸着力が安定したときと判断するので、前記真空手段の作動及び停止のための圧力設定値を作業者がワークの形状等に応じて設定する煩雑な作業を行なうことなく、前記真空手段の作動制御と前記圧力保持弁の開閉制御を簡単に行なうことができ、作業者の負担を軽減できる。 In the vacuum suction device of the present invention, when the pressure detected by the pressure detector becomes constant for a predetermined time when the pressure holding valve is opened and the vacuum means is operated, the vacuum in the suction member is It can be determined that the state is stable and the workpiece is reliably sucked by the suction member. Therefore, the vacuum suction apparatus of the present invention stops the operation of the vacuum means and closes the pressure holding valve when the pressure detected by the pressure detector becomes constant for a predetermined time. The stable suction force by the suction member varies depending on the shape of the workpiece, but the vacuum suction device of the present invention determines that the suction force is stable when the pressure in the suction member is constant for a predetermined time. Therefore, the operation control of the vacuum means and the opening and closing of the pressure holding valve can be performed without performing complicated work for the operator to set the pressure set value for the operation and stop of the vacuum means according to the shape of the workpiece. Control can be performed easily and the burden on the operator can be reduced.
そして、本発明の真空吸着装置では、前記圧力保持弁を閉じても、前記真空手段を停止させるので、前記吸着部材とワークとの間の微小な隙間等により空気が進入し、前記吸着部材内の圧力が徐々に上昇して真空度が低下していく。そのため、本発明の真空吸着装置では、前記吸着部材によるワークの吸着を確実に維持できる圧力の範囲として、前記圧力保持弁を閉じたときの圧力から一定幅低下した圧力、即ち、前記圧力保持弁を閉じたときの圧力に対して所定の圧力差を設定している。そして、本発明の真空吸着装置は、検出圧力がこの圧力差になったときに、前記圧力保持弁を開いて前記真空手段を作動させて、前記吸着部材内の真空度を上げるようにしている。 In the vacuum suction device of the present invention, even if the pressure holding valve is closed, the vacuum means is stopped, so that air enters through a minute gap between the suction member and the workpiece, and the inside of the suction member The pressure gradually increases and the degree of vacuum decreases. Therefore, in the vacuum suction device of the present invention, the pressure within a certain range from the pressure when the pressure holding valve is closed, that is, the pressure holding valve, as the pressure range in which the suction of the workpiece by the suction member can be reliably maintained, that is, the pressure holding valve A predetermined pressure difference is set with respect to the pressure when the is closed. In the vacuum suction device of the present invention, when the detected pressure becomes this pressure difference, the pressure holding valve is opened and the vacuum means is operated to increase the degree of vacuum in the suction member. .
このように本発明の真空吸着装置は、作業者がわざわざワークの形状等に応じて煩雑な圧力を設定する必要がなく、しかも、ワークの種類に係らず同じ圧力差で前記真空手段の再作動と前記圧力保持弁の開動作を自動的に制御することができるので、作業者の負担を軽減できる。 As described above, the vacuum suction device of the present invention does not require the operator to bother to set a complicated pressure depending on the shape of the workpiece, and the vacuum means can be restarted with the same pressure difference regardless of the type of workpiece. Since the opening operation of the pressure holding valve can be automatically controlled, the burden on the operator can be reduced.
また、本発明の真空吸着装置は、前記構成に加えて、前記真空手段が、圧縮空気供給源と、前記圧縮空気供給源から圧縮空気を供給して負圧を発生させる真空発生器と、前記圧縮空気供給源と前記真空発生器との間に設けられ、前記真空発生器への圧縮空気の供給及び遮断を行なう切換弁とを備える構成とすることが好ましい。 In addition to the above-described configuration, the vacuum suction device of the present invention includes a compressed air supply source, a vacuum generator that generates a negative pressure by supplying compressed air from the compressed air supply source, It is preferable to include a switching valve that is provided between the compressed air supply source and the vacuum generator and that supplies and shuts off the compressed air to the vacuum generator.
本発明の真空吸着装置は、このように前記真空手段が前記圧縮空気供給源、前記真空発生器及び前記切換弁を備える構成としているので、前記圧力検出器で検出した圧力値に基づいて前記切換弁と前記圧力保持弁の開閉動作を行うだけで、前記吸着部材内の真空度の制御を簡単に行なうことができる。さらに、本発明の真空吸着装置は、前記真空手段の消費エネルギーとして、圧縮空気供給源からの圧縮空気の消費量を低減することができる。 In the vacuum suction apparatus of the present invention, since the vacuum means includes the compressed air supply source, the vacuum generator, and the switching valve, the switching is performed based on the pressure value detected by the pressure detector. The degree of vacuum in the adsorption member can be easily controlled simply by opening and closing the valve and the pressure holding valve. Furthermore, the vacuum suction device of the present invention can reduce the consumption of compressed air from the compressed air supply source as the energy consumed by the vacuum means.
さらに、本発明に係る成形品取出機は、成形品を吸着する吸着部材を有する真空吸着装置と、前記吸着部材を成形機の金型から成形機外の開放位置まで移動させるアーム機構部とを備える成形品取出機であって、前記真空吸着装置は、配管を介して前記吸着部材と接続され、前記吸着部材に真空圧を作用させる真空手段と、前記真空手段と前記吸着部材との間の配管に設けられ、前記真空手段と前記吸着部材との連通又は連通の遮断を行なう圧力保持弁と、前記圧力保持弁と前記吸着部材との間の前記配管内の圧力を検出する圧力検出器と、前記真空手段及び前記圧力保持弁の作動を制御する制御手段とを備える。そして、本発明に係る成形品取出機は、前記制御手段が、前記圧力保持弁を開き、前記真空手段を作動させている状態で、前記吸着部材により前記ワークを吸着しているときに、前記圧力検出器で検出した圧力が所定時間一定となった場合には、前記圧力保持弁を閉じると共に前記真空手段の作動を停止させ、前記圧力保持弁を閉じ、かつ、前記真空手段を停止させている状態で、前記吸着部材により前記ワークを吸着しているときに、前記圧力検出器で検出した圧力が前記圧力保持弁を開状態から閉状態としたときの圧力から一定幅低下した場合には、前記圧力保持弁を開くと共に前記真空手段を作動させる動作を繰り返すように構成されている。 Furthermore, the molded product take-out machine according to the present invention includes a vacuum suction device having a suction member that sucks the molded product, and an arm mechanism that moves the suction member from a mold of the molding machine to an open position outside the molding machine. A molded product take-out machine comprising: the vacuum suction device connected to the suction member via a pipe, and a vacuum means for applying a vacuum pressure to the suction member; and between the vacuum means and the suction member A pressure holding valve which is provided in a pipe and which communicates or blocks communication between the vacuum means and the adsorption member; and a pressure detector which detects a pressure in the pipe between the pressure holding valve and the adsorption member; And a control means for controlling the operation of the vacuum means and the pressure holding valve. And the molded product take-out machine according to the present invention is configured such that when the control means opens the pressure holding valve and operates the vacuum means, the suction member sucks the workpiece. When the pressure detected by the pressure detector becomes constant for a predetermined time, the pressure holding valve is closed, the operation of the vacuum means is stopped, the pressure holding valve is closed, and the vacuum means is stopped. When the pressure is detected by the pressure detector while the workpiece is being sucked by the suction member in a state where the pressure holding valve is lowered from the pressure when the pressure holding valve is changed from the open state to the closed state, The operation for opening the pressure holding valve and operating the vacuum means is repeated.
本発明の成形品取出機は、上述した本発明の真空吸着装置を備えるので、前記真空手段の作動制御を簡単に行って、成形品を吸着した位置から吸着を解除する位置まで確実に前記吸着部材により成形品を吸着させることができ、しかも、前記真空手段によるエネルギー消費量を軽減できる。 Since the molded product take-out machine of the present invention is equipped with the above-described vacuum suction device of the present invention, the vacuum means is easily controlled so that the suction is reliably performed from the position where the molded product is sucked to the position where the suction is released. The molded product can be adsorbed by the member, and the energy consumption by the vacuum means can be reduced.
本発明によれば、前記真空手段の作動及び停止のための圧力設定をワーク毎に行なうことなく、簡単な制御で自動的に行なうことができる。従って、作業者に負担をかけず、前記真空手段によりエネルギー消費量を軽減することができる。 According to the present invention, the pressure setting for operating and stopping the vacuum means can be automatically performed by simple control without performing it for each workpiece. Therefore, energy consumption can be reduced by the vacuum means without placing a burden on the operator.
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図1に示すように、本実施の形態による成形品取出機1は、成形機5上に設置されて型開き後の金型51から成形品を成形機操作盤52のある側である操作側へ取出す装置である。図1に示す成形品取出機1は、いわゆるトラバース型であって、XYZ各軸のアーム21,22,23よりなるアーム機構部2と、成形機5の成形品を吸着保持するための真空吸着装置3(図2参照)とを備える。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the molded product take-
アーム機構部2の上下方向に延びるアーム23の下端部には、真空吸着装置3の一部を構成し成形品を吸着保持する吸着ヘッド30が取り付けられており、この吸着ヘッド30は成形品との接触面が円形の複数の吸着部材31を備えている。成形品は、吸着部材31に吸着されるようになっている。
A
そして、この成形品取出機1は、基本動作として、成形機5の金型51が型開きされると、アーム機構部2を作動させることにより、図1に示す待機位置(A)にある吸着ヘッド30を金型51内の成形品取出位置(B)まで進入させ、吸着部材31を金型51内の成形品に吸着させる。なお、この成形品取出位置(B)が吸着開始位置(B)となる。
And as this basic operation, when the
次に、成形品を吸着した状態の吸着ヘッド30を金型51外の成形品回収位置である所定の開放位置(C)まで移動させた後、成形品の吸着を解除して成形品を吸着ヘッド30から開放させる。吸着ヘッド30から成形品が開放されると、再度、吸着ヘッド30を所定の待機位置(A)に復帰させ、上述した成形品取出位置(B)において吸着ヘッド30に成形品を吸着させて、開放位置(C)まで搬送するという動作を繰り返し行う。
Next, after moving the
本実施の形態では、さらに、図2の真空吸着装置3のブロック図に示すように、真空吸着装置3は、吸着部材31の他に、圧縮空気供給源32と、切換弁33と、真空発生器34と、圧力保持弁35と、圧力検出器36と、真空制御部37とを備える。圧縮空気供給源32と切換弁33、切換弁33と真空発生器34、そして、真空発生器34と圧力保持弁35は、それぞれ配管38で接続されている。なお、本実施の形態では、圧縮空気供給源32と切換弁33と真空発生器34とにより本願発明に係る真空手段を構成している。
In the present embodiment, as shown in the block diagram of the
本実施の形態では、アーム23の下端に取り付けられた板状の吸着ヘッド30に成形品を吸着させる吸盤状の吸着部材31が複数設けられている。各吸着部材31の内部は、前記真空発生器34による真空引きによって負圧状態にされる。
In the present embodiment, a plurality of suction cup-
切換弁33は、圧縮空気供給源32と真空発生器34間における配管38に設けられ、圧縮空気供給源32から真空発生器34への圧縮空気流路を開閉するものである。この切換弁33としては、例えば、電磁弁等で構成される。真空吸着装置3は、切換弁33を開状態とすることによって真空発生器34に対して圧縮空気供給源32から圧縮空気が供給されるようになっている。一方、真空吸着装置3は、切換弁33を閉状態とすることによって圧縮空気供給源32から真空発生器34への圧縮空気の供給が遮断されて、真空発生器34による真空の発生を停止させるようになっている。
The switching
なお、圧縮空気供給源32と切換弁33間の配管38には、調圧機器を設置してもよい。この調圧機器は、真空発生器34に供給する圧縮空気供給源32からの圧縮空気を所望の圧力に可変調整するものである。この調圧機器としては、例えば、ダイヤフラム、吸気用電磁弁及び排気用電磁弁等で、入力される電気信号に比例して空気圧を無段階に制御可能な構造からなる。
A pressure adjusting device may be installed in the
真空発生器34は、圧縮空気供給源32から供給される圧縮空気により負圧を発生させて吸着部材31を真空状態にするものであり、エゼクター式の真空発生器を使用している。すなわち、真空発生器34は、供給された圧縮空気をノズルに通過させて、さらにディフューザーを通過させる際に、ベルヌーイの法則に基づいて負圧を発生させる構造を有する。また、本実施の形態では、真空発生器34は、吸着部材31により成形品を吸着保持する前に真空発生器34に圧縮空気を供給して、成形品が吸着可能な所定の負圧を発生させておく。この負圧を吸着開始圧力P0としており、本実施の形態では、図3の圧力変化を示すグラフのように、例えば、成形品が吸着されていない状態の吸着部材31に対して−53kPaの負圧が発生するように設定される。
The
圧力保持弁35は、真空発生器34と吸着部材31間の配管に設けられている。圧力保持弁35は、真空発生器34により吸着部材31の内部が所定の真空度となったときに閉状態とすることで、吸着部材31と真空発生器34との配管38を気密状態に遮断する。そして、圧力保持弁35の閉動作により、成形品が吸着された状態の吸着部材31内の真空状態が保持される。また、圧力保持弁35を開状態とすることによって吸着部材31と真空発生器34との配管が連通されると、真空発生器34で発生させた負圧により吸着部材31内が吸引される。
The
なお、この圧力保持弁35としては、例えば、電磁弁等で構成される。電磁弁としては、常開型電磁弁、常閉型電磁弁のいずれも使用可能であるが、圧力保持弁35が閉作動されるのは吸着部材31が成形品吸着状態のときに限られるので、圧力保持弁35は、常開型電磁弁を使用することが好ましい。
The
圧力検出器36は、圧力保持弁35と吸着部材31間の配管38内の圧力を検出するものであって、吸着部材31内の負圧を検出するために用いられる。この圧力検出器36としては、例えば、アナログ式またはデジタル式の負圧センサが用いられる。圧力検出器36は、この圧力検出器36に備えられる圧電素子が受けた外圧に応じて電気信号を出力し、この電気信号を大気圧時のものと比較することにより吸着部材31における負圧を検出するようなっている。なお、この圧力検出器36は、図2に示すように、成形品取出機1の基本動作等を制御するロボット制御用コントローラ4(PLC:Programmable Logic Controller)にも信号接続されており、圧力検出器36で検出した圧力の検出信号は、ロボット制御用コントローラ4にも出力される。また、ロボット制御用コントローラ4は、PLCの他、成形品取出機1に内蔵されるマイクロコンピュータにより構成することもでき、また、成形品取出機1を遠隔操作する操作用コントローラ(図示せず)に内蔵されてもよい。
The
さらに、本実施の形態による成形品取出機1は、図2に示すように、成形品の吸着状況を記憶する記憶手段91と、この記憶手段91に記憶されている情報を表示される表示部92とを備えている。表示部92は、例えば、液晶モニタにより構成することができる。本実施の形態では、ロボット制御用コントローラ4は、圧力検出器36で検出した圧力を記憶手段91に記憶させると共に、圧力検出結果に基づいて、例えば、図3に示すような吸着部材31が成形品を吸着しているときの圧力変化を表示部9に表示させたり、現在の吸着部材31の圧力を表示させたりするようにしている。このように、吸着部材31の吸着状況を表示部9に表示させることにより、オペレータは、吸着部材31の吸着状況を直ぐに把握することができる。
Furthermore, as shown in FIG. 2, the molded product take-out
真空制御部37は、切換弁33と圧力保持弁35と圧力検出器36とにそれぞれ信号接続されている。さらに、真空制御部37は、成形品取出機1の基本動作等を制御するロボット制御用コントローラ4にも信号接続されている。
The
真空制御部37は、吸着部材31が成形品を吸着している状態のときに、圧力検出器36で検出された圧力が所定時間(T1)一定になると圧力保持弁35を閉状態にして吸着部材31の負圧状態を保持させると共に、切換弁33を閉状態にして真空発生器34に対する圧縮空気の供給を遮断する制御を行なう。
The
図3は、真空吸着装置3が作動しているときの吸着部材31内部での負圧変化を示すグラフであり、本実施の形態では、上述した所定時間(T1)一定となった圧力は、図3においてP1で示している。なお、負圧は、大気圧を0としたゲージ圧力(kPa)で示している。
FIG. 3 is a graph showing a change in negative pressure inside the
また、真空制御部37では、図3に示すように、圧力保持弁35を閉状態にしたときの圧力P1に対して、この圧力P1よりも真空度の低い側となる所定の圧力差Pxを予め設定している。真空制御部37は、切換弁33と圧力保持弁35とを閉状態とした後、圧力検出器36で検出される圧力が圧力P1に対して所定の圧力差Pxとなるまで真空度が低下して圧力P2となったときには、圧力保持弁35を開状態にすると共に切換弁33を開状態にして真空発生器34に対する圧縮空気の供給を行わせ、吸着部材31を真空引きする制御を行なう。
Further, as shown in FIG. 3, the
本実施の形態では、図3に示すように、吸着力が安定したときの圧力P1は、−93kPaとなっており、また、差圧Pxは13kPaに設定されている。従って、本実施の形態では、真空引きを再度行なう圧力P2は−80kPaとなる。なお、差圧Pxは、吸着力が低下していったとき、成形品を落下させることなく吸着することができる圧力の範囲内で設定されている。真空引きによる吸着を行なう場合、成形品を確実に吸着できる吸着力は、成形品の重量で変化するため、例えば、成形機で成形される成形品のうち、最も重い成形品に合せて差圧Pxを設定することができる。 In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the pressure P1 when the adsorption force is stabilized is −93 kPa, and the differential pressure Px is set to 13 kPa. Therefore, in the present embodiment, the pressure P2 at which evacuation is performed again is −80 kPa. Note that the differential pressure Px is set within a range of pressure that can be adsorbed without dropping the molded product when the adsorbing force decreases. When suctioning by vacuuming, the suction force that can reliably attract the molded product varies depending on the weight of the molded product. For example, the differential pressure in accordance with the heaviest molded product among the molded products molded by the molding machine. Px can be set.
真空制御部37は、アーム機構部2の動作により、吸着ヘッド30が成形品を取り出すために成形機5の金型51に向けて移動を開始したときに、ロボット制御用コントローラ4から出力された取り出し開始の指令信号に基づいて切換弁33と圧力保持弁35とを開いて吸着部材31の真空引きを開始する。
The
具体的には、ロボット制御用コントローラ4は、待機位置(A)の吸着部材31が成形品を取り出すために取出位置(B)に向かって移動するようにアーム機構部2の作動を開始すると、真空制御部37に対して、取り出し開始の指令信号を出力する。
Specifically, the
真空制御部37は、ロボット制御用コントローラ4から取り出し開始の指令信号を受け取ると、切換弁33に対して開状態にする吸引ON信号を出力するとともに、圧力保持弁35に対して開状態にする遮断OFF信号を出力する。
When the
真空制御部37は、吸着部材31が成形品に吸着したときから吸着部材31が開放位置(C)で成形品を開放するときまでは、上述した切換弁33の開閉動作と圧力保持弁35の開閉動作とを繰り返し行なう。
The
具体的には、真空制御部37は、ロボット制御用コントローラ4から取り出し開始の指令信号が出力されてから取り出し終了の指令信号が出力されるまでの間は、上述したように圧力検出器36で検出した圧力に基づいて、切換弁33の開閉動作と圧力保持弁35の開閉動作の制御を行なう。
Specifically, as described above, the
即ち、切換弁33が吸引ON信号により開状態となっており、かつ、圧力保持弁35が遮断OFF信号により開状態となっているときに、圧力検出器36による検出圧力Ptが所定の時間(T1)一定となったときには、真空制御部37は、切換弁33に対して閉状態にする吸引OFF信号を出力するとともに、圧力保持弁35に対して閉状態にする遮断ON信号を出力する。
That is, when the switching
また、切換弁33及び圧力保持弁35が閉状態となっているときに、圧力P1から圧力差Pxとなる圧力P2となったときには、真空制御部37は、切換弁33に対して開状態にする吸引ON信号を出力するとともに、圧力保持弁35に対して開状態にする遮断OFF信号を出力する。
In addition, when the switching
これにより、吸着部材31により成形品を吸着している間は、圧縮空気供給源32から真空発生器34への圧縮空気の供給量をできるだけ少なくできる。しかも、吸着部材31は、取出位置(B)となる成形機5の金型51内で成形品を吸着した後、成形機5外の開放位置(C)まで移動する間は、この成形品を確実に吸着保持することができる。
Thereby, while the molded product is adsorbed by the adsorbing
また、ロボット制御用コントローラ4は、アーム機構部2を作動して吸着部材31が取出位置(B)から開放位置(C)に到達すると、真空制御部37に対して、取り出し終了の指令信号を出力する。
Further, the
真空制御部37は、ロボット制御用コントローラ4から取り出し終了の指令信号を受け取ると、切換弁33に対して閉状態にする吸引OFF信号を出力するとともに、圧力保持弁35に対して開状態にする遮断OFF信号を出力する。
When the
なお、真空吸着装置3には、噴射圧調圧機器や噴射用開閉バルブ等を設けた空気噴射回路を圧縮空気供給源32から吸着部材31に至るように設けてもよい。この場合、開放位置(C)において吸着部材31から成形品を開放する際に成形品の吸着解除を迅速に行うためこの空気噴射回路を通して吸着部材31から空気を噴射させる。
The
次に、前記真空吸着装置3における動作を図3及び図4に基づいて説明する。なお、図4は、真空吸着装置3の動作フローを示すフローチャートである。
Next, the operation of the
まず、成形機5の金型51が型開きされると、成形品取出機1において成形品の取出動作が実行され(ステップS1)、アーム機構部2を作動させて待機位置(A)にある吸着部材31を成形機5の金型51内の成形品取出位置(B)に進入させる(図1参照)。
First, when the
また、成形品の取出動作が実行されたと同時に、真空制御部37の指令信号により、真空吸着装置3において、切換弁33を開状態にすると共に圧力保持弁35を開状態にする(ステップS2)。切換弁33及び圧力保持弁35が開状態になると、真空発生器34に圧縮空気供給源32から圧縮空気が供給され、真空発生器34内でこの圧縮空気により負圧が発生して吸着部材31内を吸引する。
Further, at the same time as the removal operation of the molded product is executed, the switching
真空発生器34により吸着部材31内を吸引している間の配管38の圧力を圧力検出器36で検出し、検出圧力Ptが吸着開始圧力P0以下、即ち、吸着を開始できる負圧が生じているかどうかを真空制御部37において判定する(ステップS3)。本実施の形態では、吸着開始圧力P0が−53kPaであるので、検出圧力Ptが−53kPa以下となっているかどうかを判定する。検出圧力Ptが吸着開始圧力P0以下の場合には(ステップS3でYes)、吸着部材31を成形品に接触させて吸着を開始する(ステップS4)。
The pressure of the
金型51から離型された成形品が吸着部材31に吸着保持されると、アーム機構部2を作動させて成形品を吸着保持した吸着部材31を成形品取出位置(B)から金型51外の所定の成形品回収位置(C)に移動させる(図1参照)。この成形品取出位置(B)から成形品回収位置(C)までは、吸着部材31により成形品が吸着された状態になっている。吸着部材31により成形品を吸着し続ける場合、真空制御部37によって切換弁33と圧力保持弁35が次のように制御される。
When the molded product released from the
圧力検出器36による検出圧力Ptが所定時間(T1)一定であるかどうかを真空制御部37において判定する(ステップS5)。検出圧力Ptが所定時間(T1)一定となった場合には(ステップS5でYes)、吸着部材31の成形品に対する吸着力が十分得られていると判定して、真空制御部37の指令信号により、切換弁33を閉状態にすると共に圧力保持弁35を閉状態にする(ステップS6)。
The
切換弁33及び圧力保持弁35が閉状態となることにより、吸着部材31内の真空状態が維持されると共に、真空発生器34に対する圧縮空気の供給が遮断される(図3参照)。即ち、圧力保持弁35を閉状態にすることで、吸着部材31と真空発生器34との配管が気密状態に遮断されて、成形品吸着状態の吸着部材31における真空状態が保持される。その結果、切換弁33を閉状態にしても圧力保持弁35を閉じることで、負圧不足により吸着部材31から成形品が落下することが防止される。
When the switching
そして、ロボット制御用コントローラ4から吸着解除の指令信号が真空制御部37に対して出力されているかどうかを真空制御部37で判定する(ステップS7)。吸着解除を行なう場合には(ステップS7でYes)、真空制御部37の指令信号により、切換弁33を閉状態にすると共に圧力保持弁35を開状態にして、成形品の取出しを終了する(ステップS11)。
Then, the
また、吸着解除を行なわない場合には(ステップS7でNo)、圧力検出器36による検出圧力Ptが圧力P1から圧力差Px以上高くなっているかどうかを真空制御部37において判定する(ステップS8)。検出圧力Ptが圧力P1から圧力差Px以上高くなっている場合には(ステップS8でYes)、真空度が低下していると判定して、真空制御部37の指令信号により、切換弁33を開状態にすると共に圧力保持弁35を開状態にして、吸着部材31内を吸引する(ステップS9)。
When the suction release is not performed (No in Step S7), the
次に、ロボット制御用コントローラ4から吸着解除の指令信号が真空制御部37に対して出力されているかどうかを真空制御部37で判定する(ステップS10)。吸着解除を行なわない場合には(ステップS10でNo)、ステップS5に戻り、真空制御部37により吸着力が一定になったかどうかの判定を行なう。また、吸着解除を行なう場合には(ステップS10でYes)、真空制御部37の指令信号により、切換弁33を閉状態にすると共に圧力保持弁35を開状態にして、成形品の取出しを終了する(ステップS11)。
Next, the
以上のように、本実施の形態の成形品取出機1によれば、作業者がわざわざ成形品の形状等に応じて様々な圧力値を設定する必要がなく、しかも、成形品の種類に係らず同じ圧力差Pxで真空手段である切換弁33の再作動と圧力保持弁35の開動作を自動的に制御することができるので、作業者の負担を軽減できる。
As described above, according to the molded product take-out
なお、前記各実施形態の成型品取出機1は、アーム21,22,23によるアーム機構部2として吸着部材31をXYZ各軸に移動させるトラバース型のものとしているが、アーム機構部2として吸着部材31を二次元方向、旋回移動させる形式のものであってもよい。
In addition, although the molded product take-out
また、前記成形品取出機1が付設される成形機5としては、型締め、型開き動作が行われるものであれば、竪型式、横型式のどちらでもよく、また、その成形品は、樹脂製のみならず、アルミニウム等の金属製等であってもよい。
Further, the
なお、本発明の真空吸着装置は、成形品取出機に適用した前記実施の形態に限らず、ワークを吸着保持して搬送する種々の搬送装置にも適用できる。また、真空吸着装置は、本実施の形態では、真空手段として真空発生器を用いて、この真空発生器に圧縮空気供給源から圧縮空気を供給して真空を発生させるようにしたが、真空手段として真空ポンプを用いることもできる。 The vacuum suction device of the present invention is not limited to the above-described embodiment applied to a molded product take-out machine, and can be applied to various transport devices that suck and hold a workpiece and transport it. Further, in this embodiment, the vacuum suction device uses a vacuum generator as a vacuum means, and supplies the compressed air from the compressed air supply source to the vacuum generator to generate a vacuum. A vacuum pump can also be used.
1 成形品取出機
2 アーム機構部
21,22,23 アーム
3 真空吸着装置
30 吸着ヘッド
31 吸着部材
32 圧縮空気供給源
33 切換弁
34 真空発生器
35 圧力保持弁
36 圧力検出器
37 真空制御部
38 配管
4 ロボット制御用コントローラ(PLC)
5 成形機
51 金型
DESCRIPTION OF
5 Molding
Claims (3)
配管を介して前記吸着部材と接続され、前記吸着部材に真空圧を作用させる真空手段と、
前記真空手段と前記吸着部材との間の配管に設けられ、前記真空手段と前記吸着部材との連通又は連通の遮断を行なう圧力保持弁と、
前記圧力保持弁と前記吸着部材との間の前記配管内の圧力を検出する圧力検出器と、
前記真空手段及び前記圧力保持弁の作動を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記圧力保持弁を開き、前記真空手段を作動させている状態で、前記吸着部材により前記ワークを吸着しているときに、前記圧力検出器で検出した圧力が所定時間一定となった場合には、前記圧力保持弁を閉じると共に前記真空手段の作動を停止させ、前記圧力保持弁を閉じ、かつ、前記真空手段を停止させている状態で、前記吸着部材により前記ワークを吸着しているときに、前記圧力検出器で検出した圧力が前記圧力保持弁を開状態から閉状態としたときの圧力から一定幅低下した場合には、前記圧力保持弁を開くと共に前記真空手段を作動させる動作を繰り返すことを特徴とする真空吸着装置。 An adsorbing member that adsorbs a workpiece;
A vacuum means connected to the adsorption member via a pipe and applying a vacuum pressure to the adsorption member;
A pressure holding valve that is provided in a pipe between the vacuum means and the adsorption member, and performs communication between the vacuum means and the adsorption member or shuts off the communication;
A pressure detector for detecting a pressure in the pipe between the pressure holding valve and the adsorption member;
Control means for controlling the operation of the vacuum means and the pressure holding valve,
The control means includes
When the pressure detected by the pressure detector is constant for a predetermined time when the work is adsorbed by the adsorbing member with the pressure holding valve opened and the vacuum means operated. The pressure holding valve is closed and the operation of the vacuum means is stopped, the pressure holding valve is closed, and the vacuum means is stopped, and the workpiece is sucked by the suction member. When the pressure detected by the pressure detector is reduced by a certain amount from the pressure when the pressure holding valve is changed from the open state to the closed state, the operation of opening the pressure holding valve and operating the vacuum means is repeated. A vacuum suction device characterized by that.
圧縮空気供給源と、
前記圧縮空気供給源から圧縮空気を供給して負圧を発生させる真空発生器と、
前記圧縮空気供給源と前記真空発生器との間に設けられ、前記真空発生器への圧縮空気の供給及び遮断を行なう切換弁とを備えることを特徴とする請求項1に記載の真空吸着装置。 The vacuum means is
A compressed air source;
A vacuum generator for generating a negative pressure by supplying compressed air from the compressed air supply source;
The vacuum suction device according to claim 1, further comprising a switching valve provided between the compressed air supply source and the vacuum generator and configured to supply and shut off the compressed air to and from the vacuum generator. .
前記真空吸着装置は、
配管を介して前記吸着部材と接続され、前記吸着部材に真空圧を作用させる真空手段と、
前記真空手段と前記吸着部材との間の配管に設けられ、前記真空手段と前記吸着部材との連通又は連通の遮断を行なう圧力保持弁と、
前記圧力保持弁と前記吸着部材との間の前記配管内の圧力を検出する圧力検出器と、
前記真空手段及び前記圧力保持弁の作動を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記圧力保持弁を開き、前記真空手段を作動させている状態で、前記吸着部材により前記ワークを吸着しているときに、前記圧力検出器で検出した圧力が所定時間一定となった場合には、前記圧力保持弁を閉じると共に前記真空手段の作動を停止させ、前記圧力保持弁を閉じ、かつ、前記真空手段を停止させている状態で、前記吸着部材により前記ワークを吸着しているときに、前記圧力検出器で検出した圧力が前記圧力保持弁を開状態から閉状態としたときの圧力から一定幅低下した場合には、前記圧力保持弁を開くと共に前記真空手段を作動させる動作を繰り返すことを特徴とする真空吸着装置を備える成形品取出機。 A molded product take-out machine comprising a vacuum suction device having a suction member that sucks a molded product, and an arm mechanism that moves the suction member from a mold of the molding machine to an open position outside the molding machine,
The vacuum suction device is
A vacuum means connected to the adsorption member via a pipe and applying a vacuum pressure to the adsorption member;
A pressure holding valve that is provided in a pipe between the vacuum means and the adsorption member, and performs communication between the vacuum means and the adsorption member or shuts off the communication;
A pressure detector for detecting a pressure in the pipe between the pressure holding valve and the adsorption member;
Control means for controlling the operation of the vacuum means and the pressure holding valve,
The control means includes
When the pressure detected by the pressure detector is constant for a predetermined time when the work is adsorbed by the adsorbing member with the pressure holding valve opened and the vacuum means operated. The pressure holding valve is closed and the operation of the vacuum means is stopped, the pressure holding valve is closed, and the vacuum means is stopped, and the workpiece is sucked by the suction member. When the pressure detected by the pressure detector is reduced by a certain amount from the pressure when the pressure holding valve is changed from the open state to the closed state, the operation of opening the pressure holding valve and operating the vacuum means is repeated. A molded product take-out machine equipped with a vacuum suction device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008285961A JP4779004B2 (en) | 2008-11-06 | 2008-11-06 | Vacuum suction device and molded product take-out machine equipped with vacuum suction device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008285961A JP4779004B2 (en) | 2008-11-06 | 2008-11-06 | Vacuum suction device and molded product take-out machine equipped with vacuum suction device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010110863A true JP2010110863A (en) | 2010-05-20 |
JP4779004B2 JP4779004B2 (en) | 2011-09-21 |
Family
ID=42299847
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008285961A Active JP4779004B2 (en) | 2008-11-06 | 2008-11-06 | Vacuum suction device and molded product take-out machine equipped with vacuum suction device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4779004B2 (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017211986A (en) * | 2016-05-09 | 2017-11-30 | イョット. シュマルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Method of monitoring functional states of pressure-driven actuator and pressure-driven actuator |
KR20190032230A (en) * | 2017-09-19 | 2019-03-27 | 캐논 가부시끼가이샤 | Substrate conveyance apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article |
JP2019057706A (en) * | 2017-09-19 | 2019-04-11 | キヤノン株式会社 | Substrate transfer apparatus, lithography apparatus and article manufacturing method |
JP2020185636A (en) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | オムロン株式会社 | Adsorption device and movement adsorption device |
JP7217379B1 (en) | 2022-08-23 | 2023-02-02 | 株式会社ユーシン精機 | Molded product take-out machine |
CN116238114A (en) * | 2023-02-10 | 2023-06-09 | 广东极客未来智能装备有限公司 | In-mold taking-out mechanism for silica gel suction nozzle |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4927870A (en) * | 1972-07-08 | 1974-03-12 | ||
JPS52122792A (en) * | 1976-04-08 | 1977-10-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Fluid pressure control system |
JPS5585600A (en) * | 1978-12-15 | 1980-06-27 | Roussel Uclaf | Novel manufacture of ursodeoxycholic acid |
JPS5724001A (en) * | 1980-07-17 | 1982-02-08 | Nippon Gakki Seizo Kk | Controller of turntable device |
JPS61117085A (en) * | 1984-11-14 | 1986-06-04 | 工業技術院長 | Controller for sucking pressure of sucker |
JP2003062781A (en) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Star Seiki Co Ltd | Mold product sucking device and mold product sucking method for handling device |
JP2006068971A (en) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Yushin Precision Equipment Co Ltd | Molded product ejector |
-
2008
- 2008-11-06 JP JP2008285961A patent/JP4779004B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4927870A (en) * | 1972-07-08 | 1974-03-12 | ||
JPS52122792A (en) * | 1976-04-08 | 1977-10-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Fluid pressure control system |
JPS5585600A (en) * | 1978-12-15 | 1980-06-27 | Roussel Uclaf | Novel manufacture of ursodeoxycholic acid |
JPS5724001A (en) * | 1980-07-17 | 1982-02-08 | Nippon Gakki Seizo Kk | Controller of turntable device |
JPS61117085A (en) * | 1984-11-14 | 1986-06-04 | 工業技術院長 | Controller for sucking pressure of sucker |
JP2003062781A (en) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Star Seiki Co Ltd | Mold product sucking device and mold product sucking method for handling device |
JP2006068971A (en) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Yushin Precision Equipment Co Ltd | Molded product ejector |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017211986A (en) * | 2016-05-09 | 2017-11-30 | イョット. シュマルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Method of monitoring functional states of pressure-driven actuator and pressure-driven actuator |
JP7063521B2 (en) | 2016-05-09 | 2022-05-09 | イョット.シュマルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | How to monitor the functional status of pressure-driven actuators, and pressure-driven actuators |
KR20190032230A (en) * | 2017-09-19 | 2019-03-27 | 캐논 가부시끼가이샤 | Substrate conveyance apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article |
JP2019057706A (en) * | 2017-09-19 | 2019-04-11 | キヤノン株式会社 | Substrate transfer apparatus, lithography apparatus and article manufacturing method |
KR102292858B1 (en) | 2017-09-19 | 2021-08-25 | 캐논 가부시끼가이샤 | Substrate conveyance apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article |
JP7142518B2 (en) | 2017-09-19 | 2022-09-27 | キヤノン株式会社 | Substrate transport apparatus, lithographic apparatus, and article manufacturing method |
JP2020185636A (en) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | オムロン株式会社 | Adsorption device and movement adsorption device |
JP7275830B2 (en) | 2019-05-13 | 2023-05-18 | オムロン株式会社 | Adsorber and moving adsorber |
JP7217379B1 (en) | 2022-08-23 | 2023-02-02 | 株式会社ユーシン精機 | Molded product take-out machine |
JP2024030196A (en) * | 2022-08-23 | 2024-03-07 | 株式会社ユーシン精機 | Apparatus for taking out molded product |
CN116238114A (en) * | 2023-02-10 | 2023-06-09 | 广东极客未来智能装备有限公司 | In-mold taking-out mechanism for silica gel suction nozzle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4779004B2 (en) | 2011-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4779004B2 (en) | Vacuum suction device and molded product take-out machine equipped with vacuum suction device | |
EP3192756B1 (en) | Controlling a vacuum system comprising a vacuum generator | |
TW201346166A (en) | Inactive gas introducing facility and inactive gas introducing method | |
CN107529504B (en) | Controlling a vacuum system comprising a vacuum generator device | |
TWI742080B (en) | Retaining mechanism and processing device of processed object | |
JP2018021546A (en) | Control over vacuum system with vacuum generating unit | |
TW501169B (en) | Substrate processing apparatus | |
US20100283194A1 (en) | Energy-saving vacuum adsorption apparatus | |
JP2012146872A (en) | Resin coating device | |
JP2015013334A (en) | Conveyance device for sucking and conveying objects | |
JP2007319960A (en) | Vacuum sucker, conveying apparatus and molded product ejector | |
JP4653984B2 (en) | Mold take-out device | |
JP2004082296A (en) | Sucking device and molding taking-out device | |
JP5957330B2 (en) | Wafer sticking device | |
CN209868312U (en) | Glass substrate manufacturing device | |
TWI446973B (en) | Coating machine | |
JP2020097231A (en) | Method for controlling vacuum lamination apparatus, method for preventing molding failure from occurring in vacuum lamination apparatus, and vacuum lamination apparatus | |
TW201934457A (en) | Vacuum suction method and vacuum suction device prevents wrinkles from being generated when the flexible sheet is adsorbed | |
JP2013129037A (en) | Suction conveyance method and plate material suction conveyance device | |
JP6338272B2 (en) | Molded product take-out machine and negative pressure generating means control method | |
JP7061598B2 (en) | Mold removal system and molding removal method | |
JP3214097U (en) | Storage device | |
JP4292164B2 (en) | Adsorption detection method and adsorption detection device | |
JP2016060006A (en) | Work suction holding mechanism | |
JP5927609B2 (en) | Conveying device, frequency adjusting device, and conveying method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110614 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110704 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4779004 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140708 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |