JP2010082519A - 自己クリーニング機能付圧力容器および圧力容器のクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧力容器内の内壁を短時間でドライクリーニングすることができる自己クリーニング機構付圧力容器および圧力容器のクリーニング方法を提供すること。
【解決手段】容器本体11および容器蓋12とから成り、内部でワークを処理する圧力容器2と、圧力容器2の内壁に付着した付着物を、クリーニングするクリーニング装置3と、から成り、圧力容器2は、容器本体11に設けた気体供給口23および気体排気口25と、容器蓋12に設けた誘電体33と、を備え、クリーニング装置3は、気体供給口23およびプロセスガス供給設備22に接続されるガス供給配管41と、ガス供給配管41を開閉する供給開閉バルブ43を有するガス供給部42と、気体排気口25および真空排気設備24に接続されるガス排気配管44と、ガス排気配管44を開閉する排気開閉バルブ46を有するガス排気部45と、電源部と、アース部と、を備えているものである。
【選択図】図1
【解決手段】容器本体11および容器蓋12とから成り、内部でワークを処理する圧力容器2と、圧力容器2の内壁に付着した付着物を、クリーニングするクリーニング装置3と、から成り、圧力容器2は、容器本体11に設けた気体供給口23および気体排気口25と、容器蓋12に設けた誘電体33と、を備え、クリーニング装置3は、気体供給口23およびプロセスガス供給設備22に接続されるガス供給配管41と、ガス供給配管41を開閉する供給開閉バルブ43を有するガス供給部42と、気体排気口25および真空排気設備24に接続されるガス排気配管44と、ガス排気配管44を開閉する排気開閉バルブ46を有するガス排気部45と、電源部と、アース部と、を備えているものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、内部に収容したワークに対し処理を行うと共に、圧力容器の内壁に付着した付着物をクリーニングする自己クリーニング機能付圧力容器および圧力容器のクリーニング方法に関する。
従来、この種の圧力容器として、容器と、容器を閉塞する蓋と、容器を外囲し、容器に貯留した溶媒を加熱する電気ヒータと、を有するものが知られている(特許文献1参照)。
この圧力容器では、電気ヒータによって試験温度に加熱した溶媒に、試験片(ワーク)を一定期間浸漬することで、溶媒に対する試験片の耐腐蝕性試験(加速試験)を行う。
特開平5−256369号公報
この圧力容器では、電気ヒータによって試験温度に加熱した溶媒に、試験片(ワーク)を一定期間浸漬することで、溶媒に対する試験片の耐腐蝕性試験(加速試験)を行う。
しかしながら、このような圧力容器では、試験を繰り返し行うことで、その内壁に溶媒や加熱して蒸発した溶媒が経時的に付着するため、定期的に内壁をクリーニングする必要がある。
係る場合、高圧水や洗浄液を用いたウェットクリーニングを手作業により行うしか方法がない。したがって、洗浄のために圧力容器による耐腐蝕性試験を長時間停止させる必要があり、また洗浄残りや、拭取りに用いた洗浄用布のケバが内壁に付着してしまい、その後に行う試験の結果に不具合が生じてしまうという問題があった。
係る場合、高圧水や洗浄液を用いたウェットクリーニングを手作業により行うしか方法がない。したがって、洗浄のために圧力容器による耐腐蝕性試験を長時間停止させる必要があり、また洗浄残りや、拭取りに用いた洗浄用布のケバが内壁に付着してしまい、その後に行う試験の結果に不具合が生じてしまうという問題があった。
本発明は、圧力容器が金属等の導電性材料で構成されていることに着目して為されたものであり、圧力容器内の内壁を短時間でドライクリーニングすることができる自己クリーニング機構付圧力容器および圧力容器のクリーニング方法を提供することをその課題としている。
本発明の自己クリーニング機能付圧力容器は、相互に絶縁された、導電性の容器本体と容器本体を開閉する導電性の容器蓋とから成り、内部でワークを処理する圧力容器と、圧力容器の内壁に付着した付着物を、プラズマ処理のプロセスによりクリーニングするクリーニング装置と、から成る自己クリーニング機能付圧力容器であって、圧力容器は、容器本体に設けた気体供給口および気体排気口と、容器蓋に設けた誘電体と、を備え、クリーニング装置は、一端を気体供給口に接続され他端をプロセスガス供給設備に接続されるガス供給配管、およびガス供給配管を開閉する供給開閉バルブを有するガス供給部と、一端を気体排気口に接続され他端を真空排気設備に接続されるガス排気配管、およびガス排気配管を開閉する排気開閉バルブを有するガス排気部と、容器本体および容器蓋のいずれか一方に接続された電源部、および他方に接続されたアース部と、を備えていることを特徴とする。
本発明の圧力容器のクリーニング方法は、相互に絶縁された、気体供給口および気体排気口を有する導電性の容器本体と容器本体を開閉する導電性の容器蓋とから成り、内部でワークを処理する圧力容器に対し、内壁に付着した付着物をプラズマ処理のプロセスによりクリーニングする圧力容器のクリーニング方法であって、容器本体を容器蓋で閉塞した状態で、気体供給口を介して内部にプロセスガスを供給すると共に、気体排気口を介して内部の雰囲気を排気するガス供給工程と、容器本体および容器蓋のいずれか一方をアースした状態で他方に電力を印加し、活性化したプロセスガスにより付着物をガス化する反応工程と、を備えたことを特徴とする。
これらの構成によれば、供給開閉バルブおよび排気開閉バルブを閉じることで、圧力容器の気密性が確保されるため、圧力容器としてワークの処理を行うことができる。一方、圧力容器内をクリーニングする場合には、供給開閉バルブおよび排気開閉バルブを開いて、プロセスガスの供給と排気とを継続しつつ、電源部により電力を印加する。具体的には、電源部により高周波電圧或は直流電圧を印加し、圧力容器内のプロセスガスを活性化(ラジカル化・イオン化)する。これにより、プロセスガスと圧力容器内の付着物とが反応し、付着物がガス化して内壁から取り除かれて、排気される。したがって、相互に絶縁された容器本体および容器蓋から成る導電性の圧力容器に対し、短時間でドライクリーニングを行うことができる。また、供給するプロセスガス種に応じて、圧力容器の内壁に親水処理や撥水処理などの被膜処理を施すことができるため、内壁に対する付着物の付着を抑制することもできる。なお、本発明の自己クリーニング機能付圧力容器は、いわゆる真空プラズマおよび大気圧プラズマのいずれにも適用可能である。真空プラズマの場合には、圧力容器内を一度真空にしてから上記の動作を行う。
本発明の他の自己クリーニング機能付圧力容器は、相互に絶縁された、導電性の容器本体と容器本体を開閉する導電性の容器蓋とから成り、内部でワークを処理する圧力容器と、圧力容器の内壁に付着した付着物を、プラズマ処理のプロセスによりクリーニングするクリーニング装置と、から成る自己クリーニング機能付圧力容器であって、圧力容器は、容器本体に設けた気体供給口および気体排気口と、容器蓋に設けた誘電体およびアース部と、を備え、クリーニング装置は、プロセスガスに電力を印加してプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、一端を気体供給口に接続され他端をプラズマ発生手段に接続されたガス供給配管、およびガス供給配管を開閉する供給開閉バルブを有するガス供給部と、一端を気体排気口に接続され他端を真空排気設備に接続されるガス排気配管、およびガス排気配管を開閉する排気開閉バルブを有するガス排気部と、を備えていることを特徴とする。
本発明の他の圧力容器のクリーニング方法は、相互に絶縁された、気体供給口および気体排気口を有する導電性の容器本体と容器本体を開閉する導電性の容器蓋とから成り、内部でワークを処理する圧力容器に対し、内壁に付着した付着物をプラズマ処理のプロセスによりクリーニングする圧力容器のクリーニング方法であって、プロセスガスに電力を印加してプラズマを発生させるプラズマ発生手段を用い、容器本体を容器蓋で閉塞した状態で、気体供給口を介してプラズマ発生手段から内部にプロセスガスを供給すると共に、気体排気口を介して内部の雰囲気を排気するガス供給工程と、供給したプロセスガスにより付着物をガス化する反応工程と、を備えたことを特徴とする。
これらの構成によれば、供給開閉バルブおよび排気開閉バルブを閉じることで、圧力容器の気密性が確保されるため、圧力容器としてワークの処理を行うことができる。一方、圧力容器内をクリーニングする場合には、供給開閉バルブおよび排気開閉バルブを開いて、プロセスガスの供給と排気とを継続しつつ、プラズマ発生手段により高周波電圧或は直流電圧を印加して活性化(ラジカル化・イオン化)したプロセスガスを圧力容器に供給する。これにより、プロセスガスと圧力容器内の付着物とが反応し、付着物がガス化して内壁から取り除かれて、排気される。したがって、相互に絶縁された容器本体および容器蓋から成る導電性の圧力容器に対し、短時間でドライクリーニングを行うことができる。また、供給するプロセスガス種に応じて、圧力容器の内壁に親水処理や撥水処理などの被膜処理を施すことができるため、内壁に対する付着物の付着を抑制することもできる。なお、本発明の自己クリーニング機能付圧力容器は、いわゆる真空プラズマおよび大気圧プラズマのいずれにも適用可能である。真空プラズマの場合には、圧力容器内をいったん真空にしてから上記の動作を行う。
この場合、容器蓋は、容器本体の開口端を覆う蓋本体と、容器本体の開口端から容器本体内に深く嵌入される封止蓋部を有し、誘電体は、封止蓋部の嵌入端面に設けられていることが、好ましい。
この構成によれば、容器本体と容器蓋とで構成される処理室に対して放電させることができ、汚れが付着し易い処理室を効率よくクリーニングすることができる。
この場合、誘電体は、封止蓋部の外周面に更に設けられていることが、好ましい。
この構成によれば、容器本体と容器蓋との間に生ずる処理室を始めとする間隙部分でも放電させることができ、圧力容器の内壁を全体的にクリーニングすることができる。
この場合、内部に試験薬液を導入すると共に試験薬液を飽和蒸気圧状態に加熱および加圧し、ワークを試験薬液の雰囲気に曝してワークの耐腐食の加速試験を行うものであることが、好ましい。
この構成によれば、ワークの耐腐食の加速試験を連続して行うと共に、プラズマ処理のプロセスを用いて、適宜クリーニングを実施する。この場合において、圧力容器の内壁を短時間でドライクリーニングすることができる。したがって、全体として試験時間(タクトタイム)を短縮することができる。
以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係る自己クリーニング機能付圧力容器をについて説明する。この自己クリーニング機能付圧力容器は、高圧・高温下での試験薬液に対するワークの耐食試験やアニール処理を行うものであり、クリーニングに際し、圧力容器の内壁に付着した付着物をプラズマ処理のプロセスにより除去可能に構成されている。
図1に示すように、自己クリーニング機能付圧力容器1は、容器本体11と容器本体11を開閉する容器蓋12とから成り、内部でワークを処理する圧力容器2と、圧力容器2の内壁に付着した付着物をプラズマ処理のプロセスによりクリーニングするクリーニング装置3と、これらを統括制御する制御装置4と、を備えている。すなわち、実施形態の自己クリーニング機能付圧力容器1は、圧力容器2にプラズマ処理装置を併設した構成を有している。詳細は後述するが、この自己クリーニング機能付圧力容器1では、ワークの耐食試験後、耐食試験によって圧力容器2の内壁に付着した有機物等の付着物を、プラズマ処理によって定期的にクリーニング可能に構成したものである。
圧力容器2は、法上の小型圧力容器であり、容器本体11および容器蓋12は、Al、Cu、Fe等の導電性の金属で構成されており、容器蓋12を取り付けた状態では、相互に絶縁されている。また、容器本体11と容器蓋12との間にはリング状のシール部材13が介設され、容器本体11の上部に設けたロック金具(図示省略)により容器本体11を閉止した容器蓋12が強固に閉塞されるようになっている。また、容器本体11には、圧力容器2内のプロセスガスのガス濃度を検出するガス検出センサ14が設けられている。
容器本体11は、厚肉で有底の略筒状に形成されており、その上端部に上記のロック金具が組み込まれ、且つ絶縁性のシート状部材21が敷設されている。また、特に図示しないが、容器本体11には、これを覆うように外部ヒータが設けられている。さらに、圧力容器2の内壁には、プロセスガス供給設備22に連通し、クリーニングに用いるプロセスガスの供給口となる気体供給口23と、真空排気設備24に連通し、プロセスガスおよび付着物の排気口となる気体排気口25と、が形成されていている。気体供給口23および気体排気口25は、容器本体11の中心から点対称となるように、内周面下端に形成されており、供給されたプロセスガスが円滑に排気されるように一方向に流れるようになっている。また、容器蓋12を取り付けた状態の容器本体11の下部が容器室26となっており、容器室26で耐食試験が行われ、また容器室26においてクリーニングのための放電が行われる。
容器蓋12は、厚肉に形成されており、容器本体11の開口端を覆う蓋本体31と、開口端から容器本体11の嵌入封止部27に深く嵌入される封止蓋部32と、から構成されており、この嵌入封止部27にシール部材13が装着されている。封止蓋部32は、その外周が嵌入封止部27と相補的形状に形成されており、平坦に形成された下面(嵌入端面)には、セラミック、アルミナ、石英等で構成され、面内で均一に放電させるための誘電体33が設けられている。また、特に図示しないが、嵌入端面には、試験対象物であるワークが着脱自在にセットされるようになっている。
特に図示しないが、圧力容器2を用いて試験薬液に対するワークの腐蝕の加速試験を行う場合には、後述する供給開閉バルブ43および排気開閉バルブ46を閉塞して、圧力容器2の気密性を確保した状態で、圧力容器2内に試験対象物であるワークと、試験薬液を染み込ませた不織布をセットする。そして容器本体11に設けられた外部ヒータにより、圧力容器2を加熱することで、不織布に染み込ませた試験薬液を飽和蒸気圧状態とし、その薬液雰囲気にワークを一定時間曝すことで加速試験を行う。加速試験終了後、排気開閉バルブ46を開放することで容器室26の圧力を大気圧にまで減圧し、試験後のワークを新しいワークに交換して、次の加速試験を行う。このように加速試験を連続して繰り返し行うことにより、容器室26の内壁には試験薬液の成分が付着物として経時的に付着する。付着した付着物は、後述するクリーニング装置3によって適宜クリーニングするようになっている。なお、ワークは、不織布で挟み込んだ状態で、嵌入端面に固定されていてもよい。
クリーニング装置3は、上記したように圧力容器2が金属等の導電性材料で構成されていることに着目して為されたものであり、プラズマ処理のプロセスを利用してクリーニングを行うものである。このため、クリーニング装置3は、プロセスガスの供給側に位置し、一端を気体供給口23に接続され他端をプロセスガス供給設備22に接続されたガス供給配管41と、ガス供給配管41を開閉する供給開閉バルブ43を有するガス供給部42と、を備えている。また、クリーニング装置3は、プロセスガスの排気側に位置し、一端を気体排気口25に接続され他端を真空排気設備24に接続されるガス排気配管44と、ガス排気配管44を開閉する排気開閉バルブ46を有するガス排気部45と、を備えている。さらに、容器蓋(電源部)12を印加電極とすべくこれに高周波電源47に接続される一方、容器本体11をアース電極(アース部)とすべく容器本体11をアース配線48により接地(アース)している。
ガス供給配管41は、一端をプロセスガスが封入された複数種のガスボンベ51を有するプロセスガス供給設備22に接続されると共に、中間にプロセスガスの供給側の元栓となる供給開閉バルブ43を介設して、構成されている。プロセスガス供給設備22は、複数種のガスボンベ51と、これら複数種のガスボンベ51から供給されたプロセスガスを適宜混合するガス混合器52と、各ガスボンベ51とガス混合器52とを接続する個別ガス配管53と、を有している。各個別ガス配管53には、供給するプロセスガスの流量を制御するマスフローコントローラ等で構成された供給ガスコントローラ54と、供給ガスコントローラ54より上流側に介設された上流側開閉バルブ55と、供給ガスコントローラ54より下流側に介設された下流側開閉バルブ56と、が設けられている。そして、これらの開閉バルブ43,55,56および供給ガスコントローラ54は、制御装置4に接続されている。上流側開閉バルブ55は、ガスボンベ51を交換する際に使用するものであり、制御装置4により閉塞した状態で、装着されているガスボンベ51を新しいガスボンベ51に交換した後、開放する。
使用するプロセスガスは、付着物が有機物や親水処理の場合には、O2、HeNe、Ar等を1種類導入するか、O2に加えHeNe、Ar等の2種類導入される。また、エッチングや撥水処理ではCF4やSF6等のフッ素化合物や、フッ素化合物に加えHeNe、Ar等が導入される。
そして、単一のプロセスガスを供給する場合には、供給開閉バルブ43を開放した状態で、供給するプロセスガスのガスボンベ51に連なる下流側開閉バルブ56を開放する。この際、容器室26内のプロセスガスのガス濃度は、圧力容器2内のガス濃度が所定のガス濃度になるように、ガス検出センサ14による検出結果に基づいて、供給ガスコントローラ54よってプロセスガスのガス流量を制御することで調整されている。これにより、プロセスガスは、供給ガスコントローラ54で制御され、所定の濃度(流量)で圧力容器2(容器室26)に供給される。また、複数種のプロセスガスを供給する場合には、供給開閉バルブ43を開放した状態で、該当する複数の下流側開閉バルブ56をそれぞれ開放する。この場合におけるプロセスガスの混合割合も、上記と同様に、それぞれの供給ガスコントローラ54よってそれぞれのガス流量を制御することで調整される。
ガス排気配管44には、プロセスガスの排気側の元栓となる排気開閉バルブ46と、ニードルバルブやマスフローコントローラ等で構成された排気ガスコントローラ63と、圧力容器2内を負圧状態にする真空ポンプ62と、が上流側から順番に介設されている。また、排気開閉バルブ46、真空ポンプ62および排気ガスコントローラ63は、制御装置4に接続されている。プロセスガスの排気は、上記したプロセスガスの供給と同時に行われ、真空ポンプ62を駆動した状態で、排気開閉バルブ46を開放する。容器室26内のプロセスガスのガス濃度は、圧力容器2内のガス濃度が所定のガス濃度になるように、ガス検出センサ14による検出結果に基づいて、排気ガスコントローラ63よってプロセスガスのガス流量を制御することで調整されている。すなわち、圧力容器2内のガス濃度が一定なるように、プロセスガスの供給流量および排気流量が等しくなるように、供給ガスコントローラ54および排気ガスコントローラ63によって制御されている。
次に、単一のプロセスガスを用いた場合における圧力容器2のクリーニング方法について説明する。この圧力容器2のクリーニング方法は、自己クリーニング機能付圧力容器1の圧力容器2の内部で試験薬液に対するワークの耐蝕の加速試験を行った後に、圧力容器2の内壁に付着した付着物をクリーニングする方法であり、容器本体11を容器蓋12で閉塞した状態で、気体供給口23を介して内部にプロセスガスを連続して供給すると共に、気体排気口25を介して内部の雰囲気を連続して排気するガス供給工程と、容器本体11および容器蓋12に対し、高周波電源47により高周波電力を印加して付着物をガス化する反応工程と、を備えている。
ガス供給工程では、供給開閉バルブ43および排気開閉バルブ46を開放した状態で、所望のプロセスガスを圧力容器2に導入すると共に排気を行って、所定流量のプロセスガスを圧力容器2に流すようにする。この際、プロセスガスの供給流量と排気流量は、等しくなるように供給ガスコントローラ54および排気ガスコントローラ63によって制御される。
反応工程は、ガス供給工程と同時に行われ、容器本体11(容器室26)に供給されたプロセスガスに高周波電源47から電力を印加する。これにより、圧力容器2内を流れるプロセスガスを活性化(ラジカル化・イオン化)する。活性化したプロセスガスは、アースされている圧力容器2の内壁(容器本体11)に引き寄せられるように衝突する。この際、プロセスガスは、内壁に付着した付着物と反応して、H20やCO2などの反応生成物を生成する(ガス化)ことで付着物を内壁から剥がすようにクリーニングする。そして、供給されたプロセスガスは、圧力容器2内で付着物をガス化して、付着物と共に排気される。
次に、図2を参照して、本発明の第2実施形態に係る自己クリーニング機能付圧力容器1について説明する。本実施形態に係る自己クリーニング機能付圧力容器1は、クリーニング装置3の構成が第1実施形態と異なり、プロセスガスに電力を印加してプラズマを生成させるプラズマ発生装置(プラズマ発生手段)71が、ガス供給配管41の供給開閉バルブ43より上流側にさらに介設されている。なお、プロセスガスの供給側(プラズマ発生装置71の上流側)のプロセスガス供給設備22等は、第1実施形態と同様の構成となっている。また、プロセスガスの排気側も、第1実施形態と同様に、ガス排気配管44やガス排気部45等を備えているため、それらの説明は省略する。
プラズマ発生装置71は、装置本体72と、装置本体72に収容され、高周波電源47が接続された上部電源73と、アースされた下部電源74と、を有している。プロセスガス供給設備22から供給されたプロセスガスは、高周波電力が印加されることで発生したプラズマにより活性化(ラジカル化・イオン化)されて、圧力容器2に供給されるようになっている。
この場合における圧力容器2のクリーニング方法は、プロセスガスに電力を印加してプラズマを発生させるプラズマ発生装置71を用い、容器本体11を容器蓋12で閉塞した状態で、気体供給口23を介してプラズマ発生装置71から内部にプロセスガスを供給すると共に、気体排気口25を介して内部の雰囲気を排気するガス供給工程と、供給したプロセスガスにより付着物をガス化する反応工程と、を備えている。
ガス供給工程では、プラズマ発生装置71で活性化されたプロセスガスを、圧力容器2(容器室26)に供給すると共に、付着物をプロセスガスと共に真空排気設備24に排気する。この場合も圧力容器2内のガス流量は、圧力容器2内のガス濃度が一定になるように、供給ガスコントローラ54および排気ガスコントローラ63により制御されている。反応工程は、ガス供給工程と同時に行われ、活性化したプロセスガスが、アースされた圧力容器2の内壁(容器本体11)に引き寄せられるように衝突する。この際、プロセスガスは、付着物と反応して、H20やCO2などの反応生成物を生成する(ガス化)ことで付着物を内壁から剥がすようにクリーニングする。すなわち、この場合も供給されたプロセスガスは、圧力容器2内で付着物をガス化して、付着物と共に排気される。
次に、図3を参照して、本発明の第3実施形態に係る自己クリーニング機能付圧力容器1について説明する。本実施形態に係る自己クリーニング機能付圧力容器1は、いわゆる大気圧プラズマおよび真空プラズマのいずれの運転も可能とするものであり、ガス排気部45の構成が第1実施形態あるいは第2実施形態と異なる。なお、図3は、本実施形態に係るガス排気部45を第1実施形態に適用した例を示している。
この場合におけるガス排気部45は、排気開閉バルブ46、真空ポンプ62、排気ガスコントローラ63、に加え、圧力容器2内を真空にするため真空引きを開始する圧力スイッチ81と、圧力容器2内の圧力を測定する圧力ゲージ82と、がガス排気配管44の排気ガスコントローラ63より上流側に上流側から並ぶように介設されて構成されている。また、ガス排気部45には、排気開閉バルブ46の上流側と、排気ガスコントローラ63の下流側と、を結ぶ分岐管83が設けられており、この分岐管83には、プロセスガスの排気側の元栓となると共に、排気ガスコントローラ63を介さず、真空排気設備24にプロセスガスを排気するための真空開閉バルブ84が設けられている。これにより、本実施形態に係る自己クリーニング機能付圧力容器1は、いわゆる大気圧プラズマおよび真空プラズマのいずれにも適用することが可能となっている。
この場合における圧力容器2のクリーニング方法(真空プラズマの場合)は、まず、供給開閉バルブ43を閉塞した状態で、真空ポンプ62を駆動し、圧力ゲージ82の計測結果に基づいて、圧力容器2内を所定の負圧に保持する(真空引きを行う)。この状態で、供給開閉バルブ43および該当する下流側開閉バルブ56を開放することで、プロセスガスを圧力容器2に供給すると共に、真空ポンプ62の駆動を維持し、付着物をプロセスガスと共に真空排気設備24に排気する。この場合、圧力容器2内の圧力が所定の負圧に維持されるように制御すると共に、供給ガスコントローラ54および排気ガスコントローラ63によりプロセスガスのガス流量が制御さる。また、負圧状態のプロセスガスの流れを維持しつつ、容器本体11(容器室26)に供給されたプロセスガスに高周波電源47から電力を印加する。これにより、いわゆる真空下において、圧力容器2内を流れるプロセスガスを活性化(ラジカル化・イオン化)する。活性化したプロセスガスは、アースされている圧力容器2の内壁(容器本体11)に引き寄せられるように衝突する。この際、プロセスガスは、付着物と反応して、H20やCO2などの反応生成物を生成する(ガス化)ことで付着物を内壁から剥がすようにクリーニングする。すなわち、この場合も供給されたプロセスガスは、圧力容器2内で付着物をガス化して、付着物と共に排気される。これにより、負圧下でプロセスガスが活性化(ラジカル化・イオン化)されるため、活性化したプロセスガスの寿命を延ばすことができ、ランニングコストを削減することができる。
以上の構成によれば、試験薬液に対するワークの腐蝕の加速試験後、活性化(ラジカル化・イオン化)されたプロセスガスを圧力容器2内に供給することで、プロセスガスと圧力容器2の内壁に付着した付着物とが反応することにより、付着物がガス化して内壁から取り除かれ、真空排気設備24に排気されることで、圧力容器2がクリーニングされる。したがって、ワークの処理によって圧力容器2の内壁に付着した付着物を、ドライクリーニングにより短時間で取り除くことができる。
なお、誘電体33は、封止蓋部32の外周面にさらに設けられていてもよい。係る場合、シール部材13は、容器本体11の上部と、蓋本体31の間に装着されている。これにより、容器本体11と容器蓋12との間に生ずる処理室を始めとする間隙部分で、放電させることができ、圧力容器2の内壁を全体的にクリーニングすることができる。
1…自己クリーニング機能付圧力容器 2…圧力容器 3…クリーニング装置 4…制御装置 11…容器本体 12…容器蓋 13…シール部材 21…シート状部材 23…気体供給口 24…真空排気設備 25…気体排気口 31…蓋本体 32…封止蓋部 33…誘電体 42…ガス供給部 45…ガス排気部 71…プラズマ発生装置
Claims (7)
- 相互に絶縁された、導電性の容器本体と前記容器本体を開閉する導電性の容器蓋とから成り、内部でワークを処理する圧力容器と、
前記圧力容器の内壁に付着した付着物を、プラズマ処理のプロセスによりクリーニングするクリーニング装置と、から成る自己クリーニング機能付圧力容器であって、
前記圧力容器は、前記容器本体に設けた気体供給口および気体排気口と、前記容器蓋に設けた誘電体と、を備え、
前記クリーニング装置は、一端を前記気体供給口に接続され他端をプロセスガス供給設備に接続されるガス供給配管、および前記ガス供給配管を開閉する供給開閉バルブを有するガス供給部と、
一端を前記気体排気口に接続され他端を真空排気設備に接続されるガス排気配管、および前記ガス排気配管を開閉する排気開閉バルブを有するガス排気部と、
前記容器本体および前記容器蓋のいずれか一方に接続された電源部、および他方に接続されたアース部と、を備えていることを特徴とする自己クリーニング機能付圧力容器。 - 相互に絶縁された、導電性の容器本体と前記容器本体を開閉する導電性の容器蓋とから成り、内部で前記ワークを処理する圧力容器と、
前記圧力容器の内壁に付着した付着物を、プラズマ処理のプロセスによりクリーニングするクリーニング装置と、から成る自己クリーニング機能付圧力容器であって、
前記圧力容器は、前記容器本体に設けた気体供給口および気体排気口と、前記容器蓋に設けた誘電体およびアース部と、を備え、
前記クリーニング装置は、プロセスガスに電力を印加してプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、
一端を前記気体供給口に接続され他端を前記プラズマ発生手段に接続されたガス供給配管、および前記ガス供給配管を開閉する供給開閉バルブを有するガス供給部と、
一端を気体排気口に接続され他端を真空排気設備に接続されるガス排気配管、および前記ガス排気配管を開閉する排気開閉バルブを有するガス排気部と、を備えていることを特徴とする自己クリーニング機能付圧力容器。 - 前記容器蓋は、前記容器本体の開口端を覆う蓋本体と、前記容器本体の開口端から前記容器本体内に深く嵌入される封止蓋部を有し、
前記誘電体は、前記封止蓋部の嵌入端面に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の自己クリーニング機能付圧力容器。 - 前記誘電体は、前記封止蓋部の外周面に更に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の自己クリーニング機能付圧力容器。
- 内部に試験薬液を導入すると共に前記試験薬液を飽和蒸気圧状態に加熱および加圧し、前記ワークを前記試験薬液の雰囲気に曝して前記ワークの耐腐食の加速試験を行うものであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の自己クリーニング機能付圧力容器。
- 相互に絶縁された、気体供給口および気体排気口を有する導電性の容器本体と前記容器本体を開閉する導電性の容器蓋とから成り、内部でワークを処理する圧力容器に対し、内壁に付着した付着物をプラズマ処理のプロセスによりクリーニングする圧力容器のクリーニング方法であって、
前記容器本体を前記容器蓋で閉塞した状態で、前記気体供給口を介して内部にプロセスガスを供給すると共に、前記気体排気口を介して内部の雰囲気を排気するガス供給工程と、
前記容器本体および前記容器蓋のいずれか一方をアースした状態で他方に電力を印加し、活性化したプロセスガスにより前記付着物をガス化する反応工程と、を備えたことを特徴とする圧力容器のクリーニング方法。 - 相互に絶縁された、気体供給口および気体排気口を有する導電性の容器本体と前記容器本体を開閉する導電性の容器蓋とから成り、内部でワークを処理する圧力容器に対し、内壁に付着した付着物をプラズマ処理のプロセスによりクリーニングする圧力容器のクリーニング方法であって、
プロセスガスに電力を印加してプラズマを発生させるプラズマ発生手段を用い、
前記容器本体を前記容器蓋で閉塞した状態で、前記気体供給口を介してプラズマ発生手段から内部にプロセスガスを供給すると共に、前記気体排気口を介して内部の雰囲気を排気するガス供給工程と、
供給した前記プロセスガスにより前記付着物をガス化する反応工程と、を備えたことを特徴とする圧力容器のクリーニング方法。
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