JP2010056451A - Hoop cleaning and drying device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a hoop cleaning and drying device capable of driving a hoop body grip portion for gripping a hoop body and a door grip portion for gripping a door by a common grip portion driving mechanism, simplifying its structure, and reducing its manufacturing cost. <P>SOLUTION: The hoop cleaning and drying device 1, which separates the hoop 2, having the hoop body 2a having an opening in the front and the door 2b mounted to be locked/unlocked to and from the opening of the hoop body 2a, into the hoop body 2a and door 2b to clean and dry them, has a robot arm 7 for gripping and conveying the hoop 2. The distal end portion of the robot arm 7 is provided with the common grip portion driving mechanism 22 which has a pair of moving bodies 21 approaching and leaving each other on the same axis for driving the hoop body grip portion 19 for gripping a gripped portion 2x protruding on the hoop body 2a and the door grip portion 20 for gripping the door 2b. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体ウエハ等の搬送容器であるフープを洗浄して乾燥させるフープ洗浄乾燥装置に関するものである。   The present invention relates to a hoop cleaning / drying apparatus for cleaning and drying a hoop which is a transfer container such as a semiconductor wafer.

半導体ウエハ等は、フープ（ＦＯＵＰ：Front Openning Unity Pod）と称する搬送容器に収容されて搬送される。このフープは、前面に開口部を有するフープ本体と、このフープ本体の開口部にロック・アンロック可能に装着されたドアとを備えている。   Semiconductor wafers and the like are transferred in a transfer container called a FOUP (Front Opening Unity Pod). This hoop includes a hoop main body having an opening on the front surface, and a door mounted on the opening of the hoop main body so as to be locked / unlockable.

このフープは、半導体ウエハ等の汚染源とならないようにするために、定期的に洗浄されることが好ましい。そこで、空のフープをフープ本体とドアとに分離して洗浄槽内に搬入し、これらフープ本体及びドアに洗浄水を吹き付けて洗浄を行い、洗浄後、同洗浄槽内でフープ本体及びドアに乾燥空気を吹き付けて乾燥させるようにしたフープ洗浄乾燥装置が提案されている（特許文献１参照）。   This hoop is preferably cleaned periodically so that it does not become a source of contamination such as semiconductor wafers. Therefore, the empty hoop is separated into the hoop main body and the door and is carried into the cleaning tank. The hoop main body and the door are cleaned by spraying cleaning water. After cleaning, the hoop main body and the door are cleaned in the cleaning tank. There has been proposed a hoop cleaning and drying apparatus in which dry air is blown to dry (see Patent Document 1).

このフープ洗浄乾燥装置は、フープの搬入搬出のためにフープを載置する載置台と、フープをフープ本体とドアとに分離するために仮置きする仮置台と、分離されたフープ本体とドアとを洗浄乾燥する洗浄槽と、載置台と仮置台との間でフープを、仮置台と洗浄槽との間でフープ本体又はドアを搬送するロボットアームとを備えている。   The hoop cleaning / drying apparatus includes a mounting table on which the hoop is mounted for loading and unloading the hoop, a temporary mounting table for temporarily placing the hoop into a hoop body and a door, and the separated hoop body and door. And a robot arm that conveys the hoop body or the door between the temporary table and the cleaning tank.

特開２００５−１０９５２３号公報JP 2005-109523 A

上記フープ洗浄乾燥装置においては、フープ本体を搬送する場合、フープ本体の上部に突設された被把持部を把持し、ドアを搬送する場合、ドアを把持するのであるが、上記被把持部とドアの大きさや形状が異なっているため、ロボットアームにはフープ本体を把持する本体把持部と、ドアを把持するドア把持部とを設け、それぞれを駆動する必要があり、構造の煩雑化や製造コストの増大を招く問題があった。   In the hoop cleaning and drying apparatus, when the hoop body is transported, the gripped portion protruding from the upper portion of the hoop body is gripped, and when the door is transported, the door is gripped. Because the doors are different in size and shape, the robot arm must be provided with a body gripping part that grips the hoop body and a door gripping part that grips the door, and each must be driven, making the structure complicated and manufacturing There was a problem that caused an increase in cost.

そこで本発明の目的は、フープ本体を把持する本体把持部及びドアを把持するドア把持部を共通の把持部駆動機構で駆動することができ、構造の簡素化及び製造コストの低減が図れるフープ洗浄乾燥装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to enable the main body gripping part that grips the hoop main body and the door gripping part that grips the door to be driven by a common gripping part drive mechanism, so that the structure can be simplified and the manufacturing cost can be reduced. It is to provide a drying apparatus.

上記目的を達成するために創案された本発明は、前面に開口部を有するフープ本体と該フープ本体の開口部にロック・アンロック可能に装着されたドアとを有するフープを、上記フープ本体と上記ドアとに分離して洗浄乾燥するフープ洗浄乾燥装置であって、上記フープを把持して搬送するためのロボットアームを備え、該ロボットアームの先端部には、上記フープ本体の上部に突設された被把持部を把持する本体把持部と、上記ドアを把持するドア把持部とを駆動するための同一軸線上で互いに接近離間する一対の移動体を有する共通の把持部駆動機構が設けられていることを特徴とする。   The present invention devised to achieve the above object includes a hoop body having an opening on the front surface and a door mounted on the opening of the hoop body so as to be lockable / unlockable. A hoop cleaning / drying apparatus that separates and cleans and separates from the door, and includes a robot arm for gripping and transporting the hoop, and a tip of the robot arm protrudes from an upper portion of the hoop body. A common gripping portion drive mechanism having a pair of moving bodies that are close to and separated from each other on the same axis for driving the main body gripping portion that grips the gripped portion and the door gripping portion that grips the door. It is characterized by.

上記把持部駆動機構は、一方の移動体を駆動するシリンダと、移動体間の中央に配された支点を対象軸として一方の移動体と他方の移動体を連動させるリンク機構とを備えたことが好ましい。   The gripping portion driving mechanism includes a cylinder that drives one moving body, and a link mechanism that links the one moving body and the other moving body with a fulcrum arranged at the center between the moving bodies as an object axis. Is preferred.

上記本体把持部は一対の本体把持爪からなり、上記ドア把持部は一対のドア把持爪からなり、本体把持爪同士の間隔はドア把持爪同士の間隔よりも狭く、本体把持爪はドア把持爪よりも奥まった位置に配設されていることが好ましい。   The main body gripping part is composed of a pair of main body gripping claws, the door gripping part is composed of a pair of door gripping claws, and the distance between the main body gripping claws is narrower than the distance between the door gripping claws. It is preferable to be disposed at a deeper position.

上記把持部駆動機構は、上記被把持部の有無を検出する第１センサと、ドアの有無を検出する第２センサとを備えていることが好ましい。   The gripper drive mechanism preferably includes a first sensor that detects the presence / absence of the gripped part and a second sensor that detects the presence / absence of a door.

上記本体把持爪及び上記ドア把持爪は、断面略Ｖ字状の把持溝を有していることが好ましい。   The main body holding claw and the door holding claw preferably have a holding groove having a substantially V-shaped cross section.

本発明に係るフープ洗浄乾燥装置によれば、ロボットアームフープ本体を把持する本体把持部及びドアを把持するドア把持部を共通の把持部駆動機構で駆動することができ、構造の簡素化及び製造コストの低減が図れる。   According to the hoop cleaning and drying apparatus according to the present invention, the main body gripping part for gripping the robot arm hoop main body and the door gripping part for gripping the door can be driven by a common gripping part drive mechanism, and the structure is simplified and manufactured. Cost can be reduced.

以下、本発明の好適な実施形態を添付図面に基づいて詳述する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図１は本実施形態に係るフープ洗浄乾燥装置の内部の構成を概略的に示す側面透視図、図２は同フープ洗浄乾燥装置の内部の構成を概略的に示す平面透視図である。   FIG. 1 is a side perspective view schematically showing the internal configuration of the hoop cleaning / drying apparatus according to the present embodiment, and FIG. 2 is a plan transparent view schematically showing the internal configuration of the hoop cleaning / drying apparatus.

本実施形態に係るフープ洗浄乾燥装置１は、フープ２の搬入搬出のためにフープ２を載置する載置台３と、フープ２を一時的に保管するバッファ台４と、フープ２をフープ本体２ａとドア２ｂとに分離するために仮置きする仮置台５と、分離されたフープ本体２ａとドア２ｂとを洗浄乾燥する洗浄槽６と、載置台３とバッファ台４と仮置台５との間でフープ２を、仮置台５と洗浄槽６との間でフープ本体２ａ又はドア２ｂを搬送するロボットアーム７とを備えている。載置台３は、フープ洗浄乾燥装置１のケーシング１ａの外部に配設され、バッファ台４、仮置台５、洗浄槽６及びロボットアーム７は、上記ケーシング１ａの内部に配設されている。   The hoop cleaning / drying apparatus 1 according to the present embodiment includes a mounting table 3 on which the hoop 2 is placed for loading and unloading the hoop 2, a buffer table 4 for temporarily storing the hoop 2, and the hoop 2 as a hoop body 2a. Between the mounting table 3, the buffer table 4, and the temporary mounting table 5. Temporary mounting table 5 for temporary separation for separation into the door 2 b, the washing tank 6 for cleaning and drying the separated hoop body 2 a and door 2 b, The FOUP 2 is provided with a robot arm 7 that conveys the FOUP body 2a or the door 2b between the temporary table 5 and the cleaning tank 6. The mounting table 3 is disposed outside the casing 1a of the hoop cleaning / drying apparatus 1, and the buffer table 4, the temporary mounting table 5, the cleaning tank 6, and the robot arm 7 are disposed inside the casing 1a.

フープ２は、略ボックス状に形成され前面に開口部を有するフープ本体２ａと、フープ本体２ａの開口部にロック・アンロック可能に装着されたドア２ｂとを有する。   The hoop 2 has a hoop body 2a formed in a substantially box shape and having an opening on the front surface, and a door 2b attached to the opening of the hoop body 2a so as to be locked and unlockable.

載置台３は、複数のフープ２を並列に載置するため、複数のポート（載置部）を備えている。本実施形態では、載置台３は３個のポートを備えており、そのうち左の２ポートがロード専用、右端の１ポートがアンロード専用となっている。   The mounting table 3 includes a plurality of ports (mounting units) for mounting the plurality of hoops 2 in parallel. In the present embodiment, the mounting table 3 includes three ports, of which the left two ports are dedicated for loading and the rightmost port is dedicated for unloading.

バッファ台４には、複数（本実施形態では４個）のフープ２が一時的に載置される。バッファ台４と載置台３との間のケーシング１ａには、フープ２を出し入れするための開口部が形成されており、開口部にはシャッタ８が昇降可能に設けられている。   A plurality (four in this embodiment) of hoops 2 are temporarily placed on the buffer base 4. An opening for taking in and out the hoop 2 is formed in the casing 1a between the buffer table 4 and the mounting table 3, and a shutter 8 is provided in the opening so as to be movable up and down.

図３は図２のIII−III線断面図である。   3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.

ケーシング１ａ内の基部フレーム１ｂには、中間フレーム９が設けられ、中間フレーム９の上部には、上記仮置台５が装着されている。仮置台５は、フープ２を、フープ本体２ａとドア２ｂとに分離するために仮置きするものである。仮置台５は、中間フレーム９の上部に装着された台基部１０と、台基部１０に複数の柱１１を介して取り付けられた頂板１２と、頂板１２に設けられた複数の台座１３とを有する。台座１３には、フープ２のドア２ｂが水平に着座される。   An intermediate frame 9 is provided on the base frame 1b in the casing 1a, and the temporary table 5 is mounted on the upper portion of the intermediate frame 9. The temporary placement table 5 temporarily places the hoop 2 in order to separate the hoop main body 2a and the door 2b. The temporary table 5 includes a base 10 attached to the upper part of the intermediate frame 9, a top plate 12 attached to the base 10 via a plurality of pillars 11, and a plurality of pedestals 13 provided on the top plate 12. . On the pedestal 13, the door 2 b of the hoop 2 is seated horizontally.

図４は図３のIV−IV線断面図、図５は図４のＶ−Ｖ線断面図である。   4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3, and FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG.

仮置台５の台座１３は、円柱状に形成され、頂板１２に４個、矩形の頂点に配設されている。４個の台座１３は同じ高さであり、その内の対角の２個には、フープ２のドア２ｂを吸着する吸着手段１４と、ドア２ｂに形成された凹部２ｂ１に挿入される位置決めピン１５とが設けられている。位置決めピン１５は、台座１３の中心に立設されており、吸着手段１４は、その位置決めピン１５を囲むようにして台座１３に設けられた吸盤１４ａと、その位置決めピン１５に形成されドア２ｂと吸盤１４ａとで区画された空間内の空気を排気するための排気通路１４ｂとを備えている。   The pedestal 13 of the temporary table 5 is formed in a columnar shape, and four pieces are arranged on the top plate 12 at a rectangular apex. The four pedestals 13 have the same height, and two of the diagonals 13 include suction means 14 for sucking the door 2b of the hoop 2 and positioning pins inserted into the recess 2b1 formed in the door 2b. 15 are provided. The positioning pin 15 is erected at the center of the pedestal 13. The suction means 14 includes a suction cup 14a provided on the pedestal 13 so as to surround the positioning pin 15, and a door 2b and a suction cup 14a formed on the positioning pin 15. And an exhaust passage 14b for exhausting the air in the space partitioned by.

詳しくは、台座１３の上面には窪み部１３ａが形成されており、その窪み部１３ａに吸盤１４ａが装着されていて、吸盤１４ａがドア２ｂに吸着して変形したとき、変形した吸盤１４ａが窪み部１３ａに収容されるようになっている。排気通路１４ｂは、位置決めピン１５の内部に長手方向に沿って形成された縦排気通路１４ｂ１と、縦排気通路１４ｂ１に接続され位置決めピン１５の側面に開口を有する横排気通路１４ｂ２とを有し、縦排気通路１４ｂ１が図示しない排気手段（吸込ポンプ等）に接続されている。また、位置決めピン１５の先端は、テーパ状又はアール状に形成されており、ドア２ｂに形成された断面円状の位置決め用の凹部２ｂ１に対して多少ずれていても挿入され易くなっている。   Specifically, a recess 13a is formed on the upper surface of the pedestal 13. When the suction cup 14a is attached to the recess 13a and the suction cup 14a is adsorbed to the door 2b and deformed, the deformed suction cup 14a is depressed. It is accommodated in the portion 13a. The exhaust passage 14b has a longitudinal exhaust passage 14b1 formed along the longitudinal direction inside the positioning pin 15, and a lateral exhaust passage 14b2 connected to the longitudinal exhaust passage 14b1 and having an opening on a side surface of the positioning pin 15. The vertical exhaust passage 14b1 is connected to exhaust means (suction pump or the like) (not shown). Further, the distal end of the positioning pin 15 is formed in a taper shape or a round shape, and can be easily inserted even if it is slightly deviated from the positioning concave portion 2b1 having a circular cross section formed in the door 2b.

仮置台５の頂板１２には、ドアに組込まれたロック・アンロック機構（ラッチ機構）（図示省略）のドア２ｂとフープ本体２ａとのロック・アンロックを切り換えるため、ドア２ｂに長穴状に形成されたラッチキー穴２ｂ２に挿入された状態で回転されるラッチキー１６が、間隔を隔てて一対設けられている。ラッチキー１６は、側面視Ｔ字状に形成され、台基部１０に設けられたロータリーシリンダ１７により、鉛直軸廻りに９０度の範囲で正逆回転される。ロータリーシリンダ１７は、台基部１０に固定されたシリンダ本体１７ａと、シリンダ本体１７ａに対して９０度の範囲で正逆回転するロータ１７ｂとを有し、ロータ１７ｂが頂板１２に貫通形成された穴１２ａに回転可能に挿通されていて、そのロータ１７ｂの頂部に上記ラッチキー１６が取り付けられている。   The top plate 12 of the temporary table 5 has a slot-like shape in the door 2b for switching the lock / unlock between the door 2b of the lock / unlock mechanism (latch mechanism) (not shown) incorporated in the door and the hoop body 2a. A pair of latch keys 16 that are rotated in a state of being inserted into the latch key holes 2b2 formed in the above are provided at intervals. The latch key 16 is formed in a T-shape when viewed from the side, and is rotated forward and backward within a range of 90 degrees around the vertical axis by a rotary cylinder 17 provided on the base 10. The rotary cylinder 17 has a cylinder body 17a fixed to the base 10 and a rotor 17b that rotates forward and backward within a range of 90 degrees with respect to the cylinder body 17a. The latch key 16 is attached to the top of the rotor 17b.

ラッチキー１６がドア２ｂのラッチキー穴（長穴）２ｂ２に挿入された状態で９０度回転されると、ドア２ｂの内部に設けられたロック・アンロック機構によりドア２ｂとフープ本体２ａとのロックが解除され、同時にラッチキー１６がラッチキー穴（長穴）２ｂ２に引っ掛かるためドア２ｂがラッチキー１６によりチャック（保持）される。また、この保持状態から、ラッチキー１６が逆方向に９０度回転されると、上記ロック・アンロック機構によりドア２ｂとフープ本体２ａとがロックされ、同時にラッチキー１６がラッチキー穴（長穴）２ｂ２に沿った向きとなるため、ラッチキー１６をラッチキー穴（長穴）２ｂ２から引き抜くことが可能となる。   When the latch key 16 is rotated 90 degrees while being inserted into the latch key hole (long hole) 2b2 of the door 2b, the lock between the door 2b and the hoop body 2a is locked by the lock / unlock mechanism provided inside the door 2b. At the same time, the latch key 16 is hooked into the latch key hole (long hole) 2b2, so that the door 2b is chucked (held) by the latch key 16. When the latch key 16 is rotated 90 degrees in the reverse direction from this holding state, the door 2b and the hoop body 2a are locked by the lock / unlock mechanism, and at the same time the latch key 16 is inserted into the latch key hole (long hole) 2b2. Therefore, the latch key 16 can be pulled out from the latch key hole (long hole) 2b2.

上記ラッチキー１６は、上記位置決めピン１５よりも低い。すなわち、位置決めピン１５は、ラッチキー１６よりも上方に突出していて、位置決めピン１５の上端は、ラッチキー１６の上端よりも高い位置にある。よって、フープ２のドア２ｂが仮置台５の頂板１２に平行に近付くと、先ず位置決めピン１５がドア２ｂの凹部２ｂ１に挿入され、その後ラッチキー１６がドア２ｂのラッチキー穴２ｂ２に挿入されることになる。なお、ドア２ｂの表面が平坦状であることは勿論である。   The latch key 16 is lower than the positioning pin 15. That is, the positioning pin 15 protrudes above the latch key 16, and the upper end of the positioning pin 15 is higher than the upper end of the latch key 16. Therefore, when the door 2b of the hoop 2 approaches the top plate 12 of the temporary table 5, the positioning pin 15 is first inserted into the recess 2b1 of the door 2b, and then the latch key 16 is inserted into the latch key hole 2b2 of the door 2b. Become. Of course, the surface of the door 2b is flat.

仮置台５の頂板１２には、フープ２のドア２ｂが４個の台座１３に適正に着座したか否かを検出するためのセンサ１８が設けられている。センサ１８は、本実施形態では、頂板１２に３個、三角形の頂点に配設された距離センサからなる。これら各距離センサ１８からドア２ｂまでの距離を計測し、それらの測定値が揃っていれば（所定の範囲内にあれば）、ドア２ｂが頂板１２と平行であり４個の台座１３に適正に着座した（チャックＯＫ）と判定し、さもなければドア２ｂが傾いている（チャックミス）と判定する。   The top plate 12 of the temporary table 5 is provided with a sensor 18 for detecting whether the door 2b of the hoop 2 is properly seated on the four bases 13 or not. In this embodiment, the sensor 18 includes a distance sensor disposed on the top plate 12 at three vertices. If the distance from each of the distance sensors 18 to the door 2b is measured and the measured values are equal (if they are within a predetermined range), the door 2b is parallel to the top plate 12 and appropriate for the four bases 13 It is determined that the door 2b is tilted (chuck mistake).

図１〜図３に示すように、フープ洗浄乾燥装置１のケーシング１ａ内には、ロボットアーム７が設けられている。ロボットアーム７は、載置台３とバッファ台４と仮置台５との間でフープ２を、仮置台５と洗浄槽６との間でフープ本体２ａ又はドア２ｂを移動する多関節ロボットアームからなる。   As shown in FIGS. 1 to 3, a robot arm 7 is provided in the casing 1 a of the hoop cleaning / drying apparatus 1. The robot arm 7 includes an articulated robot arm that moves the hoop 2 between the mounting table 3, the buffer table 4, and the temporary mounting table 5, and the hoop body 2 a or the door 2 b between the temporary mounting table 5 and the cleaning tank 6. .

図６は把持部駆動機構の正面図、図７は把持部駆動機構の底面図、図８は把持部駆動機構の側面図である。   6 is a front view of the gripping unit driving mechanism, FIG. 7 is a bottom view of the gripping unit driving mechanism, and FIG. 8 is a side view of the gripping unit driving mechanism.

図６〜図８に示すようにロボットアーム７の先端部には、フープ本体２ａの上部に突設された方形の被把持部２ｘを把持する本体把持部１９と、被把持部２ｘよりも大きい方形のドア２ｂの両端部を把持するドア把持部２０とを駆動するための同一軸線上で互いに接近離反する一対の移動体（スライドブロック）２１を有する共通の把持部駆動機構２２が設けられている。この把持部駆動機構２２は、ロボットアーム７の先端部に取付けられるベースプレート２２ａを有し、左右方向に長いこのベースプレート２２ａの下面両側に長手方向に沿って上記一対の移動体２１が移動可能に配設されている。   As shown in FIGS. 6 to 8, the robot arm 7 has a main body gripping portion 19 that grips a square gripped portion 2 x projecting from an upper portion of the hoop body 2 a and is larger than the gripped portion 2 x. There is provided a common gripping portion drive mechanism 22 having a pair of moving bodies (slide blocks) 21 that approach and separate from each other on the same axis for driving the door gripping portion 20 that grips both ends of the rectangular door 2b. Yes. The gripping portion drive mechanism 22 has a base plate 22a attached to the tip of the robot arm 7, and the pair of moving bodies 21 are arranged on both sides of the lower surface of the base plate 22a which is long in the left-right direction so as to be movable along the longitudinal direction. It is installed.

本体把持部１９は一対の本体把持爪１９ａからなり、ドア把持部２０は一対のドア把持爪２０ａからなる。詳しくは、上記移動体２１に、アームブロック５２を介して、一対の本体把持爪１９ａとドア把持爪２０ａとが夫々設けられている。   The body gripping portion 19 is composed of a pair of body gripping claws 19a, and the door gripping portion 20 is composed of a pair of door gripping claws 20a. Specifically, the movable body 21 is provided with a pair of main body gripping claws 19a and a door gripping claws 20a via arm blocks 52, respectively.

また、上記把持部駆動機構２２は、一方の移動体２１をベースプレート５２ａの長手方向に沿って進退（往復）駆動するシリンダ（例えばエアシリンダ）５４と、上記ベースプレート２２ａの下面における両移動体２１間の中央に配された支点である支軸５３を対象軸として一方の移動体２１と他方の移動体２１を連動させるリンク機構５５とを備えている。上記シリンダ５４の下面には図示しないリニアガイドを介して一方の移動体２１がスライド可能に設けられ、この一方の移動体２１がシリンダ５４内の図示しないピストンを介して移動されるようになっている。   The gripper drive mechanism 22 includes a cylinder 54 (for example, an air cylinder) that drives one movable body 21 to advance and retreat (reciprocate) along the longitudinal direction of the base plate 52a, and the two movable bodies 21 on the lower surface of the base plate 22a. And a link mechanism 55 that interlocks one moving body 21 and the other moving body 21 with a support shaft 53 that is a fulcrum arranged at the center of the moving body 21 as a target axis. One moving body 21 is slidably provided on the lower surface of the cylinder 54 via a linear guide (not shown), and the one moving body 21 is moved via a piston (not shown) in the cylinder 54. Yes.

他方の移動体２１は、ベースプレート２２ａの他方の下面にリニアガイド５６を介してスライド可能に設けられている。上記リンク機構５５は、中央部が支軸５３とこれを支持する軸受５７を介して回動自在に支持された第１リンク（レバー）５５ａと、該第１リンク５５ａの両端部にそれぞれの一端が回動可能に連結された第２リンク５５ｂとからなり、一方の第２リンク５５ｂの他端が一方の移動体２１の一側部に回動可能に連結され、他方の第２リンク５５ｂの他端が他方の移動体２１の他側部に回動可能に連結されている。   The other moving body 21 is slidably provided on the other lower surface of the base plate 22 a via a linear guide 56. The link mechanism 55 has a first link (lever) 55a whose central portion is rotatably supported via a support shaft 53 and a bearing 57 that supports the support shaft 53, and one end at each end of the first link 55a. The second link 55b is rotatably connected, and the other end of one of the second links 55b is rotatably connected to one side of the one moving body 21, and the other second link 55b is connected to the other link 55b. The other end is rotatably connected to the other side of the other moving body 21.

上記シリンダ５４には、被把持部２ｘの把持位置及びドア２ｂの把持位置をそれぞれ検出してシリンダ５４の駆動をそれぞれの把持位置で停止させるための位置センサ５６ａ，５６ｂが設けられている。また、把持部駆動機構２２のベースプレート２２ａには、上記被把持部２ｘの有無を検出する光学式の第１センサ５７ａと、ドア２ｂの有無を検出する光学式の第２センサ５７ｂとが設けられている。これにより、チャックミスを監視しており、チャック精度の向上が図られている。   The cylinder 54 is provided with position sensors 56a and 56b for detecting the gripping position of the gripped portion 2x and the gripping position of the door 2b and stopping the driving of the cylinder 54 at the respective gripping positions. The base plate 22a of the gripping part drive mechanism 22 is provided with an optical first sensor 57a for detecting the presence / absence of the gripped part 2x and an optical second sensor 57b for detecting the presence / absence of the door 2b. ing. Thereby, the chuck mistake is monitored, and the chuck accuracy is improved.

本体把持爪１９ａ同士の間隔はドア把持爪２０ａ同士の間隔よりも狭く、且つ本体把持爪１９ａはドア把持爪２０ａよりも奥まった位置に配設されている。そして、本体把持爪１９ａがフープ本体２ａの被把持部２ｘを把持したとき、ドア把持爪２０ａがそのフープ本体２ａと干渉せず、ドア把持爪２０ａがドア２ｂの両端部（図５参照）を把持したとき、本体把持爪１９ａがそのドア２ｂと干渉しないようになっている。   The distance between the body gripping claws 19a is narrower than the distance between the door gripping claws 20a, and the body gripping claws 19a are disposed at a position deeper than the door gripping claws 20a. When the body gripping claw 19a grips the gripped portion 2x of the hoop body 2a, the door gripping claw 20a does not interfere with the hoop body 2a, and the door gripping claw 20a touches both ends of the door 2b (see FIG. 5). When gripped, the body gripping claw 19a does not interfere with the door 2b.

また、上記本体把持爪１９ａは、断面略Ｖ字状の把持溝５８を有し、把持溝５８の両側面５８ａ，５８ｂが傾斜しており、上記被把持部２ｘとの相対的な位置のばらつき（変位）を吸収でき、チャック性能の向上が図られている。また、同様に、上記ドア把持爪２０ａも、断面略Ｖ字状の把持溝５９を有している。この場合、ドア２ｂのエッジ部６０の断面形状が水平面（下面）と傾斜面からなるため、上記把持溝５９の一側面５９ａが水平で、他側面５９ｂが傾斜している。また、水平な一側面５９ａの縁部には傾斜面６１が形成されている。   The body gripping claw 19a has a gripping groove 58 having a substantially V-shaped cross section, and both side surfaces 58a and 58b of the gripping groove 58 are inclined, so that the relative position with respect to the gripped portion 2x varies. (Displacement) can be absorbed, and the chuck performance is improved. Similarly, the door gripping claw 20a also has a gripping groove 59 having a substantially V-shaped cross section. In this case, since the cross-sectional shape of the edge portion 60 of the door 2b includes a horizontal surface (lower surface) and an inclined surface, one side surface 59a of the grip groove 59 is horizontal and the other side surface 59b is inclined. An inclined surface 61 is formed at the edge of the horizontal one side surface 59a.

図９は洗浄槽６の内部の構成を概略的に示す側面透視図である。   FIG. 9 is a side perspective view schematically showing the internal configuration of the cleaning tank 6.

図１、図２、図９に示すように、洗浄槽６は、上部に開口を有する洗浄槽本体６ａと、洗浄槽本体６ａの開口に着脱される筒状の内蓋２３と、内蓋２３の上部に着脱される外蓋２４とを有する。内蓋２３及び外蓋２４は、パワーシリンダ２５、２６により開閉されるようになっている。外蓋２４の内面には、ドア２ｂを吸着保持するドア保持部２７が設けられている。ドア保持部２７は、図５に示す位置決めピン１５及び吸着手段１４と同様の構成を有し、ドア２ｂを吸着保持する。外蓋２４の外面には、ドア保持部２７を回転するドア回転機構２８が設けられている。ドア回転機構２８は、ドア２ｂの洗浄時及び乾燥時に、ドア保持部２７に吸着保持されたドア２ｂを回転させる。   As shown in FIGS. 1, 2, and 9, the cleaning tank 6 includes a cleaning tank body 6 a having an opening at the top, a cylindrical inner lid 23 that is attached to and detached from the opening of the cleaning tank body 6 a, and an inner lid 23. And an outer lid 24 which is attached to and detached from the upper portion. The inner lid 23 and the outer lid 24 are opened and closed by power cylinders 25 and 26. On the inner surface of the outer lid 24, a door holding portion 27 that holds the door 2b by suction is provided. The door holding part 27 has the same configuration as the positioning pin 15 and the suction means 14 shown in FIG. 5, and holds the door 2b by suction. A door rotation mechanism 28 that rotates the door holding unit 27 is provided on the outer surface of the outer lid 24. The door rotation mechanism 28 rotates the door 2b sucked and held by the door holding portion 27 when the door 2b is washed and dried.

図９に示すように、洗浄槽本体６ａの下面には軸受筒体２９が固設され、軸受筒体２９の内部には軸受３０を介して筒状の回転軸３１が回転可能に設けられ、回転軸３１の内部には軸受３２を介して固定支軸３３が設けられている。回転軸３１及び固定支軸３３は、洗浄槽本体６ａの下面を下方から上方に貫通している。回転軸３１の上端部には、回転台３４が設けられ、回転台３４には、フープ本体２ａを開口部を下向きにした状態でその四隅を保持する保持部３５が設けられている。   As shown in FIG. 9, a bearing cylinder 29 is fixed to the lower surface of the cleaning tank body 6a, and a cylindrical rotary shaft 31 is rotatably provided inside the bearing cylinder 29 via a bearing 30, A fixed support shaft 33 is provided inside the rotary shaft 31 via a bearing 32. The rotating shaft 31 and the fixed support shaft 33 penetrate the lower surface of the cleaning tank body 6a upward from below. A rotary base 34 is provided at the upper end of the rotary shaft 31, and the rotary base 34 is provided with holding parts 35 that hold the four corners of the hoop body 2 a with the opening facing downward.

図１に示すように、洗浄槽本体６ａは、ケーシング１ａ内の基部フレーム１ｂに設けられた洗浄槽フレーム３６に固定され、図９に示す固定支軸３３には、洗浄槽フレーム３６に固定された固定ブラケット３７が取り付けられている。固定ブラケット３７には、回転軸３１を回転駆動するための電動機３８が設けられている。電動機３８の回転軸には入力プーリー３９が、回転軸３１には出力プーリー４０が夫々設けられ、これらプーリー３９、４０に無端ベルト４１が巻き掛けられている。電動機３８は、フープ本体２ａの洗浄時及び乾燥時に、回転台３４に保持されたフープ本体２ａを回転させる。   As shown in FIG. 1, the cleaning tank body 6a is fixed to a cleaning tank frame 36 provided on a base frame 1b in the casing 1a, and fixed to the cleaning tank frame 36 on a fixed support shaft 33 shown in FIG. A fixed bracket 37 is attached. The fixed bracket 37 is provided with an electric motor 38 for rotationally driving the rotary shaft 31. An input pulley 39 is provided on the rotating shaft of the electric motor 38, and an output pulley 40 is provided on the rotating shaft 31. An endless belt 41 is wound around these pulleys 39, 40. The electric motor 38 rotates the hoop body 2a held by the turntable 34 when the hoop body 2a is washed and dried.

固定支軸３３の上端部には、フープ本体２ａの内側を洗浄し乾燥させるべく複数のノズル４１を備えた内側洗浄管４２が立設され、固定支軸３３の内部には、内側洗浄管４２と連通する供給通路４３が設けられている。この供給通路４３には、洗浄水又はドライエアを供給する図示しない供給通路が接続されている。また、洗浄槽本体６ａの内側には、フープ本体２ａの外側を洗浄し乾燥させるべく複数のノズル４４を備えた外側洗浄管４５が立設され、この外側洗浄管４５には、洗浄水又はドライエアを供給する図示しない供給通路が接続されている。   An inner cleaning pipe 42 having a plurality of nozzles 41 is erected on the upper end portion of the fixed support shaft 33 so as to clean and dry the inside of the hoop body 2a. A supply passage 43 is provided in communication therewith. The supply passage 43 is connected to a supply passage (not shown) for supplying cleaning water or dry air. In addition, an outer cleaning pipe 45 having a plurality of nozzles 44 is erected on the inner side of the cleaning tank body 6a to clean and dry the outside of the hoop body 2a. The outer cleaning pipe 45 includes cleaning water or dry air. A supply passage (not shown) for supplying is connected.

また、洗浄槽６の内蓋２３には、洗浄槽本体６ａとの境界に位置して上方のドア２ｂと下方のフープ本体２ａとを洗浄し乾燥させるノズル４６を上向き及び下向きに備えた上部洗浄管４７が設けられ、この上部洗浄管４７には、洗浄水又はドライエアを供給する図示しない供給通路が接続されている。なお、洗浄水又はドライエアは、フープ洗浄乾燥装置１の外部の供給源から供給されるようになっている。洗浄槽本体６ａの底部には、排気排水口４８が設けられ、この排気排水口４８には、図２に示すように、開閉弁４９及び気液分離器５０を介して排気管５１と配水管（図示省略）が接続されている。また、乾燥時に洗浄槽６内を負圧にすることにより乾燥を促進できるように構成されている。   Further, the inner lid 23 of the cleaning tank 6 is provided with an upper and lower nozzle 46 that is positioned at the boundary with the cleaning tank body 6a to clean and dry the upper door 2b and the lower hoop body 2a. A pipe 47 is provided, and a supply passage (not shown) for supplying cleaning water or dry air is connected to the upper cleaning pipe 47. The cleaning water or dry air is supplied from a supply source outside the hoop cleaning / drying apparatus 1. An exhaust drain port 48 is provided at the bottom of the cleaning tank body 6a. The exhaust drain port 48 is connected to an exhaust pipe 51 and a water pipe via an on-off valve 49 and a gas-liquid separator 50 as shown in FIG. (Not shown) is connected. Moreover, it is comprised so that drying can be accelerated | stimulated by making the inside of the washing tank 6 into a negative pressure at the time of drying.

本実施形態の作用を述べる。   The operation of this embodiment will be described.

図１、図２に示す載置台３に載置されたフープ２は、フープ本体２ａに設けた被把持部２ｘがロボットアーム７に把持されて、バッファ台４に移動される。バッファ台４上のフープ２は、被把持部２ｘがロボットアーム７に把持されて持ち上げられ、図３に示すように、仮置台５にドア２ｂを下向きとして所定の位置に載置される。   The hoop 2 mounted on the mounting table 3 shown in FIGS. 1 and 2 is moved to the buffer table 4 with the gripped portion 2x provided on the hoop body 2a being gripped by the robot arm 7. The hoop 2 on the buffer table 4 is lifted with the gripped portion 2x gripped by the robot arm 7, and is placed at a predetermined position on the temporary table 5 with the door 2b facing downward, as shown in FIG.

このとき、図５に示すように、仮置台５の位置決めピン１５がラッチキー１６よりも上方に突出されているので、ドア２ｂは、ドア２ｂに形成された凹部２ｂ１が位置決めピン１５に挿入されて位置決めされた後、ドア２ｂに形成されたラッチキー穴（長穴）２ｂ２がラッチキー１６に挿入されることになる。よって、ラッチキー１６がラッチキー穴（長穴）２ｂ２に正確に挿入され、ラッチキー１６がラッチキー穴（長穴）２ｂ２の周囲の部分に当たってドア２ｂが傷付くことが防止される。   At this time, as shown in FIG. 5, since the positioning pin 15 of the temporary table 5 protrudes above the latch key 16, the door 2 b has the recess 2 b 1 formed in the door 2 b inserted into the positioning pin 15. After the positioning, the latch key hole (long hole) 2b2 formed in the door 2b is inserted into the latch key 16. Therefore, the latch key 16 is accurately inserted into the latch key hole (long hole) 2b2, and the latch key 16 is prevented from hitting the peripheral portion of the latch key hole (long hole) 2b2 to damage the door 2b.

その後、排気通路１４ｂを介して吸盤１４ａとドア２ｂとで区画された空間内の空気を排気し、ドア２ｂを仮置台５に吸着保持すると共に、ラッチキー１６を９０度回転させてドア２ｂとフープ本体２ａとのロックを解除する。ここで、ラッチキー１６を９０度回転させると、ラッチキー１６がドア２ｂのラッチキー穴（長穴）２ｂ２に引っ掛かり、ドア２ｂがラッチキー１６にチャックされることにもなる。チャックミスが生じたか否か、即ちドア２ｂが仮置台５に適正に着座したか否かは、図４、図６に示すセンサ１８によって検出される。   After that, the air in the space defined by the suction cup 14a and the door 2b is exhausted through the exhaust passage 14b, and the door 2b is sucked and held on the temporary table 5, and the latch key 16 is rotated 90 degrees to hoop the door 2b and the hoop. The lock with the main body 2a is released. Here, when the latch key 16 is rotated 90 degrees, the latch key 16 is caught in the latch key hole (long hole) 2b2 of the door 2b, and the door 2b is also chucked by the latch key 16. Whether or not a chucking error has occurred, that is, whether or not the door 2b is properly seated on the temporary table 5, is detected by the sensor 18 shown in FIGS.

チャックＯＫであれば、即ちドア２ｂが仮置台５に適正に吸着保持された状態であれば、フープ本体２ａの被把持部２ｘを把持しているロボットアーム７は、被把持部２ｘを持ち替えることなく、フープ本体２ａのみを仮置台５から持ち上げて洗浄槽６内に移動し、被把持部２ｘを放す。ここで、ロボットアーム７がフープ本体２ａを仮置台５から持ち上げるとき、置き去りとされるドア２ｂは、吸着手段１４により仮置台５に吸着保持されているので、仮置台５に対してガタ付くことはない。よって、ドア２ｂのラッチキー穴２ｂ２の開口縁が仮置台５のラッチキー１６に当たって傷付くことが防止される。   If the chuck is OK, that is, if the door 2b is properly sucked and held on the temporary table 5, the robot arm 7 holding the gripped portion 2x of the hoop body 2a changes the gripped portion 2x. Instead, only the hoop body 2a is lifted from the temporary table 5 and moved into the cleaning tank 6 to release the gripped portion 2x. Here, when the robot arm 7 lifts the hoop body 2 a from the temporary table 5, the door 2 b to be left behind is sucked and held by the temporary table 5 by the suction means 14, so that it is loosely attached to the temporary table 5. There is no. Therefore, the opening edge of the latch key hole 2b2 of the door 2b is prevented from hitting the latch key 16 of the temporary table 5 and being damaged.

次いで、ロボットアーム７は、図５に示す仮置台５に吸着保持されたドア２ｂの両端部を把持する。その後、ラッチキー１６を９０度逆方向に回転させてアンチャック状態とし、排気通路１４ｂからの排気を中止して吸着を解除する。このようにアンチャック状態とし吸着を解除したなら、ロボットアーム７は、把持したドア２ｂを持ち上げて図１に示す洗浄槽６の外蓋２４の内面のドア保持部２７に装着する。   Next, the robot arm 7 grips both ends of the door 2b sucked and held on the temporary table 5 shown in FIG. Thereafter, the latch key 16 is rotated 90 degrees in the reverse direction to bring it into an unchucked state, the exhaust from the exhaust passage 14b is stopped, and suction is released. When the suction is released in this unchucked state, the robot arm 7 lifts the gripped door 2b and attaches it to the door holding portion 27 on the inner surface of the outer lid 24 of the cleaning tank 6 shown in FIG.

洗浄槽６の内蓋２３、外蓋２４を閉じて、フープ本体２ａ及びドア２ｂを洗浄乾燥する。洗浄乾燥の終了後、内蓋２３、外蓋２４を開く。ロボットアーム７は、外蓋２４のドア保持部２７に装着されたドア２ｂの両端部を把持し、そのドア２ｂを図３及び図５に示す仮置台５に移載する。ドア２ｂは、前述の位置決めピン１５、吸盤１４ａ、排気通路１４ｂ及びラッチキー１６により、前述したように仮置台５に吸着保持される。その後、ロボットアーム７は、洗浄槽６内のフープ本体２ａの被把持部２ｘを把持して持ち上げ、フープ本体２ａを開口部を下向きにして仮置台５に降ろしてドア２ｂに係合させ、フープ本体２ａとドア２ｂとを一体化する。   The inner lid 23 and the outer lid 24 of the washing tank 6 are closed, and the hoop body 2a and the door 2b are washed and dried. After completion of the cleaning and drying, the inner lid 23 and the outer lid 24 are opened. The robot arm 7 grips both ends of the door 2b attached to the door holding part 27 of the outer lid 24, and transfers the door 2b to the temporary table 5 shown in FIGS. The door 2b is sucked and held on the temporary table 5 by the positioning pin 15, the suction cup 14a, the exhaust passage 14b and the latch key 16 as described above. Thereafter, the robot arm 7 grips and lifts the gripped portion 2x of the hoop main body 2a in the cleaning tank 6, lowers the hoop main body 2a with the opening portion downward, and engages the door 2b. The main body 2a and the door 2b are integrated.

その後、仮置台５におけるドア２ｂの吸着保持を、排気通路１４ｂからの排気を中止しラッチキー１６を９０度回転させることで解除する。フープ本体２ａの被把持部２ｘを把持しているロボットアーム７は、被把持部２ｘを持ち替えることなく、ドア２ｂとフープ本体２ａとが一体となったフープ２を持ち上げ、バッファ台４にドア２ｂが側方を向くようにして移載する。バッファ台４のフープ２はロボットアーム７により被把持部２ｘが把持されて載置台３に移載される。   Thereafter, the suction holding of the door 2b in the temporary table 5 is released by stopping the exhaust from the exhaust passage 14b and rotating the latch key 16 by 90 degrees. The robot arm 7 holding the gripped portion 2x of the hoop main body 2a lifts the hoop 2 in which the door 2b and the hoop main body 2a are integrated without changing the gripped portion 2x, and opens the door 2b on the buffer base 4. Transfer with the side facing. The hoop 2 of the buffer table 4 is transferred to the mounting table 3 with the gripped portion 2x gripped by the robot arm 7.

このフープ洗浄乾燥装置１によれば、フープ本体２ａを把持する本体把持部１９及びドア２ｂを把持するドア把持部２０を共通の把持部駆動機構２２で駆動することができ、構造の簡素化及び製造コストの低減が図れる。   According to the hoop cleaning / drying device 1, the main body gripping portion 19 that grips the hoop main body 2a and the door gripping portion 20 that grips the door 2b can be driven by the common gripping portion drive mechanism 22, which simplifies the structure and Manufacturing cost can be reduced.

特に、上記把持部駆動機構２２は、一方の移動体２１を駆動するシリンダ５４と、両移動体２１間の中央に配された支点（支軸）５３を対象軸として一方の移動体２１と他方の移動体２１を連動させるリンク機構５５とを備えているため、簡単な構造で両移動体２１を同期させて接近離間（開閉）させることができる。   In particular, the gripping portion drive mechanism 22 includes a cylinder 54 that drives one moving body 21 and a fulcrum (supporting shaft) 53 that is arranged at the center between both moving bodies 21 as a target axis. Since the movable body 21 is linked to the link mechanism 55, both the movable bodies 21 can be synchronized and opened (opened / closed) with a simple structure.

また、上記本体把持部１９は一対の本体把持爪１９ａからなり、上記ドア把持部２０は一対のドア把持爪２０ａからなり、本体把持爪１９ａ同士の間隔はドア把持爪２０ａ同士の間隔よりも狭く、本体把持爪１９ａはドア把持爪２０ａよりも奥まった位置に配設されているため、本体把持爪１９ａがフープ本体２ａの被把持部２ｘ（図１参照）を把持したとき、ドア把持爪２０ａがそのフープ本体２ａと干渉するのを回避でき、ドア把持爪２０ａがドア２ｂの両端部（図５参照）を把持したとき、本体把持爪１９ａがそのドア２ｂと干渉するのを回避できる。   The main body gripping portion 19 is composed of a pair of main body gripping claws 19a, and the door gripping portion 20 is composed of a pair of door gripping claws 20a, and the distance between the main body gripping claws 19a is narrower than the distance between the door gripping claws 20a. Since the body gripping claw 19a is disposed at a position deeper than the door gripping claw 20a, when the body gripping claw 19a grips the gripped portion 2x (see FIG. 1) of the hoop body 2a, the door gripping claw 20a Can be prevented from interfering with the hoop main body 2a, and when the door gripping claw 20a grips both ends (see FIG. 5) of the door 2b, the main body gripping claw 19a can be prevented from interfering with the door 2b.

上記把持部駆動機構２２は、上記被把持部２ｘの有無を検出する第１センサ５７ａと、ドア２ｂの有無を検出する第２センサ５７ｂとを備えているため、チャックミスを防止でき、チャック精度の向上が図られている。   The gripper drive mechanism 22 includes a first sensor 57a that detects the presence / absence of the gripped part 2x and a second sensor 57b that detects the presence / absence of the door 2b. Improvements are being made.

上記本体把持爪１９ａ及び上記ドア把持爪２０ａは、断面略Ｖ字状の把持溝５８，５９を有しているため、被把持部２ｘやドア２ｂとの相対的な位置のばらつき（変位）を吸収でき、チャック性能の向上が図れる。   Since the main body gripping claw 19a and the door gripping claw 20a have gripping grooves 58 and 59 having a substantially V-shaped cross section, the relative position variation (displacement) with respect to the gripped portion 2x and the door 2b is reduced. Absorption can be achieved and the chuck performance can be improved.

本発明の一実施形態に係るフープ洗浄乾燥装置の内部の構成を概略的に示す側面透視図である。It is a side see-through | perspective view which shows schematically the structure inside the hoop washing | cleaning drying apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図１に示すフープ洗浄乾燥装置の内部の構成を概略的に示す平面透視図である。FIG. 2 is a plan perspective view schematically showing an internal configuration of the hoop cleaning / drying apparatus shown in FIG. 1. 図２のIII−III線断面図である。It is the III-III sectional view taken on the line of FIG. 図３のIV−IV線断面図である。It is the IV-IV sectional view taken on the line of FIG. 図４のＶ−Ｖ線断面図である。It is the VV sectional view taken on the line of FIG. 把持部駆動機構の正面図である。It is a front view of a holding part drive mechanism. 把持部駆動機構の底面図である。It is a bottom view of a holding part drive mechanism. 把持部駆動機構の側面図である。It is a side view of a holding part drive mechanism. 洗浄室内の構成を概略的に示す側面透視図である。It is a side perspective view which shows the structure in a washing chamber schematically.

符号の説明Explanation of symbols

１ フープ洗浄乾燥装置
２ フープ
２ａ フープ本体
２ｂ ドア
２ｘ 被把持部
７ ロボットアーム
１９ 本体把持部
２０ ドア把持部
２１ 移動体
２２ 把持部駆動機構
５３ 支軸（支点）
５４ シリンダ
５５ リンク機構
５７ａ 第１センサ
５７ｂ 第２センサ
５８，５９ 把持溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hoop washing | cleaning drying apparatus 2 Hoop 2a Hoop main body 2b Door 2x Grip part 7 Robot arm 19 Main body holding part 20 Door holding part 21 Moving body 22 Gripping part drive mechanism 53 Support shaft (fulcrum)
54 Cylinder 55 Link mechanism 57a First sensor 57b Second sensor 58, 59 Grip groove

Claims (5)

前面に開口部を有するフープ本体と該フープ本体の開口部にロック・アンロック可能に装着されたドアとを有するフープを、上記フープ本体と上記ドアとに分離して洗浄乾燥するフープ洗浄乾燥装置であって、
上記フープを把持して搬送するためのロボットアームを備え、該ロボットアームの先端部には、上記フープ本体の上部に突設された被把持部を把持する本体把持部と、上記ドアを把持するドア把持部とを駆動するための同一軸線上で互いに接近離間する一対の移動体を有する共通の把持部駆動機構が設けられていることを特徴とするフープ洗浄乾燥装置。 A hoop cleaning / drying apparatus for separating and cleaning and drying a hoop having a hoop body having an opening on the front surface and a door attached to the opening of the hoop body so as to be lockable / unlockable. Because
A robot arm for gripping and transporting the hoop is provided, and at the tip of the robot arm, a main body gripping part that grips a gripped part protruding from the upper part of the hoop main body, and the door are gripped A hoop cleaning / drying apparatus comprising a common gripping part drive mechanism having a pair of moving bodies that are close to and away from each other on the same axis for driving the door gripping part. 上記把持部駆動機構は、一方の移動体を駆動するシリンダと、両移動体間の中央に配された支点を対象軸として一方の移動体と他方の移動体を連動させるリンク機構とを備えたことを特徴とする請求項１記載のフープ洗浄乾燥装置。   The gripping portion drive mechanism includes a cylinder that drives one moving body, and a link mechanism that links the one moving body and the other moving body with a fulcrum arranged at the center between the two moving bodies as a target axis. The hoop cleaning / drying apparatus according to claim 1. 上記本体把持部は一対の本体把持爪からなり、上記ドア把持部は一対のドア把持爪からなり、本体把持爪同士の間隔はドア把持爪同士の間隔よりも狭く、本体把持爪はドア把持爪よりも奥まった位置に配設されていることを特徴とする請求項１又は２記載のフープ洗浄乾燥装置。   The main body gripping part is composed of a pair of main body gripping claws, the door gripping part is composed of a pair of door gripping claws, and the distance between the main body gripping claws is narrower than the distance between the door gripping claws. The hoop cleaning / drying device according to claim 1, wherein the hoop cleaning / drying device is disposed at a deeper position. 上記把持部駆動機構は、上記被把持部の有無を検出する第１センサと、上記ドアの有無を検出する第２センサとを備えたことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のフープ洗浄乾燥装置。   The said holding | grip part drive mechanism is equipped with the 1st sensor which detects the presence or absence of the said to-be-held part, and the 2nd sensor which detects the presence or absence of the said door, The Claim 1 thru | or 3 characterized by the above-mentioned. Hoop cleaning and drying equipment. 上記本体把持爪及び上記ドア把持爪は、断面略Ｖ字状の把持溝を有していることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のフープ洗浄乾燥装置。   5. The hoop cleaning / drying device according to claim 1, wherein the main body gripping claw and the door gripping claw have a gripping groove having a substantially V-shaped cross section.

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