JP2010089514A5 - - Google Patents
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Claims (10)
- 金属原子と、炭素原子を必須成分として含有する有機成分で構成される脱離基とを含む接合膜が基材上に設けられた接合膜付き基材の前記接合膜の少なくとも一部の領域にエネルギーを付与する工程と、
前記接合膜付き基材の接合膜と他の被着体とを貼り合わせて、前記接合膜付基材と前記他の被着体との接合体を得る工程と、を有することを特徴とする接合方法。 - 金属原子と、炭素原子を必須成分として含有する有機成分で構成される脱離基とを含む接合膜が基材上に設けられた接合膜付き基材の前記接合膜と他の被着体とを重ね合わせて、前記接合膜付基材と前記他の被着体との積層体を得る工程と、
該積層体中の前記接合膜の少なくとも一部の領域にエネルギーを付与する工程と、を有することを特徴とする接合方法。 - 前記エネルギーを付与する工程は、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基を当該接合膜から脱離させ、前記接合膜の表面の前記領域に、活性手が生じて他の被着体との接着性を発現させるものである請求項１または２に記載の接合方法。
- 前記エネルギーの付与は、前記接合膜にエネルギー線を照射する方法、前記接合膜を加熱する方法、および前記接合膜に圧縮力を付与する方法のうちの少なくとも１つの方法により行われる請求項１ないし３のいずれかに記載の接合方法。
- 前記脱離基は、前記炭素原子を必須成分とし、水素原子、窒素原子、リン原子、硫黄原子およびハロゲン原子のうちの少なくとも１種を含む原子団で構成される請求項１ないし４のいずれかに記載の接合方法。
- 前記脱離基は、アルキル基である請求項５に記載の接合方法。
- 前記金属原子は、銅、アルミニウム、亜鉛および鉄のうちの少なくとも１種である請求項１ないし６のいずれかに記載の接合方法。
- 金属原子と、炭素原子を必須成分として含有する有機成分で構成される脱離基とを含む接合膜が基材上に設けられた接合膜付き基材の前記接合膜の少なくとも一部の領域にエネルギーを付与する工程と、
前記接合膜付き基材の接合膜と他の被着体とを貼り合わせて、前記接合膜付基材と前記他の被着体との接合体を得る工程と、を有することを特徴とする接合体の製造方法。 - 金属原子と、炭素原子を必須成分として含有する有機成分で構成される脱離基とを含む接合膜が基材上に設けられた接合膜付き基材の前記接合膜と他の被着体とを重ね合わせて、前記接合膜付基材と前記他の被着体との積層体を得る工程と、
該積層体中の前記接合膜の少なくとも一部の領域にエネルギーを付与する工程と、を有することを特徴とする接合体の製造方法。 - 前記エネルギーの付与は、前記接合膜にエネルギー線を照射する方法、前記接合膜を加熱する方法、および前記接合膜に圧縮力を付与する方法のうちの少なくとも１つの方法により行われる請求項８または９に記載の接合体の製造方法。
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