JP2010091571A - 走査尖端部及びその裏面に位置合せ用目印を有する走査型微小センサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SPMセンサ1は保持部材2、カンチレバー3、カンチレバー3の下面6上の走査尖端部4及びカンチレバー3の上面7上の目印8を含んで構成されている。カンチレバー3の上面7上の目印8は、カンチレバー3の下面6の走査尖端部4に対応する位置に備えられている。そのため走査尖端部4の正確な位置がカンチレバー3の上面7に示されるので、SPMセンサが簡単に調整できる。保持部材2はカンチレバー3と共に従来の方法により準備され、次いで走査尖端部4及び目印8は粒子線の照射によりカンチレバー3上に蒸着して自動的に調整されて生成される。
【選択図】図2
Description
・粒子線、好ましくは電子線をカンチレバーの下面の走査尖端部を生成すべき位置に照射して局所的に素材を蒸着する工程;
・粒子線の操作条件を調整して、前方へ照射されるように制御された二次粒子によりカンチレバーの上面に優先的に素材を蒸着して目印を形成する工程;及び
・粒子線の操作条件を変更して、後方へ照射されるように制御された二次粒子によりカンチレバーの下面の正に目印に対応する位置に優先的に蒸着して走査尖端部を形成する工程。
2 保持部材
3 カンチレバー
4 走査尖端部
5 (カンチレバーの)自由端
6 (カンチレバーの)下面
7 (カンチレバーの)上面
8 目印
8″ 丘部
20 粒子線
Claims (6)
- 保持部材(2)、カンチレバー(3)、走査尖端部(4)及び丘部(8″)として走査尖端部(4)の反対側のカンチレバー(3)の面上に形成された目印(8)を有するSPMセンサ(1)の製造方法であって、
保持部材(2)がカンチレバー(3)と共に従来の方法により準備され、次いで素材の粒子線(20)をカンチレバー(3)上に蒸着することにより走査尖端部(4)及び目印(8)が生成されることを特徴とするSPMセンサの製造方法。 - 走査尖端部(4)及び目印(8)は、自動調整されて生成されることを特徴とする請求項1に記載のSPMセンサの製造方法。
- 走査尖端部(4)及び目印(8)の蒸着用素材して、カンチレバー(3)と同じ素材が用いられることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のSPMセンサの製造方法。
- 走査尖端部(4)及び目印(8)の蒸着用素材して、カンチレバー(3)と異なった素材が用いられることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のSPMセンサの製造方法。
- A 走査尖端部(4)及び目印(8)を除いて、従来の方法により保持部材(2)とそれに固定されたカンチレバー(3)を有するSPMセンサ(1)を準備する工程;
B 粒子線(20)をカンチレバー(3)の下面(6)の走査尖端部(4)を生成すべき位置に照射して局所的に素材を蒸着する工程;
C 粒子線(20)の操作条件を調整して、前方へ照射されるように制御された二次粒子によりカンチレバーの上面(7)に優先的に素材を蒸着して目印(8)を形成する工程;及び
D 粒子線(20)の操作条件を変更して、後方へ照射されるように制御された二次粒子によりカンチレバー(3)の下面(6)の目印(8)に対応する位置に正確に優先的に蒸着して走査尖端部(4)を形成する工程;
に従って実行されることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のSPMセンサの製造方法。 - 素材を優先的に蒸着する位置を決定するために、粒子線(20)の出力及び焦点面を操作条件として用いることを特徴とする請求項5に記載のSPMセンサの製造方法。
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