JP2010107210A - Inspecting method of lens, manufacturing method of lens, and inspecting device of lens - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To easily inspect existence of sink for each manufactured lens. <P>SOLUTION: Light is applied to the lens surfaces R1, R2, opposing each other, which an inspection object lens 50 has through an objective lens 18. The return light returned from each surface of the opposing lenses through the objective lens 18 is detected. It is determined whether the lens 50 is non-defective or not based on the time difference between the detection timings of the return light returned from each lens surface through the objective lens 18. The objective lens 18 is arranged at the common portion between the optical path of the light applied to the lens 50 and the optical path of the return light from the lens 50. Thus, the lens 50 can be precisely inspected regardless of the state of the lens surface of the lens 50. As a result, existence of the sink can be easily inspected for each manufactured lens. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、レンズの検査方法、レンズの製造方法、及びレンズ検査装置に関する。   The present invention relates to a lens inspection method, a lens manufacturing method, and a lens inspection device.

ピックアップレンズ等のプラスチックレンズは、プラスチック材料を金型で成形して製造することが一般的である。具体的には、ピックアップレンズは、上下に分割された金型により形成される空洞部分に液状のプラスチック材料を充填し、この状態でプラスチック材料を冷却して成形し、金型から取り出した成形体から個々のピックアップレンズを切り出すことで製造される。   A plastic lens such as a pickup lens is generally manufactured by molding a plastic material with a mold. Specifically, the pickup lens is a molded body in which a liquid plastic material is filled in a hollow portion formed by a mold divided into upper and lower parts, the plastic material is cooled and molded in this state, and taken out from the mold. It is manufactured by cutting out individual pickup lenses from.

最終的に得られるピックアップレンズのレンズ形状が正常となるように、ピックアップレンズの製造時には様々な工夫がされている(特許文献1参照)。   Various devices have been devised at the time of manufacturing the pickup lens so that the lens shape of the finally obtained pickup lens becomes normal (see Patent Document 1).

ピックアップレンズの検査工程では、ピックアップレンズのレンズ形状の異常を簡易かつ高精度に検出することが要求される。金型に液状のプラスチック材料を充填する工程を経て製造されるピックアップレンズでは、いわゆるヒケと呼ばれる窪みがレンズ面に形成されてしまう場合がある。これは、金型に材料を充填する際の充填圧の影響によって、プラスチックレンズを形付ける空洞部分にプラスチック材料が十分に充填されないことに起因する、と考えられている。   In the inspection process of the pickup lens, it is required to detect an abnormality in the lens shape of the pickup lens simply and with high accuracy. In a pickup lens manufactured through a process of filling a mold with a liquid plastic material, a so-called depression called a sink may be formed on the lens surface. This is considered to be caused by the fact that the plastic material is not sufficiently filled in the hollow portion for shaping the plastic lens due to the influence of the filling pressure when filling the mold with the material.

上述のヒケがレンズ面に発生した場合、プラスチックレンズの光学的な特性が劣化してしまうおそれがある。プラスチックレンズの信頼性を高めるためには、製造した個々のプラスチックレンズにヒケが発生していないか否かを検査すると良い。   When the above-mentioned sink marks are generated on the lens surface, the optical characteristics of the plastic lens may be deteriorated. In order to increase the reliability of the plastic lens, it is preferable to inspect whether or not sink marks have occurred in each manufactured plastic lens.

ヒケの有無の検査方法は様々である。例えば、製造したプラスチックレンズのレンズ面に接触子を当て、平面内で接触子を移動させて窪みを探索することでヒケの有無を検査する方法がある。しかしながら、個々のプラスチックレンズは非常に小さいため、プラスチックレンズの検査工程が長時間化してしまう。この場合、製造した全プラスチックレンズを検査することは現実的ではなく、金型ごとに複数のプラスチックレンズを取り出して検査する部分的に検査しか行うことができない。プラスチックレンズの光学的な特性が良好ではない場合、出荷したプラスチックレンズを金型単位で回収する必要が生じるおそれがある。
特開2005−335216号公報
There are various inspection methods for sink marks. For example, there is a method for inspecting the presence or absence of sink marks by applying a contact to the lens surface of a manufactured plastic lens and moving the contact in a plane to search for a recess. However, since each plastic lens is very small, the inspection process of the plastic lens takes a long time. In this case, it is not realistic to inspect all manufactured plastic lenses, and only a partial inspection can be performed in which a plurality of plastic lenses are taken out and inspected for each mold. If the optical characteristics of the plastic lens are not good, it may be necessary to collect the shipped plastic lens in a mold unit.
JP 2005-335216 A

上述の説明から明らかなように、製造した個々のレンズ毎にヒケの有無を簡易に検査することは未だ実現できていない。   As is clear from the above description, it has not yet been possible to simply inspect the presence or absence of sink marks for each manufactured lens.

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、製造した個々のレンズ毎にヒケの有無を簡易に検査することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to easily inspect the presence or absence of sink marks for each manufactured lens.

本発明にかかるレンズ検査方法は、検査対象のレンズが有する互いに対向するレンズ面に対して対物レンズを介して光を照射し、互いに対向する前記レンズ面夫々から前記対物レンズを介して戻ってくる戻り光を検出し、前記対物レンズを介して前記レンズ面夫々から戻ってくる前記戻り光の検出タイミング間の時間差に基づいて前記レンズが良品であるか否かを判定する。   In the lens inspection method according to the present invention, light is irradiated to the mutually opposing lens surfaces of the lens to be inspected via the objective lens, and returns from each of the mutually opposing lens surfaces via the objective lens. Return light is detected, and it is determined whether or not the lens is non-defective based on a time difference between detection timings of the return light returning from the lens surfaces via the objective lens.

戻り光の検出タイミング間の時間差に基づいて良品であるか否かを判定する。このとき、検査対象とするレンズに照射される光の光路と検査対象とするレンズからの戻り光の光路の共通部分に対物レンズを配置する。これによって、検査対象とするレンズのレンズ面の状態に関わらず、精度良くレンズを検査することができる。結果的に、製造した個々のレンズ毎にヒケの有無を簡易に検査することができる。   It is determined whether the product is non-defective based on the time difference between the detection timings of the return light. At this time, the objective lens is arranged in the common part of the optical path of the light irradiated to the lens to be inspected and the optical path of the return light from the lens to be inspected. Thus, the lens can be inspected with high accuracy regardless of the state of the lens surface of the lens to be inspected. As a result, the presence or absence of sink marks can be easily inspected for each manufactured lens.

前記対物レンズの光軸に沿って前記対物レンズを変位させながら前記レンズに対して光を照射する、と良い。   It is preferable to irradiate the lens with light while displacing the objective lens along the optical axis of the objective lens.

前記対物レンズを介して前記レンズ面夫々から戻ってくる前記戻り光を空間的にフィルタリングして検出する、と良い。   The return light returning from each of the lens surfaces via the objective lens may be detected by spatial filtering.

互いに対向する前記レンズ面夫々からの前記戻り光を共通の受光素子で検出する、と良い。   The return light from the lens surfaces facing each other may be detected by a common light receiving element.

互いに対向する前記レンズ面間でレンズ面の曲率が異なる場合、曲率が小さい前記レンズ面を介して曲率が大きい前記レンズ面に対して光を照射する、と良い。   When the curvature of the lens surface is different between the lens surfaces facing each other, it is preferable to irradiate the lens surface with a large curvature through the lens surface with a small curvature.

本発明に係るレンズの製造方法は、金型に充填された材料を冷却してレンズを製造し、製造した個々のレンズ毎に上述の方法でレンズを検査する。   In the method for manufacturing a lens according to the present invention, a material filled in a mold is cooled to manufacture a lens, and the lens is inspected by the above-described method for each manufactured lens.

本発明に係るレンズ検査装置は、検査対象のレンズが有する互いに対向するレンズ面に対して対物レンズを介して光を照射する光照射部と、前記光照射部から出射され、互いに対向する前記レンズ面夫々で反射されて前記対物レンズを介して戻ってくる戻り光を検出する光検出部と、互いに対向する前記レンズ面夫々からの前記戻り光を前記光検出部が検出したタイミング間の時間差に基づいて前記レンズが良品であるか否かを判定する品質検査部と、を備える。   The lens inspection apparatus according to the present invention includes a light irradiation unit that irradiates light to an opposite lens surface of a lens to be inspected through an objective lens, and the lenses that are emitted from the light irradiation unit and face each other. The time difference between the timing of detecting the return light reflected from each surface and returning through the objective lens and the timing at which the light detection unit detects the return light from each of the lens surfaces facing each other. And a quality inspection unit that determines whether or not the lens is a non-defective product.

前記光照射部は、前記対物レンズの光軸に沿って前記対物レンズを変位させながら、互いに対向する前記レンズ面に対して前記対物レンズを介して光を照射する、と良い。   The light irradiation unit may irradiate the lens surfaces facing each other through the objective lens while displacing the objective lens along the optical axis of the objective lens.

前記光検出部は、前記対物レンズを介して前記レンズ面夫々から戻ってくる前記戻り光を空間的にフィルタリングして検出する、と良い。   The light detection unit may spatially filter and detect the return light returning from each of the lens surfaces via the objective lens.

前記光検出部は、互いに対向する前記レンズ面夫々からの前記戻り光を共通の受光素子で検出する、と良い。   The light detection unit may detect the return light from the lens surfaces facing each other with a common light receiving element.

前記光照射部は、互いに対向する前記レンズ面間でレンズ面の曲率が異なる場合、曲率が小さい前記レンズ面を介して、曲率が大きい前記レンズ面に対して光を照射する、と良い。   When the curvature of the lens surface is different between the lens surfaces facing each other, the light irradiation unit may irradiate the lens surface with a large curvature through the lens surface with a small curvature.

本発明に係るレンズ検査方法は、検査対象のレンズが有する互いに対向するレンズ面に対して対物レンズを介して光を照射し、互いに対向する前記レンズ面夫々から前記対物レンズを介して戻ってくる戻り光を検出し、前記対物レンズを介して前記レンズ面夫々から戻ってくる前記戻り光の検出タイミング間の時間差を算出する。   In the lens inspection method according to the present invention, light is irradiated to the mutually opposing lens surfaces of the lens to be inspected via the objective lens, and returns from each of the mutually opposing lens surfaces via the objective lens. Return light is detected, and a time difference between detection timings of the return light returning from each lens surface via the objective lens is calculated.

本発明に係るレンズ検査装置は、検査対象のレンズが有する互いに対向するレンズ面に対して対物レンズを介して光を照射する光照射部と、前記光照射部から出射され、互いに対向する前記レンズ面夫々から前記対物レンズを介して戻ってくる戻り光を検出する光検出部と、互いに対向する前記レンズ面夫々からの前記戻り光を前記光検出部が検出したタイミング間の時間差を算出する時間差算出部と、を備える。   The lens inspection apparatus according to the present invention includes a light irradiation unit that irradiates light to an opposite lens surface of a lens to be inspected through an objective lens, and the lenses that are emitted from the light irradiation unit and face each other. A time difference for calculating a time difference between a light detection unit that detects return light returning from each surface through the objective lens and a timing at which the light detection unit detects the return light from each lens surface facing each other. A calculation unit.

本発明によれば、製造した個々のレンズ毎にヒケの有無を簡易に検査することが可能になる。   According to the present invention, it is possible to easily inspect the presence or absence of sink marks for each manufactured lens.

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。なお、各実施の形態は、説明の便宜上、簡略化されている。図面は簡略的なものであるから、図面の記載を根拠として本発明の技術的範囲を狭く解釈してはならない。図面は、もっぱら技術的事項の説明のためのものであり、図面に示された要素の正確な大きさ等は反映していない。同一の要素には、同一の符号を付し、重複する説明は省略するものとする。上下左右といった方向を示す言葉は、図面を正面視した場合を前提として用いるものとする。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Each embodiment is simplified for convenience of explanation. Since the drawings are simple, the technical scope of the present invention should not be interpreted narrowly based on the drawings. The drawings are only for explaining the technical matters, and do not reflect the exact sizes or the like of the elements shown in the drawings. The same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. Words indicating directions such as up, down, left, and right are used on the assumption that the drawing is viewed from the front.

〔第1の実施の形態〕
以下、図1乃至図6を参照して、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、レンズ検査装置の概略的構成を示すブロック図である。図2は、検査対象のレンズの断面構成を示す概略的な模式図である。図3及び図4は、戻り光の検出を示すタイミングチャートである。図5は、レンズ検査装置の動作を示す概略的なフローチャートである。図6は、レンズに照射される光のスポット径の設定を説明するための模式図である。
[First Embodiment]
Hereinafter, the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 6. FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of the lens inspection apparatus. FIG. 2 is a schematic diagram showing a cross-sectional configuration of a lens to be inspected. 3 and 4 are timing charts showing detection of return light. FIG. 5 is a schematic flowchart showing the operation of the lens inspection apparatus. FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the setting of the spot diameter of the light applied to the lens.

図1に示すように、レンズ検査装置100は、コントローラ10、LD(Laser Diode)ドライバ15、LD(Laser Diode)16、ハーフミラー17、集光レンズ(対物レンズ)18、フィルタ板19、受光部20、時間差算出部21、判定部22、表示部23、振動源30、及び振動体31を有する。なお、品質検査部35は、時間差算出部21、判定部22、及び表示部23によって形成される。光照射部は、LD16、集光レンズ18、振動源30、及び振動体31を含んで形成される。光検出部は、フィルタ板19、及び受光部20を含んで形成される。   As shown in FIG. 1, a lens inspection apparatus 100 includes a controller 10, an LD (Laser Diode) driver 15, an LD (Laser Diode) 16, a half mirror 17, a condenser lens (objective lens) 18, a filter plate 19, and a light receiving unit. 20, a time difference calculation unit 21, a determination unit 22, a display unit 23, a vibration source 30, and a vibrating body 31. The quality inspection unit 35 is formed by the time difference calculation unit 21, the determination unit 22, and the display unit 23. The light irradiation part is formed including the LD 16, the condenser lens 18, the vibration source 30, and the vibration body 31. The light detection unit includes the filter plate 19 and the light receiving unit 20.

検査対象のレンズ50は、上方が開放された器80内に載置されている。レンズ50は、曲率が小さいレンズ面R2が上向き、曲率が大きいレンズ面R1が下向きになるように器80に載置されている。このようにレンズ50を配置することで、レンズ50のレンズ面R1、R2で反射された戻り光の強度を十分に確保することができる。   The lens 50 to be inspected is placed in a vessel 80 whose upper side is open. The lens 50 is placed on the device 80 so that the lens surface R2 having a small curvature faces upward and the lens surface R1 having a large curvature faces downward. By arranging the lens 50 in this way, it is possible to sufficiently secure the intensity of the return light reflected by the lens surfaces R1 and R2 of the lens 50.

器80は、ベルト43上に載置されている。ベルト43は、ローラ42、41によって回転可能に支持されている。ローラ41は、駆動部40から伝達される動力に応じて回転する。駆動部40によるローラ41の回転によって、器80(レンズ50)は前方又は後方に移動する。このような搬送機構(搬送装置)を採用することで、レンズ50の検査工程を自動化することができる。なお、レンズ検査装置が、この搬送装置を更に含むと把握しても良い。   The container 80 is placed on the belt 43. The belt 43 is rotatably supported by rollers 42 and 41. The roller 41 rotates according to the power transmitted from the drive unit 40. As the roller 41 is rotated by the drive unit 40, the device 80 (lens 50) moves forward or backward. By adopting such a transport mechanism (transport device), the inspection process of the lens 50 can be automated. In addition, you may grasp | ascertain that a lens inspection apparatus further contains this conveying apparatus.

尚、レンズ50は、図2に示すように、レンズ部51、及びフランジ部52を有する。レンズ部51は、互いに対向するレンズ面R1、R2を有する。レンズ50は、金型にプラスチック材料が充填され、これが冷却され、成形体から切り出されて製造される。図2の点線で示すようにレンズ面にヒケ(窪み)が生じた場合、レンズ部51の肉厚は薄くなる。具体的には、ヒケが生じた場合のレンズ部51の肉厚TH6は、ヒケが無い場合のレンズ部51の肉厚TH5よりも薄くなる(TH5>TH6)。本実施形態では、後述の説明から明らかなように、レンズ部51の肉厚が所定値以上か否かを判定することでレンズ50にヒケが発生したか否かを個々のレンズ50毎に検査する。   In addition, the lens 50 has the lens part 51 and the flange part 52, as shown in FIG. The lens unit 51 has lens surfaces R1 and R2 facing each other. The lens 50 is manufactured by filling a mold with a plastic material, cooling it, and cutting it out of a molded body. As shown by a dotted line in FIG. 2, when sink marks (dents) are generated on the lens surface, the thickness of the lens portion 51 is reduced. Specifically, the thickness TH6 of the lens unit 51 when sink marks occur is thinner than the thickness TH5 of the lens unit 51 when there is no sink marks (TH5> TH6). In this embodiment, as will be apparent from the following description, it is checked for each lens 50 whether or not the lens 50 has a sink by determining whether the thickness of the lens portion 51 is equal to or greater than a predetermined value. To do.

図1に戻って説明する。まず、電気的な接続関係について説明する。コントローラ10の出力は、LDドライバ15、品質検査部35、振動源30、及び駆動部40に接続される。LDドライバ15の出力は、LD16に接続される。受光部20の出力は、時間差算出部21に接続される。時間差算出部21の出力は、判定部22に接続される。判定部22の出力は、表示部23に接続される。   Returning to FIG. First, the electrical connection relationship will be described. The output of the controller 10 is connected to the LD driver 15, the quality inspection unit 35, the vibration source 30, and the drive unit 40. The output of the LD driver 15 is connected to the LD 16. The output of the light receiving unit 20 is connected to the time difference calculating unit 21. The output of the time difference calculation unit 21 is connected to the determination unit 22. The output of the determination unit 22 is connected to the display unit 23.

次に、光学的な接続関係について説明する。LD16からの出射光は、ハーフミラー17、及び集光レンズ18を介して、レンズ50に照射される。レンズ50からの反射光は、集光レンズ18、ハーフミラー17、及びフィルタ板19を介して、受光部20に入力される。   Next, the optical connection relationship will be described. Light emitted from the LD 16 is irradiated to the lens 50 via the half mirror 17 and the condenser lens 18. The reflected light from the lens 50 is input to the light receiving unit 20 through the condenser lens 18, the half mirror 17, and the filter plate 19.

以下、上述の各構成要素について詳細に説明する。   Hereinafter, each of the above-described components will be described in detail.

コントローラ10は、所定のタイミングで、LDドライバ15に対してLD16の駆動の開始/停止を指示する。同様に、コントローラ10は、所定のタイミングで、品質検査部35に対して品質検査の開始/停止を指示する。コントローラ10は、所定のタイミングで、振動源30に対して振動の開始/停止を指示する。コントローラ10は、所定のタイミングで、駆動部40に対して、駆動の開始/停止を指示する。なお、コントローラ10は、マイコン等の情報処理装置である。コントローラ10による制御は、記憶領域に格納されたプログラムがCPU(Central Processing Unit)で実行されることで実現される。   The controller 10 instructs the LD driver 15 to start / stop driving the LD 16 at a predetermined timing. Similarly, the controller 10 instructs the quality inspection unit 35 to start / stop quality inspection at a predetermined timing. The controller 10 instructs the vibration source 30 to start / stop vibration at a predetermined timing. The controller 10 instructs the drive unit 40 to start / stop driving at a predetermined timing. The controller 10 is an information processing device such as a microcomputer. Control by the controller 10 is realized by a program stored in a storage area being executed by a CPU (Central Processing Unit).

LDドライバ15は、LD16を駆動するための半導体回路である。LDドライバ15は、コントローラ10からの駆動指示を受けて、LD16を駆動する。具体的には、LDドライバ15は、LD16に対して駆動電流を供給して、LD16からレーザ光を出射させる。   The LD driver 15 is a semiconductor circuit for driving the LD 16. The LD driver 15 drives the LD 16 in response to a drive instruction from the controller 10. Specifically, the LD driver 15 supplies a driving current to the LD 16 to emit laser light from the LD 16.

LD16は、一般的な半導体発光素子である。LD16は、LDドライバ15によって駆動されてレーザ光を出射する。なお、LD16の出射光波長は、検査対象とするレンズ50の透過波長特性に応じて適宜設定されるものとする。LD16とレンズ50間に波長変換フィルタ等を配置することで、レンズ50に照射される光の波長を変更しても良い。   The LD 16 is a general semiconductor light emitting element. The LD 16 is driven by the LD driver 15 to emit laser light. In addition, the emitted light wavelength of LD16 shall be suitably set according to the transmission wavelength characteristic of the lens 50 made into test | inspection object. A wavelength conversion filter or the like may be disposed between the LD 16 and the lens 50 to change the wavelength of light irradiated to the lens 50.

ハーフミラー17は、前面からの入射光を透過し、背面からの入射光を反射する光学素子である。ハーフミラー17は、LD16からの出射光を透過する。ハーフミラー17は、レンズ50で反射され、集光レンズ18を介して入射する光を反射する。なお、ハーフミラー17の具体的な構成は任意である。   The half mirror 17 is an optical element that transmits incident light from the front surface and reflects incident light from the back surface. The half mirror 17 transmits the light emitted from the LD 16. The half mirror 17 reflects the light reflected by the lens 50 and incident through the condenser lens 18. The specific configuration of the half mirror 17 is arbitrary.

集光レンズ18は、LD16からの出射光をレンズ50に向けて集光する。集光レンズ18は、振動体31を介して、振動源30に接続されている。振動体31は、振動源30から伝達する振動を受けて振動する。集光レンズ18は、振動体31の振動を受けて変位する。具体的には、集光レンズ18は、矢印で模式的に示すように、軸線AX1に沿って振動する。なお、軸線AX1は、集光レンズ18の光軸に一致している。   The condensing lens 18 condenses the light emitted from the LD 16 toward the lens 50. The condenser lens 18 is connected to the vibration source 30 via the vibrating body 31. The vibrating body 31 vibrates in response to vibration transmitted from the vibration source 30. The condenser lens 18 is displaced by the vibration of the vibrating body 31. Specifically, the condensing lens 18 vibrates along the axis AX1 as schematically indicated by an arrow. The axis AX1 coincides with the optical axis of the condenser lens 18.

フィルタ板19は、ピンホールが形成された遮光板である。フィルタ板19は、ハーフミラー17からの反射光を空間的にフィルタリングする。集光レンズ18の焦点がレンズ50のレンズ面R1に結ばれるとき、レンズ面R1で反射された光(戻り光)は、フィルタ板19のピンホールを介して受光部20に入力される。集光レンズ18の焦点がレンズ50のレンズ面R2に結ばれるとき、レンズ面R2で反射された光は、フィルタ板19のピンホールを介して受光部20に入力される。集光レンズ18の焦点がレンズ面R1、R2に結ばれていないとき、レンズ50からの戻り光の大部分は、フィルタ板19によって遮断される。   The filter plate 19 is a light shielding plate in which pinholes are formed. The filter plate 19 spatially filters the reflected light from the half mirror 17. When the focal point of the condenser lens 18 is connected to the lens surface R1 of the lens 50, the light reflected by the lens surface R1 (returned light) is input to the light receiving unit 20 through the pinhole of the filter plate 19. When the focal point of the condenser lens 18 is connected to the lens surface R2 of the lens 50, the light reflected by the lens surface R2 is input to the light receiving unit 20 through the pinhole of the filter plate 19. When the focusing lens 18 is not focused on the lens surfaces R <b> 1 and R <b> 2, most of the return light from the lens 50 is blocked by the filter plate 19.

受光部20は、フィルタ板19を介して入力する光を受光し、受光した光の強度に応じた信号を出力する。例えば、受光部20は、PD(Photo Diode)、IV変換回路、及びAD変換回路を含んで形成される。PDは、逆バイアスされた状態で、入射光強度に応じた光電流を生成する。IV変換回路は、PDから出力される光電流を電圧に変換する。AD変換回路は、IV変換回路から出力された電圧信号をデジタル信号に変換する。   The light receiving unit 20 receives light input through the filter plate 19 and outputs a signal corresponding to the intensity of the received light. For example, the light receiving unit 20 includes a PD (Photo Diode), an IV conversion circuit, and an AD conversion circuit. The PD generates a photocurrent according to the incident light intensity in a reverse biased state. The IV conversion circuit converts the photocurrent output from the PD into a voltage. The AD conversion circuit converts the voltage signal output from the IV conversion circuit into a digital signal.

時間差算出部21は、受光部20から連続して出力される戻り光の検出タイミング間の時間差を算出する。時間差算出部21には、図3に模式的に示すように、連続して2つのパルスが入力する。時間差算出部21は、これらのパルスのピークを検出し、ピークの検出タイミング間の時間差を算出する。時間差算出部21は、算出した時間差を示す信号を判定部22に出力する。なお、時間差算出部21は、時間と入力信号とを対応づけて記憶しているものとする。   The time difference calculation unit 21 calculates a time difference between detection timings of return light output continuously from the light receiving unit 20. As shown schematically in FIG. 3, two pulses are continuously input to the time difference calculation unit 21. The time difference calculator 21 detects the peaks of these pulses and calculates the time difference between the peak detection timings. The time difference calculation unit 21 outputs a signal indicating the calculated time difference to the determination unit 22. Note that the time difference calculation unit 21 stores time and input signals in association with each other.

判定部22は、時間差算出部21で出力された時間差が所定の値以上か否かを判定する。検査対象とするレンズ50にヒケ(窪み)が発生した場合、レンズ50の肉厚は薄くなる。この場合、レンズ50にヒケが発生しない場合と比べて、各レンズ面R1、R2からの反射光の検出タイミング間の時間差は短くなる。判定部22は、時間差算出部21で算出された時間差が所定の値以上か否かを判定することで、検査対象とするレンズ50にヒケが生じたか否かを判定する。なお、時間差算出部21、判定部22は、プログラムがCPUで実行されることで実現される。   The determination unit 22 determines whether or not the time difference output from the time difference calculation unit 21 is greater than or equal to a predetermined value. When sink marks (dents) occur in the lens 50 to be inspected, the thickness of the lens 50 becomes thin. In this case, the time difference between the detection timings of the reflected light from the lens surfaces R1 and R2 is shorter than when no sink marks are generated in the lens 50. The determination unit 22 determines whether or not a sink mark has occurred in the lens 50 to be inspected by determining whether or not the time difference calculated by the time difference calculation unit 21 is greater than or equal to a predetermined value. The time difference calculation unit 21 and the determination unit 22 are realized by executing a program on the CPU.

図4を参照して上述の点について補足的に説明する。図4に示すように、ヒケが生じた場合の入力波形のピークP2bは、ヒケが無い場合の入力波形のピークP2aよりも、入力波形のピークP1に対して近い位置にある(尚、ピークP2bは、図3のピークR2に対応する。ピーク2aも、図3のピークR2に対応する)。ヒケが生じた場合の入力波形のピーク間の時間差(時刻P2b−時刻P1)は、ヒケが無い場合の入力波形のピーク間の時間差(時刻P2a−時刻P1)よりも短い。これによれば、ファーストパルスのピーク位置に対するセカンドパルスのピーク位置の変動という形でヒケの有無を検出することができる。従って、各パルスのピーク検出タイミング間の時間差が所定値以上か否かを判定することで確実にヒケの有無を判定することができる。   The above point will be supplementarily described with reference to FIG. As shown in FIG. 4, the peak P2b of the input waveform when there is a sink is closer to the peak P1 of the input waveform than the peak P2a of the input waveform when there is no sink (note that the peak P2b Corresponds to peak R2 in Fig. 3. Peak 2a also corresponds to peak R2 in Fig. 3). The time difference between the peaks of the input waveform when the sink occurs (time P2b−time P1) is shorter than the time difference between the peaks of the input waveform when there is no sink (time P2a−time P1). According to this, the presence or absence of sink marks can be detected in the form of fluctuations in the peak position of the second pulse with respect to the peak position of the first pulse. Therefore, the presence or absence of sink marks can be reliably determined by determining whether or not the time difference between the peak detection timings of each pulse is equal to or greater than a predetermined value.

図1に戻って説明する。表示部23は、判定部22の判定結果を表示する。表示部23は、液晶表示装置といったような一般的な表示装置である。   Returning to FIG. The display unit 23 displays the determination result of the determination unit 22. The display unit 23 is a general display device such as a liquid crystal display device.

振動源30は、コントローラ10からの振動開始指示に応じて、振動を開始する。振動源30の具体的な構成は任意である。圧電素子に対して所定周期で電圧を印加することで振動源30を形成しても良い。   The vibration source 30 starts vibration in response to a vibration start instruction from the controller 10. The specific configuration of the vibration source 30 is arbitrary. The vibration source 30 may be formed by applying a voltage to the piezoelectric element at a predetermined period.

振動体31は、振動源30で生成された振動を受けて振動する。振動体31は、音叉として機能する。振動体31は、振動源30で生成された振動を受けて、規則的に振動する。集光レンズ18は、振動体31の振動を受けて、軸線AX1に沿って振動する。   The vibrating body 31 vibrates in response to the vibration generated by the vibration source 30. The vibrating body 31 functions as a tuning fork. The vibration body 31 receives vibration generated by the vibration source 30 and vibrates regularly. The condenser lens 18 receives the vibration of the vibrating body 31 and vibrates along the axis AX1.

駆動部40は、一般的な電磁モータ等を駆動源として有する駆動装置である。駆動部40は、コントローラ10からの駆動指示に応じて、ローラ41を所定方向に所定量だけ回転させる。ローラ41の回転に応じてベルト43が回転し、ベルト43の回転に伴ってレンズ50が順次検査位置にセットされる。   The drive unit 40 is a drive device having a general electromagnetic motor or the like as a drive source. The drive unit 40 rotates the roller 41 by a predetermined amount in a predetermined direction in response to a drive instruction from the controller 10. The belt 43 rotates according to the rotation of the roller 41, and the lens 50 is sequentially set at the inspection position as the belt 43 rotates.

次に、図5を参照して、レンズ検査装置100の動作について説明する。   Next, the operation of the lens inspection apparatus 100 will be described with reference to FIG.

まず、検査対象のレンズを検査位置にセットする(S50)。具体的には、コントローラ10は、駆動部40にローラ41の回転を指示する。駆動部40は、コントローラ10からの指示に応じて、ローラ41を回転させて、ベルト43を回転させる。これによって、レンズ50は、検査対象位置にセットされる。なお、レンズ50が検査対象位置にセットされたか否かを判定する方法は任意である。   First, the lens to be inspected is set at the inspection position (S50). Specifically, the controller 10 instructs the drive unit 40 to rotate the roller 41. The drive unit 40 rotates the roller 41 and rotates the belt 43 in accordance with an instruction from the controller 10. Accordingly, the lens 50 is set at the inspection target position. A method for determining whether or not the lens 50 is set at the inspection target position is arbitrary.

次に、レンズ50を振動状態にセットする(S51)。具体的には、コントローラ10は、振動源30に対して振動の開始を指示する。振動源30は、コントローラ10からの振動の開始指示に応じて振動を開始する。振動体31は、振動源30の振動に応じて規則的に振動する。集光レンズ18は、軸線AX1に沿って、変位する。なお、集光レンズ18の変位によって、その焦点位置も、軸線AX1に沿って変位する。なお、集光レンズ18が変位する振動幅は、予め調整されているものとする。   Next, the lens 50 is set in a vibrating state (S51). Specifically, the controller 10 instructs the vibration source 30 to start vibration. The vibration source 30 starts vibration in response to a vibration start instruction from the controller 10. The vibrating body 31 vibrates regularly according to the vibration of the vibration source 30. The condenser lens 18 is displaced along the axis AX1. Note that the focal position of the condenser lens 18 is also displaced along the axis AX1 due to the displacement of the condenser lens 18. It is assumed that the vibration width at which the condenser lens 18 is displaced is adjusted in advance.

次に、LDを駆動する(S52)。具体的には、コントローラ10は、LDドライバ15に対して、LD16の駆動を指示する。LDドライバ15は、コントローラ10からの駆動指示に応じてLD16を駆動する。LD16は、LDドライバ15からの駆動に応じてレーザ光を出力する。   Next, the LD is driven (S52). Specifically, the controller 10 instructs the LD driver 15 to drive the LD 16. The LD driver 15 drives the LD 16 in accordance with a drive instruction from the controller 10. The LD 16 outputs laser light in accordance with the driving from the LD driver 15.

なお、LD16からの出射光は、ハーフミラー17、及び集光レンズ18を介して、レンズ50に照射される。レンズ50からの戻り光は、集光レンズ18、ハーフミラー17、及びフィルタ板19を介して、受光部20に入力される。   The light emitted from the LD 16 is applied to the lens 50 via the half mirror 17 and the condenser lens 18. Return light from the lens 50 is input to the light receiving unit 20 via the condenser lens 18, the half mirror 17, and the filter plate 19.

次に、ピーク検出タイミングの時間差を算出する(S53)。具体的には、コントローラ10は、時間差算出部21に対して時間差の算出を指示する。時間差算出部21は、コントローラ10からの指示を受けて、図3で説明したように連続して入力するパルス波形のピーク位置を検出し、ピーク検出タイミング間の時間差を算出する。なお、時間差はレンズの肉厚に応じた値である。従って、時間差の算出をレンズの肉厚の算出と同義に理解することもできる。   Next, a time difference in peak detection timing is calculated (S53). Specifically, the controller 10 instructs the time difference calculation unit 21 to calculate a time difference. Upon receiving an instruction from the controller 10, the time difference calculation unit 21 detects the peak position of the pulse waveform that is continuously input as described with reference to FIG. 3, and calculates the time difference between the peak detection timings. The time difference is a value corresponding to the thickness of the lens. Therefore, the calculation of the time difference can be understood synonymously with the calculation of the lens thickness.

次に、算出値が基準値以上か否かを判定する(S54)。具体的には、判定部22は、コントローラ10からの判定開始指示に応じて、時間差算出部21で算出された算出値が基準値以上か否かを判定する。なお、判定部22は、コントローラ10からの指示ではなく、時間差算出部21からの出力に応じて活性化するようにしても良い。   Next, it is determined whether or not the calculated value is greater than or equal to a reference value (S54). Specifically, the determination unit 22 determines whether or not the calculated value calculated by the time difference calculation unit 21 is greater than or equal to a reference value in response to a determination start instruction from the controller 10. Note that the determination unit 22 may be activated according to an output from the time difference calculation unit 21 instead of an instruction from the controller 10.

算出値が基準値以上である場合、表示部23は、良品判定の表示をする(S55)。具体的には、判定部22は、表示部23に良品判定の表示をするように指示する。表示部23は、判定部22から指示された判定結果を表示する。判定結果の表示後には、次に検査対象とするレンズを検査位置にセットする。   If the calculated value is greater than or equal to the reference value, the display unit 23 displays a non-defective product determination (S55). Specifically, the determination unit 22 instructs the display unit 23 to display the non-defective product determination. The display unit 23 displays the determination result instructed from the determination unit 22. After the determination result is displayed, the lens to be inspected next is set at the inspection position.

算出値が基準値未満である場合、表示部23は、不良品判定の表示をする(S56)。具体的には、判定部22は、表示部23に不良品判定の表示をするように指示する。表示部23は、判定部22から指示された判定結果を表示する。判定結果の表示後には、次に検査対象とするレンズを検査位置にセットする。   When the calculated value is less than the reference value, the display unit 23 displays a defective product determination (S56). Specifically, the determination unit 22 instructs the display unit 23 to display defective product determination. The display unit 23 displays the determination result instructed from the determination unit 22. After the determination result is displayed, the lens to be inspected next is set at the inspection position.

上述の説明から明らかなように、本実施形態では、レンズ50の一方側から、レンズ50に対して光を照射し、連続して入力するレンズ50からの戻り光のピーク検出タイミング間の時間差を検出する。そして、品質検査基準として予め設定された値と検出した時間差との比較に基づいて、レンズ50が良品であるか否かを判定する。このとき、レンズ50に照射される光の光路と、検出されるべきレンズ50からの戻り光の光路との共通部分に集光レンズ18を配置する。換言すると、レンズ50に対する照射光の光路とレンズ50からの戻り光の光路とを少なくとも集光レンズ18の配置位置で同軸上に設定する。これによって、レンズ50のレンズ面の状態に関わらずに正確にレンズ50のレンズ厚を測定することができる。結果的に、製造した個々のレンズ毎に簡易にヒケの有無を検査することができる。   As is clear from the above description, in this embodiment, the time difference between the peak detection timings of the return light from the lens 50 that is irradiated with light from one side of the lens 50 and is continuously input is calculated. To detect. Then, based on a comparison between a value preset as a quality inspection standard and the detected time difference, it is determined whether or not the lens 50 is a non-defective product. At this time, the condensing lens 18 is arranged in a common part of the optical path of the light irradiated to the lens 50 and the optical path of the return light from the lens 50 to be detected. In other words, the optical path of the irradiation light to the lens 50 and the optical path of the return light from the lens 50 are set coaxially at least at the position where the condenser lens 18 is disposed. Thereby, the lens thickness of the lens 50 can be accurately measured regardless of the state of the lens surface of the lens 50. As a result, the presence or absence of sink marks can be easily inspected for each manufactured lens.

レンズ50に対する照射光の光路とレンズ50からの戻り光の光路とが集光レンズ18の配置位置で同軸上に設定されていない場合、レンズ50からの戻り光の進行方向は、レンズ50のレンズ面の状態に大きく依存してしまう。戻り光の検出に複雑な光学系が必要となる結果、レンズ検査装置100が大型化してしまったり、レンズ検査装置100が高額化してしまったりするおそれがある。   When the optical path of the irradiation light to the lens 50 and the optical path of the return light from the lens 50 are not set coaxially at the arrangement position of the condenser lens 18, the traveling direction of the return light from the lens 50 is the lens of the lens 50. It depends greatly on the surface condition. As a result of requiring a complicated optical system for detecting the return light, the lens inspection apparatus 100 may be increased in size or the lens inspection apparatus 100 may be expensive.

本実施形態では、レンズ50に対する照射光の光路と、レンズ50からの戻り光の光路とが、集光レンズ18の配置位置で同軸上に設定されている。換言すると、照射光の光路と戻り光の光路間で集光レンズ18が共通に含まれている。これによって、レンズ50のレンズ面の状態に大きく依存することなく戻り光を検出し、レンズ50のヒケの有無を検査することが可能になる。   In the present embodiment, the optical path of the irradiation light with respect to the lens 50 and the optical path of the return light from the lens 50 are set coaxially at the arrangement position of the condenser lens 18. In other words, the condensing lens 18 is included in common between the optical path of the irradiation light and the optical path of the return light. As a result, it becomes possible to detect the return light and to inspect the presence or absence of the sink of the lens 50 without largely depending on the state of the lens surface of the lens 50.

更に、本実施形態では、音叉の原理を活用して集光レンズ18を集光レンズ18の光軸に沿って振動させる。また、フィルタ板19による空間フィルタリングによって、集光レンズ18の焦点がレンズ50のレンズ面に合致したときの戻り光を抽出して受光部20に入力させる。これによって、非常に簡易な構成で、レンズ50のレンズ面からの戻り光を検出することが可能になる。   Furthermore, in this embodiment, the principle of the tuning fork is used to vibrate the condenser lens 18 along the optical axis of the condenser lens 18. Further, the return light when the focal point of the condenser lens 18 matches the lens surface of the lens 50 is extracted by spatial filtering by the filter plate 19 and input to the light receiving unit 20. This makes it possible to detect the return light from the lens surface of the lens 50 with a very simple configuration.

更に、本実施形態では、曲率が小さいレンズ面R2を上面とする。換言すると、曲率が小さいレンズ面R2を介して、曲率が大きいレンズ面R1に対して光を照射する。これによって、レンズ50のレンズ面での反射ロスを低減し、戻り光の強度を十分なものとすることができる。   Furthermore, in the present embodiment, the lens surface R2 having a small curvature is defined as the upper surface. In other words, the lens surface R1 having a large curvature is irradiated with light through the lens surface R2 having a small curvature. Thereby, the reflection loss on the lens surface of the lens 50 can be reduced, and the intensity of the return light can be made sufficient.

更に、本実施形態では、コントローラ10が搬送装置を制御して、レンズ50を検査位置に順次配置可能とする。これによって、1つの金型から多量に製造されるレンズ50を個別に検査することが可能になる。   Further, in the present embodiment, the controller 10 controls the transport device so that the lenses 50 can be sequentially arranged at the inspection position. This makes it possible to individually inspect lenses 50 manufactured in large quantities from one mold.

最後に、図6を参照して、レンズ50に照射される照射光のスポット径について説明する。   Finally, with reference to FIG. 6, the spot diameter of the irradiation light with which the lens 50 is irradiated will be described.

図6に示すように、スポット径の幅W2は、W2≧1/3×W1を満足すると良い。なお、W1は、レンズ面の幅である。幅とは、レンズ50の光軸に直交する軸線に沿う幅を示す。   As shown in FIG. 6, the spot diameter width W2 preferably satisfies W2 ≧ 1/3 × W1. W1 is the width of the lens surface. The width indicates a width along an axis perpendicular to the optical axis of the lens 50.

スポット径が小さい場合には、レンズ面の状態の影響を強く受ける。従って、戻り光の強度を十分に確保することができないおそれがある。スポット径を上述の条件を満足させることによって、レンズ面の状態の影響によって戻り光の強度が低下することを抑制することができる。なお、W3は、フランジ部52の幅である。θは、照射光とレンズ面R2とがなす角である。   When the spot diameter is small, it is strongly influenced by the state of the lens surface. Therefore, there is a possibility that the intensity of the return light cannot be secured sufficiently. By satisfying the above-mentioned conditions for the spot diameter, it is possible to suppress the return light intensity from being lowered due to the influence of the state of the lens surface. W3 is the width of the flange portion 52. θ is an angle formed by the irradiation light and the lens surface R2.

〔第2の実施の形態〕
以下、図7を参照して、本発明の第2の実施形態について説明する。図7は、レンズ検査装置100の概略的な部分図である。
[Second Embodiment]
Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a schematic partial view of the lens inspection device 100.

第1の実施形態とは異なり、本実施形態では、レンズ検査装置100は、ビームスプリッター60、レンズ61、撮像素子62、及び位置確認部63を更に有する。ビームスプリッター60は、戻り光の一部を反射する。レンズ61は、ビームスプリッター60の反射光を撮像素子62上に結像する。撮像素子62は、レンズ61を介して撮像面に結像した像を撮像する。位置確認部63は、撮像素子62から出力された画像情報に基づいてレンズ50が正しい位置にセットされているかを確認する。位置確認部63は、レンズ50が正しい位置にセットされたことを確認した場合に、駆動停止信号をコントローラ10に出力する。   Unlike the first embodiment, in this embodiment, the lens inspection apparatus 100 further includes a beam splitter 60, a lens 61, an image sensor 62, and a position confirmation unit 63. The beam splitter 60 reflects a part of the return light. The lens 61 images the reflected light of the beam splitter 60 on the image sensor 62. The imaging element 62 captures an image formed on the imaging surface via the lens 61. The position confirmation unit 63 confirms whether the lens 50 is set at the correct position based on the image information output from the image sensor 62. The position confirmation unit 63 outputs a drive stop signal to the controller 10 when confirming that the lens 50 is set at the correct position.

レンズ検査装置100は、レンズ50の搬送状態を撮像素子62でモニタリングしながら、適切な検査位置にレンズ50が配置されたことを確認する。レンズ検査装置100は、適切な位置にレンズ50をセットするように搬送装置に指示する。レンズ50の配置位置を確認するための光学系を軸線AX1上の光路を含んで形成する(集光レンズ18を含んで形成する)ことで、検査位置に高精度にレンズをセットすることができる。所定の検査位置にレンズを高精度にセットすることによって、ヒケの有無をより高精度に検出することができる。   The lens inspection apparatus 100 confirms that the lens 50 is disposed at an appropriate inspection position while monitoring the conveyance state of the lens 50 with the image sensor 62. The lens inspection device 100 instructs the transport device to set the lens 50 at an appropriate position. By forming an optical system for confirming the arrangement position of the lens 50 including the optical path on the axis AX1 (including the condensing lens 18), the lens can be set with high accuracy at the inspection position. . By setting the lens at a predetermined inspection position with high accuracy, the presence or absence of sink marks can be detected with higher accuracy.

撮像素子62は、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)、CCD(Charge Coupled Device)等の一般的な撮像素子である。   The imaging element 62 is a general imaging element such as a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor), a CCD (Charge Coupled Device), or the like.

位置確認部63は、レンズ50のフランジ部52の上面からの反射パターンを検出することで、レンズ50の位置を検出する。位置確認部63は、プログラムがCPUで実行されることで実現される。   The position confirmation unit 63 detects the position of the lens 50 by detecting a reflection pattern from the upper surface of the flange portion 52 of the lens 50. The position confirmation unit 63 is realized by executing a program by the CPU.

〔第3の実施の形態〕
以下、図8を参照して、本発明の第3の実施形態について説明する。図8は、レンズ検査装置100の概略的な部分図である。
[Third Embodiment]
Hereinafter, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a schematic partial view of the lens inspection apparatus 100.

第2の実施形態とは異なり、本実施形態では、レンズ検査装置100は、光源70、レンズ71、及び反射ミラー72を更に有する。   Unlike the second embodiment, in this embodiment, the lens inspection device 100 further includes a light source 70, a lens 71, and a reflection mirror 72.

光源70からの出射光は、レンズ71を介して反射ミラー72に投光される。反射ミラー72は、光源70からの出射光を選択的に反射する。これによって、光源70からの出射光は、検査対象とするレンズ50に照射される。レンズ50のフランジ部52をより明確に撮像素子62で撮像することができる。これによって、第2の実施形態よりも高精度にレンズ50を所定の検査位置にセットすることができる。なお、検査位置へのレンズ50の配置精度を高めることによって、ヒケの検査精度を効果的に高めることができる。   Light emitted from the light source 70 is projected onto the reflection mirror 72 via the lens 71. The reflection mirror 72 selectively reflects the light emitted from the light source 70. As a result, the light emitted from the light source 70 is applied to the lens 50 to be inspected. The flange portion 52 of the lens 50 can be imaged more clearly by the image sensor 62. Thus, the lens 50 can be set at a predetermined inspection position with higher accuracy than in the second embodiment. It should be noted that by increasing the placement accuracy of the lens 50 at the inspection position, the sink inspection accuracy can be effectively increased.

以上、本発明をレンズ成形のヒケの有無の検査について説明してきたが、本発明は、レンズのヒケの有無を、レンズの厚みを検知して検査するものであるため、ヒケのみならず、他の要因によって成形したレンズの厚みが公差を外れた場合の検査目的にも適用することができる。   As described above, the present invention has been described with respect to the presence or absence of lens molding sinks. However, since the present invention is to inspect the presence or absence of lens sinks by detecting the lens thickness, This can also be applied to inspection purposes when the thickness of the molded lens is out of tolerance.

本発明の技術的範囲は、上述の実施形態に限定されない。レンズ検査装置の具体的な構成は任意である。集光レンズ18を変位させる具体的な方法は任意である。時間差算出部21の具体的な構成は任意である。判定部22の具体的な構成は任意である。コントローラ10の具体的な構成は任意である。   The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment. The specific configuration of the lens inspection apparatus is arbitrary. A specific method for displacing the condenser lens 18 is arbitrary. The specific configuration of the time difference calculation unit 21 is arbitrary. The specific configuration of the determination unit 22 is arbitrary. The specific configuration of the controller 10 is arbitrary.

本発明の第1の実施形態にかかるレンズ検査装置の概略的構成を示すブロック図である。1 is a block diagram showing a schematic configuration of a lens inspection device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態にかかる検査対象のレンズの断面構成を示す概略的な模式図である。It is a schematic diagram showing a cross-sectional configuration of a lens to be inspected according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態にかかる戻り光の検出を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows detection of return light concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態にかかる戻り光の検出を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows detection of return light concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態にかかるレンズ検査装置の動作を示す概略的なフローチャートである。It is a schematic flowchart which shows operation | movement of the lens inspection apparatus concerning the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態にかかるレンズに照射される光のスポット径の設定を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the setting of the spot diameter of the light irradiated to the lens concerning the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態にかかるレンズ検査装置100の概略的な部分図である。It is a schematic fragmentary view of the lens inspection apparatus 100 concerning the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態にかかるレンズ検査装置100の概略的な部分図である。It is a schematic fragmentary view of the lens inspection apparatus 100 concerning the 3rd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

100 レンズ検査装置

10 コントローラ
15 ドライバ
17 ハーフミラー
18 集光レンズ
19 フィルタ板
20 受光部
21 時間差算出部
22 判定部
23 表示部

30 振動源
31 振動体

35 品質検査部

40 駆動部
41 ローラ
42 ローラ
43 ベルト

50 レンズ

51 レンズ部
52 フランジ部

60 ビームスプリッター
61 レンズ
62 撮像素子
63 位置確認部

70 光源
71 レンズ
72 反射ミラー

80 器
100 Lens inspection device

DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Controller 15 Driver 17 Half mirror 18 Condensing lens 19 Filter board 20 Light-receiving part 21 Time difference calculation part 22 Determination part 23 Display part

30 Vibration source 31 Vibrating body

35 Quality Inspection Department

40 Driving part 41 Roller 42 Roller 43 Belt

50 lenses

51 Lens 52 Flange

60 Beam splitter 61 Lens 62 Image sensor 63 Position confirmation part

70 light source 71 lens 72 reflecting mirror

80 vessels

Claims (13)

検査対象のレンズが有する互いに対向するレンズ面に対して対物レンズを介して光を照射し、
互いに対向する前記レンズ面夫々から前記対物レンズを介して戻ってくる戻り光を検出し、
前記対物レンズを介して前記レンズ面夫々から戻ってくる前記戻り光の検出タイミング間の時間差に基づいて前記レンズが良品であるか否かを判定する、レンズ検査方法。
Irradiate light to the mutually opposite lens surfaces of the lens to be inspected through the objective lens,
Detecting return light returning from the lens surfaces facing each other through the objective lens;
A lens inspection method for determining whether or not the lens is non-defective based on a time difference between detection timings of the return light returning from each of the lens surfaces via the objective lens.
前記対物レンズの光軸に沿って前記対物レンズを変位させながら前記レンズに対して光を照射することを特徴とする請求項1に記載のレンズ検査方法。   The lens inspection method according to claim 1, wherein the lens is irradiated with light while displacing the objective lens along the optical axis of the objective lens. 前記対物レンズを介して前記レンズ面夫々から戻ってくる前記戻り光を空間的にフィルタリングして検出することを特徴とする請求項1又は2に記載のレンズ検査方法。   The lens inspection method according to claim 1, wherein the return light returning from each of the lens surfaces via the objective lens is detected by spatial filtering. 互いに対向する前記レンズ面夫々からの前記戻り光を共通の受光素子で検出することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のレンズ検査方法。   The lens inspection method according to any one of claims 1 to 3, wherein the return light from each of the lens surfaces facing each other is detected by a common light receiving element. 互いに対向する前記レンズ面間でレンズ面の曲率が異なる場合、曲率が小さい前記レンズ面を介して曲率が大きい前記レンズ面に対して光を照射することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のレンズ検査方法。   5. The lens surface having a large curvature is irradiated with light through the lens surface having a small curvature when the curvature of the lens surface is different between the lens surfaces facing each other. The lens inspection method according to claim 1. 金型に充填された材料を冷却してレンズを製造し、
製造した個々のレンズ毎に請求項1に記載の方法でレンズを検査する、レンズの製造方法。
Cool the material filled in the mold to manufacture the lens,
A method for manufacturing a lens, wherein the lens is inspected by the method according to claim 1 for each manufactured lens.
検査対象のレンズが有する互いに対向するレンズ面に対して対物レンズを介して光を照射する光照射部と、
前記光照射部から出射され、互いに対向する前記レンズ面夫々で反射されて前記対物レンズを介して戻ってくる戻り光を検出する光検出部と、
互いに対向する前記レンズ面夫々からの前記戻り光を前記光検出部が検出したタイミング間の時間差に基づいて前記レンズが良品であるか否かを判定する品質検査部と、
を備えるレンズ検査装置。
A light irradiating unit that irradiates light to the mutually opposite lens surfaces of the lens to be inspected via the objective lens;
A light detection unit that detects return light emitted from the light irradiation unit and reflected by the lens surfaces facing each other and returning through the objective lens;
A quality inspection unit that determines whether or not the lens is non-defective based on a time difference between timings at which the light detection unit detects the return light from the lens surfaces facing each other;
A lens inspection apparatus.
前記光照射部は、前記対物レンズの光軸に沿って前記対物レンズを変位させながら、互いに対向する前記レンズ面に対して前記対物レンズを介して光を照射することを特徴とする請求項7に記載のレンズ検査装置。   The said light irradiation part irradiates light through the said objective lens with respect to the said lens surface which mutually opposes, displacing the said objective lens along the optical axis of the said objective lens. The lens inspection device described in 1. 前記光検出部は、前記対物レンズを介して前記レンズ面夫々から戻ってくる前記戻り光を空間的にフィルタリングして検出することを特徴とする請求項7又は8に記載のレンズ検査装置。   The lens inspection device according to claim 7, wherein the light detection unit spatially filters and detects the return light returning from each of the lens surfaces via the objective lens. 前記光検出部は、互いに対向する前記レンズ面夫々からの前記戻り光を共通の受光素子で検出することを特徴とする請求項7乃至9のいずれか一項に記載のレンズ検査装置。   The lens inspection device according to claim 7, wherein the light detection unit detects the return light from each of the lens surfaces facing each other with a common light receiving element. 前記光照射部は、互いに対向する前記レンズ面間でレンズ面の曲率が異なる場合、曲率が小さい前記レンズ面を介して、曲率が大きい前記レンズ面に対して光を照射することを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一項に記載のレンズ検査装置。   The light irradiating unit irradiates light to the lens surface having a large curvature through the lens surface having a small curvature when the curvature of the lens surface is different between the lens surfaces facing each other. The lens inspection device according to any one of claims 7 to 10. 検査対象のレンズが有する互いに対向するレンズ面に対して対物レンズを介して光を照射し、
互いに対向する前記レンズ面夫々から前記対物レンズを介して戻ってくる戻り光を検出し、
前記対物レンズを介して前記レンズ面夫々から戻ってくる前記戻り光の検出タイミング間の時間差を算出する、レンズ検査方法。
Irradiate light to the mutually opposite lens surfaces of the lens to be inspected through the objective lens,
Detecting return light returning from the lens surfaces facing each other through the objective lens;
A lens inspection method for calculating a time difference between detection timings of the return light returning from each of the lens surfaces via the objective lens.
検査対象のレンズが有する互いに対向するレンズ面に対して対物レンズを介して光を照射する光照射部と、
前記光照射部から出射され、互いに対向する前記レンズ面夫々から前記対物レンズを介して戻ってくる戻り光を検出する光検出部と、
互いに対向する前記レンズ面夫々からの前記戻り光を前記光検出部が検出したタイミング間の時間差を算出する時間差算出部と、
を備えるレンズ検査装置。
A light irradiating unit that irradiates light to the mutually opposite lens surfaces of the lens to be inspected via the objective lens;
A light detection unit that detects return light emitted from the light irradiation unit and returning from the lens surfaces facing each other via the objective lens;
A time difference calculation unit that calculates a time difference between timings when the light detection unit detects the return light from the lens surfaces facing each other;
A lens inspection apparatus.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2017530341A (en) * 2014-08-15 2017-10-12 ザイゴ コーポレーションZygo Corporation Optical evaluation of lenses and lens molds

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